JP5673725B2 - 化合物半導体積層構造 - Google Patents
化合物半導体積層構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5673725B2 JP5673725B2 JP2013089284A JP2013089284A JP5673725B2 JP 5673725 B2 JP5673725 B2 JP 5673725B2 JP 2013089284 A JP2013089284 A JP 2013089284A JP 2013089284 A JP2013089284 A JP 2013089284A JP 5673725 B2 JP5673725 B2 JP 5673725B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- gan
- type
- carrier
- protective layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
a.n型層の電子により、n型GaN保護層15とn型Al0.25Ga0.75N電子供給層14との界面に誘起されるホール21をスクリーニングして、このホール21がデバイス特性に影響を与えないようにしたため
b.ソース電極18及びドレイン電極19のオーミック性が向上するため、
c.表面がGaN層になるので、Alに起因する表面トラップの影響が解消されるため、d.表面がGaN層になるので、AlGaNに比べてエッチング耐性が高まるので、加工ダメージが表面に導入されにくくなるため、
と考えられる。
2 キャリア走行層
3 キャリア供給層
4 GaN系保護層
5 SiN膜
6 ゲート電極
7 ソース・ドレイン電極
11 サファイア基板
12 i型GaN電子走行層
13 i型Al0.25Ga0.75N層
14 n型Al0.25Ga0.75N電子供給層
15 n型GaN保護層
16 SiN膜
17 ゲート電極
18 ソース電極
19 ドレイン電極
20 二次元電子層
21 ホール
31 i型GaN保護層
32 n型AlN層
41 サファイア基板
42 i型GaN電子走行層
43 i型Al0.25Ga0.75N層
44 n型Al0.25Ga0.75N電子供給層
45 i型Al0.25Ga0.75N保護層
46 SiN膜
47 ゲート電極
48 ソース電極
49 ドレイン電極
50 二次元電子層
Claims (5)
- GaNのキャリア走行層と、
前記キャリア走行層上に形成されたAlxGa1−xN(0<x≦1)のキャリア供給層と、
前記キャリア供給層上に形成され、少なくともゲート電極が形成される領域を含んだ、走行キャリアと同導電型の第一導電型の不純物がドープされたGaNのGaN系保護層と、
を備え、
前記GaN系保護層にドープされたSi、S、Seの何れかの不純物のドーピング濃度が、前記キャリア供給層との界面に発生するピエゾ電荷の20%〜80%のシート濃度であることを特徴とする化合物半導体積層構造。 - 前記第一導電型は、n型であることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体積層構造。
- 前記GaN系保護層が、前記キャリア供給層と接する走行キャリアと同導電型の層と、前記走行キャリアと同導電型の層上に設けられたアンドープ層とを含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の化合物半導体積層構造。
- 前記アンドープ層は、i−GaN層であることを特徴とする請求項3に記載の化合物半導体積層構造。
- 前記キャリア走行層に、Inを添加したことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の化合物半導体積層構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013089284A JP5673725B2 (ja) | 2013-04-22 | 2013-04-22 | 化合物半導体積層構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013089284A JP5673725B2 (ja) | 2013-04-22 | 2013-04-22 | 化合物半導体積層構造 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010273154A Division JP5418482B2 (ja) | 2010-12-08 | 2010-12-08 | 化合物半導体積層構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013141036A JP2013141036A (ja) | 2013-07-18 |
JP5673725B2 true JP5673725B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=49038138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013089284A Expired - Lifetime JP5673725B2 (ja) | 2013-04-22 | 2013-04-22 | 化合物半導体積層構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5673725B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6437381B2 (ja) * | 2015-05-12 | 2018-12-12 | 株式会社豊田中央研究所 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3478005B2 (ja) * | 1996-06-10 | 2003-12-10 | ソニー株式会社 | 窒化物系化合物半導体のエッチング方法および半導体装置の製造方法 |
JP3439111B2 (ja) * | 1998-03-09 | 2003-08-25 | 古河電気工業株式会社 | 高移動度トランジスタ |
JP3398044B2 (ja) * | 1998-04-14 | 2003-04-21 | 古河電気工業株式会社 | 電界効果トランジスタ |
WO2000065663A1 (fr) * | 1999-04-26 | 2000-11-02 | Kansai Research Institute | Transistor a heterostructure a effet de champ |
JP3723018B2 (ja) * | 1999-09-29 | 2005-12-07 | 日立電線株式会社 | 窒化物半導体装置 |
JP3751791B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2006-03-01 | 日本電気株式会社 | ヘテロ接合電界効果トランジスタ |
-
2013
- 2013-04-22 JP JP2013089284A patent/JP5673725B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013141036A (ja) | 2013-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4663156B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
US8390029B2 (en) | Semiconductor device for reducing and/or preventing current collapse | |
US8101972B2 (en) | Nitride semiconductor device and method for fabricating the same | |
US8895993B2 (en) | Low gate-leakage structure and method for gallium nitride enhancement mode transistor | |
JP5469098B2 (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5810293B2 (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP5190923B2 (ja) | GaNをチャネル層とする窒化物半導体トランジスタ及びその作製方法 | |
KR101365302B1 (ko) | 화합물 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2007220895A (ja) | 窒化物半導体装置およびその製造方法 | |
JP2006269534A (ja) | 半導体装置及びその製造方法、その半導体装置製造用基板及びその製造方法並びにその半導体成長用基板 | |
JP2011044647A (ja) | Iii族窒化物系電界効果トランジスタおよびその製造方法 | |
JP2011029247A (ja) | 窒化物半導体装置及びその製造方法 | |
JP2011009493A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5546104B2 (ja) | GaN系電界効果トランジスタ | |
JP5418482B2 (ja) | 化合物半導体積層構造 | |
JP5721782B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010219247A (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
JP5730505B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
JP5666992B2 (ja) | 電界効果型トランジスタおよびその製造方法 | |
JP5673725B2 (ja) | 化合物半導体積層構造 | |
JP2015126034A (ja) | 電界効果型半導体素子 | |
JP2015056413A (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP2023503944A (ja) | Iii族窒化物半導体集積回路構造、その製造方法および使用 | |
JP5773035B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
JP2013074128A (ja) | スイッチング素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140701 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140901 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5673725 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |