JP5646065B1 - 移動ステージ - Google Patents
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Abstract
Description
この移動ステージの移動体は金属で形成され、移動ステージが重いため、樹脂で軽量化することが試みられている。
請求項1記載の移動ステージによれば、第1のベ−ス側溝部の略半円部、又は、U字形状部、又は、略V字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に、弾性変形可能な第1の薄肉部を、
第2のベ−ス側溝部の略半円部、又は、U字形状部、又は、略V字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に、弾性変形可能な第2の薄肉部を、それぞれ形成し、
前記第1の薄肉部を前記第1の保持器の転動体に、前記第2の薄肉部を前記第2の保持器の転動体に、それぞれ当接させることにより、転動体の大きさを複数用意しなくても、予圧調整を行うことができ、また、ベース及び移動体を樹脂で成型するため、移動ステージの軽量化をも図ることができる。
1 ベース
2 移動体
2a 突出面
図1及び図4に示すSは、レ−ザ−加工、放電加工、半導体製造等の精密装置に使用される移動ステージで、移動ステージSは、概略的に、ベ−ス1と、このベース1に対向して設けられ、移動する移動体2とを備えている。移動体2は、移動手段3により移動するものである。
また、第1のベ−ス側溝部11の略半円部(又は、図示しないU字形状部、又は、図示しない略V字形状部、又は、図示しない2つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部)の移動体2に近い側の先端部には、弾性変形可能な第1の薄肉部11aが形成されている(図4及び図5参照)。
また、第2のベ−ス側溝部12の略半円部(又は、図示しないU字形状部、又は、図示しない略V字形状部、又は、図示しない2つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部)の移動体2に近い側の先端部には、第1の薄肉部11aと同様、弾性変形可能な第2の薄肉部12aが形成されている(図4及び図6参照)。
このように複数の突出面2a、2a、2a、2aの上面を平坦に形成したのは、移動体2を樹脂で成型した場合、取り付け面の平面度を移動体2の面全体で精度を出すものに比べ、寸法精度を出す部分が小さい分、精度を出し易く、移動体2を移動体2の平坦な複数の突出面2a、2a、2a、2aを介して他の部材に精度良く取り付けることができるようにするためである。
また、移動体2は、直線状に形成された第1の移動体側溝部21[転動体41を支持する第1の移動体側溝部21は、第1のベ−ス側溝部11と同様、例えば、断面形状が略半円部である。第1のベ−ス側溝部11は、断面形状が略半円部の他、U字形状部、又は、略V字形状部でも良いが、望ましくは、2つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部が良い。]と、この第1の移動体側溝部21に平行であって直線状に形成された第2の移動体側溝部22[転動体51を支持する第2の移動体側溝部22は、第2のベ−ス側溝部12と同様、例えば、断面形状が略半円部である。第1のベ−ス側溝部11は、断面形状が略半円部の他、U字形状部、又は、略V字形状部でも良いが、望ましくは、2つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部が良い。]とを設けている。
そして、図4に示すように、第1のベ−ス側溝部11が第1の移動体側溝部21に、第2のベ−ス側溝部21が第2の移動体側溝部22に、それぞれ対向するように、ベ−ス1と移動体2とを配置している。
また、第2のベ−ス側溝部12と第2の移動体側溝部21との間には、第2の保持器5が位置し、第2の保持器5は、第2のベ−ス側溝部12と第2の移動体側溝部22とに接触して転動する転動体51(例えば、図4に示すような球体のボ−ル等)を保持している。
そして、第1の薄肉部11aを第1の保持器4の転動体41に、第2の薄肉部12aを第2の保持器5の転動体51に、それぞれ当接させるようにしている(図4、図5及び図6参照)。
なお、従来、ベ−ス側溝部と転動体との隙間調整を転動体の大きさを変えることにより、予圧調整を行っており、そのため、転動体の大きさを複数用意しなければならないが、上述したように、第1の薄肉部11aを第1の保持器4の転動体41に、第2の薄肉部12aを第2の保持器5の転動体51に、それぞれ当接させることにより、転動体の大きさを複数用意しなくても、予圧調整を行うことができるようにすることができる。
具体的には、弾性部材6の一端をベ−ス1の立設部13に、弾性部材6の他端を移動体2の垂下部23にそれぞれ接続している。
なお、図7においては、垂下部23は、弾性部材6の接続状態を説明するために、ベ−ス1より立設するように描かれているが、垂下部23は、移動体2より垂下するように移動体2に設けた溝部24(図4参照)に取り付けられているものである。
また、図8に示す14は、内面に雌ネジ14aを有する受け部で、受け部14は、ベ−ス1に樹脂で一体成型されている。
このように、受け部14がベ−ス1に樹脂で一体成型されているため、移動ステージSを構成する部品点数の削減と移動ステージSの製造する工数の削減化を図ることができる。
また、図1及び図7に示す15は、ベ−ス1に接続された当接体で、当接体15は、図1に示す組み立てられた移動ステージSにおいては、弾性部材6の弾性力により移動体30の先端、つまり、雄ねじ30aの先端に当接するようにしている。
従って、移動体30の先端を当接体15に弾性部材6の弾性力により当接させ(図1参照)、移動手段3により移動部材30を弾性部材6に抗して移動させて、移動体2を適宜の位置に移動させることができる。
また、移動手段3により移動部材30の移動を逆にすると、移動部材30の移動に追随すると共に弾性部材6の弾性力により、移動体2を適宜の位置に移動させることができる。
Claims (2)
- ベースと、このベースに対向して設けられ、移動する移動体とを 備えた移動ステージであって、
前記移動体は、樹脂で成型され、前記移動体の面より同一の高さで突出する複数の突出面を有し、
前記複数の突出面は、平坦に形成され、
直線状に形成された第1のベ−ス側溝部と、この第1のベ−ス側溝部に平行であって直線状に形成された第2のベ−ス側溝部とを設けると共に、樹脂で成型されたベ−スと、 直線状に形成された第1の移動体側溝部と、この第1の移動体側溝部に平行であって直線状に形成された第2の移動体側溝部とを設けた移動体と、
前記第1のベ−ス側溝部と前記第1の移動体側溝部との間に位置し、前記第1のベ−ス側溝部と前記第1の移動体側溝部とに接触して転動する転動体を保持する第1の保持器と、
前記第2のベ−ス側溝部と前記第2の移動体側溝部との間に位置し、前記第2のベ−ス側溝部と前記第2の移動体側溝部とに接触して転動する転動体を保持する第2の保持器とを有し、
前記第1のベ−ス側溝部の略半円部、又は、U字形状部、又は、略V字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に、弾性変形可能な第1の薄肉部を、
前記第2のベ−ス側溝部の略半円部、又は、U字形状部、又は、略V字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に、弾性変形可能な第2の薄肉部を、それぞれ形成し、
前記第1の薄肉部を前記第1の保持器の転動体に、前記第2の薄肉部を前記第2の保持器の転動体に、それぞれ当接させる
ことを特徴とする移動ステージ。 - 一端をベ−スに、他端を移動体に、それぞれ接続した弾性部材と、
雌ネジを有する受け部と、
前記雌ネジに螺合する雄ねじを有する移動部材と、
前記移動部材の先端に当接すると共に、ベ−スに接続された当接体とを備え、
前記受け部が前記ベ−スに樹脂で一体成型されている
ことを特徴とする請求項1記載の移動ステージ。
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