JP2003266187A - 加工機の動作速度モデル化方法、装置、動作経路最適化方法、装置、及び、動作速度検定方法、装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 加工機の動作速度のモデル化を自動的に行な
って、加工機のスループット向上のために行なう加工計
画の加工計画精度を向上させる。 【解決手段】 加工機を動作させて、該加工機を構成す
る機器の動作速度を測定し、測定結果に基づいて、各機
器毎に最適なモデル化関数を自動的に作成する。また、
測定結果に基づいて影響因子を自動的に抽出し、抽出さ
れた影響因子を用いて、各機器毎に最適なモデル化関数
を自動的に作成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、加工機の動作速度
モデル化方法、装置、及び、動作経路最適化方法、装置
に係り、特に、レーザ穴開け加工機に用いるのに好適
な、加工機のスループット向上のために行なう加工計画
の計画精度を向上させることが可能な、加工機の動作速
度モデル化方法、装置、及び、これを用いた動作経路最
適化方法、装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の小型化や高密度実装化
の要求に伴い、複数のプリント配線基板を重ね合わせた
多層プリント配線基板が提供されるようになってきてい
る。このような多層プリント配線基板では、上下に積層
されたプリント配線基板のそれぞれに形成された導電層
間を電気的に接続するため、これらの基板に、スルーホ
ールあるいはビアホールと呼ばれる穴が形成される。そ
して、これらの穴の内部に導電膜を形成することによ
り、各プリント配線基板の導電層間の接続が行われる。

【０００３】プリント配線基板に形成される穴は、最近
のプリント配線基板の小型化や高機能化に伴って小型化
し、直径０．１mm以下になってきている。このような小
径の穴を精度よく形成するために、パルス発振型のレー
ザビームが用いられている。

【０００４】従来のパルス発振型レーザを用いたレーザ
穴開け機の一例の構成を図１（全体構成）及び図２（詳
細構成）に示す。このレーザ穴開け機１０は、パルス状
レーザビームを発生するレーザ発振器１２と、該レーザ
発振器１２により発生されたレーザビーム１３の出力
を、加工対象であるプリント配線基板（ワークとも称す
る）６の二つの走査エリア（加工エリア）８Ｌ、８Ｒに
導いて、左右同時加工を可能とするために２等分するビ
ームスプリッタ１４と、該ビームスプリッタ１４により
反射された左側のレーザビーム１３Ｌを、走査エリア８
Ｌ内でＸ軸方向（図の左右方向）及びＹ軸方向（図の前
後方向）に走査するための左ガルバノユニット（ガルバ
ノシステム又は単にユニットとも称する）２２Ｌ（図２
参照）と、前記ビームスプリッタ１４を通過した後、ミ
ラー１６で反射された右側のレーザビーム１３Ｒを、右
側の走査エリア８Ｒ内で同じくＸ軸方向及びＹ軸方向に
走査するための右ガルバノユニット２２Ｒ（図２参照）
と、前記プリント配線基板８をＸ軸方向に平行移動する
ためのＸステージ４０Ｘ、及び、該Ｘステージ４０Ｘ上
で前記プリント配線基板８をＹ軸方向に移動するための
Ｙステージ４０Ｙを含むＸＹステージ４０（図２参照）
とを主に備えている。

【０００５】前記左ガルバノユニット２２Ｌ及び右ガル
バノユニット２２Ｒには、図２に詳細に示す如く、レー
ザビーム１３Ｌ、１３Ｒをそれぞれ反射するためのミラ
ー２４Ｌ、２４Ｒと、該ミラー２４Ｌ、２４Ｒで反射さ
れたレーザビームを、例えばＹ軸方向に走査するための
第１ガルバノミラー２６Ｌ、２６Ｒと、該第１ガルバノ
ミラー２６Ｌ、２６Ｒを駆動するための第１ガルバノス
キャナ（単に第１スキャナとも称する）２８Ｌ、２８Ｒ
と、前記第１ガルバノミラー２６Ｌ、２６ＲによってＹ
軸方向に走査されたレーザビームを、更にこれに垂直な
Ｘ軸方向に走査するための第２ガルバノミラー３０Ｌ、
３０Ｒと、該第２ガルバノミラー３０Ｌ、３０Ｒを駆動
するための第２ガルバノスキャナ（単に第２スキャナと
も称する）３２Ｌ、３２Ｒと、前記第１及び第２ガルバ
ノミラー２６Ｌ、２６Ｒ、３０Ｌ、３０ＲによりＸ軸方
向及びＹ軸方向に走査されたレーザビームを、プリント
配線基板８の表面に対して垂直に偏向し、照射口（図示
省略）を介して落とすためのｆθレンズ３４Ｌが、それ
ぞれ収容されている。

【０００６】ここで、例えば前記左ガルバノユニット２
２Ｌは固定され、右ガルバノユニット２２Ｒは、例え
ば、そのＸ軸方向位置が可変とされ、加工開始前に、ユ
ニット間距離（Ｌ軸値と称する）Ａが変更可能とされて
いる。

【０００７】基板６上のビーム照射可能範囲は、ｆθレ
ンズ３４Ｌ、３４Ｒの大きさがコストや品質等の点で制
限されているため、加工中は完全に位置が固定されるビ
ーム照射口の真下位置を中心とする、例えば４０mm×４
０mmのＸ軸、Ｙ軸に両辺が平行な矩形範囲（走査エリア
と称する）８Ｌ、８Ｒに限定されている。

【０００８】一方、基板６の大きさは、例えば最大約５
００mm×６００mm程度の大きさであり、一般に走査エリ
アよりも広い。従って、基板全体の穴開け加工を行うた
めに、基板を支えるＸＹステージ４０をＸＹ平面内で自
由な方向に駆動させ、基板６を移動するようにしてい
る。

【０００９】このようなレーザ穴開け機は、例えばステ
ップアンドリピートの場合には、図３に全体の動作を示
す如く、（１）ＸＹステージ４０によって基板６を移動
する、（２）左右の走査エリア８Ｌ、８Ｒ内のレーザ穴
開け加工を行う、という２ステップの繰り返しにより、
基板全体の穴開けを行う。被加工面では、レーザビーム
が照射された部分が蒸発し、プリント配線基板６に穴が
形成される。

【００１０】又、各走査エリア８Ｌ、８Ｒ内の加工につ
いては、図４に示す如く、左右ユニット２２Ｌ、２２Ｒ
の第１、第２スキャナ２８Ｌ、２８Ｒ、３２Ｌ、３２Ｒ
による、基板上の穴開け終了点から次の穴開け予定点へ
の移動走査（ビーム走査と称する）が全て完了した段階
でレーザビームを照射するという工程を繰り返してい
る。

【００１１】レーザ穴開け機のシステム構成を、図５を
参照して説明する。

【００１２】レーザ穴開け（加工）機１０は、簡単に言
うと、加工データファイル群７０（ＣＡＤファイル及び
ＧＵＩ入力から作成される）を加工機付設のパソコン
（ＰＣ）６０の変換プログラム８２によって変換するこ
とにより得られる、加工データ７２に従って動作を行
う。加工開始命令を受け、加工機動作の制御を行うの
は、加工制御プログラム８４である。

【００１３】このようなレーザ穴開け機のユーザ（基板
メーカー）が加工機メーカーに求める重要且つ普遍的な
価値に、加工スループットが挙げられる。

【００１４】この加工スループット向上のための有効な
手法の１つとして、基板に散布する加工穴の散布状態を
数学的に捉えて機器の加工経路を最適化する、数学的最
適化による手法がある。例えば、出願人は特願２００１
−３３１５５０で、ＸＹステージの移動とビーム走査を
交互に行う、いわゆるステップアンドリピート制御にお
ける最適化計画（ステップアンドリピート計画と称す
る）を提案し、又、特願２００２−２６１８９で、とＸ
Ｙステージを移動させつつビームを走査する協調制御に
おける最適化計画（協調制御計画と称する）を提案して
いる。最適化プログラム８８は、これらの計画を実行す
るプログラムである。

【００１５】前記ステップアンドリピート計画の一例と
して、ガルバノスキャナの走査経路（点訪問順序）やＸ
Ｙステージの搬送経路（スキャンエリア訪問順序）への
巡回セールスマン問題（与えられた全ての点を一度ずつ
通る巡回路の巡回路長最小化問題。ＴＳＰと略す）の適
用が挙げられる。このＴＳＰにおいては、全ての点対の
距離（コスト）を基にして、最適化が実行される。

【００１６】前記ＴＳＰの際の点対間コストの設定方法
の１つに、特願２００１−３３１５５０で提案したよう
に、実際のガルバノスキャナの動作速度（距離に対する
移動時間、即ち、走査する時の位置決め時間）を実験等
により求めておき、それをそのまま用いる方法が挙げら
れる。この方法により、実機に合致したデータ（動作モ
デル７６）での最適化が可能となる。

【００１７】また、シミュレーションプログラム９０を
用いて、実機動作をデスプレイ９４上で再現することが
可能となる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、実機による実測を行ない、実測データから動
作モデルを同定し、その動作モデルを計画プログラムの
関数（又は変数）化していたため、例えパソコンを用い
るとしても、基本的に人間の手作業によるものであり、
手間が無視できない。又、開発により機器の構造や制御
方法等が変化したり、性能が向上する度に、モデル化を
再び行なう必要がある等の問題点を有していた。

【００１９】又、レーザ穴開け機毎、更にはガルバノス
キャナやＸＹステージ毎の機差が存在するに拘らず、汎
用的な１つのモデルを作らざるを得なかった。

【００２０】又、シミュレーションが実機スループット
と合致しなかった。

【００２１】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、動作速度のモデル化（関数化）を自
動的に行なえるようにして、加工機のスループット向上
のために行なう加工計画の計画精度を向上させることを
課題とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明は、加工機の動作
速度モデル化に際して、加工機を動作させて、該加工機
を構成する機器の動作速度を測定し、測定結果に基づい
て、各機器毎に最適なモデル化関数を自動的に作成する
ようにして、前記課題を解決したものである。

【００２３】又、前記測定結果に基づいて影響因子を自
動的に抽出し、該抽出された影響因子を用いて、各機器
毎に最適なモデル化関数を自動的に作成するようにした
ものである。

【００２４】本発明は、又、前記の動作速度モデル化方
法により作成された動作速度モデルを用いて、動作モデ
ルファイルを編集すると共に、前記動作速度モデルを用
いて、機器の動作経路を最適化又はシミュレーションす
ることを特徴とする加工機の動作経路最適化方法を提供
するものである。

【００２５】又、加工機を動作させて、該加工機を構成
する機器の動作速度を測定し、測定結果に基づいて、各
機器の動作速度を自動的に検定することを特徴とする加
工機の動作速度検定方法を提供するものである。

【００２６】本発明は、又、加工機の動作速度モデル化
装置において、加工機を動作させて、該加工機を構成す
る機器の動作速度を測定する手段と、測定結果に基づい
て、各機器毎に最適なモデル化関数を自動的に作成する
関数化手段とを備えることにより、前記課題を解決した
ものである。

【００２７】更に、前記測定結果に基づいて影響因子を
自動的に抽出する抽出手段を備え、前記関数化手段が、
該抽出手段により抽出された影響因子を用いて、各機器
毎に最適なモデル化関数を自動的に作成するようにした
ものである。

【００２８】本発明は、又、前記の動作速度モデル化装
置により作成された動作速度モデルを用いて、動作モデ
ルファイルを編集するファイル編集手段と、該ファイル
編集手段により編集された動作モデルファイルを用い
て、機器の動作経路を最適化又はシミュレーションする
手段とを備えたことを特徴とする加工機の動作経路最適
化装置を提供するものである。

【００２９】又、加工機を動作させて、該加工機を構成
する機器の動作速度を測定する手段と、測定結果に基づ
いて、各機器の動作速度を自動的に検出する手段と、を
備えたことを特徴とする加工機の動作速度検定装置を提
供するものである。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。

【００３１】本実施形態は、図６に示す如く、加工デー
タファイル群７０と、該加工データファイル群７０をプ
ログラム上での加工データ７２に変換する変換機能を持
つ変換プログラム８２と、レーザ穴開け機１０を制御す
る加工制御機能を持つ加工制御プログラム８４と、機器
の動作時間を測定する測定機能（プログラム）８６ａ、
測定結果（データ）７４から、動作距離に対する動作時
間をモデル化するモデル化機能（プログラム）８６ｂ、
動作モデル（データ）７６から動作モデルファイル７８
を作成又は編集する動作モデルファイル編集機能（プロ
グラム）８６ｃを持つモデル化プログラム８６と、出願
人が既に特願２００１−３３１５５０や特願２００２−
２６１８９で提案したような方法によって加工計画を最
適化する最適化プログラム８８と、加工シミュレーショ
ンを行なうシミュレーションプログラム９０と、機器動
作速度を検定する検定プログラム９２と、前記プログラ
ム８２、８４、８６、８８、９０を実行可能なパソコン
（ＰＣ）８０と、該ＰＣ８０の処理結果を表示するデス
プレイ９４と、過去の実測結果を蓄積する動作モデルデ
ータベース９６とを備えている。

【００３２】前記加工データファイル群７０、加工デー
タ７２、測定結果（データ）７４、動作モデル（デー
タ）７６、動作モデルファイル７８、動作モデルデータ
ベース９６は、例えばメモリやハードデスクに蓄えられ
ている。

【００３３】なお、前記プログラム８２、８４、８６、
８８、９０、９２は、同一のソフトウェアでも、各々が
単独のソフトウェアでも、一部が合体していても構わな
い。

【００３４】以下、図７を参照して、作用を説明する。

【００３５】前記レーザ穴開け機１０は、ステップ１１
０で、加工データファイル群７０を変換プログラム８２
によって変換することにより得られる、加工データ７２
に従って動作を行なう。加工開始命令の後、加工機動作
の制御を行なうのは、加工制御プログラム８４である。
即ち、加工担当者は、加工データファイル群７０を用意
し、加工制御プログラム８４に加工開始命令を発して、
レーザ穴開け機１０を動作させる。

【００３６】動作開始後、ステップ１０２で、モデル化
プログラム８６が動作モデル７６を作成する。即ち、動
作中において、プログラム８６ａがガルバノスキャナや
ＸＹステージ等の位置決め等の所要時間を測定する。次
いでプログラム８６ｂが、測定結果７４から、（例えば
××μｍ動作に××μsec費やすといったような）動作
モデル７６を作成し、次いで、ステップ１０４で、プロ
グラム８６ｃが、別プログラムで利用するために動作モ
デルファイル７８を編集する。これ以上何もしない場合
は、ステップ１０５を経て、このまま終了となる。

【００３７】以下のステップ（１０６、１０８、１１
０）は、別プログラムの例である（必要なプログラムの
みを実行する）。

【００３８】場合により、ステップ１０６で、動作モデ
ル７６及び加工データ７２を用いて、最適化プログラム
８８により機器の動作経路を最適化する。最適化の方法
として、例えば特願２００１−３３１５５０や特願２０
０２−２６１８９で出願人が提案した方法を用いること
ができる。

【００３９】場合により、ステップ１０８で、シミュレ
ーションプログラム９０により機器の加工方法をパソコ
ン８０のデスプレイ９４上で表現する。

【００４０】場合により、ステップ１１０で、機器動作
速度検定プログラム９２により、機器の動作速度が想定
通りであるかどうかを検定する。この機能を使用する際
に、標準的な動作速度や過去の測定結果等の動作モデル
データベース９６を用いる。

【００４１】なお、ステップ１０６、１０８、１１０の
いずれか１つを実行した後、別のステップを実行する場
合は、ステップ１１２を経て、再度ステップ１０４実行
直後の状態に戻す。

【００４２】前記加工データファイル群７０は、ユーザ
（基板メーカー）が実際に加工を行なうためのデータ
（実基板データと称する）であってもよいが、実基板デ
ータの場合は、動作距離がバラバラであり、又、第１、
第２ガルバノスキャナが共に動作するため、モデル化の
ための測定としては相応しくない場合が有り得る。そこ
で、例えば図８に示す如く、同一方向に同一距離ずつの
動作を、ＸＹ方向、他距離に対し順次行なうような、
「測定−モデル化用」加工データファイル（群）を作成
しておき、それを用いて測定、モデル化を行なうことも
できる。

【００４３】前記動作モデル７６は、ある動作（入力
Ｘ）に対し、動作完了までにどの程度の時間を費やすか
（出力Ｙ）を決める関係式Ｙ＝Ｆ（Ｘ）を指す。図９
に、一例として入力がＸ方向への移動距離のみである場
合を示す。

【００４４】入力値としては、動作距離、（スキャンエ
リア内の）動作場所、前回（前々回）の動作の影響、温
度、…等、様々な項目が考えられる。従って、モデル化
機能は、図１０に示すように、入力値候補の中で実際に
影響を与えている項目を抽出する工程２００と、プログ
ラム上での関数化（抽出した入力値を引数とし、動作時
間を出力とする）工程２０２を含むことができる。

【００４５】なお、前記抽出工程２００は、場合により
省略してもよい。例えば、事前の実験により、動作距離
のみで十分実用的なモデル化が可能であることが予め分
かっていれば、改めて行う必要はない。

【００４６】なお、前記抽出工程２００及び関数化工程
２０２は、共に、統計的検定、推定手法に基づく。即
ち、抽出工程２００においては、例えば図１１に示す如
く、スキャンエリア中央及び縁沿いのデータ、前回スキ
ャナの振れ角が大きい場合と小さい場合のデータ等を、
２分若しくは幾つかに分けてサンプルを抽出し、違いが
あるかどうかを検定式により検定する。

【００４７】又、前記関数化工程２０２においては、例
えば抽出工程において動作距離のみが抽出された場合
に、図１２に示す如く、動作距離に対する動作時間のば
らつきから、例えば直線、折れ線、階段的形状の線、２
次曲線等に最小２乗法等を用いてフィットさせる。な
お、モデル化に際しては、設計に基づく機器の特性を考
慮することも考えられる。

【００４８】動作モデルは、通常、第１、第２ガルバノ
スキャナで、更に２軸機の場合、左右のガルバノで、異
なったものである。従って、場合によっては関数の引数
が異なることも有り得る。

【００４９】前記最適化プログラム８８及びシミュレー
ションプログラム９０の具体的な内容は、既に出願人が
提案した特願２００１−３３１５５０、特願２００２−
２６１８９等に詳しく記載されている。なお、これらの
技術では、動作モデルはプログラムの内部に関数の形で
記述されているため、本発明では、モデルファイルを読
み込む機能が必要となる。

【００５０】前記検定プログラム９２は、品質検査を目
的とする。即ち、データ実測を行なった際に、実測値
と、標準的な加工速度、及び／又は、過去の実測結果
（データベース化しておく）とを比較することにより、
予想される応答性とは異なる値を示すもののチェック
や、経時的な変化のチェックを行なうことができる。即
ち、同一の設計の下で製作された機器は、ほぼ等しい応
答性を示すはずであるが、予測されるものとは全く異な
る応答性を示すことも考えられる。又、製作直後のもの
と比較して、応答性が大きく異なってくることも考えら
れる。

【００５１】本実施形態においては、動作モデルを作成
するだけでなく、最適化、シミュレーションや検定も行
っているので、使い勝手が良い。なお、動作モデル作成
だけとすることも可能である。

【００５２】前記実施形態においては、本発明が、レー
ザ穴開け機に適用されていたが、本発明の適用対象はこ
れに限定されず、レーザビーム以外の加工手段を用いた
一般的な加工機（例えば機械式ドリルによる穴開け装
置）や、詳細な動作モデルを自動的に得ることが有益な
システム、動作速度が品質の１つであるようなシステ
ム、更には、複数の内部機器を用いて動作を行なうよう
なシステムにも同様に適用できる。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、モデル化のための手間
（測定、データ整理、モデル化）を削ることができ、コ
ストや時間を節約できる。又、例えば各レーザ穴開け機
（各ガルバノスキャナ）それぞれに対するモデル化が可
能となり、機差に対応できる。又、最適化機能を最大限
に生かすことができ、スループットが向上する。更に、
正確なシミュレーションを実現できる。又、機器の経時
的な変化に常に対応でき、最適化、シミュレーションに
対するメンテナンスが不要である。又、予想される応答
性より劣る不良品のチェックが容易である。又、機器の
経時的な悪化及び故障のチェックが容易である等の優れ
た効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用されるレーザ穴開け機の全体構成
を示す斜視図

【図２】同じく、詳細構成を示す斜視図

【図３】同じく、ステップアンドリピートによる全体の
加工動作を示すタイムチャート

【図４】同じく、各走査エリア内の加工動作を示すタイ
ムチャート

【図５】レーザ穴開け機の従来の装置システム構成を示
すブロック線図

【図６】本発明に係る加工機の動作速度モデル化及び動
作経路最適化装置の全体構成を示すブロック図

【図７】前記実施形態の処理手順を示す流れ図

【図８】「測定−モデル化用」加工データファイルの内
容例を示す平面図

【図９】動作モデルの概念図

【図１０】モデル化機能の工程を示す流れ図

【図１１】抽出工程の概念図

【図１２】関数化工程の概念図

【符号の説明】

１０…レーザ穴開け（加工）機 ７０…加工データファイル群 ７２…加工データ ７４・・・測定結果（データ） ７６…動作モデル（データ） ７８…動作モデルファイル ８０…パソコン（ＰＣ） ８２…変換プログラム ８４…加工制御プログラム ８６…モデル化プログラム ８６ａ…測定機能（プログラム） ８６ｂ…モデル化機能（プログラム） ８６ｃ…モデルファイル編集機能（プログラム） ８８…最適化プログラム ９０…シミュレーションプログラム ９２…検定プログラム ９４・・・デスプレイ ９６…動作モデルデータベース

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加工機を動作させて、該加工機を構成する
   機器の動作速度を測定し、 測定結果に基づいて、各機器毎に最適なモデル化関数を
   自動的に作成することを特徴とする加工機の動作速度モ
   デル化方法。
2. 【請求項２】前記測定結果に基づいて影響因子を自動的
   に抽出し、 該抽出された影響因子を用いて、各機器毎に最適なモデ
   ル化関数を自動的に作成することを特徴とする、請求項
   １に記載の加工機の動作速度モデル化方法。
3. 【請求項３】請求項１又は２に記載の動作速度モデル化
   方法により作成された動作速度モデルを用いて、動作モ
   デルファイルを編集すると共に、 前記動作速度モデルを用いて、機器の動作経路を最適化
   又はシミュレーションすることを特徴とする加工機の動
   作経路最適化方法。
4. 【請求項４】加工機を動作させて、該加工機を構成する
   機器の動作速度を測定し、 測定結果に基づいて、各機器の動作速度を自動的に検定
   することを特徴とする加工機の動作速度検定方法。
5. 【請求項５】加工機を動作させて、該加工機を構成する
   機器の動作速度を測定する手段と、 測定結果に基づいて、各機器毎に最適なモデル化関数を
   自動的に作成する関数化手段と、 を備えたことを特徴とする加工機の動作速度モデル化装
   置。
6. 【請求項６】前記測定結果に基づいて影響因子を自動的
   に抽出する抽出手段を更に備え、 前記関数化手段が、該抽出手段により抽出された影響因
   子を用いて、各機器毎に最適なモデル化関数を自動的に
   作成するようにされていることを特徴とする、請求項５
   に記載の加工機の動作速度モデル化装置。
7. 【請求項７】請求項５又は６に記載の動作速度モデル化
   装置により作成された動作速度モデルを用いて、動作モ
   デルファイルを編集するファイル編集手段と、 該ファイル編集手段により編集された動作モデルファイ
   ルを用いて、機器の動作経路を最適化又はシミュレーシ
   ョンする手段と、 を備えたことを特徴とする加工機の動作経路最適化装
   置。
8. 【請求項８】加工機を動作させて、該加工機を構成する
   機器の動作速度を測定する手段と、 測定結果に基づいて、各機器の動作速度を自動的に検定
   する手段と、 を備えたことを特徴とする加工機の動作速度検定装置。
9. 【請求項９】請求項１乃至４のいずれかに記載の方法を
   実施するためのコンピュータプログラム。
10. 【請求項１０】請求項５乃至８のいずれかに記載の装置
    を実現するためのコンピュータプログラム。
11. 【請求項１１】請求項９又は１０に記載のコンピュータ
    プログラムを記録した、コンピュータ読取可能な記録媒
    体。