JP2011159648A - バッファ層の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に下部電極と光吸収により電流を発生する光電変換半導体層とバッファ層と透光性導電層との積層構造を有する光電変換素子におけるバッファ層の製造方法において、バッファ層を形成する反応液2が70℃〜95℃の範囲に2分以内に昇温させたものであって、反応液2を基板40に接触させることなく、光電変換半導体層10の表面に接触させ、反応液2を循環させながらバッファ層の析出を行う。
【選択図】図1
Description
前記循環する反応液の一部を排出し、新しい反応液を連続的に供給することが好ましい。
前記反応液の液循環速度は10ml/分〜500ml/分であることが好ましい。
前記バッファ層の形成後に該バッファ層に対して、150℃〜220℃の温度で5分〜90分加熱する加熱処理を行うことが好ましい。特に、バッファ層がZn(S,O)、Zn(S,O,OH)に関してはこのような加熱処理を行うことが好ましい。
前記反応槽の反応液を加熱する第二の加熱手段をさらに備えていることが好ましい。
CuおよびAgからなる群より選択された少なくとも1種のIb族元素と、
Al,GaおよびInからなる群より選択された少なくとも1種のIIIb族元素と、
S,Se,およびTeからなる群から選択された少なくとも1種のVIb族元素とからなる少なくとも1種の化合物半導体であることが好ましい。
CuAlS2,CuGaS2,CuInS2,
CuAlSe2,CuGaSe2,
AgAlS2,AgGaS2,AgInS2,
AgAlSe2,AgGaSe2,AgInSe2,
AgAlTe2,AgGaTe2,AgInTe2,
Cu(In,Al)Se2,Cu(In,Ga)(S,Se)2,
Cu1-zIn1-xGaxSe2-ySy(式中、0≦x≦1,0≦y≦2,0≦z≦1)(CI(G)S),
Ag(In,Ga)Se2,およびAg(In,Ga)(S,Se)2等が挙げられる。
光電変換半導体層の膜厚は特に制限されず、1.0μm〜3.0μmが好ましく、1.5μm〜2.0μmが特に好ましい。
以下、本発明のバッファ層の製造方法を実施例によりさらに詳細に説明する。
図1に示す反応装置のストックビン15に0.18MのZnSO4水溶液、0.3Mのチオ尿素水溶液、0.18Mのクエン酸三ナトリウム水溶液の合計3種類の溶液を同体積で混合して得た溶液を十分量準備した(この時点で、ZnSO4濃度:0.06M、チオ尿素濃度:0.1M、クエン酸三ナトリウム濃度:0.06M)。ストックビン15´に0.30Mのアンモニア水溶液を十分量準備した。ストックビン15とストックビン15´のそれぞれの溶液を、P1ポンプコントローラおよびP2ポンプコントローラで流量を同体積となるように制御し、混合して反応液とした(この時点で、ZnSO4濃度:0.03M、チオ尿素濃度:0.05M、クエン酸三ナトリウム濃度:0.03M、アンモニア濃度:0.15M)。また、30mm×30mm角のソーダライムガラス(SLG)基板上に、スパッタ法によりMo下部電極を0.8μm厚で成膜し、この基板上にCIGS層の成膜法の一つとして知られている3段階法を用いて膜厚1.8μmのCu(In0.7Ga0.3)Se2層を成膜したものを準備した。
実施例1において、液循環速度500ml/分とした以外は実施例と同様にしてバッファ層を形成した。
実施例2において反応液を連続供給系から循環系に変更した以外は実施例2と同様にしてバッファ層を形成した。
実施例3において液循環速度50ml/分とした以外は実施例3と同様にしてバッファ層を形成した。
図1に示す反応装置のストックビン15に0.0004MのCdSO4水溶液、と0.40Mのチオ尿素水溶液を同体積混同した溶液、ストックビン15´に4Mのアンモニア水溶液をそれぞれ十分量準備し、これらの原料液を同体積で混合して反応液を完成させた(CdSO4濃度:0.0001M、チオ尿素濃度:0.10M、アンモニア濃度:1M)。この原料液を用いて、反応液を1.5分で85℃に昇温し、液循環速度50ml/分とした以外は実施例1と同様にしてバッファ層を形成した。
図1に示す反応装置の基板ホルダー20を用いることなく、基板取付筒30から基板をつりさげるように固定し、液循環速度50ml/分とした以外は実施例1と同様にしてバッファ層を形成した。
比較例1において反応液を30分で90℃に昇温した以外は比較例1と同様にしてバッファ層を形成した。
実施例1において、反応液を30分で90℃に昇温し、新たな反応液を添加せず、また反応液を循環しなかった以外は実施例1と同様にしてバッファ層を形成した。
上記実施例1〜5および比較例1〜3で形成されたバッファ層の外観を目視により観察した。また、形成されたバッファ層の断面SEM観察を行い、膜厚測定から析出速度を算出した。
実施例1〜5および比較例1〜3の反応条件等とともに評価結果を表1に示す。
2 反応液
3 反応槽
4,4´ 反応液供給流路
5 循環流路
10 光電変換半導体層
11 第一の加熱手段(クイックヒーター)
12 第二の加熱手段(ホットスターラー)
20 基板保持部材(基板ホルダー)
30 基板取付筒
40 基板
Claims (8)
- 基板上に下部電極と光吸収により電流を発生する光電変換半導体層とバッファ層と透光性導電層との積層構造を有する光電変換素子における前記バッファ層の製造方法において、
前記バッファ層を形成する反応液が70℃〜95℃の範囲に2分以内に昇温させたものであって、前記反応液を前記基板に接触させることなく、前記光電変換半導体層表面に接触させ、前記反応液を循環させながら前記バッファ層の析出を行うことを特徴とするバッファ層の製造方法。 - 前記光電変換半導体層と前記反応液が接触するゾーンにおいて、前記光電変換半導体層が水平下向きであるときの前記光電変換半導体層の傾斜角を0度とした際に、傾斜角が5度〜90度以下の範囲で前記基板を傾斜させて前記バッファ層の析出を行うことを特徴とする請求項1記載のバッファ層の製造方法。
- 前記循環する反応液の一部を排出し、新しい反応液を連続的に供給することを特徴とする請求項1または2記載のバッファ層の製造方法。
- 前記反応液の液循環速度が、10ml/分〜500ml/分であることを特徴とする請求項1、2または3記載のバッファ層の製造方法。
- 前記反応液が、Cd、Zn、Sn、Inの中から選ばれる少なくとも1種の金属と硫黄源とを含むことを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載のバッファ層の製造方法。
- 前記バッファ層の形成後に該バッファ層に対して、150℃〜220℃の温度で5分〜90分加熱する加熱処理を行うことを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載のバッファ層の製造方法。
- 基板上に形成された光電変換半導体層にCBD法によりバッファ層を形成するバッファ層製造装置であって、
前記バッファ層を形成する反応液を蓄えることができ、該反応液を前記基板に接触させることなく、前記光電変換半導体層表面に接触可能なように基板を保持する保持部材を有する反応槽と、
前記反応槽に反応液を供給する反応液供給流路と、
前記反応槽から前記反応液を排出し、前記反応槽に再度供給するための循環流路と、
該循環流路に設けられた前記反応槽内の反応液の温度を50℃/分〜100℃/分の速度で昇温可能な第一の加熱手段と
を有することを特徴とするバッファ層製造装置。 - 前記反応槽の反応液を加熱する第二の加熱手段をさらに備えてなることを特徴とする請求項7記載のバッファ層製造装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012176425A1 (ja) * | 2011-06-24 | 2012-12-27 | 富士フイルム株式会社 | 光電変換素子のバッファ層の製造方法および光電変換素子の製造方法 |
JP2013070032A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-04-18 | Fujifilm Corp | バッファ層の製造方法および光電変換素子の製造方法 |
KR101342960B1 (ko) * | 2012-06-19 | 2013-12-18 | 주식회사 디엠에스 | 씨비디 박막 제조장치 및 씨비디 박막제조장치에 의하여 제조된 태양전지 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07133102A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-23 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 金属カルコゲナイド膜の製造方法 |
JPH07240385A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Ebara Corp | イオウ化カドミウム膜の生成方法及び装置 |
JPH11264093A (ja) * | 1998-01-06 | 1999-09-28 | Canon Inc | 酸化亜鉛膜の製造方法と光起電力素子の製造方法と半導体素子基板の製造方法 |
JP2002118068A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-19 | Honda Motor Co Ltd | Cbd成膜方法 |
JP2002184709A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-06-28 | Canon Inc | 半導体薄膜の製造方法及びその製造装置 |
JP2005136110A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Kyocera Corp | 太陽電池素子の製造装置 |
JP2008510310A (ja) * | 2004-08-18 | 2008-04-03 | ハーン−マイトネル−インスチツート ベルリン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半導体基板、特に黄銅鉱薄膜太陽電池の吸収層上に硫化亜鉛バッファ層を化学浴析出により施与する方法 |
JP2009259938A (ja) * | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Honda Motor Co Ltd | カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法およびその装置 |
-
2010
- 2010-01-29 JP JP2010017612A patent/JP2011159648A/ja not_active Abandoned
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07133102A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-23 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 金属カルコゲナイド膜の製造方法 |
JPH07240385A (ja) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Ebara Corp | イオウ化カドミウム膜の生成方法及び装置 |
JPH11264093A (ja) * | 1998-01-06 | 1999-09-28 | Canon Inc | 酸化亜鉛膜の製造方法と光起電力素子の製造方法と半導体素子基板の製造方法 |
JP2002184709A (ja) * | 2000-10-02 | 2002-06-28 | Canon Inc | 半導体薄膜の製造方法及びその製造装置 |
JP2002118068A (ja) * | 2000-10-12 | 2002-04-19 | Honda Motor Co Ltd | Cbd成膜方法 |
JP2005136110A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Kyocera Corp | 太陽電池素子の製造装置 |
JP2008510310A (ja) * | 2004-08-18 | 2008-04-03 | ハーン−マイトネル−インスチツート ベルリン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半導体基板、特に黄銅鉱薄膜太陽電池の吸収層上に硫化亜鉛バッファ層を化学浴析出により施与する方法 |
JP2009259938A (ja) * | 2008-04-15 | 2009-11-05 | Honda Motor Co Ltd | カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法およびその装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6013028002; Kevin M. McPeak and Jason B. Baxter: 'ZnO Nanowires Grown by Chemical Bath Deposition in a ContinuousFlow Microreactor' Crystal Growth & Design Vol. 9, 20090817, p.4538-4545 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012176425A1 (ja) * | 2011-06-24 | 2012-12-27 | 富士フイルム株式会社 | 光電変換素子のバッファ層の製造方法および光電変換素子の製造方法 |
JP2013070032A (ja) * | 2011-09-05 | 2013-04-18 | Fujifilm Corp | バッファ層の製造方法および光電変換素子の製造方法 |
KR101342960B1 (ko) * | 2012-06-19 | 2013-12-18 | 주식회사 디엠에스 | 씨비디 박막 제조장치 및 씨비디 박막제조장치에 의하여 제조된 태양전지 |
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