JP5647567B2 - 応力センサ - Google Patents
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Description
s1 XY平面センサ
s2 YZ平面センサ
s3 ZX平面センサ
1 (第1の)基板
2 (第2の)基板
3 (第3の)基板
1a,2a,3a 表面
1b,2b,3b 裏面
41,42,43,44 (第1の)センサエレメント
51,52 (第2の)センサエレメント
61,62,63,64 (第3の)センサエレメント
411,421 センサライン
d1 配線
b 絶縁層
8 絶縁材
Claims (17)
- 応力計測対象物中に埋設して用い、原点における応力を検出するための応力センサであって、
上記原点において相互に交わるXYZ軸を含むように設定された3次元領域において、
上記原点を含むXY平面内に、互いに異なる2方向にそれぞれ長手状に延びる一対の第1のセンサエレメントと、
上記原点を含むYZ平面内に、互いに異なる2方向にそれぞれ長手状に延びる一対の第2のセンサエレメントと、を含み、
上記一対の第1のセンサエレメントおよび上記一対の第2のセンサエレメントはいずれも、上記原点から延びていることを特徴とする、応力センサ。 - 上記第1のセンサエレメントおよび上記第2のセンサエレメントは、上記原点を中心とする放射方向に沿って延びるように形成されている、請求項1に記載の応力センサ。
- 上記XY平面に表面が位置するように配置された第1の基板と、
上記YZ平面に表面が位置するように配置された第2の基板と、を含み、
上記一対の第1のセンサエレメントは上記第1の基板の表面に形成され、上記一対の第2のセンサエレメントは上記第2の基板の表面に形成されている、請求項1または2に記載の応力センサ。 - 上記第1の基板の表面と反対側の上記第1の基板における裏面に形成されているとともに、上記XY平面視において、上記原点またはその近傍から、互いに異なる2方向にそれぞれ長手状に延びる一対の追加の第1のセンサエレメントをさらに含む、請求項3に記載の応力センサ。
- 上記第1のセンサエレメントは、この上記第1のセンサエレメントが延びる方向に沿って長手状に延びているとともに上記第1のセンサエレメントが延びる方向に交差する方向において互いに離間配置された複数のセンサラインをさらに含む、請求項1ないし4のいずれかに記載の応力センサ。
- 上記センサラインは、他の上記センサラインに積層されている、請求項5に記載の応力センサ。
- 複数の上記センサラインは互いに並列している、請求項5に記載の応力センサ。
- 上記第1の基板、および上記第2の基板をインサートしている絶縁材をさらに含む、請求項3ないし7のいずれかに記載の応力センサ。
- 上記X軸、上記Y軸、および上記Z軸は、互いに直交する、請求項1ないし8のいずれかに記載の応力センサ。
- 上記一対の第1のセンサエレメントは、上記X軸が等分するように90度の開角をもって配置され、
上記一対の第2のセンサエレメントは、上記Y軸が等分するように90度の開角をもって配置されている、請求項1ないし9のいずれかに記載の応力センサ。 - 上記原点を含むZX平面内に、互いに異なる2方向にそれぞれ長手状に延びる一対の第3のセンサエレメントをさらに含む、請求項1ないし10のいずれかに記載の応力センサ。
- 上記第3のセンサエレメントは、上記原点から延びるように形成されている、請求項9に記載の応力センサ。
- 上記第3のセンサエレメントは、上記原点を中心とする放射方向に沿って延びるように形成されている、請求項11に記載の応力センサ。
- 上記ZX平面に表面が位置するように配置された第3の基板を含み、
上記一対の第3のセンサエレメントは第3の基板の表面に形成されている、請求項11ないし13のいずれかに記載の応力センサ。 - 上記一対の第3のセンサエレメントは、上記Z軸が等分するように90度の開角をもって配置されている、請求項11ないし14のいずれかに記載の応力センサ。
- 上記一対の第1のセンサエレメント、上記一対の第2のセンサエレメント、および上記一対の第3のセンサエレメントは、いずれも、V字状をなしている、請求項11ないし15のいずれかに記載の応力センサ。
- 上記一対の第1のセンサエレメント、上記一対の第2のセンサエレメント、および上記一対の第3のセンサエレメントのいずれかは、上記原点を交点とするX字状をなしており、その余は、V字状をなしている、請求項11ないし15のいずれかに記載の応力センサ。
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