JP5658112B2 - カルコパイライト型太陽電池の製造方法 - Google Patents
カルコパイライト型太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5658112B2 JP5658112B2 JP2011201251A JP2011201251A JP5658112B2 JP 5658112 B2 JP5658112 B2 JP 5658112B2 JP 2011201251 A JP2011201251 A JP 2011201251A JP 2011201251 A JP2011201251 A JP 2011201251A JP 5658112 B2 JP5658112 B2 JP 5658112B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- processing furnace
- layer
- solar cell
- light absorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
少なくとも、電極と、前記光吸収層の前駆体であるプリカーサ層とを基板上に形成した積層物を得る工程と、
前記積層物を処理炉に収容する工程と、
前記処理炉内にセレン化水素又は硫化水素を供給するとともに前記処理炉内の圧力を500〜900kPaとし、前記プリカーサ層とセレン化水素又は硫化水素とを反応させて前記プリカーサ層をカルコパイライト型化合物に変化させることによって、前記プリカーサ層から前記光吸収層を形成する工程と、
を有することを特徴とする。
14…裏面電極 16…光吸収層
18…バッファ層 20…透明電極
30…熱処理装置 32…処理炉
34…耐圧容器 44、46、80…供給ライン
48、82…排出ライン 50、54、84…流量計
52、56、60、86、90…自動開閉バルブ
58、88…自動圧力変換器 62、92…ポンプ
64…石英ボート 66…積層物
70…ヒータ 94…除害設備
96…スクラバー
Claims (3)
- カルコパイライト型化合物からなる光吸収層を有するカルコパイライト型太陽電池の製造方法であって、
少なくとも、電極と、前記光吸収層の前駆体であるプリカーサ層とを基板上に形成した積層物を得る工程と、
前記積層物を処理炉に収容する工程と、
前記処理炉内にセレン化水素又は硫化水素を供給するとともに前記処理炉内の圧力を500〜900kPaとし、前記プリカーサ層とセレン化水素又は硫化水素とを反応させて前記プリカーサ層をカルコパイライト型化合物に変化させることによって、前記プリカーサ層から前記光吸収層を形成する工程と、
を有することを特徴とするカルコパイライト型太陽電池の製造方法。 - 請求項1記載の製造方法において、前記処理炉を耐圧容器に収容するとともに、前記処理炉内の圧力を、前記耐圧容器内の圧力に比して小さく設定することを特徴とするカルコパイライト型太陽電池の製造方法。
- 請求項2記載の製造方法において、前記耐圧容器内の圧力と前記処理炉内の圧力との差を20〜100kPaとすることを特徴とするカルコパイライト型太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011201251A JP5658112B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011201251A JP5658112B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013062449A JP2013062449A (ja) | 2013-04-04 |
JP5658112B2 true JP5658112B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=48186844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011201251A Expired - Fee Related JP5658112B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5658112B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6258173B2 (ja) | 2014-09-22 | 2018-01-10 | 株式会社東芝 | 光電変換素子、太陽電池及びこれらの製造方法と多接合型光電変換素子 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02135725A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-24 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
JP2004047917A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Honda Motor Co Ltd | 薄膜太陽電池およびその製造方法 |
JP2009540537A (ja) * | 2006-02-23 | 2009-11-19 | デューレン、イェルーン カー.イェー. ファン | 金属間マイクロフレーク粒子による高処理能力の半導体前駆体層印刷 |
JP2012518281A (ja) * | 2009-02-15 | 2012-08-09 | ウッドラフ、ジェイコブ | 平衡前駆体から作られる、太陽電池の吸収層 |
JP2013504215A (ja) * | 2009-09-02 | 2013-02-04 | ボルマン、ブレント | Via族環境において前駆体層を処理するための方法およびデバイス |
-
2011
- 2011-09-15 JP JP2011201251A patent/JP5658112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013062449A (ja) | 2013-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI413269B (zh) | 用以將先質層轉變為光伏打吸收器之方法及設備 | |
US9054267B2 (en) | Method of manufacturing light absorbing layer for solar cell using selenization process under element selenium vapor ambience and thermal treatment apparatus for manufacturing light absorbing layer | |
US8828479B2 (en) | Process for producing light absorbing layer for chalcopyrite type thin-film solar cell | |
JP4471855B2 (ja) | カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法 | |
KR101157201B1 (ko) | Cigs층 형성장치 | |
WO2005109525A1 (ja) | カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法 | |
JP2008078619A (ja) | 半導体薄膜の製造方法、半導体薄膜の製造装置、光電変換素子の製造方法及び光電変換素子 | |
CN104868018B (zh) | 化学浴沉积的方法和系统 | |
US8900664B2 (en) | Method of fabricating high efficiency CIGS solar cells | |
CN103460405A (zh) | 一种在卷对卷过程中制备薄膜型太阳能电池吸收层的组合式反应器 | |
JP2006196771A (ja) | カルコパイライト型薄膜太陽電池及びその製造方法 | |
JP2011171605A (ja) | カルコパイライト膜の製造方法 | |
JP5658112B2 (ja) | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 | |
KR101284704B1 (ko) | 박막형 태양전지 제조용 열처리 장치, 열처리 방법 및 이를 이용한 박막형 태양전지 제조 방법 | |
JP2010192690A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
KR20140062510A (ko) | 화학욕 석출 장치, 버퍼 층의 제조 방법 및 광전 변환 소자의 제조 방법 | |
JP6026356B2 (ja) | 成膜装置 | |
KR20100074383A (ko) | 태양전지의 제조에서 기판 상에 물질층을 형성하기 위한 장치 | |
JP2011159648A (ja) | バッファ層の製造方法および製造装置 | |
US11735446B2 (en) | Enhanced selenium supply in copper indium gallium selenide processes | |
CN103887364B (zh) | 太阳电池吸收层的制备方法及其热处理设备 | |
JP2013105910A (ja) | 処理炉 | |
Skarp | High throughput ALD production systems for cadmium free CIGS and enhanced efficiency c-Si solar cells | |
CN104916735B (zh) | 用于监控制造太阳能电池的工艺的清洗组件和方法 | |
JP5792008B2 (ja) | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140909 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5658112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |