JP5635514B2 - N−アシル−β−ラクタム誘導体、高分子化合物およびフォトレジスト組成物 - Google Patents
N−アシル−β−ラクタム誘導体、高分子化合物およびフォトレジスト組成物 Download PDFInfo
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Description
フォトレジスト組成物は、露光光源に対する感度、微細な寸法のパターンを再現できる解像性などのリソグラフィー特性が求められるため、酸解離性官能基を有する高分子化合物と、放射線の照射(以下、「露光」と称する。)により酸を発生する化合物(以下、「光酸発生剤」と称する。)とからなる化学増幅型レジスト組成物が用いられている。酸解離性官能基を有する高分子化合物は、アルカリ可溶性高分子化合物のアルカリ易溶性部位の一部を適当な酸解離性官能基で保護した構造が基本となっており、かかる酸解離性官能基の選択は、フォトレジスト組成物としての機能を調整する上で非常に重要となっている。
そこで、本発明の目的は、LWRが改善されて高解像度のレジストパターンが形成されるフォトレジスト組成物を得ることができる新規化合物、該新規化合物を少なくとも原料の1つとして重合することにより得られる高分子化合物、および該高分子化合物を含有するフォトレジスト組成物を提供することにある。
[1]下記一般式(1)
R2、R3、R4およびR5は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数3〜10の環状炭化水素基または炭素数2〜6のアシルオキシ基を表す。但し、
1)R2とR3、R4とR5は、連結して、任意の位置に酸素原子を有していてもよい置換もしくは無置換の環形成原子数3〜10の環を形成してもよく、
2)R3とR4は、連結して、任意の位置に酸素原子を有していてもよい置換もしくは無置換の環形成原子数4〜10の環を形成してもよく、また、
3)R2、R3、R4およびR5の全てが同時に水素原子であることはない。)
で示されるN−アシル−β−ラクタム誘導体。
で示される、上記[1]に記載のN−アシル−β−ラクタム誘導体。
で示される、上記[1]に記載のN−アシル−β−ラクタム誘導体。
で示される、上記[1]に記載のN−アシル−β−ラクタム誘導体。
[5]上記[1]〜[4]のいずれかに記載のN−アシル−β−ラクタム誘導体を重合してなる高分子化合物。
[6]上記[5]に記載の高分子化合物、光酸発生剤および溶剤を含有するフォトレジスト組成物。
酸拡散長を短く制御するフォトレジスト組成物を得るためには、下記一般式(1)で示されるN−アシル−β−ラクタム誘導体(以下、N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)と称する。)が有用である。
Wは、炭素数1〜10のアルキレン基または炭素数4〜10のシクロアルキレン基を表す。
Wが表す炭素数1〜10のアルキレン基としては、例えばメチレン基、エタン−1,1−ジイル基、エタン−1,2−ジイル基、プロパン−1,1−ジイル基、プロパン−1,2−ジイル基、プロパン−1,3−ジイル基、ペンタン−1,5−ジイル基、ヘキサン−1,1−ジイル基等が挙げられる。これらの中でも、酸拡散長を短く制御したフォトレジスト組成物を得る観点から、メチレン基、エタン−1,1−ジイル基が好ましい。また、Wが表す炭素数4〜10のシクロアルキレン基としては、例えばシクロヘキサン−1,2−ジイル基、シクロヘキサン−1,4−ジイル基、シクロデカン−1,5−ジイル基などが挙げられる。
nは、0または1を表し、酸拡散長を短く制御したフォトレジスト組成物を得る観点から、0が好ましい。
1)R2とR3、R4とR5は、連結して、任意の位置に酸素原子を有していてもよい置換もしくは無置換の環形成原子数3〜10の環を形成してもよく、
2)R3とR4は、連結して、任意の位置に酸素原子を有していてもよい置換もしくは無置換の環形成原子数4〜10の環を形成してもよく、また、
3)R2、R3、R4およびR5の全てが同時に水素原子であることはない。
R2、R3、R4およびR5がそれぞれ独立して表す炭素数1〜5のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、s−ペンチル基、t−ペンチル基などが挙げられる。
R2、R3、R4およびR5がそれぞれ独立して表す炭素数3〜10の環状炭化水素基としては、例えばシクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、1−アダマンチル基、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−1−イル基などが挙げられる。
R2、R3、R4およびR5がそれぞれ独立して表すアシルオキシ基としては、例えばアセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基などが挙げられる。
R3とR4が連結して形成していてもよい、任意の位置に酸素原子を有していてもよい環形成原子数4〜10の環としては、例えばシクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン環、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン環、テトラヒドロフラン環およびテトラヒドロピラン環などが挙げられる。該環は置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、シアノ基、ニトロ基などが挙げられる。
また、Z1は、βラクタム上の2つの炭素原子とともに形成する環を表し、該環を形成する原子数は3〜10である。該環としては、脂肪族環や、該脂肪族環の任意の炭素原子が酸素原子に変換されたエーテル環が挙げられる。脂肪族環としては、例えばシクロプロパン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン環、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン環などが挙げられる。また、エーテル環としては、例えばテトラヒドロフラン環、テトラヒドロピラン環などが挙げられる。該環状構造は置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えばメチル基、エチル基などの炭素数1〜10(好ましくは1〜5)のアルキル基;アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基などの炭素数2〜10(好ましくは2〜6)のアシルオキシ基;シアノ基;ニトロ基などが挙げられる。
Z1としては、酸拡散長を短く制御したフォトレジスト組成物を得る観点から、シクロペンタン環、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン環が好ましい。
また、Z2は、βラクタム上の炭素原子とともに形成する脂肪族環を表し、該脂肪族環を形成する炭素数は3〜10である。脂肪族環としては、例えばシクロプロパン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン環、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン環、アダマンタン環などが挙げられる。該環状構造は置換基を有していてもよく、該置換基としては、例えばメチル基、エチル基などの炭素数1〜10(好ましくは1〜5)のアルキル基;アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基などの炭素数2〜10(好ましくは2〜6)のアシルオキシ基;シアノ基;ニトロ基などが挙げられる。
また、RAは、炭素数1〜5のアルキル基または炭素数3〜10の環状炭化水素基を表す。炭素数1〜5のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、s−ペンチル基、t−ペンチル基などが挙げられる。炭素数3〜10の環状炭化水素基としては、例えばシクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、アダマンチル基、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−1−イル基、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル基などの環状脂肪族炭化水素基が挙げられ、炭素数4〜6の環状炭化水素基が好ましい。なお、RAとしては、酸拡散長を短く制御したフォトレジスト組成物を得る観点から、メチル基が好ましい。
N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)の製造方法に特に制限は無いが、例えば下記工程で製造することができる。
重合性基導入工程−Aでは、上記N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)と式 CH2=CR1COX1(式中、R1は前記定義の通りである。X1は、塩素原子、臭素原子、またはヨウ素原子を表す。)、式 (CH2=CR1CO)2O(式中、R1は前記定義の通りである。)、式 CH2=CR1COOC(=O)R6(式中、R1は前記定義の通りである。R6は、t−ブチル基または2,4,6−トリクロロフェニル基を表す。)または式 CH2=CR1COOSO2R7(式中、R1は前記定義の通りである。R7は、メチル基またはp−トリル基を表す。)で示される化合物(以下、これらの化合物を「重合性基導入剤A」と称する。)を、塩基性物質の存在下に反応させる。
重合性基導入工程−B1では、上記N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)と式 X2−W−COX3(式中、Wは前記の通りである。X2およびX3は、それぞれ独立して、塩素原子、臭素原子、またはヨウ素原子を表す。)、式 (X2−W−CO)2O(式中、X2およびWは前記定義の通りである。)、式 X2−W−COOC(=O)R8(式中、X2およびWは前記定義の通りである。R8は、t−ブチル基または2,4,6−トリクロロフェニル基を表す。)または式 X2−W−COOSO2R9(式中、X2およびWは前記定義の通りである。R9は、メチル基またはp−トリル基を表す。)で示される化合物(以下、これらの化合物を「連結基導入剤B1」と称する。)を、塩基性物質の存在下に反応させる。
次いで重合性基導入工程−B2として、式 CH2=CR1COOM(式中、R1は前記定義の通りである。Mは、ナトリウム原子またはカリウム原子を表す。)で示される化合物(以下、この化合物を「重合性基導入剤B2」と称する。)と反応させる。
以下、重合性基導入工程−Aおよび重合性基導入工程−Bについて順に説明する。
重合性基導入工程−Aで使用する重合性基導入剤Aの内、式 CH2=CR1COX1で示される化合物としては、例えばアクリル酸クロリド、メタクリル酸クロリドなどが挙げられる。式 (CH2=CR1CO)2Oで示される化合物としては、例えば無水アクリル酸、無水メタクリル酸などが挙げられる。式 CH2=CR1COOC(=O)R6で示される化合物としては、例えばアクリル酸ピバリン酸無水物、アクリル酸2,4,6−トリクロロ安息香酸無水物、メタクリル酸ピバリン酸無水物、メタクリル酸2,4,6−トリクロロ安息香酸無水物などが挙げられる。式 CH2=CR1COOSO2R7で示される化合物としては、例えばアクリル酸メタンスルホン酸無水物、アクリル酸p−トルエンスルホン酸無水物、メタクリル酸メタンスルホン酸無水物、メタクリル酸p−トルエンスルホン酸無水物などが挙げられる。
重合性基導入剤Aの使用量に特に制限は無いが、経済性および後処理の容易さの観点から、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1モルに対して0.8〜5モルであることが好ましく、0.8〜3モルであることがより好ましい。
塩基性物質の使用量に特に制限は無いが、経済性および後処理の容易さの観点から、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1モルに対して0.8〜5モルであることが好ましく、0.8〜3モルであることがより好ましい。
該溶媒としては、反応を阻害しなければ特に制限はなく、例えばヘキサン、ヘプタン、オクタンなどの脂肪族炭化水素;トルエン、キシレン、シメンなどの芳香族炭化水素;塩化メチレン、ジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素;テトラヒドロフラン、ジイソプロピルエーテルなどのエーテル;アセトニトリル、ベンズニトリルなどのニトリルなどが好ましく挙げられる。これらの中でも、ハロゲン化炭化水素、芳香族炭化水素、ニトリルが好ましい。溶媒は、1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。
溶媒を使用する場合、その使用量は、経済性および後処理の容易さの観点から、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1質量部に対して0.1〜10質量部であることが好ましく、0.1〜5質量部であることがより好ましい。
また、重合性基導入工程−Aは、N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)の収率の観点から、窒素、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気下に実施することが好ましい。
水またはアルコールの使用量は、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1モルに対して過剰の重合性基導入剤Aに対し、1モル以上の量を用いることが好ましい。この使用量であれば、過剰に用いた重合性基導入剤Aを完全に分解することができ、副生成物が生じない。
重合性基導入工程−Aにより製造し得るn=0のN−アシル−β−ラクタム誘導体(1)の具体例を以下に示すが、特にこれらに限定されるものではない。
次に重合性基導入工程−Bについて説明する。
−重合性基導入工程−B1−
重合性基導入工程−B1で使用する連結基導入剤B1のうち、式 X2−W−COX3で示される化合物としては、例えばクロロ酢酸クロリド、2−クロロプロピオン酸クロリド、2−ブロモ−2−メチルプロピオン酸ブロミドなどが挙げられる。式 X2−W−COOC(=O)R8で示される化合物としては、例えばクロロ酢酸ピバリン酸無水物、クロロ酢酸2,4,6−トリクロロ安息香酸無水物、2−クロロプロピオン酸ピバリン酸無水物、2−クロロプロピオン酸2,4,6−トリクロロ安息香酸無水物などが挙げられる。式 X2−W−COOSO2R9で示される化合物としては、例えばクロロ酢酸メタンスルホン酸無水物、クロロ酢酸p−トルエンスルホン酸無水物、2−クロロプロピオン酸メタンスルホン酸無水物、2−クロロプロピオン酸p−トルエンスルホン酸無水物などが挙げられる。式 (X2−W−CO)2Oで示される化合物としては、例えば無水クロロ酢酸、無水2−クロロプロピオン酸などが挙げられる。
連結基導入剤B1の使用量に特に制限は無いが、経済性および後処理の容易さの観点から、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1モルに対して0.8〜5モルであることが好ましく、0.8〜3モルであることがより好ましい。
塩基性物質の使用量に特に制限は無いが、経済性および後処理の容易さの観点から、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1モルに対して0.8〜5モルであることが好ましく、0.8〜3モルであることがより好ましい。
該溶媒としては、反応を阻害しなければ特に制限はなく、例えば重合性基導入工程−Aで使用し得る溶媒と同じものが挙げられる。溶媒は、1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。
溶媒を使用する場合、その使用量は、経済性および後処理の容易さの観点から、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1質量部に対して0.1〜10質量部であることが好ましく、0.1〜5質量部であることがより好ましい。
また、重合性基導入工程−B1は、目的化合物の収率の観点から、窒素、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気下に実施することが好ましい。
水またはアルコールの使用量は、N−ヒドロ−β−ラクタム誘導体(2)1モルに対して過剰の連結基導入剤B1に対し、1モル以上の量を用いることが好ましい。この使用量であれば、過剰の連結基導入剤B1を完全に分解でき、副生成物が生じない。
重合性基導入工程−B2で使用する重合性基導入剤B2としては、アクリル酸ナトリウム、アクリル酸カリウム、メタクリル酸ナトリウム、メタクリル酸カリウムが挙げられる。これらの調製方法としては、操作の簡便性の観点から、アクリル酸またはメタクリル酸と、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウムなどの塩基とを反応系内で反応させることによって調製する方法が好ましい。
重合性基導入剤B2の使用量は、経済性および後処理の容易さの観点から、重合性基導入工程−B1の生成物1モルに対して0.8〜5モルであることが好ましく、0.8〜3モルであることがより好ましい。
活性化剤を用いる場合、その使用量は、重合性基導入工程−B1の生成物1モルに対して0.001〜0.5モルであることが好ましく、後処理の容易さおよび経済性の観点から0.005〜0.3モルであることがより好ましい。
該溶媒としては、反応を阻害しなければ特に制限はなく、例えばヘキサン、ヘプタン、オクタンなどの脂肪族炭化水素;トルエン、キシレン、シメンなどの芳香族炭化水素;塩化メチレン、ジクロロエタンなどのハロゲン化炭化水素;テトラヒドロフラン、ジイソプロピルエーテルなどのエーテル;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンなどのアミドが挙げられる。溶媒は、1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。
溶媒を使用する場合、その使用量は、経済性および後処理の容易さの観点から、重合性基導入工程−B1の生成物1質量部に対して0.1〜10質量部であることが好ましく、0.1〜5質量部であることがより好ましい。
重合性基導入工程−Bにより製造し得るn=1のN−アシル−β−ラクタム誘導体(1)の具体例を以下に示すが、特にこれらに限定されるものではない。
例えば、重合性基導入工程−Aまたは重合性基導入工程−Bで得られた反応混合物を水洗した後、濃縮し、蒸留、カラムクロマトグラフィーまたは再結晶等、通常の有機化合物の分離精製に用いられる方法により分離精製することができる。
また、必要に応じて、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸等のキレート剤の添加後にろ過またはゼータプラス(商品名、キュノ株式会社製)やプロテゴ(製品名、日本マイクロリス株式会社製)などの金属除去フィルターで処理することにより、得られたN−アシル−β−ラクタム誘導体(1)中の金属含有量を低減することも可能である。
本発明の高分子化合物は、前記N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)を単独で重合してなるもの、またはN−アシル−β−ラクタム誘導体(1)と他の重合性化合物とを共重合してなるものである。ここで、前記「他の重合性化合物」は、後述する「他の構成単位」の由来となる化合物である。
本発明の高分子化合物は、N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)に基づく構成単位[以下、構成単位(1’)と称する。]を、0モル%を超え100モル%含有し、LWRの低減の観点からは、好ましくは10〜80モル%、より好ましくは20〜70モル%、さらに好ましくは20〜60モル%含有する。
構成単位(1’)の具体例を以下に示すが、特にこれらに限定されるものではない。
構成単位(a1)は、酸解離性溶解抑制基を有するアクリル酸エステルから誘導される構成単位である。酸解離性溶解抑制基とは、レジスト組成物としてレジストパターンを形成する際に、解離前は高分子化合物全体をアルカリ現像液に対して難溶とするアルカリ溶解抑制性を有するとともに、酸発生剤成分から露光により発生する酸により解離してこの高分子化合物全体のアルカリ現像液に対する溶解性を増大させるものである。
この様な構成単位(a1)としては、特に限定されるものではないが、例えば下記構造単位(a1−1)〜(a1−49)が挙げられる。
R11が示すハロゲン化された若しくはされていない炭素数1〜5のアルキル基としては、例えばメチル基、トリフルオロメチル基、エチル基、ペンタフルオロエチル基、各種プロピル基(「各種」は、直鎖およびあらゆる分岐鎖を含むことを示し、以下同様である。)、各種ブチル基などが挙げられる。なお、R11としては、水素原子、メチル基が好ましい。
R12およびR13がそれぞれ独立して示す炭素数1〜10のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、各種プロピル基、各種ブチル基、各種ヘキシル基、各種オクチル基、各種デシル基などが挙げられる。これらの中でも、炭素数1〜5のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。
上記構成単位(a1−1)〜(a1−49)の中でも、LWRの改善効果の観点からは、(a1−1)が好ましい。
高分子化合物が構成単位(a1)を有する場合、構成単位(a1)の割合は、特に制限されるものではないが、レジスト膜の感度、解像度、および基板への密着性の点から、本発明の高分子化合物を構成する全構成単位中、10〜80モル%であることが好ましく、さらに20〜70モル%であることが好ましい。この範囲内であると、レジスト組成物とした際に容易にパターンを得ることができ、他の構成単位とのバランスをとることができる。
構成単位(a2)は、ラクトン含有基を有するアクリル酸エステル類から誘導される構成単位である。ここで、ラクトン含有基とは、−O−C(O)−構造を含む1つのラクトン環を含有する基を示す。本明細書において、上記アクリル酸エステル類のエステル基について、環式化合物としてラクトン環のみを有するエステル基を「単環式基」と称し、さらに他の環式構造を有する場合は、その構造に関わらず「多環式基」と称する。
構成単位(a2)のラクトン含有基は、高分子化合物をレジスト膜の形成に用いた場合に、レジスト膜の基板への密着性を高めたり、水を含有する現像液との親和性を高めたりするうえで有効なものである。
ラクトン含有単環式基としては、例えばγ−ブチロラクトンから水素原子を1つ除いた基が挙げられる。ラクトン含有多環式基としては、例えばラクトン環を有するビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカンから水素原子を1つ除いた基が挙げられる。
構成単位(a2)のより具体的な例として、下記構成単位(a2−1)〜(a2−6)が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
R14が示すハロゲン化された若しくはされていない炭素数1〜5のアルキル基としては、前記R11の場合と同じものが挙げられる。それらの中でも、メチル基、エチル基、トリフルオロメチル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。
R15およびR16がそれぞれ独立して示す炭素数1〜5のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、各種プロピル基、各種ブチル基などが挙げられる。これらの中でも、メチル基、エチル基が好ましい。−COOR17としては、−COOCH3が好ましい。
なお、R15およびR16としては、工業上の入手容易性の観点から、いずれも水素原子である(つまり、上記構成単位において特別な置換基を有していない)ことが好ましい。
Wが示す炭素数1〜10のアルキレン基は直鎖状若しくは分岐鎖状のいずれでもよい。該アルキレン基としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基などが挙げられる。炭素数3〜10のシクロアルキレン基としては、シクロペンタン−ジイル基、シクロヘキサン−ジイル基などが挙げられる。
Aが示す炭素数1〜5のアルキレン基としては、例えばメチレン基、1,2−エチレン基、1,1−エチレン基、イソプロピレン基などが挙げられる。
以下に、上記構成単位(a2−1)〜(a2−6)の具体例を順に示すが、特にこれらに限定されるものではない。
構成単位(a2)としては、前記構成単位(a2−1)〜(a2−6)からなる群から選択される少なくとも1種以上からなることが好ましく、一般式(a2−1)〜(a2−3)から選択される少なくとも1種以上からなることが好ましい。より具体的には、構成単位(a2)としては、構成単位(a2−1−1)、(a2−1−2)、(a2−2−1)、(a2−2−2)、(a2−3−1)、(a2−3−2)、(a2−3−9)および(a2−3−10)からなる群から選択される少なくとも1種からなることが好ましい。
構成単位(a3)は、極性基含有脂肪族炭化水素基を有するアクリル酸エステル類から誘導される構成単位である。高分子化合物が構成単位(a3)を有することにより、高分子化合物の親水性が高まり、高分子化合物をポジ型レジスト組成物の基材成分に用いてポジレジストパターンを形成する際には、現像液(アルカリ水溶液)との親和性が高まって、露光部でのアルカリ溶解性が向上し、解像度の向上に寄与する。
極性基としては、例えば水酸基、シアノ基、カルボキシ基などが挙げられる。これらの中でも、水酸基が好ましい。極性基含有脂肪族炭化水素基が持つ極性基は1種であってもよいし、2種以上であってもよい。
構成単位(a3')は、水酸基含有脂環式炭化水素基を有するアクリル酸エステル類から誘導される構成単位である。「水酸基含有脂環式炭化水素基」とは、脂環式炭化水素基に水酸基が結合している基である。水酸基は、脂肪族環に直接結合していてもよく、例えばヒドロキシアルキルオキシ基として間接的に結合していてもよい。
ヒドロキシアルキルオキシ基におけるアルキル基は、直鎖状または分岐鎖状であることが好ましい。該アルキル基の炭素数は、2〜5が好ましく、2〜4がより好ましく、2または3であることがさらに好ましい。ヒドロキシアルキルオキシ基における水酸基数は、1〜4が好ましく、1〜3がより好ましく、1または2であることがさらに好ましい。当該水酸基は、第一級水酸基または第二級水酸基であることがより好ましく、第一級水酸基であることがさらに好ましい。
ヒドロキシアルキルオキシ基としては、モノヒドロキシアルキルオキシ基、ジヒドロキシアルキルオキシ基が好ましく、モノヒドロキシエチルオキシ基、モノヒドロキシプロピルオキシ基、ジヒドロキシプロピルオキシ基がより好ましい。
脂環式炭化水素基は、環を構成する炭素原子の一部が酸素原子、窒素原子、硫黄原子などのヘテロ原子で置換されていてもよい。
脂環式炭化水素基は、飽和または不飽和のいずれでもよいが、ArFエキシマレーザーなどに対する透明性が高く、解像度や焦点深度(DOF)などにも優れることから、飽和であることが好ましい。
脂環式炭化水素基は、単環式基でも多環式基でもよいが、多環式基であることが好ましい。また、脂環式炭化水素基の炭素数は、5〜15であることが好ましい。
多環式基としては、ビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカンなどから2個以上の水素原子を除いた基などが挙げられる。より具体的には、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカンなどのポリシクロアルカンから2個以上の水素原子を除いた基などが挙げられる。
これらの中でも、工業上の入手容易性の観点から、シクロヘキサン、アダマンタン、ノルボルナン、テトラシクロドデカンから2個の水素原子を除いた基が好ましく、アダマンタン、ノルボルナンから2個の水素原子を除いた基がより好ましい。
構成単位(a3')の好ましい具体例として、たとえば下記構成単位(a3'−1)が挙げられる。
R18が示すハロゲン化された若しくはされていない炭素数1〜5のアルキル基としては、前記R11の場合と同じのものが挙げられる。それらの中でも、メチル基、エチル基、トリフルオロメチル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。
R19が示すヒドロキシアルキル基におけるアルキル基は、直鎖状または分岐鎖状のいずれでもよい。該アルキル基は、炭素数1〜5であることが好ましく、炭素数1〜4であることがより好ましく、メチル基、n−プロピル基またはイソプロピル基であることがさらに好ましい。
R19のヒドロキシアルキル基における水酸基数は、1〜4が好ましく、1〜3がより好ましく、1または2がさらに好ましい。当該水酸基は、第一級水酸基または第二級水酸基であることがより好ましく、第一級水酸基であることがさらに好ましい。
本発明においてR19は、モノヒドロキシアルキル基、ジヒドロキシアルキル基または水素原子が好ましく、モノヒドロキシエチル基、モノヒドロキシプロピル基、ジヒドロキシプロピル基または水素原子がより好ましい。
jは1または2が好ましく、1がより好ましい。jが1の場合、−OR19がアダマンチル基の3位に結合しているものが好ましい。jが2の場合、−OR19がアダマンチル基の3位と5位に結合しているものが好ましい。
構成単位(a3'−1)としては、jは1であることが好ましく、特に−OR19がアダマンチル基の3位に結合しているものが好ましい。すなわち、構成単位(a3')としては、下記一般式(a3'−1−1)で表される構成単位(下記構成単位中、R18およびR19は前記定義の通りである。)が好ましい。
側鎖にアルコール性水酸基を有する構成単位としては、例えば、ヒドロキシアルキル基を有する構成単位が挙げられる。
ヒドロキシアルキル基において、アルキル基は、直鎖または分岐鎖状のいずれでもよい。当該アルキル基の炭素数は、1〜20が好ましく、1〜16がより好ましく、1〜12がさらに好ましい。水酸基数は、1または2が好ましく、1がより好ましい。
ヒドロキシアルキル基は、例えば、主鎖(アクリル酸のエチレン性二重結合が開裂した部分)のα位の炭素原子に直接結合していてもよいし、アクリル酸のカルボキシル基の水素原子と置換してエステルを構成していてもよい。構成単位(a3")においては、これらのうち少なくとも一方あるいは両方に、ヒドロキシアルキル基が存在していることが好ましい。
なお、α位にヒドロキシアルキル基が結合していない場合、α位の炭素原子には、ハロゲン化されたまたはされていないアルキル基が結合していてもよい。ハロゲン化されたまたはされていないアルキル基については、R11の場合と同じのものが挙げられ、同じものが好ましい。
構成単位(a3")としては、下記一般式(a3"−1)で表される構成単位が好ましい。
R20が示すハロゲン化された若しくはされていないアルキル基の炭素数は、好ましくは10以下、より好ましくは1〜8、さらに好ましくは1または2である。R20が示すハロゲン化された若しくはされていないアルキル基としては、例えばメチル基、トリフルオロメチル基、エチル基、ペンタフルオロエチル基、各種プロピル基、各種ブチル基などが挙げられる。
R21が示すアルキル基としては、メチル基、エチル基、各種プロピル基、各種ブチル基、各種ヘプチル基、各種オクチル基、各種デシル基、各種ドデシル基などが挙げられ、好ましくは炭素数10以下、より好ましくは炭素数1〜8、さらに好ましくはメチル基、エチル基である。
R21が示すヒドロキシアルキル基は、好ましくは炭素数が10以下、且つ直鎖状または分岐鎖状のヒドロキシアルキル基であり、より好ましくは炭素数2〜8、且つ直鎖状または分岐鎖状のヒドロキシアルキル基であり、さらに好ましくはヒドロキシエチル基である。水酸基数に特に制限はないが、通常、1である。また、当該水酸基は第一級または第二級水酸基であることがより好ましく、第一級水酸基であることがさらに好ましい。
R22が示すハロゲン化された若しくはされていない炭素数1〜5のアルキル基としては、前記R11の場合と同じものが挙げられる。
kは1が好ましく、シアノ基はノルボルニル基の5位または6位に結合していることが好ましい。
高分子化合物が構成単位(a3)を有する場合、構成単位(a3)の割合は、本発明の高分子化合物を構成する全構成単位に対して、5〜50モル%であることが好ましく、5〜40モル%であることがより好ましく、5〜25モル%であることがさらに好ましい。
また、当該高分子化合物が構成単位(a3)を有する場合、該構成単位(a3)としては、構成単位(a3')であることが好ましく、前記構成単位(a3'−1)においてR19が水素原子である構成単位がより好ましく、前記構成単位(a3'−1−1)においてR19が水素原子である構成単位がさらに好ましい。
構成単位(a4)は、(メタ)アクリル酸脂環式炭化水素エステルから誘導される構成単位である。
構成単位(a4)は、高分子化合物の極性を調整したり、高分子化合物の熱物性を調整するうえで有効なものである。
(メタ)アクリル酸脂環式炭化水素エステルのアルコール残基である脂環式炭化水素基としては、単環式でも多環式でもよく、環を形成する炭素数が3〜12であることが好ましく、6〜12であることがより好ましく、工業上の入手容易性の観点から、トリシクロデカニル基、アダマンチル基、テトラシクロドデカニル基、イソボルニル基、ノルボルニル基であることがさらに好ましい。
該脂環式炭化水素基は置換基を有していてもよい。置換基としては、炭素数1〜5の直鎖または分岐状のアルキル基が好ましい。炭素数1〜5の直鎖または分岐状のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、各種プロピル基、各種ブチル基などが挙げられる。
構成単位(a4)として、具体的には、下記構成単位が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
高分子化合物が構成単位(a4)を有する場合、構成単位(a4)の割合は、本発明の高分子化合物を構成する全構成単位に対して、1〜30モル%であることが好ましく、10〜20モル%であることがより好ましい。
構成単位(a5)は、前記構成単位(1’)および(a1)〜(a4)に分類されない他の構成単位である。構成単位(a5)としては、ArFエキシマレーザー用、KrFエキシマレーザー用(好ましくはArFエキシマレーザー用)などのフォトレジスト用高分子化合物の構成単位として従来から知られているあらゆる構成単位が使用可能である。構成成分(a5)として具体的には、下記構成単位が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
共重合体の好ましい構造としては、下記の共重合体(A1)〜(A6)などが挙げられる。
共重合体(A1):少なくとも構成単位(1’)および(a1)を有する共重合体。
共重合体(A2):少なくとも構成単位(1’)および(a2)を有する共重合体。
共重合体(A3):少なくとも構成単位(1’)および(a3)を有する共重合体。
共重合体(A4):少なくとも構成単位(1’)および(a4)を有する共重合体。
共重合体(A5):少なくとも構成単位(1’)、(a1)および(a2)を有する共重合体。
共重合体(A6):少なくとも構成単位(1’)、(a1)および(a3)を有する共重合体。
高分子化合物は、常法に従って、ラジカル重合により製造することができる。特に、分子量分布が小さい高分子化合物を合成する方法としては、リビングラジカル重合などを挙げることができる。一般的なラジカル重合方法は、1種以上の前記N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)および必要に応じて1種類以上の前記構成単位(a1)〜(a5)に対応する単量体(以下、共重合体単量体と称する。)を、ラジカル重合開始剤および溶媒、並びに必要に応じて連鎖移動剤の存在下に重合させる。
ラジカル重合の実施方法には特に制限はなく、溶液重合法、乳化重合法、懸濁重合法、塊状重合法など、例えばアクリル系の高分子化合物を製造する際に用いる慣用の方法を使用できる。
ラジカル重合開始剤の使用量は、重合反応に用いるN−アシル−β−ラクタム誘導体(1)、共重合単量体、連鎖移動剤、溶媒の種類および使用量;重合温度などの重合条件に応じて適宜選択できるが、全重合性化合物[N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)と共重合単量体の合計量を指し、以下同様である。]1モルに対して、通常、0.005〜0.2モルであり、0.01〜0.15モルであるのが好ましい。
連鎖移動剤を使用する場合、その使用量は、全重合性化合物1モルに対して、通常、0.005〜0.2モルであり、0.01〜0.15モルであるのが好ましい。
溶媒としては、重合反応を阻害しなければ特に制限はなく、例えばプロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテルなどのグリコールエーテル;乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピルなどのエステル;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどのケトン;ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサンなどのエーテルなどが挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を混合して使用してもよい。
溶媒の使用量は、全重合性化合物1質量部に対して、通常、0.5〜20質量部であり、経済性の観点からは、1〜10質量部であるのが好ましい。
本発明の高分子化合物の製造時間は、N−アシル−β−ラクタム誘導体(1)、共重合単量体、重合開始剤、溶媒の種類および使用量;重合反応の温度などの重合条件により異なるが、通常、30分〜48時間であり、1時間〜24時間であるのがより好ましい。
上記再沈澱の操作で用いる溶媒としては、例えばペンタン、ヘキサンなどの脂肪族炭化水素;シクロヘキサンなどの脂環式炭化水素;ベンゼン、キシレンなどの芳香族炭化水素;塩化メチレン、クロロホルム、クロロベンゼン、ジクロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素;ニトロメタンなどのニトロ化炭化水素;アセトニトリル、ベンゾニトリルなどのニトリル;ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサンなどのエーテル;アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン;酢酸などのカルボン酸;酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル;ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、エチレンカーボネートなどのカーボネート;メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロピルアルコール、ブタノールなどのアルコール;水が挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を混合して使用してもよい。
溶媒の使用量は、高分子化合物の種類、溶媒の種類により異なるが、通常、高分子化合物1質量部に対して0.5〜100質量部であるのが好ましく、経済性の観点からは、1〜50質量部であるのがより好ましい。
高分子化合物の重量平均分子量(Mw)は特に制限は無いが、好ましくは500〜50,000、より好ましくは1,000〜30,000であると、後述するフォトレジスト組成物の成分としての有用性が高い。かかるMwは、実施例に記載の方法に従って測定した値である。
本発明のフォトレジスト組成物は、前記高分子化合物と共に、下記の光酸発生剤および溶剤、並びに必要に応じて塩基性化合物、界面活性剤およびその他の添加物を含有する。
光酸発生剤としては特に制限は無く、従来、化学増幅型レジストに通常用いられる公知の光酸発生剤を用いることができる。該光酸発生剤としては、例えばヨードニウム塩やスルホニウム塩などのオニウム塩系光酸発生剤;オキシムスルホネート系光酸発生剤;ビスアルキルまたはビスアリールスルホニルジアゾメタン系光酸発生剤;ニトロベンジルスルホネート系光酸発生剤;イミノスルホネート系光酸発生剤;ジスルホン系光酸発生剤などが挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を混合して使用してもよい。これらの中でも、オニウム塩系光酸発生剤が好ましく、さらに、発生する酸の強度が強いという観点から、フッ素含有アルキルスルホン酸イオンをアニオンとして含む下記の含フッ素オニウム塩が好ましい。
これらは1種を単独でまたは2種以上を混合して使用してもよい。
光酸発生剤の配合量は、フォトレジスト組成物の感度および現像性を確保する観点から、前記高分子化合物100質量部に対して、通常、0.1〜30質量部であるのが好ましく、0.5〜10質量部であるのがより好ましい。
フォトレジスト組成物に配合する溶剤としては、例えばプロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテルなどのグリコールエーテル;乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピルなどのエステル;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどのケトン;ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサンなどのエーテルなどが挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を混合して使用してもよい。
溶剤の配合量は、高分子化合物1質量部に対して、通常、1〜50質量部であるのが好ましく、2〜25質量部であるのが好ましい。
フォトレジスト組成物には、フォトレジスト膜中における酸の拡散速度を抑制して解像度を向上するために、必要に応じて塩基性化合物をフォトレジスト組成物の特性が阻害されない範囲の量で配合することができる。かかる塩基性化合物としては、例えばホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−(1−アダマンチル)アセトアミド、ベンズアミド、N−アセチルエタノールアミン、1−アセチル−3−メチルピペリジン、ピロリドン、N−メチルピロリドン、ε−カプロラクタム、δ−バレロラクタム、2−ピロリジノン、アクリルアミド、メタクリルアミド、t−ブチルアクリルアミド、メチレンビスアクリルアミド、メチレンビスメタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−メトキシアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミドなどのアミド;ピリジン、2−メチルピリジン、4−メチルピリジン、ニコチン、キノリン、アクリジン、イミダゾール、4−メチルイミダゾール、ベンズイミダゾール、ピラジン、ピラゾール、ピロリジン、N−t−ブトキシカルボニルピロリジン、ピペリジン、テトラゾール、モルホリン、4−メチルモルホリン、ピペラジン、1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリエタノールアミンなどのアミンを挙げることができる。これらは1種を単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
塩基性化合物を配合する場合、その配合量は使用する塩基性化合物の種類により異なるが、光酸発生剤1モルに対して、通常、0.01〜10モルであるのが好ましく、0.05〜1モルであるのがより好ましい。
フォトレジスト組成物には、塗布性を向上させるため、所望により、さらに界面活性剤をフォトレジスト組成物の特性が阻害されない範囲の量で配合することができる。
かかる界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテルなどが挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を混合して使用してもよい。
界面活性剤を配合する場合、その配合量は、高分子化合物100質量部に対して、通常、2質量部以下である。
さらに、フォトレジスト組成物には、その他の添加剤として、増感剤、ハレーション防止剤、形状改良剤、保存安定剤、消泡剤などを、フォトレジスト組成物の特性が阻害されない範囲の量で配合することができる。
フォトレジスト組成物は、基板に塗布し、通常、70〜160℃で1〜10分間プリベークし、所定のマスクを介して放射線を照射(露光)後、70〜160℃で1〜5分間ポストエクスポージャーベークして潜像パターンを形成し、次いで現像液を用いて現像することにより、所定のレジストパターンを形成することができる。
露光量は、0.1〜1000mJ/cm2であるのが好ましく、1〜500mJ/cm2であるのがより好ましい。
現像液の濃度は、通常、0.1〜20質量%であるのが好ましく、0.1〜10質量%であるのがより好ましい。
重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、検出器として示差屈折率計を用い、溶離液としてテトラヒドロフラン(THF)を用いたゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)測定を下記条件にて行ない、標準ポリスチレンで作成した検量線による換算値として求めた。また、重量平均分子量(Mw)を数平均分子量(Mn)で除することにより分散度(Mw/Mn)を求めた。
GPC測定:カラムとして、「TSK−gel supermultipore HZ−M」(商品名:東ソー株式会社製、4.6mm×150mm)を3本直列に連結したものを使用し、カラム温度40℃、示差屈折率計温度40℃、溶離液の流速0.35mL/分の条件で測定した。
(膜抜け最小露光量の測定)
直径10cmのシリコンウエハー上に、各例で得られたフォトレジスト組成物をスピンコーティング法により塗布し、ホットプレート上で130℃、90秒間プリベークして膜厚100nmのレジスト膜を形成させた。
得られたレジスト膜に、1mm×5mmのスリットを通して、波長193nmのArFエキシマーレーザー光を、段階的に露光量を変化させながら露光した。露光後は、ホットプレート上、図1に示す温度で90秒間ポストエクスポージャーベークした後、2.38質量%−テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液にて90秒間現像処理した。
現像後のウェハーを目視観察して、レジストが膜抜けする最少露光量(露光部の80%以上が溶解した露光量とした。)を求めた。
得られた反応混合液を、20%亜硫酸ナトリウム水溶液1300gに滴下して加水分解した後、有機層と水層に分離し、水層は酢酸エチル1000gで2回抽出した。有機層と抽出液を混合し、減圧下で濃縮し、以下の特性を有する6−アザビシクロ[3.2.0]ヘプタン−7−オンを210g(1.9mol)得た。
得られた反応混合液に水7gを滴下し、有機層と水層に分離し、水層は塩化メチレン7gで2回抽出した。有機層と抽出液を混合し、減圧下で濃縮した。濃縮物をシリカゲルカラムトグラフィーで精製し、以下の特性を有する6−メタクリロイル−6−アザビシクロ〔3.2.0〕ヘプタン−7−オンを2.6g(14.4mmol)得た。
得られた反応混合液を、20%亜硫酸ナトリウム水溶液1300gに滴下して加水分解した後、有機層と水層に分離し、水層は酢酸エチル1000gで2回抽出した。有機層と抽出液を混合し、減圧下で濃縮し、以下の特性を有するスピロ[アゼチジン−2−オン−2,2’−3’,3’−ジメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン]を304.7g(1.7mol)得た。
得られた反応混合液に水7gを滴下し、有機層と水層に分離し、水層を塩化メチレン7gで2回抽出した。有機層と抽出液を混合し、減圧下で濃縮した。濃縮物をシリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製し、以下の特性を有するスピロ[1−メタクリロイルアゼチジン−2−オン−2,2’−3’,3’−ジメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン]を3.3g(13.7mmol)得た。
得られた反応液を、亜硫酸ナトリウム174g、炭酸水素ナトリウム93gおよび水1500gに滴下して加水分解した後、クロロホルム500gにて3回抽出した。該有機層を減圧下で濃縮し、以下の特性を有する3−アセトキシアゼチジノンを127.8g(1.0mol)得た。
得られた反応液に水7gを滴下し、有機層と水層に分離し、水層を塩化メチレン7gで2回抽出した。有機層と抽出液を混合し、減圧下で濃縮した。濃縮物をシリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製し、以下の特性を有するN−メタクリロイル−3−アセトキシアゼチジノンを2.6g(13.3mmol)得た。
得られた反応混合液を、室温下、メタノール220gに撹拌しながら滴下し、生成した沈殿物をろ取した。該沈殿物を、減圧(26.7Pa)下、50℃で5時間乾燥して、上記の繰り返し単位(数値はモル比を表す。)からなる高分子化合物(A)7.3gを得た。得られた高分子化合物(A)の重量平均分子量(Mw)は8000、分散度は2.0であった。
実施例6で得られた高分子化合物(A)100質量部、光酸発生剤として「TPS−09」(製品名、成分;ノナフルオロ−n−ブタンスルホン酸トリフェニルスルホニウム、みどり化学株式会社製)4.5質量部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/シクロヘキサノン混合溶剤(質量比=1:1)1896質量部を混合して、各成分が均一な溶液を得た。その後、得られた上記溶液を孔径0.2μmのメンブランフィルターを用いてろ過して、フォトレジスト組成物Aを得た(総固形分濃度約5質量%)。
得られたフォトレジスト組成物Aを用い、前記方法に従って膜抜け最小露光量の測定を行った。その結果を図1に示す。
実施例11において、高分子化合物(A)100質量部の代わりに、実施例7で得られた高分子化合物(B)100質量部を用いたこと以外は同様の操作を行ない、フォトレジスト組成物Bを得た。得られたフォトレジスト組成物Bを用い、前記方法に従って膜抜け最小露光量の測定を行った。その結果を図1に示す。
実施例11において、高分子化合物(A)100質量部の代わりに、実施例8で得られた高分子化合物(C)100質量部を用いたこと以外は同様の操作を行ない、フォトレジスト組成物Cを得た。得られたフォトレジスト組成物Cを用い、前記方法に従って膜抜け最小露光量の測定を行った。その結果を図1に示す。
実施例11において、高分子化合物(A)100質量部の代わりに、実施例9で得られた高分子化合物(D)100質量部を用いたこと以外は同様の操作を行ない、フォトレジスト組成物Dを得た。得られたフォトレジスト組成物Dを用い、前記方法に従って膜抜け最小露光量の測定を行った。その結果を図2に示す。
実施例11において、高分子化合物(A)100質量部の代わりに、実施例10で得られた高分子化合物(E)100質量部を用いたこと以外は同様の操作を行ない、フォトレジスト組成物Eを得た。得られたフォトレジスト組成物Eを用い、前記方法に従って膜抜け最小露光量の測定を行った。その結果を図3に示す。
実施例11において、高分子化合物(A)の代わりに、高分子化合物(F)を用いたこと以外は同様の操作を行ない、フォトレジスト組成物Fを得た。得られたフォトレジスト組成物Fを用い、前記方法に従って膜抜け最小露光量の測定を行った。その結果を図1〜3それぞれに示す。
フォトレジスト組成物A〜Eにおいて、酸解離性溶解抑制基を有するアクリル酸エステル類から誘導される構造単位は共通であり、生じている酸解離反応は同じであるので、構成単位(1’)を有する高分子化合物を含有する本発明のフォトレジスト組成物を用いると、酸拡散長が特徴的に短くなるといえる。酸拡散長が短くなることでLWRを改善することができるため、本発明のフォトレジスト組成物を用いると、高解像度のレジストパターンが形成されることがわかる。
Claims (5)
- 請求項1〜3のいずれかに記載のN−アシル−β−ラクタム誘導体を重合してなる高分子化合物。
- 請求項4に記載の高分子化合物、光酸発生剤および溶剤を含有するフォトレジスト組成物。
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