JP5660197B2 - 電子部品 - Google Patents
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Description
まず、SAWフィルタの構成について図面を参照しながら説明する。図1は、SAWフィルタ10を平面視した図である。図2は、図1のSAWフィルタ10のA−Aにおける断面構造図である。図3は、図1のSAWフィルタ10の分解図である。図4は、図1のSAWフィルタ10の等価回路図である。以下では、SAWフィルタ10の積層方向(鉛直方向)をz軸方向と定義する。また、SAWフィルタ10をz軸方向から平面視したときに、SAWフィルタ10の長辺に沿った方向をx軸方向と定義し、SAWフィルタ10の短辺に沿った方向をy軸方向と定義する。
以下に、SAWフィルタ10の製造方法について図面を参照しながら説明する。図6及び図7は、SAWフィルタ10の製造時の工程断面図である。なお、以下では、1つのSAWフィルタ10の製造方法について説明するが、実際には、マトリクス状に配列された複数のSAWフィルタ10が同時に作製されて、最終的に個別のSAWフィルタ10に分割される。
以上のように構成されたSAWフィルタ10によれば、表面弾性波素子18上に設けられている空間Spがつぶれることを抑制できる。より詳細には、特許文献1に記載の弾性波デバイスを備えた回路モジュールの作製の際には、弾性波デバイスが基板に実装された後に、弾性波デバイスを覆うように樹脂によりモールドが施される。この際、樹脂に対して比較的に高い圧力が加えられる。そのため、特許文献1に記載の弾性波デバイスでは、圧力によって樹脂膜が変形し、空洞部がつぶれるおそれがある。特に、空洞部の体積が大きくなるにしたがって、該空洞部はつぶれやすくなる。
以下に第1の変形例に係るSAWフィルタについて図面を参照しながら説明する。図8は、第1の変形例に係るSAWフィルタ10aの断面構造図である。
以下に第2の変形例に係るSAWフィルタについて図面を参照しながら説明する。図9は、第2の変形例に係るSAWフィルタ10bの断面構造図である。
本発明に係るSAWフィルタは、前記実施形態に示したSAWフィルタ10,10a,10bに限らずその要旨の範囲内において変形可能である。
S1 主面
V1〜V7 ビアホール導体
10,10a,10b SAWフィルタ
12 圧電基板
14 支持層
14a 枠部
14b〜14g 突起部
16 柱状部材
18a〜18t 表面弾性波素子
19 配線
20,22 カバー層
24a〜24g バンプ
30a〜30g パッド
100 回路モジュール
102 回路基板
104 ランド
106 モールド樹脂
Claims (7)
- 基板と、
前記基板の主面の法線方向から平面視したときに、該主面上の所定領域を囲んでいる支持層と、
前記所定領域内に設けられている表面弾性波素子と、
前記支持層上に設けられ、かつ、前記主面に対向しているカバー層と、
前記主面、前記支持層及び前記カバー層に囲まれた空間内において、該主面と該カバー層とを繋いでいると共に、前記支持層と接触していない柱状部材と、
前記柱状部材内を前記主面の法線方向に延在している第1のビアホール導体と、
前記支持層内を前記主面の法線方向に延在する第2のビアホール導体と、
を備えており、
前記柱状部材は、前記主面の中央に設けられており、
前記第1のビアホール導体の前記主面に平行な面における断面積は、前記第2のビアホール導体の該主面に平行な面における断面積よりも大きいこと、
を特徴とする電子部品。 - 前記第1のビアホール導体に接続され、かつ、前記主面上に設けられている配線と、
前記第1のビアホール導体に接続され、かつ、前記第1のビアホール導体の直上の前記カバー層上に設けられている外部接続部であって、接地電位が印加される外部接続部と、
を更に備えていること、
を特徴とする請求項1に記載の電子部品。 - 前記支持層と前記柱状部材とは同じ材料により作製されていること、
を特徴とする請求項1又は請求項2のいずれかに記載の電子部品。 - 前記カバー層は、
前記支持層上に設けられ、かつ、該支持層とは異なる材料により作製されている第1のカバー層と、
前記第1のカバー層上に設けられ、かつ、前記支持層と同じ材料により作製されている第2のカバー層と、
を含んでいること、
を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の電子部品。 - 前記第1のカバー層は、前記支持層と前記第2のカバー層とを接着していること、
を特徴とする請求項4に記載の電子部品。 - 前記表面弾性波素子は、表面弾性波フィルタを構成していること、
を特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の電子部品。 - 前記所定領域内には、複数の前記表面弾性波素子が設けられていること、
を特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の電子部品。
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