JP2013062449A - カルコパイライト型太陽電池の製造方法 - Google Patents
カルコパイライト型太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013062449A JP2013062449A JP2011201251A JP2011201251A JP2013062449A JP 2013062449 A JP2013062449 A JP 2013062449A JP 2011201251 A JP2011201251 A JP 2011201251A JP 2011201251 A JP2011201251 A JP 2011201251A JP 2013062449 A JP2013062449 A JP 2013062449A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- processing furnace
- layer
- solar cell
- light absorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】ガラス基板上に裏面電極、プリカーサ層がこの順序で形成された積層物66の所定数を、熱処理装置30を構成する処理炉32内の石英ボート64にセットする。その後、処理炉32を密閉状態とするとともに、該処理炉32の外方に配置される耐圧容器34を密閉状態とする。処理炉32にH2Se及び不活性ガスを供給して該処理炉32内の圧力を大気圧〜1000kPaの範囲内に制御するとともに、耐圧容器34内に不活性ガスを供給する。好ましくは、該耐圧容器34内の圧力を処理炉32内の圧力に比して大きくするとともに、互いの差を20〜100kPaの範囲内とする。この状態で、ヒータ70によって処理炉32内を加熱する。
【選択図】図2
Description
少なくとも、電極と、前記光吸収層の前駆体であるプリカーサ層とを基板上に形成した積層物を得る工程と、
前記積層物を処理炉に収容する工程と、
前記処理炉内にセレン化水素又は硫化水素を供給するとともに前記処理炉内の圧力を大気圧〜1000kPaとし、前記プリカーサ層とセレン化水素又は硫化水素とを反応させて前記プリカーサ層をカルコパイライト型化合物に変化させることによって、前記プリカーサ層から前記光吸収層を形成する工程と、
を有することを特徴とする。
14…裏面電極 16…光吸収層
18…バッファ層 20…透明電極
30…熱処理装置 32…処理炉
34…耐圧容器 44、46、80…供給ライン
48、82…排出ライン 50、54、84…流量計
52、56、60、86、90…自動開閉バルブ
58、88…自動圧力変換器 62、92…ポンプ
64…石英ボート 66…積層物
70…ヒータ 94…除害設備
96…スクラバー
Claims (4)
- カルコパイライト型化合物からなる光吸収層を有するカルコパイライト型太陽電池の製造方法であって、
少なくとも、電極と、前記光吸収層の前駆体であるプリカーサ層とを基板上に形成した積層物を得る工程と、
前記積層物を処理炉に収容する工程と、
前記処理炉内にセレン化水素又は硫化水素を供給するとともに前記処理炉内の圧力を大気圧〜1000kPaとし、前記プリカーサ層とセレン化水素又は硫化水素とを反応させて前記プリカーサ層をカルコパイライト型化合物に変化させることによって、前記プリカーサ層から前記光吸収層を形成する工程と、
を有することを特徴とするカルコパイライト型太陽電池の製造方法。 - 請求項1記載の製造方法において、前記処理炉内の圧力を500〜900kPaに設定することを特徴とするカルコパイライト型太陽電池の製造方法。
- 請求項1又は2記載の製造方法において、前記処理炉を耐圧容器に収容するとともに、前記処理炉内の圧力を、前記耐圧容器内の圧力に比して小さく設定することを特徴とするカルコパイライト型太陽電池の製造方法。
- 請求項3記載の製造方法において、前記耐圧容器内の圧力と前記処理炉内の圧力との差を20〜100kPaとすることを特徴とするカルコパイライト型太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011201251A JP5658112B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011201251A JP5658112B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013062449A true JP2013062449A (ja) | 2013-04-04 |
JP5658112B2 JP5658112B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=48186844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011201251A Expired - Fee Related JP5658112B2 (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5658112B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9941434B2 (en) | 2014-09-22 | 2018-04-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photoelectric conversion device, solar cell and method for manufacturing photoelectric conversion device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02135725A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-24 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
JP2004047917A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Honda Motor Co Ltd | 薄膜太陽電池およびその製造方法 |
JP2009540537A (ja) * | 2006-02-23 | 2009-11-19 | デューレン、イェルーン カー.イェー. ファン | 金属間マイクロフレーク粒子による高処理能力の半導体前駆体層印刷 |
WO2010094048A2 (en) * | 2009-02-15 | 2010-08-19 | Jacob Woodruff | Solar cell absorber layer formed from equilibrium precursor(s) |
WO2011028957A2 (en) * | 2009-09-02 | 2011-03-10 | Brent Bollman | Methods and devices for processing a precursor layer in a group via environment |
-
2011
- 2011-09-15 JP JP2011201251A patent/JP5658112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02135725A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-24 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜形成装置 |
JP2004047917A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Honda Motor Co Ltd | 薄膜太陽電池およびその製造方法 |
JP2009540537A (ja) * | 2006-02-23 | 2009-11-19 | デューレン、イェルーン カー.イェー. ファン | 金属間マイクロフレーク粒子による高処理能力の半導体前駆体層印刷 |
WO2010094048A2 (en) * | 2009-02-15 | 2010-08-19 | Jacob Woodruff | Solar cell absorber layer formed from equilibrium precursor(s) |
WO2011028957A2 (en) * | 2009-09-02 | 2011-03-10 | Brent Bollman | Methods and devices for processing a precursor layer in a group via environment |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9941434B2 (en) | 2014-09-22 | 2018-04-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Photoelectric conversion device, solar cell and method for manufacturing photoelectric conversion device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5658112B2 (ja) | 2015-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9054267B2 (en) | Method of manufacturing light absorbing layer for solar cell using selenization process under element selenium vapor ambience and thermal treatment apparatus for manufacturing light absorbing layer | |
TWI413269B (zh) | 用以將先質層轉變為光伏打吸收器之方法及設備 | |
US8828479B2 (en) | Process for producing light absorbing layer for chalcopyrite type thin-film solar cell | |
JP4471855B2 (ja) | カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法 | |
JP4680183B2 (ja) | カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法 | |
KR101157201B1 (ko) | Cigs층 형성장치 | |
US9433966B2 (en) | Method and system of chemical bath deposition | |
JP2008078619A (ja) | 半導体薄膜の製造方法、半導体薄膜の製造装置、光電変換素子の製造方法及び光電変換素子 | |
JP5694384B2 (ja) | 多層体を処理するための配列、システム、および方法 | |
CN103460405A (zh) | 一种在卷对卷过程中制备薄膜型太阳能电池吸收层的组合式反应器 | |
JP2006196771A (ja) | カルコパイライト型薄膜太陽電池及びその製造方法 | |
JP2011171605A (ja) | カルコパイライト膜の製造方法 | |
Khalkar et al. | Effects of sulfurization pressure on the conversion efficiency of cosputtered Cu2ZnSnS4 thin film solar cells | |
JP5658112B2 (ja) | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 | |
KR101284704B1 (ko) | 박막형 태양전지 제조용 열처리 장치, 열처리 방법 및 이를 이용한 박막형 태양전지 제조 방법 | |
KR20140062510A (ko) | 화학욕 석출 장치, 버퍼 층의 제조 방법 및 광전 변환 소자의 제조 방법 | |
JP6026356B2 (ja) | 成膜装置 | |
KR20100074383A (ko) | 태양전지의 제조에서 기판 상에 물질층을 형성하기 위한 장치 | |
US11735446B2 (en) | Enhanced selenium supply in copper indium gallium selenide processes | |
JP2013105910A (ja) | 処理炉 | |
CN103887364B (zh) | 太阳电池吸收层的制备方法及其热处理设备 | |
JP2013051281A (ja) | 基板処理装置 | |
Skarp | High throughput ALD production systems for cadmium free CIGS and enhanced efficiency c-Si solar cells | |
Oliveri et al. | CuInSe 2/Zn (S, O, OH) junction on Mo foil by electrochemical and chemical route for photovoltaic applications | |
CN104916735B (zh) | 用于监控制造太阳能电池的工艺的清洗组件和方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140909 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5658112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |