JP5623652B2 - ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法 - Google Patents
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Description
τ S /2−τ S /6≦T≦τ S /2+τ S /6
なる条件を満足することを特徴とする。
また、本発明の他の一側面としての誘導ラマン散乱検出方法は、第1の光パルスを第1の周期で生成し、第1の光パルスとは異なる光周波数を有する第2の光パルスを、第1の周期よりも短い第2の周期で生成し、第1および第2の光パルスを合成して試料に照射する照射工程と、第1および第2の光パルスの双方が試料に照射されることで生じる誘導ラマン散乱により強度変調された第2の光パルスを検出する検出工程と、を有し、照射工程は、光源から第2の周期で射出されるソース光パルスのそれぞれを2つの光パルスに分割する分割ステップと、該2つの光パルスのうち一方の光パルスを他方の光パルスに対して遅延させる遅延ステップと、該一方の光パルスと該他方の光パルスとを合成して第2の光パルスを生成する合成ステップと、を含む。そして、第1の周期をτ S とし、遅延ステップにおいて上記一方の光パルスを遅延させる遅延時間をTとするとき、
τ S /2−τ S /6≦T≦τ S /2+τ S /6
なる条件を満足することを特徴とする。
また、式(1)から、光路長差ΔLは、第1のパルス周期τSおよび光速cと以下の式(2)で示される関係を有するように設定されることになる。つまり、光路長差ΔLは、式(2)の条件を満足するように設定される。
式(1)は、T=τS/2である場合を含む。±τS/6の意義については後述する。図3の(c)には、光パルス成分L2が光パルス成分L1に対してT=τS/2だけ遅延した様子を示している。図3の(b)において白で示した光パルス成分L1と同時に、それよりも1つ前に射出されたソース光パルスL0から分割された黒で示す光パルス成分L2が現れる。同様に、図3の(b)において黒で示した光パルス成分L1と同時に、それよりも1つ前に射出されたソース光パルスL0から分割された白で示す光パルス成分L2が現れる。
I2がI1より時間Tだけ遅延しているとすると、
I1(t)=I0(t)/2
I2(t)=I0(t−T)/2
I12(t)=I1(t)+I2(t)
=(I0(t)+I0(t−T))/2
と表される。これらをフーリエ変換したものが、以下に示すソース光パルス列、2つの光パルス成分および第2の光パルス列の強度変化の周波数スペクトルf0(ν),f1(ν),f2(ν),f12(ν)である。FTはフーリエ変換を、νは周波数をそれぞれ示す。
f0(ν)=FT(I0(t))
f1(ν)=FT(I1(t))
=FT(I0(t)/2)
=f0(ν)/2
f2(ν)=FT(I2(t))
=FT(I0(t−T)/2)
=f0(ν)・exp(−2πiTν)/2
f12(ν)=FT(I12(t))
=FT(I1(t))+I2(t))
=f0(ν)・(1+exp(−2πiTν))/2
=exp(−πiTν)・f0(ν)・(exp(πiTν)+exp(−πiTν))/2
=exp(−πiTν)・f0(ν)・cos(πTν)
第2の光パルスの強度I12とソース光パルスの強度I0の周波数スペクトルの絶対値の比は、図5に示すように、
|f12(ν)|/|f0(ν)|=|cos(πTν)|
となる。
νS=1/τS
である。このため、
T=1/(2νS)
=τS/2
とすることで、第2の光パルス列から周波数νSの成分を除去することができる。
τS/2−τS/6≦T≦τS/2+τS/6 (1)
であれば、
|cos(πTνS)|≦1/2
となる。つまり、第2の光パルスの強度I12(t)に含まれる周波数νSの成分をソース光パルスの半分以下にすることができる。
|T−(τS/2)|≧2p (3)
すなわち、式(3)より、光パルス成分L1が通る光路に対する光パルス成分L2が通る遅延光路の光路長差ΔLは、実施例1に示した式(2)に加え、τS,cおよびpと以下の式(4)の関係も有するように設定されることになる。
|ΔL−cτS/2|≧2cp (4)
式(3)の範囲で遅延時間Tを設定し、または式(4)の範囲で光路長差ΔLを設定することで、図8に示すように、合成される光パルス成分L1と光パルス成分L2とが直接重ならない。このため、これらの合成による干渉が発生せず、干渉によるノイズの発生も回避できる。なお、ロックインアンプ12においては、光パルス成分L1と光パルス成分L2とが重ならなくてもそれらの合成強度を検出するので、ロックインアンプ12での検出感度に影響はない。なぜならば、好適な第2の光パルスのパルス幅pは数1〜10 ps(ピコ秒)であり、遅延時間Tに対して十分小さい値であるからである。
1a 第1の光源
2 第2の光パルス生成部
2a 第2の光源
6 試料
10 検出部
11 ロックインアンプ
21 照射光学系
22 集光光学系
30 遅延合波部
100 SRS検出装置
Claims (10)
- 第1の光パルスを第1の周期で生成する第1の生成手段と、
前記第1の光パルスとは異なる光周波数を有する第2の光パルスを、前記第1の周期よりも短い第2の周期で生成する第2の生成手段と、
前記第1および第2の光パルスを合成して試料に照射する光学系と、
前記第1および第2の光パルスの双方が前記試料に照射されることで生じる誘導ラマン散乱により強度変調された前記第2の光パルスを検出する検出手段と、を備え、
前記第2の生成手段は、光源から前記第2の周期で射出されるソース光パルスのそれぞれを2つの光パルスに分割する分割手段と、前記2つの光パルスのうち一方の光パルスを他方の光パルスに対して遅延させる遅延手段と、前記一方の光パルスと前記他方の光パルスとを合成して前記第2の光パルスを生成する合成手段と、を有し、
前記第1の周期をτ S とし、前記遅延手段が前記一方の光パルスを遅延させる遅延時間をTとするとき、
τ S /2−τ S /6≦T≦τ S /2+τ S /6
なる条件を満足することを特徴とする誘導ラマン散乱検出装置。 - 前記遅延手段は、前記一方の光パルスが通る光路と前記他方の光パルスが通る光路とに対して光路長差を与える構成を有し、該光路長差をΔL、光速をc、とするとき、
|ΔL−cτ S /2|≦cτ S /6
なる条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の誘導ラマン散乱検出装置。 - 前記第2の光パルスのパルス幅をpとするとき、
|T−(τ S /2)|≧2p
なる条件を満足することを特徴とする請求項1または2に記載の誘導ラマン散乱検出装置。 - 前記分割手段は、前記ソース光パルスを互いに偏光方向が異なる前記2つの光パルスに分割することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出装置。
- 前記検出手段は、前記第2の光パルスを前記第1の周期で同期検波するロックインアンプを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出装置。
- 第1の光パルスを第1の周期で生成し、前記第1の光パルスとは異なる光周波数を有する第2の光パルスを、前記第1の周期よりも短い第2の周期で生成し、前記第1および第2の光パルスを合成して試料に照射する照射工程と、
前記第1および第2の光パルスの双方が前記試料に照射されることで生じる誘導ラマン散乱により強度変調された前記第2の光パルスを検出する検出工程と、を有し、
前記照射工程は、光源から前記第2の周期で射出されるソース光パルスのそれぞれを2つの光パルスに分割する分割ステップと、前記2つの光パルスのうち一方の光パルスを他方の光パルスに対して遅延させる遅延ステップと、前記一方の光パルスと前記他方の光パルスとを合成して前記第2の光パルスを生成する合成ステップと、を含み、
前記第1の周期をτ S とし、前記遅延ステップにおいて前記一方の光パルスを遅延させる遅延時間をTとするとき、
τ S /2−τ S /6≦T≦τ S /2+τ S /6
なる条件を満足することを特徴とする誘導ラマン散乱検出方法。 - 前記遅延ステップにおいて、前記一方の光パルスが通る光路と前記他方の光パルスが通る光路とに対して光路長差を与えており、該光路長差をΔL、光速をc、とするとき、
|ΔL−cτ S /2|≦cτ S /6
なる条件を満足することを特徴とする請求項6に記載の誘導ラマン散乱検出方法。 - 前記第2の光パルスのパルス幅をpとするとき、
|T−(τ S /2)|≧2p
なる条件を満足することを特徴とする請求項6または7に記載の誘導ラマン散乱検出方法。 - 前記分割ステップにおいて、前記ソース光パルスを互いに偏光方向が異なる前記2つの光パルスに分割することを特徴とする請求項6から8のいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出方法。
- 前記検出ステップにおいて、前記第2の光パルスを前記第1の周期で同期検波することを特徴とする請求項6から9のいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出方法。
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Families Citing this family (14)
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WO2015046070A1 (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-02 | 国立大学法人電気通信大学 | 光学測定装置および光学測定方法 |
JP5646095B1 (ja) * | 2014-03-14 | 2014-12-24 | キヤノン株式会社 | 計測装置 |
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JP6566805B2 (ja) * | 2015-09-14 | 2019-08-28 | キヤノン株式会社 | 光パルス列同期装置、照明装置および検出装置 |
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Family Cites Families (7)
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---|---|---|---|---|
US5777736A (en) * | 1996-07-19 | 1998-07-07 | Science Applications International Corporation | High etendue imaging fourier transform spectrometer |
US5978528A (en) | 1997-04-02 | 1999-11-02 | Litton Systems, Inc. | Method and apparatus for reducing excess photon noise in short coherence light sources |
US5822471A (en) * | 1997-06-27 | 1998-10-13 | Elsicon, Inc. | Differential optical modulator |
JP2007278768A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Toshiba Corp | 顕微鏡装置 |
WO2010140614A1 (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-09 | 国立大学法人大阪大学 | 光学顕微鏡、および光学計測 |
WO2013084621A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | ソニー株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
US9222850B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-12-29 | Axonoptics, Llc | Integrated optics reflectometer |
-
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
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