WO2014125611A1 - 移動ステージ - Google Patents

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WO2014125611A1
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大石勝昭
大瀧元啓
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株式会社駿河生産プラットフォーム
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    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/04—Ball or roller bearings

Definitions

  • the present invention relates to a moving stage, and more particularly to a moving stage having a moving body molded of resin.
  • the upper surface of the movable body is a mounting surface with another member, and therefore, the mounting accuracy is required, that is, the entire upper surface of the resin molded movable body In order to obtain the accuracy of the flat surface, there is a problem that resin molding is difficult.
  • An object of the present invention is to provide a mobile stage made in consideration of the above-mentioned problems.
  • the moving stage according to claim 1 is a moving stage provided with a base and a moving body provided facing the base and moving, wherein the moving body is molded of resin, and the surface of the moving body It has a plurality of projecting surfaces that project at the same height, and the plurality of projecting surfaces are formed flat.
  • the first base side groove formed in a straight line and the first base side groove are parallel to each other.
  • a second base groove formed in a linear shape is provided, and a base molded with a resin, a first mobile groove formed in a linear shape, and the first movable body.
  • a movable body provided with a second movable body side groove portion formed in a straight line parallel to the side groove portion, and between the first base side groove portion and the first movable body side groove portion
  • a second movable body side groove portion and holds a rolling element rolling in contact with the second base side groove portion and the second movable body side groove portion.
  • the elastically deformable first thin-walled portion formed at the tip on the near side is a substantially semi-circular portion of the second base-side groove, a U-shaped portion, or a substantially V-shaped portion,
  • an elastically deformable second thin portion formed at the tip end of the gothic arc groove portion closer to the movable body is formed, and the first thin portion is used as a rolling element of the first cage. Further, the second thin portion is made to abut on the rolling elements of the second cage.
  • the moving stage according to claim 3 is the moving stage according to claim 1 or 2, wherein an elastic member whose one end is connected to the base and the other end is connected to the moving body, and a receiving member having a female screw And a moving member having an external thread screwed to the internal thread, and an abutting body that abuts on the end of the external thread and is connected to the base, and the receiving portion is made of resin on the base Are integrally molded.
  • the flatness of the mounting surface is moved when the moving body is molded with resin in order to form a plurality of projecting surfaces which project at the same height from the surface of the moving body.
  • the moving stage can be accurately attached to other members via multiple projecting faces of the moving member. it can.
  • preload adjustment is performed by adjusting the gap between the base groove and the rolling element by changing the size of the rolling element. Therefore, multiple sizes of the rolling element must be prepared.
  • An elastic deformation formed on a substantially semi-circular portion of the first base groove portion, a U-shaped portion, a substantially V-shaped portion, or a tip portion of the gothic arc groove portion closer to the movable body Possible first thin section
  • An elastic deformation formed on a substantially semi-circular portion of the second base groove portion, a U-shaped portion, a substantially V-shaped portion, or a tip end portion of the gothic arc groove portion closer to the movable body Forming possible second thin-walled portions respectively
  • the moving stage of the third aspect in addition to the effect of the invention according to the first aspect or the second aspect described above, since the receiving portion is integrally molded on the base by the resin, the moving stage is configured. It is possible to reduce the number of parts required and to reduce the number of man-hours for manufacturing the moving stage.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of a moving stage according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along line 2-2 of FIG.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along line 3-3 of FIG.
  • FIG. 4 is a schematic front view of the moving stage of FIG.
  • FIG. 5 is a schematic partial enlarged front view showing a part of FIG. 4 in an enlarged manner.
  • FIG. 6 is a schematic partial enlarged front view showing a part of FIG. 4 in an enlarged manner.
  • FIG. 7 is a schematic perspective view showing the base in a state where the movable body is removed from the moving stage of FIG.
  • FIG. 8 is a schematic partially exploded perspective view showing a part of FIG. 7 in an exploded manner.
  • FIG. 9 is a schematic partially exploded perspective view showing a part of the moving body of FIG. 8 in an exploded manner.
  • FIG. 1 and FIG. 4 are a moving stage used in a precision apparatus such as laser processing, electric discharge processing, semiconductor manufacturing, etc., and the moving stage S is roughly composed of a base 1 and this base A movable body 2 is provided opposite to 1 and is movable. The moving body 2 is moved by the moving means 3.
  • the base 1 is molded of resin, and the base 1 is formed of a first base groove 11 formed in a straight line [a first groove 11 for supporting the rolling element 41 is, for example,
  • the cross-sectional shape is a substantially semicircular portion.
  • the first base groove portion 11 may have a U-shaped portion or a substantially V-shaped portion in addition to the substantially semi-circular portion in cross-sectional shape, but preferably a gothic arc groove portion combining two arcs good.
  • a second base groove 12 formed in a straight line parallel to the first base groove 11 [a second base groove 12 for supporting the rolling element 51 is
  • the cross-sectional shape is a substantially semicircular portion.
  • the first base groove portion 11 may have a U-shaped portion or a substantially V-shaped portion in addition to the substantially semi-circular portion in cross-sectional shape, but preferably a gothic arc groove portion combining two arcs good. ] Is provided.
  • the first thin portion 11a which can be elastically deformed is formed at the tip of the side closer to the movable body 2 (see FIGS. 4 and 5).
  • a substantially semicircular portion (or a U-shaped portion (not shown), a substantially V-shaped portion (not shown), or a gothic arc groove portion combining two arcs (not shown)) of the second base-side groove 12 Similar to the first thin wall portion 11a, the second thin wall portion 12a which can be elastically deformed is formed at the tip end portion on the side close to the moving body 2 (see FIGS. 4 and 6).
  • the movable body 2 is molded with a resin, and as shown in FIGS. 1, 2 and 3, a plurality of projecting surfaces 2a, which project at the same height h from the surface of the movable body 2, It has 2a, 2a, 2a, and the upper surfaces of the plurality of projecting surfaces 2a, 2a, 2a, 2a are formed flat.
  • the moving body 2 is a first moving body groove 21 formed in a straight line [a first moving body groove 21 supporting the rolling element 41 is the same as the first base groove 11,
  • the cross-sectional shape is a substantially semicircular portion.
  • the first base groove portion 11 may have a U-shaped portion or a substantially V-shaped portion in addition to the substantially semi-circular portion in cross-sectional shape, but preferably a gothic arc groove portion combining two arcs good.
  • a second moving body side groove 22 parallel to the first moving body side groove 21 and formed in a straight line [a second moving body side groove 22 supporting the rolling element 51 is a second Similar to the base-side groove 12, the cross-sectional shape is, for example, a substantially semicircular portion.
  • the first base groove portion 11 may have a U-shaped portion or a substantially V-shaped portion in addition to the substantially semi-circular portion in cross-sectional shape, but preferably a gothic arc groove portion combining two arcs good. ] Is provided. Then, as shown in FIG. 4, the first base side groove 11 is in the first moving body side groove 21 and the second base side groove 21 is in the second moving body side groove 22.
  • the base 1 and the mobile unit 2 are disposed to face each other
  • first cage 4 is positioned between the first base groove 11 and the first movable groove 21, and the first cage 4 is a first base.
  • a rolling element 41 (for example, a ball of a sphere as shown in FIG. 4) which rolls in contact with the side groove portion 11 and the first moving body side groove portion 21 is held.
  • the second cage 5 is positioned between the second base groove 12 and the second movable groove 21, and the second cage 5 is a second base.
  • a rolling element 51 (for example, a ball of a sphere as shown in FIG. 4) that rolls in contact with the side groove 12 and the second moving body side groove 22 is held.
  • the first thin portion 11a is in contact with the rolling element 41 of the first cage 4 and the second thin portion 12a is in contact with the rolling element 51 of the second cage 5 (see FIG. 4, FIGS. 5 and 6).
  • preload adjustment is performed by changing the size of the rolling element for adjusting the clearance between the base groove and the rolling element, and therefore, it is necessary to prepare a plurality of sizes of the rolling element.
  • the first thin portion 11 a is in contact with the rolling element 41 of the first cage 4 and the second thin portion 12 a is in contact with the rolling element 51 of the second cage 5.
  • Preload adjustment can be performed without preparing a plurality of rolling element sizes.
  • An elastic member 6 is connected at one end of the elastic member 6 to the base 1 and at the other end of the elastic member 6 to the movable body 2. Specifically, one end of the elastic member 6 is connected to the standing portion 13 of the base 1 and the other end of the elastic member 6 is connected to the hanging portion 23 of the movable body 2.
  • the drooping portion 23 is drawn to stand from the base 1 in order to explain the connection state of the elastic member 6, but the drooping portion 23 is drooping from the moving body 2.
  • the groove 24 see FIG. 4
  • the receiving portion 14 is integrally molded on the base 1 with resin.
  • 15 is an abutting member connected to the base 1, and the abutting member 15 is the elastic force of the elastic member 6 in the assembled moving stage S shown in FIG.
  • the end of the moving body 30, that is, the end of the male screw 30a is abutted.
  • the moving means 3 described above can be performed, for example, by a moving body 30 having a male screw 30a that rotates in forward and reverse directions manually or by a motor (not shown).
  • An external thread 30 a of the moving member 30 is screwed into an internal thread 14 a provided on the inner wall of the receiving portion 14. Therefore, the distal end of the movable body 30 is brought into contact with the abutting body 15 by the elastic force of the elastic member 6 (see FIG. 1), and the movable member 30 is moved against the elastic member 6 by the moving means 3 2 can be moved to an appropriate position.
  • the moving body 2 can be moved to an appropriate position by the elastic force of the elastic member 6 while following the movement of the moving member 30.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

【課題】　本発明の目的は、樹脂で成型された移動体を有する移動ステージを提供するものである。 【解決手段】　移動ステージＳは、ベース１と、このベース１に対向して設けられ、移動する移動体２とを備えた移動ステージＳであって、移動体２は、樹脂で成型され、移動体２の面より同一の高さで突出する複数の突出面２ａ、２ａ、２ａ、２ａを有し、複数の突出面２ａ、２ａ、２ａ、２ａは、平坦に形成されているものである。

Description

移動ステージ
　　本発明は、移動ステージに係り、特に、樹脂で成型された移動体を有する移動ステージに関する。
　　従来、ベ－スに対して、移動する移動体を有した移動ステージがある（例えば、特許文献１参照）。
　　この移動ステージの移動体は金属で形成され、移動ステージが重いため、樹脂で軽量化することが試みられている。
特許第４４６３０３９号公報
　　ところが、移動ステージの移動体を樹脂で成型した場合、特に、移動体の上面は、他の部材との取り付け面となるため、取り付け精度が必要で、つまり、樹脂成型の移動体の上面を全体に亘って、平坦面の精度を出すことは、樹脂成型が困難であるという問題点が生じた。
　　本発明は、前記問題点を考慮したなされた移動ステージを提供することを目的とする。
　　請求項１記載の移動ステージは、ベースと、このベースに対向して設けられ、移動する移動体とを備えた移動ステージであって、前記移動体は、樹脂で成型され、前記移動体の面より同一の高さで突出する複数の突出面を有し、前記複数の突出面は、平坦に形成されているものである。
　　また、請求項２記載の移動ステージは、請求項１記載の移動ステージにおいて、直線状に形成された第１のベ－ス側溝部と、この第１のベ－ス側溝部に平行であって直線状に形成された第２のベ－ス側溝部とを設けると共に、樹脂で成型されたベ－スと、直線状に形成された第１の移動体側溝部と、この第１の移動体側溝部に平行であって直線状に形成された第２の移動体側溝部とを設けた移動体と、前記第１のベ－ス側溝部と前記第１の移動体側溝部との間に位置し、前記第１のベ－ス側溝部と前記第１の移動体側溝部とに接触して転動する転動体を保持する第１の保持器と、前記第２のベ－ス側溝部と前記第２の移動体側溝部との間に位置し、前記第２のベ－ス側溝部と前記第２の移動体側溝部とに接触して転動する転動体を保持する第２の保持器とを有し、前記第１のベ－ス側溝部の略半円部、又は、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に形成された弾性変形可能な第１の薄肉部を、前記第２のベ－ス側溝部の略半円部、又は、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に形成された弾性変形可能な第２の薄肉部を、それぞれ形成し、前記第１の薄肉部を前記第１の保持器の転動体に、前記第２の薄肉部を前記第２の保持器の転動体に、それぞれ当接させるものである。
　　また、請求項３記載の移動ステージは、請求項１又は請求項２記載の移動ステージにおいて、一端をベ－スに、他端を移動体に、それぞれ接続した弾性部材と、雌ネジを有する受け部と、前記雌ネジに螺合する雄ねじを有する移動部材と、前記雄ねじの先端に当接すると共に、ベ－スに接続された当接体とを備え、前記受け部が前記ベ－スに樹脂で一体成型されているものである。
　　請求項１記載の移動ステージによれば、移動体の面より同一の高さで突出する複数の突出面を平坦に形成するため、移動体を樹脂で成型した場合、取り付け面の平面度を移動体の面全体で精度を出すものに比べ、寸法精度を出す部分が小さい分、精度を出し易く、移動ステージを移動体の平坦な複数の突出面を介して他の部材に精度良く取り付けることができる。
　　従来、ベ－ス側溝部と転動体との隙間調整を転動体の大きさを変えることにより、予圧調整を行っており、そのため、転動体の大きさを複数用意しなければならないが、
　　請求項２記載の移動ステージによれば、前述した請求項１記載の発明の効果に加え、
　　第１のベ－ス側溝部の略半円部、又は、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に形成された弾性変形可能な第１の薄肉部を、
　　第２のベ－ス側溝部の略半円部、又は、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に形成された弾性変形可能な第２の薄肉部を、それぞれ形成し、
　　前記第１の薄肉部を前記第１の保持器の転動体に、前記第２の薄肉部を前記第２の保持器の転動体に、それぞれ当接させることにより、転動体の大きさを複数用意しなくても、予圧調整を行うことができ、また、ベース及び移動体を樹脂で成型するため、移動ステージの軽量化をも図ることができる。
　　また、請求項３記載の移動ステージによれば、前述した請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加え、受け部がベ－スに樹脂で一体成型されているため、移動ステージを構成する部品点数の削減と移動ステージを製造する工数の削減化を図ることができる。
図１は、本発明の一実施例の移動ステージの概略的斜視図である。 図２は、図１の２－２線による概略的断面図である。 図３は、図１の３－３線による概略的断面図である。 図４は、図１の移動ステージの概略的正面図である。 図５は、図４の一部を拡大して示す概略的一部拡大正面図である。 図６は、図４の一部を拡大して示す概略的一部拡大正面図である。 図７は、図１の移動ステージから移動体を取り除いた状態のベースを示す概略的斜視図である。 図８は、図７の一部を分解して示す概略的一部分解斜視図である。 図９は、図８の移動体の一部を分解して示す概略的一部分解斜視図である。
　　　Ｓ　　　移動ステージ
　　　１　　　ベース
　　　２　　　移動体
　　　２ａ　　突出面
　　本発明の一実施例の移動ステージを図面（図１乃至図９）を参照して説明する。　
　　図１及び図４に示すＳは、レ－ザ－加工、放電加工、半導体製造等の精密装置に使用される移動ステージで、移動ステージＳは、概略的に、ベ－ス１と、このベース１に対向して設けられ、移動する移動体２とを備えている。移動体２は、移動手段３により移動するものである。
　　ベ－ス１は樹脂で成型され、ベ－ス１は、直線状に形成された第１のベ－ス側溝部１１［転動体４１を支持する第１のベ－ス側溝部１１は、例えば、断面形状が略半円部である。第１のベ－ス側溝部１１は、断面形状が略半円部の他、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部でも良いが、望ましくは、２つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部が良い。］と、この第１のベ－ス側溝部１１に平行であって直線状に形成された第２のベ－ス側溝部１２［転動体５１を支持する第２のベ－ス側溝部１２は、例えば、断面形状が略半円部である。第１のベ－ス側溝部１１は、断面形状が略半円部の他、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部でも良いが、望ましくは、２つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部が良い。］とを設けている。
　　また、第１のベ－ス側溝部１１の略半円部（又は、図示しないＵ字形状部、又は、図示しない略Ｖ字形状部、又は、図示しない２つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部）の移動体２に近い側の先端部には、弾性変形可能な第１の薄肉部１１ａが形成されている（図４及び図５参照）。
　　また、第２のベ－ス側溝部１２の略半円部（又は、図示しないＵ字形状部、又は、図示しない略Ｖ字形状部、又は、図示しない２つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部）の移動体２に近い側の先端部には、第１の薄肉部１１ａと同様、弾性変形可能な第２の薄肉部１２ａが形成されている（図４及び図６参照）。
　　移動体２は、ベ－ス１と同様、樹脂で成型され、図１、図２及び図３に示すように、移動体２の面より同一の高さｈで突出する複数の突出面２ａ、２ａ、２ａ、２ａを有し、複数の突出面２ａ、２ａ、２ａ、２ａの上面は、平坦に形成されている。
　　このように複数の突出面２ａ、２ａ、２ａ、２ａの上面を平坦に形成したのは、移動体２を樹脂で成型した場合、取り付け面の平面度を移動体２の面全体で精度を出すものに比べ、寸法精度を出す部分が小さい分、精度を出し易く、移動体２を移動体２の平坦な複数の突出面２ａ、２ａ、２ａ、２ａを介して他の部材に精度良く取り付けることができるようにするためである。
　　また、移動体２は、直線状に形成された第１の移動体側溝部２１［転動体４１を支持する第１の移動体側溝部２１は、第１のベ－ス側溝部１１と同様、例えば、断面形状が略半円部である。第１のベ－ス側溝部１１は、断面形状が略半円部の他、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部でも良いが、望ましくは、２つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部が良い。］と、この第１の移動体側溝部２１に平行であって直線状に形成された第２の移動体側溝部２２［転動体５１を支持する第２の移動体側溝部２２は、第２のベ－ス側溝部１２と同様、例えば、断面形状が略半円部である。第１のベ－ス側溝部１１は、断面形状が略半円部の他、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部でも良いが、望ましくは、２つの円弧を組み合わせたゴシックアーク溝部が良い。］とを設けている。
　　そして、図４に示すように、第１のベ－ス側溝部１１が第１の移動体側溝部２１に、第２のベ－ス側溝部２１が第２の移動体側溝部２２に、それぞれ対向するように、ベ－ス１と移動体２とを配置している。
　　また、第１のベ－ス側溝部１１と第１の移動体側溝部２１との間には、第１の保持器４が位置し、第１の保持器４は、第１のベ－ス側溝部１１と第１の移動体側溝部２１とに接触して転動する転動体４１（例えば、図４に示すような球体のボ－ル等）を保持している。
　　また、第２のベ－ス側溝部１２と第２の移動体側溝部２１との間には、第２の保持器５が位置し、第２の保持器５は、第２のベ－ス側溝部１２と第２の移動体側溝部２２とに接触して転動する転動体５１（例えば、図４に示すような球体のボ－ル等）を保持している。
　　そして、第１の薄肉部１１ａを第１の保持器４の転動体４１に、第２の薄肉部１２ａを第２の保持器５の転動体５１に、それぞれ当接させるようにしている（図４、図５及び図６参照）。
　　なお、従来、ベ－ス側溝部と転動体との隙間調整を転動体の大きさを変えることにより、予圧調整を行っており、そのため、転動体の大きさを複数用意しなければならないが、上述したように、第１の薄肉部１１ａを第１の保持器４の転動体４１に、第２の薄肉部１２ａを第２の保持器５の転動体５１に、それぞれ当接させることにより、転動体の大きさを複数用意しなくても、予圧調整を行うことができるようにすることができる。
　　６は弾性部材で、弾性部材６の一端をベ－ス１に、弾性部材６の他端を移動体２に、それぞれ接続している。
　　具体的には、弾性部材６の一端をベ－ス１の立設部１３に、弾性部材６の他端を移動体２の垂下部２３にそれぞれ接続している。
　　なお、図７においては、垂下部２３は、弾性部材６の接続状態を説明するために、ベ－ス１より立設するように描かれているが、垂下部２３は、移動体２より垂下するように移動体２に設けた溝部２４（図４参照）に取り付けられているものである。
　　また、図８に示す１４は、内面に雌ネジ１４ａを有する受け部で、受け部１４は、ベ－ス１に樹脂で一体成型されている。
　　このように、受け部１４がベ－ス１に樹脂で一体成型されているため、移動ステージＳを構成する部品点数の削減と移動ステージＳの製造する工数の削減化を図ることができる。
　　また、図１及び図７に示す１５は、ベ－ス１に接続された当接体で、当接体１５は、図１に示す組み立てられた移動ステージＳにおいては、弾性部材６の弾性力により移動体３０の先端、つまり、雄ねじ３０ａの先端に当接するようにしている。
　　上述した移動手段３は、例えば、手動、又は、図示しないモーターにより、正逆に回転ずる雄ねじ３０ａを有する移動体３０により行うことができる。移動部材３０の雄ねじ３０ａは、受け部１４の内壁に設けた雌ネジ１４ａに螺合している。
　　従って、移動体３０の先端を当接体１５に弾性部材６の弾性力により当接させ（図１参照）、移動手段３により移動部材３０を弾性部材６に抗して移動させて、移動体２を適宜の位置に移動させることができる。
　　また、移動手段３により移動部材３０の移動を逆にすると、移動部材３０の移動に追随すると共に弾性部材６の弾性力により、移動体２を適宜の位置に移動させることができる。

Claims (3)

  1. 　　ベースと、このベースに対向して設けられ、移動する移動体とを備えた移動ステージであって、
    　　前記移動体は、樹脂で成型され、前記移動体の面より同一の高さで突出する複数の突出面を有し、
    　　前記複数の突出面は、平坦に形成されている
    　　ことを特徴とする移動ステージ。
  2. 　　直線状に形成された第１のベ－ス側溝部と、この第１のベ－ス側溝部に平行であって直線状に形成された第２のベ－ス側溝部とを設けると共に、樹脂で成型されたベ－スと、
    　　直線状に形成された第１の移動体側溝部と、この第１の移動体側溝部に平行であって直線状に形成された第２の移動体側溝部とを設けた移動体と、
    　　前記第１のベ－ス側溝部と前記第１の移動体側溝部との間に位置し、前記第１のベ－ス側溝部と前記第１の移動体側溝部とに接触して転動する転動体を保持する第１の保持器と、
    　　前記第２のベ－ス側溝部と前記第２の移動体側溝部との間に位置し、前記第２のベ－ス側溝部と前記第２の移動体側溝部とに接触して転動する転動体を保持する第２の保持器とを有し、
    　　前記第１のベ－ス側溝部の略半円部、又は、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に形成された弾性変形可能な第１の薄肉部を、
    　　前記第２のベ－ス側溝部の略半円部、又は、Ｕ字形状部、又は、略Ｖ字形状部、又は、ゴシックアーク溝部の前記移動体に近い側の先端部に形成された弾性変形可能な第２の薄肉部を、それぞれ形成し、
    　　前記第１の薄肉部を前記第１の保持器の転動体に、前記第２の薄肉部を前記第２の保持器の転動体に、それぞれ当接させる
    　　ことを特徴とする請求項１記載の移動ステージ。
  3. 　　一端をベ－スに、他端を移動体に、それぞれ接続した弾性部材と、
    　　雌ネジを有する受け部と、
    　　前記雌ネジに螺合する雄ねじを有する移動部材と、
    　　前記雄ねじの先端に当接すると共に、ベ－スに接続された当接体とを備え、
    　　前記受け部が前記ベ－スに樹脂で一体成型されている
    　　ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の移動ステージ。
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