JP5649605B2 - スピントランジスタおよびメモリ - Google Patents
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Description
第1実施形態によるスピントランジスタを図1に示す。図1は、本実施形態のスピントランジスタの構造を示す断面図である。
第2実施形態のスピントランジスタについて説明する。この第2実施形態においては、第2電極30に注目する。
第3実施形態によるスピントランジスタについて説明する。この第3実施形態のスピントランジスタは、図1に示すように、離間して設けられたp+領域12およびn+領域14と、p+領域12とn+領域14との間に設けられたi(intrinsic)領域16とを備えている半導体層10に形成される。半導体p+領域12上に強磁性層を含む第1電極20が設けられ、n+領域14上に強磁性層を含む第2電極30が設けられる。また、i領域16上にゲート40が設けられる。そして本実施形態においては、p+領域12の半導体として、Γ点近傍に価電子帯の頂点を有する半導体(例えばSi、Ge、GaAs、InGaAs等)を用い、n+領域14の半導体としてΓ点近傍に伝導帯の底を有する半導体(例えばGaAs、InGaAs等)を用いる。また、強磁性層24、34と半導体層10との間に形成されるトンネルバリア層22、32としては半導体層10にエピタキシャルに形成されたもの(例えばMgO等)を用いる。
第4実施形態によるスピントランジスタを図7に示す。この第4実施形態のスピントランジスタ1Cは、縦型スピントランジスタであり、下部電極50上に強磁性層34、トンネルバリア層32、n+層14、i層16、p+層12、トンネルバリア層22、および強磁性層24がこの順序で積層された積層膜52が設けられている。そして、この積層膜52の側面には、少なくともi層16の側面を覆うようにゲート絶縁膜42が設けられ、このゲート絶縁膜42に対して積層膜52の側面と反対側にゲート電極44が設けられている。また、強磁性層24上に上部電極54が設けられている。なお、積層膜52の積層順序は、逆であってもよい。すなわち、下部電極50上に強磁性層24、トンネルバリア層22、p+層12、i層16、n+層14、トンネルバリア層32、および強磁性層34がこの順序で積層されていてもよい。そして、ゲート電極44と、下部電極50はゲート絶縁膜42によって電気的に絶縁されている。なお、ゲート絶縁膜42の代わりに他の絶縁膜を用いて絶縁してもよい。
まず、上記実施形態において、半導体層10として、n型およびp型シリコン基板を用いることができ、さらに、Ge、SixGe1−x(0<x<1)や、III−V族やII−VI族の化合物半導体や、SGOI(SiGe-On-Insulator)や、III−VOI(III−V-On-Insulator)や、磁性半導体などを用いることもできる。
強磁性層24、強磁性層34、強磁性層36の各層は一方向異方性を有することが望ましい。その膜厚は0.1nmから100nmが好ましい。さらに、これらの電極の膜厚は、超常磁性にならない程度の厚さが必要であり、0.4nm以上であることがより望ましい。その材料は、ホイスラー合金、例えばCo2FeAl1−xSixやCo2Mn1−xFexSiなどを用いることができる。
反強磁性層としては、Fe−Mn(鉄−マンガン)、Pt−Mn(白金−マンガン)、Pt−Cr−Mn(白金−クロム−マンガン)、Ni−Mn(ニッケル−マンガン)、Ir−Mn(イリジウム−マンガン)、NiO(酸化ニッケル)、Fe2O3(酸化鉄)などを用いることができる。
トンネルバリア層としては、Si、Ge、Al、Ga、Mg、Ti等の酸化物または窒化物や、SrTiO、NdGaOなどを用いることができる。
非磁性層としては、Cu、Cr、Au、Ag、Hf、Zr、Rh、Pt、Ir、Alから選ばれた少なくとも1種の元素を含むか、または、これらの合金、もしくは、Si、Ge、Al、Ga、Mg、Ti等の酸化物または窒化物や、SrTiO、NdGaO、または、SixGe1−x(0<x<1)や、III−V族やII−VI族の化合物半導体や、磁性半導体を用いることができる。
第5実施形態によるメモリについて図8を参照して説明する。図8は、第5実施形態のメモリを示す回路図である。この第5実施形態のメモリは、第1乃至第4実施形態のいずれかのスピントランジスタがメモリセルの記憶素子としてマトリクス状に配列された構成となっている。図8においては、第4実施形態のスピントランジスタ1Cをメモリセルとして用いた場合を例にとって説明する。
10 半導体層
12 p+領域
14 n+領域
16 i領域
20 第1電極
22 トンネルバリア層
24 強磁性層
25 反強磁性層
26 電極層
30 第2電極
32 トンネルバリア層
34 強磁性層
35 非磁性層
36 強磁性層
37 反強磁性層
38 電極層
40 ゲート
42 ゲート絶縁膜
44 ゲート電極
Claims (11)
- 離間して設けられたp+領域およびn+領域と、前記p+領域と前記n+領域との間に設けられたi領域とを備えている半導体層と、
前記p+領域上に設けられ第1強磁性層を含む第1電極と、
前記n+領域上に設けられ第2強磁性層を含む第2電極と、
前記i領域上に設けられたゲートと、
を備え、
読み出しの際、前記i領域がSiである場合には前記i領域の電界強度は3×105V/cm未満であり、前記i領域がGaAsである場合には前記i領域の電界強度は3×104V/cm未満であるスピントランジスタ。 - 前記第1強磁性層は、マイノリティースピンバンドのギャップの中央よりも高エネルギー側にフェルミ準位を有する請求項1記載のスピントランジスタ。
- 前記第2強磁性層は、マイノリティースピンバンドのギャップの中央よりも低エネルギー側にフェルミ準位を有する請求項1または2記載のスピントランジスタ。
- 前記p+領域の半導体は、価電子帯の頂点をΓ点付近に有する半導体を備える請求項1乃至3のいずれかに記載のスピントランジスタ。
- 前記n+領域の半導体は、伝導帯の底をΓ点付近に有する半導体を備える請求項1乃至4のいずれかに記載のスピントランジスタ。
- 前記第1強磁性層と前記p+領域との間、および前記第2強磁性層と前記n+領域との間の少なくとも一方にトンネルバリア層が設けられている請求項1乃至5のいずれかに記載のスピントランジスタ。
- 前記第1および第2強磁性層の少なくとも一方の上に反強磁性層をさらに備えている請求項1乃至6のいずれかに記載のスピントランジスタ。
- 前記第1および第2強磁性層の一方の上に設けられた非磁性層と、
前記非磁性層上に設けられた第3強磁性層と、
を備えている請求項1乃至6のいずれかに記載のスピントランジスタ。 - 前記第1強磁性層と前記第2強磁性層の一方は磁化が可変であり、他方は磁化が固定され、前記第3強磁性層は磁化が固定され、前記他方の強磁性層の磁化の方向と、前記第3強磁性層の磁化の方向は略反平行である請求項8記載のスピントランジスタ。
- 下部電極と、
下部電極上に設けられ、第1強磁性層、第1トンネルバリア層、n+層、i層、p+層、第2トンネルバリア層および第2強磁性層を有する積層膜と、
前記積層膜上に設けられた上部電極と、
前記i層の側部に少なくとも設けられたゲート電極と、
前記i層と前記ゲート電極との間に設けられたゲート絶縁膜と、
を備え、
読み出しの際、前記i層がSiである場合には前記i層の電界強度は3×105V/cm未満であり、前記i層がGaAsである場合には前記i層の電界強度は3×104V/cm未満であるスピントランジスタ。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載のスピントランジスタを記憶素子として備えるメモリ。
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