JP2006313857A - ゲル状物質の処理方法、および処理装置 - Google Patents
ゲル状物質の処理方法、および処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006313857A JP2006313857A JP2005136472A JP2005136472A JP2006313857A JP 2006313857 A JP2006313857 A JP 2006313857A JP 2005136472 A JP2005136472 A JP 2005136472A JP 2005136472 A JP2005136472 A JP 2005136472A JP 2006313857 A JP2006313857 A JP 2006313857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substance
- gel
- layer
- inert
- specific gravity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体製造装置1と除害装置2とを連結する排気配管4の途中4Aには、ライン23を介してゲル状物質21を一時的に貯めておくトラップ22が設けられている。また、トラップ22の他端側には、処理装置20が接続されている。処理装置20の混合反応槽33には、ゲル状物質21とは反応しない不活性物質層28と、ゲル状物質21と反応して固体生成物30として安定化させる水層29との二層が備えられている。
【選択図】 図7
Description
IC用シリコンウェハは、チュコラルスキー法(引き上げ法)を用いて製造されている。近年では、そのインゴットの径は、直径300mmに達する大径のものとなっている。インゴットが製造されると、それは薄くスライスされ、表面が鏡面状に加工された後、様々な半導体デバイスの加工基板として使用される。
エピタキシャル成長のために供給されたガスは、その全てが反応容器内で消費されるわけではない。ガスの一部である塩素(Cl)、水素(H)、シリコン(Si)は、成長温度あるいは反応容器内の雰囲気温度によって、さまざまな中間化合物となり、その多くが反応容器から排ガスとして排出される。この排ガスは、毒性・腐食性を備えているため、大気に放出される前に、吸着・湿式(中和)・燃焼等の除害処理を施さなくてはならない(特開2001−25633)。このため反応容器は、排気配管を介して、除害装置と連結されている。排ガスのうち、比較的低い沸点を持つものは、反応容器から排気配管を通じ、気体のまま除害装置に到達する。しかし、高い沸点を持つ排ガスは、反応容器と除害装置とを結ぶ排気配管の内部で液化し、排気配管の内部表面に堆積してしまう。
本発明は、上記した問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、排気配管内に堆積するゲル状物質を安全に除去するための処理方法、およびその処理装置を提供することにある。
「半導体製造装置」とは、CVD法を応用して、シリコンウェハの表面にエピタキシャル層を形成させる装置を意味している。特に、半導体製造装置が枚葉炉の場合には、本発明の効果が大きいものとなる。
「排気配管」とは、半導体製造装置と除害装置との間を連結し、半導体製造装置から排出される排ガスを除害装置に導くために設けられた配管を意味している。
「排ガス」とは、エピタキシャル成長のために半導体製造装置に供給されたガスのうち、エピタキシャル層を形成するために関与しなかったガス、あるいはそれらのガスの中間化合物などを含み、半導体製造装置から排出されたガスを意味している。この排ガスには複数の成分が含まれており、沸点の低い成分は、液化することなく気体状態のまま、排気配管を通じて除害装置に到達する。一方、沸点の高い成分は、排気配管の内部で液化し、ゲル状物質となってしまう。
「側管」とは、排気配管のどこかにおいて、半導体製造措置から除害装置までの主たる配管(排気配管)とは異なる場所にゲル状物質を導く管を意味している。側管を設ける位置は、特には限られず、排気配管のいずれの位置でもよいが、特にゲル状物質の堆積が考慮される位置であることが好ましい。また、側管の個数は、一つには限られず、二つ以上の複数でもよい。
「水層」とは、ゲル状物質と反応して、安定な固体生成物を形成できる程度の大量の水を供えた層を意味している。水そのものを水層として用いることができるし、水に適当な添加物を溶解したものを水層として用いることもできる。
「固体生成物」とは、ゲル状物質と水層の水とが反応して形成されたシリカを意味している。
第1の発明において、不活性物質層を形成する不活性物質が、水層の比重およびゲル状物質の比重よりも大きい比重を備えたフッ素系不活性液体であることが好ましい。このような構成とすれば、側管を通ったゲル状物質は、下層の不活性物質層を通過し、上方の水層との境界面に到達する。ここでゲル状物質は、水と反応して、シリカを形成し、固体生成物として安定化する。このとき固体生成物は、多孔状となるため比重が小さくなり、水層の表面に至るので、後の処理が容易となる。この場合には、固体生成物を水層表面よりも下方に留めおく構成を備えることが好ましい。
本発明によれば、ゲル状物質は導入孔を通り、不活性物質層を通過した後に、水層に到達する。ここで、ゲル状物質は水層の水と反応し、シリカを形成して固体生成物となり、安定化する。
図4に示す処理装置には、貯留空間を備えた混合反応槽6の内部に、水層7と不活性物質層8(例えば、フッ素系不活性液体)との二層が設けられている。この構成では、不活性物質層8の比重は、水層7の比重よりも大きいので、水層7が上層に、不活性物質層8が下層に位置している。不活性物質層8にゲル状物質9を導入可能な導入孔10は、導入ライン11の先端に設けられている。なお、導入ライン11の他端側に記載した矢印Aは、ゲル状物質9の導入方向を示している。この構成では、導入孔10から導入されたゲル状物質9は、不活性物質層8を通過し、水層7との境界面に達し、大量の水と反応することで、安定した固体生成物12となり、安定化する。固体生成物12の比重は、水層7の比重よりも軽いことから、水層7の上部に浮上してくる。
図7〜図9には、本発明の一実施形態を示した。まず、図7を参照しつつ、ゲル状物質の処理装置20の全体構成について説明する。
なお、図7には概略を示したが、これを実機として構成したものが、図8および図9である。各図において、同一の構成には、同一の符号を付して説明を省略する。
上記のように構成された処理装置20の作動状況を説明すると、次のようである。
まず、ゲル状物質21をトラップ22に流入させるに先立ち、トラップ22の内部空間を窒素ガスで置換しておく。ゲル状物質21は、空気と接触すると、その空気に含まれる僅かな水分と反応するおそれがあるからである。
流入弁24を閉止し、導入弁26を開放した状態で、吹き出し弁25を開放し、ガスライン31から窒素ガスを流入させる。十分な流入時間を経過した後、導入弁26および吹き出し弁25を閉止する。
次に、半導体製造装置1および除害装置2を駆動させつつ、配管部分4Aにおいて、ゲル状物質21をトラップ22に貯める。このときには、流入弁24を開放し、吹き出し弁25および導入弁26を閉止しておく。半導体製造装置1から排出された排ガスの一部は、排気配管4の内部でゲル状物質21に変化する。このゲル状物質21は、側管であるライン23を通じて、トラップ22に貯められる。通常の運転時には、この状態で、トラップ22にゲル状物質21を貯留しておけばよい。なお、ゲル状物質21は、配管部分4Aからトラップ22に排出されるので、従来問題であったゲル状物質21による排気配管4の詰まりは解消される。
トラップ22に所定量のゲル状物質21が貯まったら、流入弁24を閉止し、導入弁26を開放する。ここで、吹き出し弁25を開放することで、ガスライン31から窒素ガスを吹き込む。すると、ガス圧により、トラップ22内のゲル状物質21が、処理装置20の導入孔27から不活性物質層28に導入される。不活性物質層28に導入されたゲル状物質21は、不活性物質層28の内部を上昇して、水層29と不活性物質層28との境界面に至る。ここで、ゲル状物質21が水と反応することで、固体生成物30となって安定化する。この固体生成物30は、多孔質であること、および導入孔27から導入される窒素ガスの泡(バブリング)によって、水層29における区画部材34の内部を上昇し、水層29の表面に至る。なお、区画部材34の外部を水が下方に移動し、水層29の全体として円滑な対流が確保される。
なお、本実施形態において、ライン23は一つであったが、実際の現場においては、複数の半導体製造装置1において、排気配管4の一部4Aにライン23を接続し、複数のライン23から一つのトラップ22にゲル状物質21を貯める構成とすることもできる。
また、本実施形態においては、ゲル状物質21をトラップ22に貯めた後に、処理装置20に導入する構成としたが、本発明によれば、トラップを設けることなく、排気配管からゲル状物質を処理装置に導入する構成とすることもできる。
図10には、その他の実施形態を示した。排気配管4の途中において、ゲル状物質21が貯まりやすい部分4Aに、吸引用のライン50を接続する。このライン50の他端は、トラップ51に接続されている。トラップ51には、吸引用のポンプ52が接続されている。トラップ51の上方には、窒素ガスを吹き込むためのガスライン53が接続されており、トラップ51の下方からは、ゲル状物質21を処理装置20の導入するための導入ライン54が設けられている。また、各ライン50、53、54の途中には、それぞれ流入弁55、吹き出し弁56、および導入弁57が設けられている。
4…排気配管
4A…排気配管においてゲル状物質が生じやすい部分
6,33…混合反応槽
7,29…水層
8,13,14,28…不活性物質層
9,21…ゲル状物質
10,27…導入孔
12,30…固体生成物
20…ゲル状物質の処理装置
23…ライン(側管)
33…ネット(浮上阻止物)
Claims (6)
- 半導体製造装置と除害装置とを連結する排気配管の内部において、前記半導体製造装置から排出された排ガスが液化したゲル状物質を前記排気配管に連結された側管に導き、そのゲル状物質を不活性物質層を通過させた後に、水層に導くことで、水と反応させ、固体生成物を形成させることを特徴とするゲル状物質の処理方法。
- 不活性物質層を形成する不活性物質が、水層の比重およびゲル状物質の比重よりも大きい比重を備えたフッ素系不活性液体であることを特徴とする請求項1に記載のゲル状物質の処理方法。
- 不活性物質層を形成する不活性物質が、水層の比重およびゲル状物質の比重よりも小さい比重を備えた不活性油であることを特徴とする請求項1に記載のゲル状物質の処理方法。
- 半導体製造装置から排出された排ガスが液化したゲル状物質と反応することで前記ゲル状物質を固体生成物として安定化させる水層と、この水層とは異なる比重を備えると共に前記ゲル状物質とは反応しない不活性物質層との二層を備え、この二層を貯留可能な混合反応槽と、前記ゲル状物質を前記不活性物質層に導入可能な導入孔とを備えたことを特徴とするゲル状物質の処理装置。
- 不活性物質層を形成する不活性物質が、水層の比重およびゲル状物質の比重よりも大きい比重を備えたフッ素系不活性液体であることを特徴とする請求項4に記載のゲル状物質の処理装置。
- 不活性物質層を形成する不活性物質が、水層の比重およびゲル状物質の比重よりも小さい比重を備えた不活性油であることを特徴とする請求項4に記載のゲル状物質の処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005136472A JP4527595B2 (ja) | 2005-05-09 | 2005-05-09 | ゲル状物質の処理方法、および処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005136472A JP4527595B2 (ja) | 2005-05-09 | 2005-05-09 | ゲル状物質の処理方法、および処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006313857A true JP2006313857A (ja) | 2006-11-16 |
JP4527595B2 JP4527595B2 (ja) | 2010-08-18 |
Family
ID=37535216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005136472A Expired - Fee Related JP4527595B2 (ja) | 2005-05-09 | 2005-05-09 | ゲル状物質の処理方法、および処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4527595B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011142257A (ja) * | 2010-01-08 | 2011-07-21 | Sumco Corp | エピタキシャルウェーハの製造装置 |
JP2016167513A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 株式会社東芝 | 処理システムの運転方法および処理システム |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01242103A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Sharp Corp | ベーパの回収方法 |
JPH09276650A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-28 | Nec Corp | 排ガスの処理方法 |
JPH11302852A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-02 | Sanken Electric Co Ltd | ガス処理装置 |
JP2001025633A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 排ガスの除害方法および除害装置 |
JP2002336648A (ja) * | 2001-05-17 | 2002-11-26 | Toyo Denka Kogyo Co Ltd | 高温酸性ガス固定化剤 |
JP2004111788A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2005259932A (ja) * | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
-
2005
- 2005-05-09 JP JP2005136472A patent/JP4527595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01242103A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Sharp Corp | ベーパの回収方法 |
JPH09276650A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-28 | Nec Corp | 排ガスの処理方法 |
JPH11302852A (ja) * | 1998-04-17 | 1999-11-02 | Sanken Electric Co Ltd | ガス処理装置 |
JP2001025633A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 排ガスの除害方法および除害装置 |
JP2002336648A (ja) * | 2001-05-17 | 2002-11-26 | Toyo Denka Kogyo Co Ltd | 高温酸性ガス固定化剤 |
JP2004111788A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2005259932A (ja) * | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011142257A (ja) * | 2010-01-08 | 2011-07-21 | Sumco Corp | エピタキシャルウェーハの製造装置 |
JP2016167513A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 株式会社東芝 | 処理システムの運転方法および処理システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4527595B2 (ja) | 2010-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102356451B (zh) | 处理装置 | |
JP4423914B2 (ja) | 処理装置及びその使用方法 | |
TWI502630B (zh) | 熱處理裝置 | |
JP2009021611A5 (ja) | ||
JP2008060536A (ja) | 高流量のGaCl3供給 | |
KR102074668B1 (ko) | 기판 처리 장치, 석영 반응관, 클리닝 방법 및 프로그램 | |
KR20120074207A (ko) | 텅스텐막 또는 산화 텅스텐막 상으로의 산화 실리콘막의 성막 방법 및 성막 장치 | |
KR20130029011A (ko) | 배기 트랩 | |
JP5289048B2 (ja) | 反応ガスを反応チャンバに導入するデバイス、および前記デバイスを使用するエピタキシャル反応炉 | |
JP2006303414A (ja) | 基板処理システム | |
JP4594820B2 (ja) | ハイドライド気相成長装置、iii族窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP2008283126A (ja) | 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法及び薄膜形成装置 | |
US10253427B2 (en) | Epitaxial growth apparatus and method of manufacturing a semiconductor device | |
JP4527595B2 (ja) | ゲル状物質の処理方法、および処理装置 | |
JP6785809B2 (ja) | 処理容器内の部材をクリーニングする方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
TW201402888A (zh) | 氣體供給裝置及熱處理裝置 | |
JP2005277302A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN103597583B (zh) | 半导体制造装置部件的清洗方法、半导体制造装置部件的清洗装置及气相生长装置 | |
JP4714534B2 (ja) | 排ガスの処理方法、およびその処理装置 | |
JP6749287B2 (ja) | 処理システム | |
JP4537101B2 (ja) | 液体材料供給装置、液体材料供給装置のための制御方法 | |
JP2009088308A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5297661B2 (ja) | 気相成長装置 | |
JP2006194558A (ja) | 加熱炉 | |
JP2004095940A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100309 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100603 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |