JP5625447B2 - 水質評価方法及び装置 - Google Patents
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Description
Si+2H2O → SiO2+2H2
に従って水素が発生し、カラム流出水中の溶存水素濃度が上昇する。
以下に、水質評価方法の一例について詳細に説明する。
先ず、第1図のように、試料水(超純水)をカラムAに通水し、所定の間隔(例えば1秒間隔、1分間隔等)で連続的に又は定期的に水素濃度計11を用いて水素濃度Hを測定して、溶存水素濃度上昇速度dH/dtを算出する。また、流量計12,15で流量Qを測定し、該流量QとカラムA内のシリコン粒子の収容量VAから空間速度SV1(Q/VA)を算出すると共に、この空間速度SV1が第1の設定速度となるように試料水の流量Qを制御する。
上記評価工程において、上記溶存水素濃度上昇速度dH/dtが基準値超であった場合、試料水の通水を停止し、カラムA内のシリコン粒子を新たなシリコン粒子に取り替える。この新たなシリコン粒子とは、カラムA内のシリコン粒子とは別に用意しておいたシリコン粒子でもよく、また、カラムA内に超純水を通水する等して該カラムA内のシリコン粒子を再生してなる再生シリコン粒子でもよい。さらに、カラムA内のシリコン粒子を取り出して再生してなる再生シリコン粒子を、カラムAに戻してもよい。
次いで、第2図のように、試料水(超純水)をカラムA、カラムBの順に通水し、所定の間隔(例えば1秒間隔、1分間隔等)で連続的に又は定期的に水素濃度計11を用いて水素濃度Hを測定して、溶存水素濃度上昇速度dH/dtを算出する。また、流量計12,15で流量Qを測定し、該流量Qと、カラムA内のシリコン粒子の収容量VAと、カラムB内のシリコン粒子の収容量VBとから空間速度SV2(Q/(VA+VB))を算出すると共に、この空間速度SV2が第2の設定速度となるように試料水の流量Qを制御する。なお、この第2の設定速度は、上記第1の設定速度よりも小さい値とする。
上記の再評価工程において、溶存水素濃度上昇速度dH/dtが基準値超の場合には、さらに上記切替工程及び再評価工程を1回又は複数回繰り返してもよい。
次いで、第3図のように、試料水(超純水)をカラムA、カラムB、カラムCの順に通水し、水素濃度計11で水素濃度Hを測定して、溶存水素濃度上昇速度dH/dtを算出する。また、流量計12,15で流量Qを測定し、該流量Qと、カラムA、B,C内のシリコン粒子の収容量VA、VB、VCとから、空間速度SV3(Q/(VA+VB+VC))を算出すると共に、この空間速度SV3が第3の設定速度となるように試料水の流量Qを制御する。なお、この第3の設定速度は、上記第2の設定速度よりも小さい値とする。
上記第1の例では、再評価工程においてカラムA、Bに通水したが(第2図)、カラムB、Cに通水するようにしてもよい(第4図)。
なお、評価工程及び再評価工程で通水するカラムは、上記第1〜第3の例に限定されるものではない。即ち、
評価工程 Aのみ
再評価工程 B→C
第2の再評価工程 A→B→C
の通水方式としてもよい。
評価工程 Aのみ
再評価工程 A→B
のように第2回目に2カラム直列通水する。
本発明では、各カラムに試料水を上向流で通水すると共に、シリコンの充填量と通水量との関係が、空間速度SV=100〜10,000h−1好ましくは100〜5000h−1となるように調節し、カラム内に流動層を形成することが好ましい。SVが10000h−1よりも大きくなると、超純水がシリコンの充填材に接触する時間が短くなり、超純水中のアミン系有機物の検出感度が低くなる。一方、SVが100h−1を下回ると、水素濃度が飽和状態となるのに極めて長い時間(24時間以上)を要し、検出時間が長くなる。
金属イオン濃度:5ng/L以下
残留イオン濃度:10ng/L以下
微粒子数 :1mL中に0.1μm以上の微粒子5個以下
TOC :0.1〜10μg/L
内径25mm、高さ500mmのアクリル製カラムを第1図のように3本設置した。各カラム内に平均粒径1mmの球状のシリコン粒子(純度4N)を120mL充填した。なお、シリコン粒子は、充填前にオゾン水で30分洗浄した後に、1%HF溶液中に5分浸漬して水素終端化を行っている。
まず、カラムAに超純水製造設備からの超純水を1L/minとなるように上向流で通水した。シリコン粒子は展開して流動層となった。このときのSVは500h−1であった。カラムAからの流出水中の溶存水素濃度は、隔膜電極式溶存水素計(アプリクス製)を利用して1分ごとに測定した。
通水開始から1時間後に溶存水素濃度の増加が1ppbに達した。このときのdH/dtの値が基準値である0.1ppb/h超であったので、水質が良好ではないと判定し、バルブを操作してカラムAへの試料水の通水を停止し、未使用のシリコン粒子がカラムAと同量収容されているカラムB,Cに直列に通水されるようにバルブを操作した。
次いで、2本のカラムB,Cに順次通水を行った。そのときのSVは250h−1であった。2.5時間後には、0.6ppbの溶存水素濃度の増加を確認した。このときのdH/dtの値が基準値である0.2ppb/h以下となり、水質が良好であると判定した。そこで、ウエハの表面荒れが少ないと判断して、超純水を使用することにした。この実施例では水質判定に3.5時間を要した。
シリコン粒子を充填したカラムを1本のみ用いたこと以外は、実施例1と同様にしてSV500h−1で通水を行った。10時間通水を継続して、0.5ppbの溶存水素濃度の増加を確認した。このときdH/dtが基準値である0.1ppb/h以下であったので水質が良好であると判定した。そこで、ウエハの表面荒れが少ないと判断した。この比較例では、水質判定に10時間を要した。
5 シリコン粒子
11 水素濃度計
Claims (10)
- シリコン粒子を収容したカラムに試料水を通水し、そのカラム流出水中の溶存水素濃度に基づいて試料水の水質を評価する水質評価方法において、
新たなシリコン粒子を収容したカラムに試料水を所定の空間速度で通水し、そのカラム流出水中の溶存水素濃度上昇速度に基づいて試料水の水質を評価する評価工程を実行する水質評価方法であって、
前記溶存水素濃度上昇速度が予め設定した基準値超になったときに、新たなシリコン粒子を収容したカラムに切替える切替工程と、該切替後のカラムに対して切替前の空間速度よりも小さい空間速度として再び前記評価工程を行う再評価工程とを実行することを特徴とする水質評価方法。 - シリコン粒子を収容したカラムに試料水を通水し、カラム流出水中の溶存水素濃度を測定し、測定値に基づいて試料水の水質を評価する水質評価方法において、
新たなシリコン粒子を収容したカラムに試料水を所定の空間速度で通水し、通水開始から0〜30分の所定の経過時点を原点とし、原点におけるカラム流出水中の溶存水素濃度測定値に対して増加幅が0.1〜1.5ppbの所定の溶存水素濃度になった時点の溶存水素濃度上昇速度を求め、求めた溶存水素濃度上昇速度に基づいて試料水の水質を評価する評価工程を実行するものであって、
前記評価工程において、前記溶存水素濃度上昇速度が予め設定した基準値超であるときは、試料水が所望の水質に達していないと判定すると共に、
新たなシリコン粒子を収容したカラムに切替える切替工程を行い、
該切替後のカラムに対して切替前の空間速度よりも小さい空間速度として再び前記評価工程を行う再評価工程を実行するものであることを特徴とする水質評価方法。 - 請求項1又は2において、前記試料水が、純水製造装置の運転開始又は再開直後の純水か、或いは洗浄されたイオン交換樹脂を純水でリンスした後の純水であることを特徴とする水質評価方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記新たなシリコン粒子が、前記切替工程前のシリコン粒子を再生した再生シリコン粒子と、前記切替工程前のシリコン粒子とは別に用意しておいた別のシリコン粒子の少なくとも1つであり、
前記新たなシリコン粒子の収容量が、前記切替工程前のシリコン粒子の収容量よりも大きいことを特徴とする水質評価方法。 - 請求項4において、前記新たなシリコン粒子を収容した複数本のカラムを、1本の第1カラムと複数本の第2カラムにグループ分けしておき、
前記評価工程では、前記第1カラムに試料水を通水し、
前記再評価工程では、前記第2カラムに試料水を直列又は並列に通水することを特徴とする水質評価方法。 - 請求項4において、前記新たなシリコン粒子を収容した複数本のカラムを、1本の第1カラムと複数本の第2カラムにグループ分けしておき、
前記評価工程では、前記第1カラムに試料水を通水し、
前記再評価工程では、第1カラム内のシリコン粒子を前記新たなシリコン粒子に置換してなる再生第1カラムと第2カラムとの両方に試料水を直列又は並列に通水することを特徴とする水質評価方法。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、前記評価工程及び前記再評価工程では、前記カラムに試料水を上向流で通水することにより流動層を形成すると共に、空間速度を100〜10,000h−1とすることを特徴とする水質評価方法。
- 請求項1ないし7のいずれか1項において、前記シリコン粒子が純度99.99%以上の高純度半導体シリコンであることを特徴とする水質評価方法。
- 請求項1ないし8のいずれか1項において、前記シリコン粒子が水素終端化されていることを特徴とする水質評価方法。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の水質評価方法により試料水の水質を評価するための水質評価装置であって、
それぞれシリコン物質の粒子が充填された複数本のカラムと、
いずれか1本のカラムに通水する形態と複数本のカラムに直列又は並列に通水する形態とを切り替えることができる通水手段と、
カラムから流出した流出水中の溶存水素濃度を測定する手段と
を有する水質評価装置。
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