JP5625249B2 - 回路モジュール、半導体集積回路、および検査装置 - Google Patents
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Description
実施の形態1では、シフトレジスタの動作を制御する制御信号に基づいて、スキャン信号を取り込む短絡パスとスキャン信号をシフトレジスタへ経由させて取り込む冗長パスのうち、いずれか一方のパスを選択する。これにより、半導体集積回路内で生成される制御信号を流用することで、スキャンテストの効率化を図ることができる。さらに、スキャンテスト時間の短縮化を図ることができる。図1−1〜図1−3にて実施の形態1にかかる半導体集積回路および回路モジュールを示す。
つぎに、実施の形態2では、回路モジュールが、スキャンテストの動作を制御するスキャン動作信号がスキャンテストを許可しない場合、制御信号の値を保持し、許可する場合、制御信号の値を選択回路に出力する保持回路を有している。これにより、スキャンテスト中に選択回路に入力される制御信号が変化しない。なお、実施の形態1で説明した構成と同一構成には同一符号を付し、同一構成の説明を省略する。図3を用いて保持回路を有する回路モジュールを示す。
つぎに、実施の形態3では、実施の形態1または2で説明した回路モジュールが、選択回路により短絡パスまたは冗長パスのいずれのパスが選択されたかを示すパス選択情報を付加する付加回路を有する。これにより、デバッグの容易化を図ることができる。なお、実施の形態1および2で説明した構成と同一構成には同一符号を付し、同一構成の説明を省略する。図4−1および図4−2を用いて付加回路を有する回路モジュールを示す。
つぎに、実施の形態4では、半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得し、スキャンデータ列によりパス選択情報が未知である回路モジュールのパス選択情報を登録して各回路モジュールに対応するスキャンデータ列と回路モジュールの識別情報とを関連付けて出力する。これにより、デバッグの容易化を図ることができる。検査対象の半導体集積回路内の制御信号生成回路は、回路モジュール内のシフトレジスタが有するFFの出力データを、当該回路モジュールよりも後から出力される回路モジュールへ制御信号として供給する。なお、実施の形態1〜3で説明した構成と同一構成には同一符号を付し、同一構成の説明を省略する。
図5は、実施の形態4の検査装置が対象とする半導体集積回路を示す説明図である。半導体集積回路500は、スキャンチェーンを構成する回路モジュールLと、スキャンチェーンを構成する回路モジュールMと、スキャンチェーンを構成する回路モジュールNと、スキャンチェーンを構成するその他複数の回路モジュール(点線の矢印により複数の回路モジュールが含まれていることを示す)と、制御信号生成回路501と、入力端子104と、出力端子105を含む構成である。
図7は、実施の形態4にかかる検査装置のハードウェア構成を示すブロック図である。図7において、検査装置は、CPU(Central Processing Unit)701と、ROM(Read‐Only Memory)702と、RAM(Random Access Memory)703と、磁気ディスクドライブ704と、磁気ディスク705と、光ディスクドライブ706と、光ディスク707と、ディスプレイ708と、I/F(Interface)709と、キーボード710と、マウス711と、スキャナ712と、プリンタ713と、JTAGまたはスキャンテスト専用のI/F715を備えている。また、各構成部はバス700によってそれぞれ接続されている。
つぎに、検査装置の機能的構成について説明する。図8は、実施の形態4にかかる検査装置の機能的構成を示すブロック図である。検査装置800は、取得部801と、記憶部802と、指定部803と、判断部804と、設定部805と、検出部806と、登録部807と、関連付部808と、出力部809を含む構成である。検査装置800の制御部となる機能(取得部801〜出力部809)は、具体的には、たとえば、図7に示したROM702、RAM703、磁気ディスク705、光ディスク707などの記憶装置に記憶されたプログラムをCPU701に実行させることにより、または、I/F709により、その機能を実現する。
実施の形態4にかかる検査装置800の検査処理手順について説明する。図11は、実施の形態4にかかる検査装置800の検査処理手順を示すフローチャートである。まず、取得部801により、スキャンデータ列を取得する(ステップS1101)。たとえば、取得されたスキャンデータ列は、スキャンデータ列例5である。指定部803により、i=1,j=1とし(ステップS1102)、j<=回路モジュールの総数であるか否かを判断する(ステップS1103)。
実施の形態5では、実施の形態3にて説明した半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を検査する。これにより、デバッグの容易化を図ることができる。本実施の形態5では半導体集積回路400から出力されるスキャンデータ列を例に検査装置を説明する。なお、実施の形態1〜4で説明した構成と同一構成には同一符号を付し、同一構成の説明を省略する。
つぎに、検査装置の機能的構成について説明する。図14は、実施の形態5にかかる検査装置の機能的構成を示すブロック図である。検査装置1400は、取得部1401と、記憶部1402と、指定部1403と、抽出部1404と、判断部1405と、関連付部1406と、出力部1407を含む構成である。
実施の形態5にかかる検査装置1400の検査処理手順について説明する。図16は、実施の形態5にかかる検査装置1400の検査処理手順を示すフローチャートである。まず、取得部1401により、スキャンデータ列を取得する(ステップS1601)。たとえば、スキャンデータ列は、スキャンデータ列例6である。つぎに、指定部1403により、n=1,m=1とする(ステップS1602)。これにより、記憶部1402により記憶されている出力順序情報1300内のm番目の回路モジュールが指定される。そして、m<=回路モジュールの総数であるか否かを判断する(ステップS1603)。
前記半導体集積回路内部で生成される制御信号により前記シフトレジスタの動作を制御する制御手段と、
スキャン信号を取り込む短絡パスと前記スキャン信号を前記シフトレジスタへ経由させて取り込む冗長パスのうち、前記制御信号により前記シフトレジスタの動作を許可する場合、前記冗長パスを選択し、許可しない場合、前記短絡パスを選択する選択手段と、
を備えることを特徴とする回路モジュール。
前記各回路モジュールの前記シフトレジスタの動作を制御する制御手段と、
前記回路モジュールごとに前記制御手段に前記シフトレジスタの動作を許可する制御信号を生成する制御信号生成手段と、
前記各回路モジュールへのスキャン信号を取り込む短絡パスと前記スキャン信号を前記シフトレジスタへ経由させて取り込む冗長パスのうち、前記制御信号生成手段によって生成された制御信号により前記シフトレジスタの動作を許可する場合、前記冗長パスを選択し、許可しない場合、前記短絡パスを選択する選択手段と、
を備えることを特徴とする半導体集積回路。
前記動作信号生成手段により生成されたスキャン動作信号がスキャンの動作を許可しない場合、前記制御信号の値を保持し、前記スキャン動作信号がスキャンの動作を許可する場合、保持した前記制御信号の値を前記選択手段へ出力する保持手段と、
を備えることを特徴とする付記4に記載の半導体集積回路。
前記回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子の出力データを、当該回路モジュールよりも後から出力される回路モジュールへ制御信号として供給することを特徴とする付記4に記載の半導体集積回路。
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得手段と、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有しているデータ保持素子の識別情報と前記データ保持素子の出力先である回路モジュールの識別情報とを有する出力先情報と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段により記憶されている出力先情報によりいずれのパスが選択されているかを示すパス選択情報が未知である回路モジュールの前記パス選択情報を対象スキャンデータ列から検出する検出手段と、
前記記憶手段により記憶されている前記出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定手段と、
前記指定手段により指定された回路モジュールについて検出されたパス選択情報が、前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記冗長パスと判断された場合、前記取得手段により取得されたスキャンデータ列の中から前記回路モジュール内の前記シフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列を前記対象スキャンデータ列に設定する設定手段と、
前記対象スキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付手段と、
前記関連付手段により関連付けられた結果を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得手段と、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子の出力順と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段により記憶されている出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定手段と、
前記指定手段により指定された回路モジュール内のパス選択情報に対応するスキャンデータを前記取得手段により取得されたスキャンデータ列から抽出する抽出手段と、
前記抽出手段により抽出された前記パス選択情報であるスキャンデータが前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記冗長パスを示していると判断された場合、前記スキャンデータ列の中から前記回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付手段と、
前記関連付手段により関連付けられた結果を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得手段、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有しているデータ保持素子の識別情報と前記データ保持素子の出力先である回路モジュールの識別情報とを有する出力先情報と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報とを記憶する記憶手段、
前記記憶手段により記憶されている出力先情報によりいずれのパスが選択されているかを示すパス選択情報が未知である回路モジュールの前記パス選択情報を対象スキャンデータ列から検出する検出手段、
前記記憶手段により記憶されている前記出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定手段、
前記指定手段により指定された回路モジュールについて検出されたパス選択情報が、前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断手段、
前記判断手段により前記冗長パスと判断された場合、前記取得手段により取得されたスキャンデータ列の中から前記回路モジュール内の前記シフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列を前記対象スキャンデータ列に設定する設定手段、
前記対象スキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付手段、
前記関連付手段により関連付けられた結果を出力する出力手段、
として機能させることを特徴とする検査プログラム。
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得工程、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有しているデータ保持素子の識別情報と前記データ保持素子の出力先である回路モジュールの識別情報とを有する出力先情報と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報とを記憶する記憶工程、
前記記憶工程により記憶されている出力先情報によりいずれのパスが選択されているかを示すパス選択情報が未知である回路モジュールの前記パス選択情報を対象スキャンデータ列から検出する検出工程、
前記記憶工程により記憶されている前記出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定工程、
前記指定工程により指定された回路モジュールについて検出されたパス選択情報が、前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断工程、
前記判断工程により前記冗長パスと判断された場合、前記取得工程により取得されたスキャンデータ列の中から前記回路モジュール内の前記シフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列を前記対象スキャンデータ列に設定する設定工程、
前記対象スキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付工程、
前記関連付工程により関連付けられた結果を出力する出力工程、
を実行することを特徴とする検査方法。
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得手段、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子の出力順と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報を記憶する記憶手段、
前記記憶手段により記憶されている出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定手段、
前記指定手段により指定された回路モジュール内のパス選択情報に対応するスキャンデータを前記取得手段により取得されたスキャンデータ列から抽出する抽出手段、
前記抽出手段により抽出された前記パス選択情報であるスキャンデータが前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断手段、
前記判断手段により前記冗長パスを示していると判断された場合、前記スキャンデータ列の中から前記回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付手段、
前記関連付手段により関連付けられた結果を出力する出力手段、
として機能させることを特徴とする検査プログラム。
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得工程、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子の出力順と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報を記憶する記憶工程、
前記記憶工程により記憶されている出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定工程、
前記指定工程により指定された回路モジュール内のパス選択情報に対応するスキャンデータを前記取得工程により取得されたスキャンデータ列から抽出する抽出工程、
前記抽出工程により抽出された前記パス選択情報であるスキャンデータが前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断工程、
前記判断工程により前記冗長パスを示していると判断された場合、前記スキャンデータ列の中から前記回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付工程、
前記関連付工程により関連付けられた結果を出力する出力工程、
を実行することを特徴とする検査方法。
601,605,607,1001,1301,1501 回路モジュール名
604,608,1002,1302,1502 FF名
602 パス選択情報
603 出力先情報
606,1300 出力順序情報
1003,1503 スキャンデータ
800,1400 検査装置
801,1401 取得部
802,1402 記憶部
803,1403 指定部
1404 抽出部
804,1405 判断部
805 設定部
806 検出部
808,1406 関連付部
809,1407 出力部
Claims (6)
- 半導体集積回路内のスキャンチェーンの一部を構成するシフトレジスタと、
前記半導体集積回路内部で生成される自回路モジュールの動作を制御する制御信号により前記シフトレジスタの動作を制御する制御手段と、
スキャン信号を取り込む短絡パスと前記スキャン信号を前記シフトレジスタへ経由させて取り込む冗長パスのうち、前記制御信号により前記シフトレジスタの動作を許可する場合、前記冗長パスを選択し、許可しない場合、前記短絡パスを選択する選択手段と、
前記選択手段によって前記短絡パスまたは前記冗長パスのいずれのパスが選択されたかを示す情報を前記選択手段により取り込まれた信号へ付加して出力する付加手段と、
を備えることを特徴とする回路モジュール。 - 前記半導体集積回路内部で生成されるスキャン動作を制御するスキャン動作信号がスキャンの動作を許可しない場合、前記制御信号の値を保持し、前記スキャン動作信号がスキャンの動作を許可する場合、保持した前記制御信号の値を前記選択手段へ出力する保持手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の回路モジュール。
- スキャンチェーンを構成するシフトレジスタを有する複数の回路モジュールと、
前記各回路モジュールの前記シフトレジスタの動作を制御する制御手段と、
前記回路モジュールごとに前記制御手段に前記回路モジュールの動作を制御して前記シフトレジスタの動作を許可する制御信号を生成する制御信号生成手段と、
前記各回路モジュールへのスキャン信号を取り込む短絡パスと前記スキャン信号を前記シフトレジスタへ経由させて取り込む冗長パスのうち、前記制御信号生成手段によって生成された制御信号により前記シフトレジスタの動作を許可する場合、前記冗長パスを選択し、許可しない場合、前記短絡パスを選択する選択手段と、
前記選択手段により前記短絡パスおよび前記冗長パスのうち、いずれのパスが選択されたかを示すパス選択情報を前記選択手段により取り込まれた信号に付加して出力する付加手段と、
を備えることを特徴とする半導体集積回路。 - スキャン動作を制御するスキャン動作信号を生成する動作信号生成手段と、
前記動作信号生成手段により生成されたスキャン動作信号がスキャンの動作を許可しない場合、前記制御信号の値を保持し、前記スキャン動作信号がスキャンの動作を許可する場合、保持した前記制御信号の値を前記選択手段へ出力する保持手段と、
を備えることを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路。 - スキャンチェーンを構成するシフトレジスタを有する複数の回路モジュールと、前記回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子の出力データを、当該回路モジュールよりもスキャン信号が後から出力される回路モジュールへ制御信号として供給する制御信号生成手段と、前記各回路モジュールへのスキャン信号を取り込む短絡パスと前記スキャン信号を前記シフトレジスタへ経由させて取り込む冗長パスのうち、前記制御信号により前記シフトレジスタの動作を許可する場合、前記冗長パスを選択し、許可しない場合、前記短絡パスを選択する選択手段と、を備える半導体集積回路を検査する検査装置であって、
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得手段と、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有しているデータ保持素子の識別情報と前記データ保持素子の出力先である回路モジュールの識別情報とを有する出力先情報と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報とを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段により記憶されている出力先情報によりいずれのパスが選択されているかを示すパス選択情報が未知である回路モジュールの前記パス選択情報を対象スキャンデータ列から検出する検出手段と、
前記記憶手段により記憶されている前記出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定手段と、
前記指定手段により指定された回路モジュールについて検出されたパス選択情報が、前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記冗長パスと判断された場合、前記取得手段により取得されたスキャンデータ列の中から前記回路モジュール内の前記シフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列を前記対象スキャンデータ列に設定する設定手段と、
前記対象スキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付手段と、
前記関連付手段により関連付けられた結果を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - スキャンチェーンを構成するシフトレジスタを有する複数の回路モジュールと、前記各回路モジュールへのスキャン信号を取り込む短絡パスと前記スキャン信号を前記シフトレジスタへ経由させて取り込む冗長パスのうち、各モジュールの動作を制御する制御信号により前記シフトレジスタの動作を許可する場合、前記冗長パスを選択し、許可しない場合、前記短絡パスを選択する選択手段と、前記選択手段により取り込まれた信号へ前記選択手段により前記短絡パスまたは前記冗長パスのいずれのパスが選択されたかを示すパス選択情報を付加して出力する付加手段と、を備える半導体集積回路を検査する検査装置であって、
前記半導体集積回路から出力されるスキャンデータ列を取得する取得手段と、
前記各回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子の出力順と前記回路モジュールの出力順を示している出力順序情報を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段により記憶されている出力順序情報により前記複数の回路モジュールの中から出力順に回路モジュールを指定する指定手段と、
前記指定手段により指定された回路モジュール内のパス選択情報に対応するスキャンデータを前記取得手段により取得されたスキャンデータ列から抽出する抽出手段と、
前記抽出手段により抽出された前記パス選択情報であるスキャンデータが前記冗長パスおよび前記短絡パスのうち、いずれのパスを示しているかを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記冗長パスを示していると判断された場合、前記スキャンデータ列の中から前記回路モジュール内のシフトレジスタが有するデータ保持素子数分のスキャンデータ列と前記回路モジュールの識別情報とを関連付ける関連付手段と、
前記関連付手段により関連付けられた結果を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
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