JP5632894B2 - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
複数の放射ビームを基板に投影するよう構成されている投影系を備えており、該複数の放射ビームは、第1波長範囲内の放射から形成される第1の1つ又は複数の放射ビームのグループと、前記第1波長範囲と異なる第2波長範囲内の放射から形成される第2の1つ又は複数の放射ビームのグループと、を備え、
分散素子であって、第1のグループの1つ又は複数の放射ビームが第2のグループの1つ又は複数の放射ビームと異なる角度で前記分散素子に入射し、かつ前記分散素子から出力される第1及び第2のグループの前記1つ又は複数の放射ビームが実質的に平行であるように構成されている分散素子を備えるリソグラフィ装置が提供される。
複数の放射ビームを基板に投影する投影系を使用することを備え、該複数の放射ビームは、第1波長範囲内の放射から形成される第1の1つ又は複数の放射ビームのグループと、前記第1波長範囲と異なる第2波長範囲内の放射から形成される第2の1つ又は複数の放射ビームのグループと、を備え、
第1のグループの1つ又は複数の放射ビームが第2のグループの1つ又は複数の放射ビームと異なる角度で分散素子に入射し、かつ前記分散素子から出力される第1及び第2のグループの前記1つ又は複数の放射ビームが実質的に平行であるように、放射ビームに前記分散素子を通過させることを備えるデバイス製造方法が提供される。
Claims (15)
- リソグラフィ装置であって、
複数の放射ビームを提供するよう構成されているプログラマブルパターニングデバイスと、
前記複数の放射ビームを基板に投影するよう構成されている投影系と、を備え、
該複数の放射ビームは、第1波長範囲内の放射から形成される第1の1つ又は複数の放射ビームのグループと、前記第1波長範囲と異なる第2波長範囲内の放射から形成される第2の1つ又は複数の放射ビームのグループと、を備え、
前記投影系は、第1のグループの1つ又は複数の放射ビームが第2のグループの1つ又は複数の放射ビームと異なる角度で前記分散素子に入射し、かつ前記分散素子から出力される第1及び第2のグループの前記1つ又は複数の放射ビームが実質的に平行であるように構成されている分散素子を備え、
前記プログラマブルパターニングデバイスと前記分散素子との間の放射ビーム経路長は、放射ビームの各グループにつき異なっており、その相違は、異なる放射波長に対し前記投影系の応答が異なることによって導入される基板に投影されるときの放射ビームの最良焦点位置の違いを低減するよう選択され、及び/または、前記投影系は、前記分散素子と基板との間に配設されている色補正素子を備え、該色補正素子は、異なる放射波長に対し前記投影系の他の素子の応答が異なることによって導入される基板に投影されるときの放射ビームの最良焦点位置の違いを低減するよう構成されているリソグラフィ装置。 - 前記分散素子は、通過する放射の波長により変わる屈折率を有する材料で形成されているプリズムを備える、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の放射ビームは、他のグループの波長範囲と異なる第3波長範囲内の放射から形成される第3の1つ又は複数の放射ビームのグループを備え、
前記分散素子は、各グループの1つ又は複数の放射ビームが他のグループと異なる角度で前記分散素子に入射し、かつ前記分散素子から出力される各グループの前記放射ビームが実質的に平行であるように構成されている、請求項1又は2に記載のリソグラフィ装置。 - 各グループ内の放射ビームは前記分散素子に入射するとき各グループに関連付けられた個々の列に配列され、それらグループのすべての放射ビームが前記分散素子から出力されるとき1つの列に配列されている、請求項1から3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 各グループからの放射ビームが出力放射ビーム列において規則的に交互に配列されている、請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- 各グループの波長範囲は1nm以下である、請求項1から5のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1のグループの1つ又は複数の放射ビームは、第1の均等に隔てられた平行な放射ビームの列として配列され、前記第2のグループの1つ又は複数の放射ビームは、第2の均等に隔てられた平行な放射ビームの列として配列されている、請求項1から6のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1波長範囲は、第1の放射ビームのグループの第1公称波長を含み、前記第2波長範囲は、第2の放射ビームのグループの第2公称波長を含み、前記第1公称波長は、前記第2公称波長と異なる、請求項1から7のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記色補正素子は、前記投影系内の最終光学素子、または最終素子の1つである、請求項1から8のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記プログラマブルパターニングデバイスは、前記複数の放射ビームを選択的に提供する制御可能素子を備える、請求項1から9のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記プログラマブルパターニングデバイスは、複数の自己放射コントラストデバイスを備える、請求項1から10のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記投影系は静止部分と移動部分とを備える、請求項1から11のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記移動部分は、前記静止部分に対し回転するよう構成されている、請求項12に記載のリソグラフィ装置。
- 前記静止部分は、前記分散素子を備える、請求項12又は13に記載のリソグラフィ装置。
- デバイス製造方法であって、
複数の放射ビームを提供するプログラマブルパターニングデバイスを使用することと、前記複数の放射ビームを基板に投影する投影系を使用することと、を備え、
該複数の放射ビームは、第1波長範囲内の放射から形成される第1の1つ又は複数の放射ビームのグループと、前記第1波長範囲と異なる第2波長範囲内の放射から形成される第2の1つ又は複数の放射ビームのグループと、を備え、
前記投影系を使用することは、
第1のグループの1つ又は複数の放射ビームが第2のグループの1つ又は複数の放射ビームと異なる角度で前記投影系の分散素子に入射し、かつ前記分散素子から出力される第1及び第2のグループの前記1つ又は複数の放射ビームが実質的に平行であるように、放射ビームに前記分散素子を通過させることを備え、
前記プログラマブルパターニングデバイスと前記分散素子との間の放射ビーム経路長は、放射ビームの各グループにつき異なっており、その相違は、異なる放射波長に対し前記投影系の応答が異なることによって導入される基板に投影されるときの放射ビームの最良焦点位置の違いを低減するよう選択され、及び/または、前記投影系は、前記分散素子と基板との間に配設されている色補正素子を備え、該色補正素子は、異なる放射波長に対し前記投影系の他の素子の応答が異なることによって導入される基板に投影されるときの放射ビームの最良焦点位置の違いを低減するよう構成されているデバイス製造方法。
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