JP5628935B2 - メモリ修正用の適応可能な処理制約 - Google Patents
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Description
12 CPU
12a シミュレーション部
12b パラメータ調整部
12c レシピ判定部
14 入力接続
16 メモリ
18 出力接続
20 ディスプレイ
Claims (10)
- レーザを基にしたシステムにおいて複数の半導体部品を処理するための方法であって、
前記複数の半導体部品は、同じ設計を有し、且つ前記複数の半導体部品を処理するための前記レーザを基にしたシステムのパラメータの共通のグループを含んだ初期設定レシピを持ち、前記複数の半導体部品の少なくとも1つの部品に対して行うべき加工は前記複数の半導体部品の残りの部品の少なくとも1つに対して行うべき加工と異なり、
前記複数の半導体部品毎に、
A)前記初期設定レシピを用いて前記レーザを基にしたシステムのレーザによって前記複数の半導体部品における個別の部品に対して行うべき加工を該加工のコンピュータシミュレーションを実行することによって分析し、前記個別の部品を処理する前に、前記初期設定レシピを用いて前記個別部品を処理した場合の初期処理結果を取得するステップと、
B)前記初期設定レシピのパラメータを変更し、個別部品特有レシピを前記パラメータに関連付けて作成するステップであって、このパラメータは前記個別の部品に対して行うべき加工の計画に影響を与えるステップと、
C)前記個別部品特有レシピを用いてレーザによって前記個別部品に対して行うべき加工を該加工のコンピュータシミュレーションを実行することによって分析し、前記個別部品を処理する前に、前記個別部品特有レシピを用いて前記個別部品を処理した場合の代替処理結果を取得するステップと、
D)前記初期処理結果及び前記代替処理結果のいずれが望ましい処理結果に近似するかに基づいて、前記個別部品を処理するために前記初期設定レシピ及び前記個別部品特有レシピのいずれかを選択するステップと、
を実行し、
代替レシピにおいて、前記複数の半導体部品の各々について選択したレシピを組み合わせ、
前記レーザを基にしたシステムにおいて前記代替レシピを用いて前記複数の半導体部品の各々に対して行うべき加工を実行することを特徴とする方法。 - 前記代替処理結果は、前記個別部品特有レシピを用いて前記個別部品に行うべき加工が完了する処理時間である、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記複数の部品は、複数枚の半導体ウェーハを含み、前記個別の部品は一枚の半導体ウェーハであり、レーザによって行う加工は、前記半導体ウェーハ上に位置するメモリ用の修正データを含む、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の方法。 - 前記初期設定レシピは、レーザを前記半導体ウェーハに対して、第一の方向及び前記第一の方向と直交する第二の方向において位置決めするための位置合わせフィールドの初期レイアウトを含み、前記初期設定レシピのパラメータを変更して前記個別部品特有レシピを作成するステップは、少なくとも前記第一の方向及び前記第二の方向のいずれかに前記位置合わせフィールドの初期レイアウトを調整して前記個別部品特有レシピにおいて前記位置合わせフィールドの変更されたレイアウトを作成することを含む、
ことを特徴とする請求項3に記載の方法。 - 前記初期設定レシピは、前記半導体ウェーハのメモリ修正のためのリンクランを処理するためのフィールドサイズを規定する処理フィールドを含み、前記初期設定レシピのパラメータを変更して前記個別部品特有レシピを作成するステップは、前記ウェーハに対して行うべき加工に基づいて、前記初期設定レシピにおける前記処理フィールドの数から、前記半導体ウェーハ用の前記処理フィールドの数を減らすことを含む、
ことを特徴とする請求項3に記載の方法。 - 前記初期設定レシピは、前記半導体ウェーハのメモリ修正のためのリンクランを処理するためのフィールドサイズを規定する処理フィールドを含み、前記初期設定レシピのパラメータを変更して前記個別部品特有レシピを作成するステップは、前記ウェーハに対して行うべき加工に基づいて、前記初期設定レシピにおける前記処理フィールドの処理の順序から、前記半導体ウェーハ用の前記処理フィールドの順序を変更することを含む、
ことを特徴とする請求項3に記載の方法。 - 前記初期設定レシピのパラメータを変更して前記パラメータに関連して前記個別部品特有レシピを作成するステップは、前記パラメータを複数回変更して前記パラメータの変更のそれぞれに関連付けされた複数の個別部品特有レシピを作成することを含み、前記個別部品特有レシピを用いてレーザによって前記個別部品に対して行うべき加工を分析するステップは、前記複数の個別部品特有レシピのそれぞれを用いてレーザによって前記個別部品に行うべき加工を分析して前記複数の個別部品特有レシピのそれぞれに関連付けされたそれぞれの代替処理結果を得ることを含み、前記個別部品を処理するために前記初期設定レシピ及び前記個別部品特有レシピのいずれかを選択するステップは、前記初期処理結果または前記複数の個別部品特有レシピに関連付けされた前記代替処理結果のそれぞれのいずれが前記個別部品に対してより速い処理時間を含むか否かに基づいて、前記初期設定レシピまたは前記複数の個別部品特有レシピのいずれかを選択することを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記初期設定レシピは、前記レーザを基にしたシステムの部品支持構造に対して前記個別部品を位置合わせするために用いる基準フィールドを含み、前記基準フィールドは、目標位置を含み、前記初期設定レシピのパラメータを変更して前記個別部品特有レシピを作成するステップは、前記初期設定レシピにおける前記基準フィールドのサイズ及び位置から、前記基準フィールドのサイズ及び位置の少なくとも一つを調整して前記目標位置が、レーザを第一の方向及び前記第一の方向に直交する第二の方向に位置決めするための位置合わせフィールド、及び、レーザを前記個別部品に対して前記第一及び第二の方向に直交する第三の方向に位置決めするための焦点フィールドの少なくとも一つと共通の物理的目標を規定し、前記調整が前記個別部品に対して行うべき加工に基づいて行われる、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記代替レシピは、前記複数の半導体部品に共通のレシピであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- レーザを基にしたシステムにおいて複数の半導体部品を処理するための装置であって、
A)初期設定レシピを用いて前記レーザを基にしたシステムのレーザによって前記複数の半導体部品における個別の部品の各々に対して行うべき加工を該加工のコンピュータシミュレーションを実行することによって分析し、前記個別の部品を処理する前に、前記初期設定レシピを用いて前記個別部品を処理した場合の初期処理結果を取得するための手段であって、前記初期設定レシピは、同じ設計を有する前記複数の半導体部品を処理するための前記レーザを基にしたシステムのパラメータの共通のグループを含み、前記複数の半導体部品の少なくとも1つの部品に対して行うべき加工は前記複数の半導体部品の残りの部品の少なくとも1つに対して行うべき加工と異なる手段と、
B)前記初期設定レシピのパラメータを変更し、個別部品特有レシピを前記パラメータに関連付けて作成するための手段であって、このパラメータは前記個別の部品に対して行うべき加工の計画に影響を与える手段と、
C)前記個別部品特有レシピを用いて前記レーザを基にしたシステムによって前記個別部品に対して行うべき加工を該加工のコンピュータシミュレーションを実行することによって分析し、前記個別部品を処理する前に、前記個別部品特有レシピを用いて前記個別部品を処理した場合の代替処理結果を取得するための手段と、
D)前記初期処理結果及び前記代替処理結果のいずれが望ましい処理結果に近似するかに基づいて、前記個別部品を処理するために前記初期設定レシピ及び前記個別部品特有レシピのいずれかを選択するための手段と、
E)代替レシピにおいて、前記複数の半導体部品の各々について選択したレシピを組み合わせる手段と、
を備え、
前記レーザを基にしたシステムは、前記代替レシピを用いて前記複数の半導体部品の各々に対して行うべき加工を実行する、
ことを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/646,402 | 2009-12-23 | ||
US12/646,402 US8461479B2 (en) | 2009-12-23 | 2009-12-23 | Adaptive processing constraints for memory repair |
PCT/US2010/054633 WO2011087551A1 (en) | 2009-12-23 | 2010-10-29 | Adaptive processing constraints for memory repair |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013516067A JP2013516067A (ja) | 2013-05-09 |
JP2013516067A5 JP2013516067A5 (ja) | 2013-12-12 |
JP5628935B2 true JP5628935B2 (ja) | 2014-11-19 |
Family
ID=44149623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012545943A Expired - Fee Related JP5628935B2 (ja) | 2009-12-23 | 2010-10-29 | メモリ修正用の適応可能な処理制約 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8461479B2 (ja) |
JP (1) | JP5628935B2 (ja) |
KR (1) | KR101630492B1 (ja) |
CN (1) | CN102687263B (ja) |
TW (1) | TWI511235B (ja) |
WO (1) | WO2011087551A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI511820B (zh) * | 2013-12-02 | 2015-12-11 | Ardentec Corp | 雷射製程機台的參數載入方法 |
TWI606531B (zh) | 2017-03-30 | 2017-11-21 | 義守大學 | 適用於三維晶片的缺陷測試方法及系統 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5685995A (en) * | 1994-11-22 | 1997-11-11 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method for laser functional trimming of films and devices |
US8217304B2 (en) | 2001-03-29 | 2012-07-10 | Gsi Group Corporation | Methods and systems for thermal-based laser processing a multi-material device |
DE10005618A1 (de) * | 2000-02-09 | 2001-08-30 | Infineon Technologies Ag | Integrierter Halbleiterspeicher mit redundanter Einheit von Speicherzellen |
DE10034062A1 (de) * | 2000-07-13 | 2002-01-24 | Infineon Technologies Ag | Integrierter Halbleiterspeicher mit Speicherzellen in mehre-ren Speicherzellenfeldern und Verfahren zur Reparatur eines solchen Speichers |
JP3774138B2 (ja) * | 2000-11-13 | 2006-05-10 | 住友重機械工業株式会社 | 加工計画方法、装置、及び、加工方法、装置 |
US6591154B2 (en) | 2000-12-15 | 2003-07-08 | International Business Machines Corporation | System and method for modifying enclosed areas for ion beam and laser beam bias effects |
JP2003266187A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 加工機の動作速度モデル化方法、装置、動作経路最適化方法、装置、及び、動作速度検定方法、装置 |
US7358157B2 (en) * | 2002-03-27 | 2008-04-15 | Gsi Group Corporation | Method and system for high-speed precise laser trimming, scan lens system for use therein and electrical device produced thereby |
JP4281292B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2009-06-17 | パナソニック電工株式会社 | 3次元レーザ加工データ作成方法と同データ作成プログラム及び同データ作成プログラムを記録した媒体並びに同加工方法及び装置 |
US20040144760A1 (en) * | 2002-05-17 | 2004-07-29 | Cahill Steven P. | Method and system for marking a workpiece such as a semiconductor wafer and laser marker for use therein |
TW579525B (en) * | 2002-05-30 | 2004-03-11 | Samsung Electronics Co Ltd | Semiconductor memory device post-repair circuit and method |
JP2004142082A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-20 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 加工計画方法及び装置 |
US7085296B2 (en) * | 2003-12-05 | 2006-08-01 | Branson Ultrasonics Corporation | Dual parameter laser optical feedback |
US7687740B2 (en) | 2004-06-18 | 2010-03-30 | Electro Scientific Industries, Inc. | Semiconductor structure processing using multiple laterally spaced laser beam spots delivering multiple blows |
JP5294629B2 (ja) * | 2004-06-18 | 2013-09-18 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | 複数のレーザビームスポットを使用する半導体構造加工 |
US8049135B2 (en) * | 2004-06-18 | 2011-11-01 | Electro Scientific Industries, Inc. | Systems and methods for alignment of laser beam(s) for semiconductor link processing |
EP1618984B1 (de) | 2004-07-08 | 2006-09-06 | TRUMPF Laser GmbH + Co. KG | Laserschweissverfahren und -vorrichtung |
US8076605B2 (en) * | 2007-06-25 | 2011-12-13 | Electro Scientific Industries, Inc. | Systems and methods for adapting parameters to increase throughput during laser-based wafer processing |
-
2009
- 2009-12-23 US US12/646,402 patent/US8461479B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-29 WO PCT/US2010/054633 patent/WO2011087551A1/en active Application Filing
- 2010-10-29 KR KR1020127018124A patent/KR101630492B1/ko active IP Right Grant
- 2010-10-29 JP JP2012545943A patent/JP5628935B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-29 CN CN201080055950.4A patent/CN102687263B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-11-11 TW TW099138866A patent/TWI511235B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102687263A (zh) | 2012-09-19 |
KR20120110115A (ko) | 2012-10-09 |
TW201140752A (en) | 2011-11-16 |
US8461479B2 (en) | 2013-06-11 |
JP2013516067A (ja) | 2013-05-09 |
US20110147348A1 (en) | 2011-06-23 |
KR101630492B1 (ko) | 2016-06-24 |
CN102687263B (zh) | 2015-02-18 |
WO2011087551A1 (en) | 2011-07-21 |
TWI511235B (zh) | 2015-12-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A975 | Report on accelerated examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |