JP5634289B2 - 真空処理方法 - Google Patents
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- 処理対象物を、基板表面に導電層と絶縁層とを積層し、絶縁層中にビアホールが形成されたものとし、この処理対象物に対する真空処理方法において、
第1の処理室に、処理対象物を加熱する加熱手段と水素ガスの導入を可能とする第1のガス導入手段とを設け、第1の処理室にて処理対象物に対し還元処理を実施する第1の工程と、
第2の処理室にて、Ti、Ta、W、V、Cr、Zr及びMoのうち少なくとも一種の金属元素からなるターゲットをスパッタリングして導電層表面に第1金属層を形成する第2の工程と、
前記第2の処理室内に酸素ガス及び窒素ガスを含むガスを導入すると共に、処理対象物を保持するステージにバイアス電力を投入してプラズマ雰囲気を形成し、第1金属層の表面を酸窒化処理して第1金属化合物層を形成すると共にターゲットをもプラズマ雰囲気に曝して当該ターゲット表面を酸窒化する第3の工程と、
前記第2の処理室内でこの酸窒化されたターゲットをスパッタリングすることにより、前記第1金属酸化物層との間に界面を有する第2金属化合物層を形成し、この第2金属化合物層の表面に第2金属層を形成する第4の工程と、
Al含有の金属製のターゲットからの金属粒子がプラズマ中の荷電粒子と衝突するように第3の処理室内を所定圧力に調節して金属粒子のイオンを生成すると共に、バイアス電力を投入して当該金属粒子のイオンを処理対象物に引き込みライナー層を形成する第5の工程と、
バイアス電力の投入を停止し、前記第5工程よりも第3の処理室の圧力を低下させると共に、加熱手段により処理対象物を、処理対象物表面に付着、堆積した金属粒子が流動する温度に加熱するようにして、前記ビアホールを埋め込むAlを含むバルク層を形成する第6の工程とを有することを特徴とする真空処理方法。 - 搬送ロボットを備えた中央の搬送室を設け、前記搬送室の周囲に第1〜第3の処理室を、対をなして夫々設け、2枚の処理対象物に対して同時処理できるように構成したことを特徴とする請求項1記載の真空処理方法。
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