JP5656372B2 - 液体材料容器、液体材料供給装置、及び、液体材料の供給方法 - Google Patents
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図4に示すように、液体材料供給装置100は、容器101と、容器101に充填された液体材料102に浸るように設置された液体材料供給用の配管103と、容器101の上方に設置された加圧用ガス供給用の配管104とを備えており、配管104から容器101内に加圧用ガスを導入することにより液面が加圧され、液体材料102が配管103を介してCVD装置等の消費設備105に供給される。
(1) 所定量の液体材料が充填される充填容器と、
上記充填容器内の気層を加圧する加圧用ガスが導入される加圧用ガス導入配管と、
上記充填容器内の液体材料を外部へ供給する配管Laと
を備え、
上記配管Laは、下端が上記充填容器内の液体材料の液層内に浸され、上端が閉塞する配管L1と、上記配管L1の上端にその一部が挿入されて接続され、上記配管L1の内径よりも外径が小さい配管L2を有し、
上記充填容器内に上記加圧用ガス導入配管を介して加圧用ガスを導入することにより、上記配管Laを介して液体材料を供給することを可能とすることを特徴とする液体材料容器。
(2)上記(1)の液体材料容器であって、
上記配管L2の上記配管L1への挿入長さ(挿入量)が、上記配管L1の長さの5〜10%であることを特徴とする。
(3) 上記(1)又は(2)の液体材料容器であって、
上記配管L1の下端から上記充填容器の底までの距離は、上記配管L1の下端での液体材料の流速が、上記配管L1内を通過する液体材料の流速よりも遅くなるように設計されていることを特徴とする。
式(A):((1/2×D) 2 ×π)<(D×π×H)
(4) 上記(1)〜(3)のいずれか1に記載の液体材料容器から液体材料を供給する液体材料供給装置であって、
上記液体材料容器は、さらに、上記加圧用ガス導入配管から分岐し、上記配管L2の下端よりも上側において、上記配管L1に接続された配管Lbと、上記配管Lb上に設けられた開閉弁Vaと、上記配管Laの上端に設けられた継手部とを備えており、
上記制御部は、常時には、上記開閉弁Vaを閉状態とし、上記継手部からの液体材料の漏洩が発生した場合には、上記開閉弁Vaを開状態にして、上記配管L1内の気圧と上記容器内の圧力を等圧にし、上記配管L1内の液面を降下させることを特徴とする。
(5) 所定量の液体材料が充填される充填容器と、上記充填容器内の気層を加圧する加圧用ガスが導入される加圧用ガス導入配管と、下端が上記充填容器内の液体材料の液層内に浸され、上端が閉塞する配管L1、及び、上記配管L1の内径よりも外径が小さく、上記配管L1の上端からその一部が挿入されて接続された配管L2を有する配管Laと、上記加圧用ガス導入配管から分岐し、上記配管L2の下端よりも上側において、上記配管L1に接続された配管Lbと、上記加圧用ガス導入配管と上記配管Lbの間に設けられた開閉弁Vaと、上記配管Laの上端に設けられた継手部とを備えた液体材料容器からの液体材料の供給方法であって、
常時には、上記開閉弁Vaを閉状態とした状態で上記充填容器内を加圧し、上記継手部を介して液体材料を供給し、上記供給時に、上記継手部からの液体材料の漏洩が発生した場合には、上記開閉弁Vaを開状態にして、上記配管L1内の気圧と上記容器内の圧力を等圧にし、上記配管L1内の液面を降下させることを特徴とする。
図1は、本実施形態に係る液体材料供給装置の基本的な構成を模式的に示す概略図である。
本実施形態に係る液体材料供給装置10が備える液体材料容器12は、所定量の液体材料が充填される充填容器1と、充填容器1内の気層1bを加圧する加圧用ガスが導入される加圧用ガス導入配管L3(以下、「配管L3」ともいう)と、充填容器1内の液体材料を外部へ供給する配管Laと、加圧用ガス導入配管L3から分岐し、配管Laに接続されたバイパス配管Lb(以下、「配管Lb」ともいう)と、配管Lbにおける加圧用ガス導入配管L3側の一端に設けられた開閉弁Vaと、配管Laの上端に設けられた継手部5と、継手部5近傍に設けられたセンサ6とを備える。配管Laは、下端が充填容器1内の液体材料の液層1a内に浸され上端が閉塞する配管L1と、配管L1の上端にその一部が挿入され、且つ、配管L1の内径よりも外径が小さい配管L2とから構成されている。バイパス配管Lbは、配管L2の下端よりも上側において配管L1に接続されている。また、液体材料供給装置10は、制御部(図示せず)を備えており、開閉弁の作動やセンサの動作等を制御する。
このように、空間1dを有した状態で液体材料が供給されるため、この空間1dがクッションとなり、液体材料供給開始時のウォーターハンマーを抑制することができ、開閉弁、継手、その他の部材(例えば、圧力計)が破損することを低減することができる。
式(A):((1/2×D)2×π)<(D×π×H)
1a 液層
1b 気層
1c 液面
1d 空間
5 継手部
6 センサ
10 液体材料供給装置
12 液体材料容器
La、Lb、L1、L2、L3、L4、 配管
Va、V1、V2、V3、V4 開閉弁
P 圧力センサ
Claims (4)
- 所定量の液体材料が充填される充填容器と、
前記充填容器内の気層を加圧する加圧用ガスが導入される加圧用ガス導入配管と、
前記充填容器内の液体材料を外部へ供給する配管Laと
を備え、
前記配管Laは、下端が前記充填容器内の液体材料の液層内に浸され、上端が閉塞する配管L1と、前記配管L1の上端にその一部が挿入されて接続され、前記配管L1の内径よりも外径が小さい配管L2を有し、
前記配管L1の下端から前記充填容器の底までの距離Hが、前記配管L1の内径Dに対して下式(A)を満たすとともに、
式(A):((1/2×D) 2 ×π)<(D×π×H)
前記充填容器内に前記加圧用ガス導入配管を介して加圧用ガスを導入することにより、前記配管Laを介して液体材料を供給することを可能とすることを特徴とする液体材料容器。 - 前記加圧用ガスが導入され、前記配管La内の液面が前記配管L1の上端に挿入された配管L2の下端よりも上側まで到達すると、前記配管L2の下端と前記配管L1内上側の間であって前記配管L2の外径側に、空間1dが形成されることを特徴とする請求項1に記載の液体材料容器。
- 少なくとも制御部を備え、請求項1または2記載の液体材料容器から液体材料を供給する液体材料供給装置であって、
前記液体材料容器は、さらに、前記加圧用ガス導入配管から分岐し、前記配管L2の下端よりも上側において、前記配管L1に接続された配管Lbと、前記配管Lb上に設けられた開閉弁Vaと、前記配管Laの上端に設けられた継手部とを備えており、
前記制御部は、常時には、前記開閉弁Vaを閉状態とし、前記継手部からの液体材料の漏洩が発生した場合には、前記開閉弁Vaを開状態にして、前記配管L1内の気圧と前記容器内の圧力を等圧にし、前記配管L1内の液面を降下させることを特徴とする液体材料供給装置。 - 所定量の液体材料が充填される充填容器と、前記充填容器内の気層を加圧する加圧用ガスが導入される加圧用ガス導入配管と、下端が前記充填容器内の液体材料の液層内に浸され、上端が閉塞する配管L1、及び、前記配管L1の内径よりも外径が小さく、前記配管L1の上端からその一部が挿入されて接続された配管L2を有する配管Laと、前記加圧用ガス導入配管から分岐し、前記配管L2の下端よりも上側において、前記配管L1に接続された配管Lbと、前記加圧用ガス導入配管と前記配管Lbの間に設けられた開閉弁Vaと、前記配管Laの上端に設けられた継手部とを備えた液体材料容器からの液体材料の供給方法であって、
常時には、前記開閉弁Vaを閉状態とした状態で前記充填容器内を加圧し、前記継手部を介して液体材料を供給し、前記継手部からの液体材料の漏洩が発生した場合には、前記開閉弁Vaを開状態にして、前記配管L1内の気圧と前記容器内の圧力を等圧にし、前記配管L2内の液面を降下させることを特徴とする液体材料の供給方法。
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