JP5623652B2 - ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法 - Google Patents

ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5623652B2
JP5623652B2 JP2013540135A JP2013540135A JP5623652B2 JP 5623652 B2 JP5623652 B2 JP 5623652B2 JP 2013540135 A JP2013540135 A JP 2013540135A JP 2013540135 A JP2013540135 A JP 2013540135A JP 5623652 B2 JP5623652 B2 JP 5623652B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
pulse
light
raman scattering
period
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013540135A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014507627A (ja
JP2014507627A5 (ja
Inventor
泰之 小関
泰之 小関
伊東 一良
一良 伊東
啓輔 能勢
啓輔 能勢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2013540135A priority Critical patent/JP5623652B2/ja
Publication of JP2014507627A publication Critical patent/JP2014507627A/ja
Publication of JP2014507627A5 publication Critical patent/JP2014507627A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5623652B2 publication Critical patent/JP5623652B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/44Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
    • G01J3/4412Scattering spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/65Raman scattering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J3/433Modulation spectrometry; Derivative spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/44Raman spectrometry; Scattering spectrometry ; Fluorescence spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/65Raman scattering
    • G01N2021/653Coherent methods [CARS]
    • G01N2021/655Stimulated Raman
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2383Parallel arrangements
    • H01S3/2391Parallel arrangements emitting at different wavelengths

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Description

本発明は、誘導ラマン散乱を利用して分子振動イメージングを行う顕微鏡や内視鏡等に用いられる誘導ラマン散乱検出装置に関する。
ラマン散乱原理を利用した検出装置の1つとしての誘導ラマン散乱(Stimulated Raman Scattering:SRS)検出装置は、非特許文献1や非特許文献2にて提案されている。誘導ラマン散乱検出装置の原理は、以下の通りである。
互いに光周波数が異なる2色の光パルス(レーザパルス)を試料に集光照射する。この場合に、該2色の光パルスの周波数の差が試料の分子振動周波数と一致すると、集光点にて誘導ラマン散乱という現象が生じ、光パルスが誘導ラマン散乱によって強度変調される。試料から射出された誘導ラマン散乱により強度変調された光パルスからその強度変調分の光(検出光)を検出することで、試料の分子の振動情報を反映した分子振動イメージングが可能となる。
誘導ラマン散乱顕微鏡の原理確認;嶽 文宏、小関泰之、伊東一良、Optics &Photonics Japan 2008,5pC12,2008年11月5日 Chiristian W. Freudiger, Wei Min, Brian G. Saar, Sijia Lu, Gary R. Holtom, Chengwei He, Jason C. Tsai, Jing X. Kang, X. Sunney Xie, "Label-Free Biomedical Imaging with High Sensitivity by Stimulated Raman Scattering Microscopy (誘導ラマン散乱を用いた顕微鏡による非標識の高感度生物医学的画像解析)" SCIENCE VOL322 19 DECEMBER 2008 pp. 1857-1861
しかしながら、誘導ラマン散乱検出装置は、ショット雑音限界に近い極めて低雑音の光源を必要とする。このため、レーザー光源に対する制約があり、例えば、固体レーザーや光パラメトリック発振器を用いた大掛かりで頻繁なメンテナンスが求められる光源が必要となる。
一方、ファイバーレーザーのように安定かつ小型のレーザー光源は、光出力が小さいことに起因して、光出力における強度雑音成分が大きい。したがって、SRS検出装置にこのような小型のレーザー光源を用いる場合には、該レーザー光源の強度雑音の影響による検出光のS/N比(信号対雑音比)の低下が問題となる。
本発明は、試料に照射される光パルスに含まれる強度雑音成分を低減して、検出光のS/N比(信号対雑音比)を向上させることができるSRS検出装置を提供することを目的とする。
本発明の一側面としての誘導ラマン散乱検出装置は、第1の光パルスを第1の周期で生成する第1の生成手段と、第1の光パルスとは異なる光周波数を有する第2の光パルスを、第1の周期よりも短い第2の周期で生成する第2の生成手段と、第1および第2の光パルスを合成して試料に照射する光学系と、第1および第2の光パルスの双方が前記試料に照射されることで生じる誘導ラマン散乱により強度変調された第2の光パルスを検出する検出手段とを備え、第2の生成手段は、光源から第2の周期で射出されるソース光パルスのそれぞれを2つの光パルスに分割する分割手段と、該2つの光パルスのうち一方の光パルスを他方の光パルスに対して遅延させる遅延手段と、一方の光パルスと該他方の光パルスとを合成して第2の光パルスを生成する合成手段と、を有する。そして、第1の周期をτ とし、遅延手段が上記一方の光パルスを遅延させる遅延時間をTとするとき、
τ /2−τ /6≦T≦τ /2+τ /6
なる条件を満足することを特徴とする。
また、本発明の他の一側面としての誘導ラマン散乱検出方法は、第1の光パルスを第1の周期で生成し、第1の光パルスとは異なる光周波数を有する第2の光パルスを、第1の周期よりも短い第2の周期で生成し、第1および第2の光パルスを合成して試料に照射する照射工程と、第1および第2の光パルスの双方が試料に照射されることで生じる誘導ラマン散乱により強度変調された第2の光パルスを検出する検出工程と、を有し、照射工程は、光源から第2の周期で射出されるソース光パルスのそれぞれを2つの光パルスに分割する分割ステップと、該2つの光パルスのうち一方の光パルスを他方の光パルスに対して遅延させる遅延ステップと、一方の光パルスと該他方の光パルスとを合成して第2の光パルスを生成する合成ステップと、を含む。そして、第1の周期をτ とし、遅延ステップにおいて上記一方の光パルスを遅延させる遅延時間をTとするとき、
τ /2−τ /6≦T≦τ /2+τ /6
なる条件を満足することを特徴とする。
本発明によれば、誘導ラマン散乱検出装置において、試料への照射前の第2の光パルスの列に含まれていた強度雑音成分を十分に低減することができ、これにより検出光のS/N比を向上させることができる。
本発明の実施例1である誘導ラマン散乱(SRS)検出装置の構成を示すブロック図。 実施例1のSRS検出装置における遅延合波部の構成を示すブロック図。 図2に示した遅延合波部での光パルス列に対する操作を示す図。 実施例1の実験結果を示す図。 実施例1において、遅延時間Tの範囲についての説明図。 本発明の実施例2であるSRS検出装置における遅延合波部の構成を示すブロック図。 本発明の実施例3であるSRS検出装置における遅延合波部の構成を示すブロック図。 実施例3における遅延合波部により生成された光パルス列を示す図。 本発明の実施例4であるSRS検出装置における遅延合波部の構成を示すブロック図。
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
図1には、本発明の実施例1である誘導ラマン散乱(SRS)検出装置の概略構成を示している。該SRS検出装置100は、顕微鏡や内視鏡を含む観察、測定および診断その他の用途を有する装置として用いることができる。
本実施例のSRS検出装置100は、ストークス光となる第1の光パルス列を生成する第1の光パルス生成部1と、ポンプ光となる第2の光パルス列を生成する第2の光パルス生成部2とを有する。また、検出装置100は、ミラー3、ハーフミラー4および第1の対物レンズ5により構成される照射光学系21と、第2の対物レンズ7、色フィルタ8および集光レンズ9により構成される集光光学系22とを有する。さらに、検出装置100は、受光素子であるフォトダイオード11および該フォトダイオード11の出力信号を同期検波する電子回路であるロックインアンプ12により構成される検出部10を有する。
第1の対物レンズ5と第2の対物レンズ7との間には、測定対象である試料6が配置される。
第1の光パルス生成部1は、第1の光パルス列を構成する第1の光パルスを第1のパルス周期で繰り返し射出(発振)する第1の光源1aによって構成されている。第1の光源1aとしては、例えばファイバーレーザー光源が用いられる。第1の光パルス列は、例えば、第1の光周波数(中心周波数)としてω(波長が1000nm)を、第1のパルス幅として分子振動の高い識別能力を得るのに好適な1〜 10 ps(ピコ秒)を、第1の繰り返し周波数として55MHz(第1のパルス周期として18.2ns)を有する。図中における第1の光パルス生成部1の左側に、第1の光パルス列(Stokes Pulse)が生成される様子を示している。tは時間である。
第2の光パルス生成部2は、第2の光パルスを生成するためのソース光パルスを第2のパルス周期で繰り返し射出(発振)する第2の光源2aを有する。また、第2の光パルス生成部2は、ソース光パルスの列(ソース光パルス列)から第2の光パルスの列(第2の光パルス列)を生成する遅延合波部30を有する。第2の光源2aとしては、第1の光源1aと同様に、例えばファイバーレーザー光源が用いられる。第2の光パルス列は、例えば、第2の光周波数(中心周波数)としてω(波長が770nm程度までの値)に調整され、第2のパルス幅として第1のパルス幅と略等しいパルス幅を、第2の繰り返し周波数として110MHz(第2のパルス周期として9.1ns)を有する。第2の光パルス列の光周波数は、第1の光パルス列の光周波数との周波数差が試料6における被測定分子の分子振動周波数と一致するように調整される。図中における第2の光パルス生成部2の左側に、第2の光パルス列用のソース光パルス列(Pump Pulse (Source))が生成される様子を示している。
遅延合波部30は、第2の光源2aからのソース光パルスのそれぞれに対して分割、遅延および合成の操作を行うことで、第2の光パルス列を構成する第2の光パルスを第2のパルス周期で生成する。遅延合波部30の具体的な構成については後述する。
本実施例では、第1の光パルス生成部1で生成される第1の光パルス列の繰り返し周波数(第1の繰り返し周波数)を、第2の光パルス生成部2で生成される第2の光パルス列の繰り返し周波数(第2の繰り返し周波数)の二分の一としている。言い換えれば、第2の光パルス列のパルス周期(第2のパルス周期)を、第1の光パルス列のパルス周期(第1のパルス周期)の二分の一としている。以下、本実施例では、第1の光パルス列の繰り返し周波数をνとし、第2の光パルス列の繰り返し周波数を2νとする。また、第1の光パルス列のパルス周期をτとし、第2の光パルス列のパルス周期をτ/2とする。
このように繰り返し周波数(およびパルス周期)を設定することで、第1の光パルスは、第2の光パルスの2つに対して1つという同期したタイミングで生成される。これにより、第1の光パルス列の繰り返し周波数を第2の光パルス列の繰り返し周波数の三分の一や四分の一とする場合と比較して、誘導ラマン散乱効果を引き起こす回数を最も多くすることができ、より高い精度で試料6の分子振動イメージを取得することができる。
なお、本実施例では、第1および第2の光源1a,2aとして、ファイバーレーザー光源を用いているが、ファイバーレーザー光源以外のレーザー光源、例えばチタンサファイヤレーザー光源を用いることも可能である。
また、本実施例では、第1の光パルス生成部1と第2の光パルス生成部2とに別々の光源1a,2aを用い、これらの光源1a,2aの同期を取るために、両者を電気的に接続している。しかし、2つの光パルス生成部のうち一方の光源としてレーザー光源を用い、他方の光源として、該一方の光源からのレーザー光から別の繰り返し周波数を有するレーザー光を生成するパラメトリック発振器等を用いることもできる。
また、本実施例では、第1および第2の光パルス列のうち繰り返し周波数が低い第1の光パルス列をストークス光として用い、繰り返し周波数が高い第2の光パルス列をポンプ光として用いる場合について説明する。しかし、繰り返し周波数が低い第1の光パルス列をポンプ光として用い、繰り返し周波数か高い第2の光パルス列をストークス光として用いてもよい。すなわち、第1の光周波数ωと第2の光周波数ωとを入れ替えて設定してもよい。
第2の光パルス生成部2で生成された繰り返し周波数2νの第2の光パルス列は、照射光学系21のミラー3で向きを変えられ、ハーフミラー4に入射する。そして、第2の光パルス列は、ハーフミラー4にて、第1の光パルス生成部1で生成された繰り返し周波数νの第1の光パルス列と同軸に合波(合成)される。合波された光パルス列は、照射光学系21の第1の対物レンズ5によって、試料6に集光照射される。なお、本実施例では第1の対物レンズ5として、倍率×40、開口数(NA)0.6のものを用いている。
試料6に照射される光パルス列においては、前述したように第1および第2の光パルス列の繰り返し周波数をそれぞれν,2νとするとき、時間1/(2ν)ごとに第1および第2の光パルスの両方と、第2の光パルスのみとが交互に現れる。そして、第1の光周波数と第2の光周波数との周波数差(ω−ω)が試料6における被測定分子の分子振動数と一致した状態で第1および第2の光パルスの双方が試料6に照射されたとき(時間1/νごと)に誘導ラマン散乱が生じる。このため、誘導ラマン散乱は、第2の光パルス列に周波数νの強度変調を生じさせる。
試料6から射出された、第1の光パルスと誘導ラマン散乱によって強度変調された第2の光パルスとは、集光光学系22の第2の対物レンズ7で集光される。第2の対物レンズ7としては、本実施例では、第1の対物レンズ5と同様に、倍率×40、開口数(NA)0.6のものを用いている。第2の対物レンズ7で集光された第1の光パルスと第2に光パルスとは、集光光学系22の色フィルタ8に入射し、ここで第2の光パルスのみが透過されて集光光学系22の集光レンズ9によって集光される。
集光レンズ9で集光された第2の光パルス列は、フォトダイオード11で光電変換され、電気信号として出力される。フォトダイオード11からの出力信号は、ロックインアンプ12によって、第1の光パルス生成部1からの周波数参照信号refに応じたνをロックイン周波数として(すなわち、第1のパルス周期τで)同期検波される。これにより、誘導ラマン散乱によって発生した光(第2の光パルス列の強度変調成分)のみが検出光として検出される。このような検出方法を用いて試料6をスキャンすることで、該試料6における被測定分子の分子振動イメージを取得することができる。
このように構成されるSRS検出装置100において、第2の光源2aであるファイバーレーザー光源から射出される光パルス列には、図1中に拡大して示すように、レーザー光源の強度雑音による強度の変動が生じている。このような強度雑音の成分を含む第2の光パルス列をそのまま試料6に照射すると、ロックインアンプ12により検出される光(検出光)のS/N比が低下する原因となる。言い換えれば、検出光のS/N比を向上させるためには、試料6に照射される第2の光パルス列から、第2の光源2aに起因する強度雑音の成分をできるだけ除去した方が良い。このため、本実施例では、第2の光パルス生成部2に遅延合波部30を設けている。
図2には、本実施例における遅延合波部30の具体的な構成を示している。また、図3の(a)〜(d)には、第2の光源2aから射出されたソース光パルスおよび該ソース光パルスが遅延合波部30にて受ける操作を示している。
図2において、第2の光源2aから射出されたソース光パルスLは、遅延合波部30に設けられた第1のハーフミラー(分割手段)HMに入射し、これを透過する光パルス成分Lと、これによって反射される光パルス成分Lとに分割される。これら2つの光パルス成分L,Lのうち一方の光パルス成分Lは、ミラーM,Mを含む遅延光路(遅延手段)に進み、他方の光パルス成分Lはそのまま第2のハーフミラー(合成手段)HMに進む。
図3の(a),(b)にはそれぞれ、第2の光源2aから第2のパルス周期で繰り返し射出されるソース光パルスLと、第1のハーフミラーHMを透過した光パルス成分Lを示している。ソース光パルスLには、図1にも示した強度雑音の成分(強度変動)が含まれている。前述した第1のパルス周期τは、ストークス光である第1の光パルス列のパルス間隔に相当し、ソース光パルスLはその二分の一であるτ/2のパルス間隔(第2のパルス周期)で第2の光源2aから射出される。
なお、図3の(a),(b)には、繰り返し射出されるソース光パルスLとこれから分割された光パルス成分Lとを時間tの流れに沿って黒と白(白枠)で交互に示している。
光パルス成分Lが通る遅延光路は、第1のハーフミラーHMからミラーM,Mを経て第2のハーフミラーHMに至るまでの光路である。この遅延光路の光路長は、光パルス成分Lが通る第1のハーフミラーHMから第2のハーフミラーHMまでの光路に対して光路長差ΔLを有する。この光路長差ΔLは、光パルス成分Lが光パルス成分Lに対して以下の式(1)で示される範囲内の遅延時間Tだけ遅延するように設定される。すなわち、遅延時間Tは、式(1)の条件を満足するように設定される。
τ/2−τ/6≦T≦τ/2+τ/6 (1)
また、式(1)から、光路長差ΔLは、第1のパルス周期τおよび光速cと以下の式(2)で示される関係を有するように設定されることになる。つまり、光路長差ΔLは、式(2)の条件を満足するように設定される。
|ΔL−cτ/2|≦cτ/6 (2)
式(1)は、T=τ/2である場合を含む。±τ/6の意義については後述する。図3の(c)には、光パルス成分Lが光パルス成分Lに対してT=τ/2だけ遅延した様子を示している。図3の(b)において白で示した光パルス成分Lと同時に、それよりも1つ前に射出されたソース光パルスLから分割された黒で示す光パルス成分Lが現れる。同様に、図3の(b)において黒で示した光パルス成分Lと同時に、それよりも1つ前に射出されたソース光パルスLから分割された白で示す光パルス成分Lが現れる。
なお、遅延時間Tがτ/2に対して±τ/6までのずれを持つ場合はその分だけ「同時」からずれて光パルス成分L,Lが現れる。このことは、以下の説明でも同様である。
こうして遅延されて第2のハーフミラーHMに入射した光パルス成分Lは、同時に第2のハーフミラーHMに入射した光パルス成分Lと合成される。言い換えれば、遅延合波部30は、あるソース光パルスLから分割して遅延させた一方の光パルス成分Lを、そのソース光パルスLよりも後に第2の光源2aから射出された別のソース光パルスLにおける他方の光パルス成分Lと合成する。これにより、ソース光パルスLから分割されたままの光パルス成分Lの強度と、1つ前のソース光パルスLから分割されて時間Tだけ遅延された光パルス成分Lの強度との加算値に相当する強度(以下、合成強度という)を有する第2の光パルスL12が生成される。このようにして生成された第2の光パルスL12は、遅延合波部30から図1に示したミラー3に向かう。
ソース光パルスLに含まれる前述した強度雑音のうちロックインアンプ12でのS/N比に影響するのは、誘導ラマン散乱の発生周期である第1および第2の光パルスがともに試料6に照射される周期である第1のパルス周期τで発生する強度雑音である。例えば、この強度雑音の振幅が一定である場合、その半周期に相当する第2のパルス周期τ/2ごとに生成されるソース光パルスLの強度には、図3の(a)に示すように、一定量の増加と減少とが交互に現れる。
このため、図3の(b),(c)に示すように、光パルス成分Lの強度の高低とこれに合成される(1つ前のソース光パルスLから分割された)光パルス成分Lの強度の高低は互いに逆の関係になり、この関係は第2のパルス周期τ/2ごとに反転する。したがって、それらを合成して生成した第2の光パルスL12の合成強度は、図3の(d)に示すように、第2のパルス周期τ/2ごとに(したがって第1のパルス周期τごとに)ほとんど変化せず、この結果、第2の光パルス列の合成強度は常にほぼ一定となる。
このようにして、遅延合波部30は、ロックインアンプ12でのS/N比に影響する強度雑音成分をほとんど含まない第2の光パルス列を生成することができる。なお、本実施例においては、第2のパルス周期を第1のパルス周期τの二分の一としているが、本発明はこれに限らず、第2のパルス周期を第1のパルス周期τよりも短い周期にすればよい。すなわち、第1の光パルス列と、遅延合波部30で生成された第2の光パルス列とが合波するタイミングを合わせて、誘導ラマン散乱により強度変調された第2の光パルスを検出することができればよい。
図4には、本実施例に基づく実際の実験例の結果を示している。この実験例において、第2のパルス列の繰り返し周波数は109MHzであり、パルス幅160fs(フェムト秒)、強度は4 mWである。グラフAは、遅延合波部30を通る前のソース光パルス列に含まれる強度雑音を示している。グラフBは、遅延合波部30を通して生成した第2の光パルス列に含まれる強度雑音を示している。グラフBに示すように、遅延合波部30を通して第2の光パルス列を生成することで、第1の光パルス列の繰り返し周波数に相当する55MHzにおいて、ソース光パルス列と比較して21dBの強度雑音成分の低減を確認できた。
次に、式(1)に示した遅延時間Tの範囲の意義について図5を用いて説明する。第2の光源2aからのソース光パルス列の強度を時間の関数であるI(t)で表す。また、ソース光パルスから分割された2つの光パルス成分のそれぞれの強度をI(t)とI(t)で表す。さらに、合成された第2の光パルス列(ポンプ光)の強度をI12(t)で表す。
がIより時間Tだけ遅延しているとすると、
(t)=I(t)/2
(t)=I(t−T)/2
12(t)=I(t)+I(t)
=(I(t)+I(t−T))/2
と表される。これらをフーリエ変換したものが、以下に示すソース光パルス列、2つの光パルス成分および第2の光パルス列の強度変化の周波数スペクトルf(ν),f(ν),f(ν),f12(ν)である。FTはフーリエ変換を、νは周波数をそれぞれ示す。
(ν)=FT(I(t))
(ν)=FT(I(t))
=FT(I(t)/2)
=f(ν)/2
(ν)=FT(I(t))
=FT(I(t−T)/2)
=f(ν)・exp(−2πiTν)/2
12(ν)=FT(I12(t))
=FT(I(t))+I(t))
=f(ν)・(1+exp(−2πiTν))/2
=exp(−πiTν)・f(ν)・(exp(πiTν)+exp(−πiTν))/2
=exp(−πiTν)・f(ν)・cos(πTν)
第2の光パルスの強度I12とソース光パルスの強度Iの周波数スペクトルの絶対値の比は、図5に示すように、
|f12(ν)|/|f(ν)|=|cos(πTν)|
となる。
つまり、遅延時間TをT=1/(2ν)にすれば、|f12(ν)|/|f(ν)|は零となり、第2の光パルスI12(t)は周波数νの成分を含まない。
したがって、第1の光パルス列(ストークス光)のパルス間隔をτとすると、その繰り返し周波数(第1の繰り返し周波数)νは、
ν=1/τ
である。このため、
T=1/(2ν
=τ/2
とすることで、第2の光パルス列から周波数νの成分を除去することができる。
また、遅延時間Tがτ/2に一致していなくても、
τ/2−τ/6≦T≦τ/2+τ/6 (1)
であれば、
|cos(πTν)|≦1/2
となる。つまり、第2の光パルスの強度I12(t)に含まれる周波数νの成分をソース光パルスの半分以下にすることができる。
以上説明したように、遅延合波部30での遅延時間Tがτ/2であっても、これに対して±τ/6までの範囲でずれた(又は後述の実施例3のように意図的にずらした)としても、十分に光源の強度雑音成分が低減された第2の光パルス列を生成することができる。そして、このような第2の光パルス列を試料6に照射することで、ロックインアンプ12でのS/N比を向上させ、良好な分子振動イメージを取得することができる。
図6には、本発明の実施例2であるSRS検出装置における遅延合波部30の具体的構成を示している。
第2の光源2aから射出されたソース光パルスLは、遅延合波部30に設けられた第1のミラーMにて反射された後、1/2波長板WPを通過して偏光ビームスプリッタPBSに入射する。偏光ビームスプリッタPBSは、入射したソース光パルスLのうちS偏光パルス成分(一方の光パルス成分)Lを反射し、P偏光パルス成分(他方の光パルス成分)Lを透過させる。これにより、ソース光パルスLが2つの光パルス成分であるP偏光パルス成分LとS偏光パルス成分Lに分割される。1/2波長板WPの光学軸の方位を調整することによって、P偏光パルス成分LとS偏光パルス成分Lの強度を等しくすることができる。
偏光ビームスプリッタPBSで反射されたS偏光パルス成分Lは、プリズムPを含む遅延光路(遅延手段)に進む。一方、偏光ビームスプリッタPBSを透過したP偏光パルス成分LはプリズムP1 を含む反射光路を介して再び偏光ビームスプリッタPBSに入射する。偏光ビームスプリッタPBSは、分割手段であるとともに合成手段としても機能する。
S偏光パルス成分Lが通る遅延光路は、偏光ビームスプリッタPBSからプリズムPを経て再び偏光ビームスプリッタPBSに戻るまでの光路である。この遅延光路の光路長は、P偏光パルス成分Lが通る偏光ビームスプリッタPBSからプリズムPを経て再び偏光ビームスプリッタPBSに戻るまでの反射光路に対して光路長差ΔLを有する。この光路長差ΔLは、S偏光パルス成分LがP偏光パルス成分Lに対して実施例1で説明した式(1)で示される範囲内の遅延時間Tだけ遅延するように設定される。遅延時間Tはτ/2であってもよいし、これに対して±τ/6までの範囲でずれた時間であってもよい。また、光路長差ΔLは、プリズムP,Pの位置を調整することで第1のパルス周期τと光速cとの間で式(2)の関係を有するように設定される。
反射光路から偏光ビームスプリッタPBSに戻ったP偏光パルス成分Lはこれを透過し、遅延光路から偏光ビームスプリッタPBSに戻ったS偏光パルス成分Lはここで反射される。これにより、ソース光パルスLから分割されたP偏光パルス成分Lの強度と、1つ前のソース光パルスLから分割されて時間Tだけ遅延されたS偏光パルス成分Lの強度との加算値に相当する合成強度を有する第2の光パルスL12が生成される。このようにして生成された第2の光パルスL12は、遅延合波部30から図1に示したミラー3に向かう。
ソース光パルスLの分割、S偏光パルス成分Lの遅延および両偏光パルス成分L,Lの合成の様子と、合成後の第2の光パルス列の合成強度がほぼ一定となる点は、実施例1にて図3を用いて説明したものと同様である。
そして、本実施例でも、ソース光パルスに対して十分に強度雑音成分が低減された第2の光パルス列を生成でき、ロックインアンプ12でのS/N比を向上させ、良好な分子振動イメージを取得することができる。
本実施例では、ソース光パルスを偏光方向が互いに異なる(直交する)2つの光パルス成分に分割してこれらを合成する。このため、例えば遅延時間Tをτ/2として2つの光パルス成分を合成しても、これらが互いに干渉することはなく、干渉によるノイズを発生させることなく、第2の光パルス列を生成することができる。
図7には、本発明の実施例3であるSRS検出装置における遅延合波部30の具体的構成を示している。本実施例は、実施例1の変形例であり、遅延合波部30の構成要素は実施例1と同じである。
実施例2において、遅延時間Tをτ/2としたときの合成される2つの光パルス成分間の干渉の可能性について触れたが、本実施例では、実施例2のように偏光を用いることなくその可能性を回避するための方法について説明する。具体的には、遅延時間Tを、実施例1に示した式(1)の範囲内であり、かつ以下の式(3)に示す範囲に含まれるように設定する。pは第2の光パルスのパルス幅である。
|T−(τ/2)|≧2p (3)
すなわち、式(3)より、光パルス成分Lが通る光路に対する光パルス成分Lが通る遅延光路の光路長差ΔLは、実施例1に示した式(2)に加え、τ,cおよびpと以下の式(4)の関係も有するように設定されることになる。
|ΔL−cτ/2|≧2cp (4)
式(3)の範囲で遅延時間Tを設定し、または式(4)の範囲で光路長差ΔLを設定することで、図8に示すように、合成される光パルス成分Lと光パルス成分Lとが直接重ならない。このため、これらの合成による干渉が発生せず、干渉によるノイズの発生も回避できる。なお、ロックインアンプ12においては、光パルス成分Lと光パルス成分Lとが重ならなくてもそれらの合成強度を検出するので、ロックインアンプ12での検出感度に影響はない。なぜならば、好適な第2の光パルスのパルス幅pは数1〜10 ps(ピコ秒)であり、遅延時間Tに対して十分小さい値であるからである。
図9には、本発明の実施例4であるSRS検出装置における遅延合波部30の具体的構成を示している。本実施例は、実施例1の変形例であるが、実施例3とは異なり、合成される2つの光パルス成分間の干渉によるノイズの発生を抑制する。
本実施例によれば、遅延合波部30にて遅延時間T=τ/2が設定されて、合成される2つの光パルス成分が干渉しても、ノイズの発生は抑制することができる。
第2の光源2aから射出されたソース光パルスLは、遅延合波部30に設けられた第1のハーフミラーHMにて2つの光パルス成分L,Lに分割される。一方の光パルス成分Lは、ミラーM,Mを含む遅延光路に進み、他方の光パルス成分Lはそのまま第2のハーフミラーHMに進む。
ミラーM,Mはピエゾ素子PZTの電歪効果により、光パルス成分Lの光路に対する遅延光路の光路長差ΔLが変化する方向に微小移動することができるように構成されている。ピエゾ素子PZTは、その共振周波数(例えば、10kHz程度の周波数)で駆動される。
遅延光路を介した光パルス成分Lは、第2のハーフミラーHMにおいて光パルス成分Lと合成される。
本実施例では、2つの光パルス成分L,Lを合成する第2のハーフミラーHMを一方の出力ポート(Port2)とする干渉計を備えている。出力ポート(Port2)からの出力光をアバランシェホトダイオードAPDで受光し、該アバランシェホトダイオードAPDにおける光電流を位相検波することで、遅延光路の光路長の最適点からのずれを求める。そして、該ずれをピエゾ素子PZTにフィードバックして、遅延光路の光路長、つまりは光路長差ΔLを、2つの光パルス成分L,Lが常に同じ位相差で重なるように(出力ポート(Port2)の出力が最小となるように)、常時、微小な光路長変調を与える。
第2のハーフミラーHMによって2つの光パルス成分L,Lが合成されることで生成された第2の光パルスL12は、干渉計の他方の出力ポート(Port1)から図1に示したミラー3に向かう。
このように、本実施例では、2つの光パルス成分L,Lが常に同じ位相差を持って重なるので、これらが干渉してもノイズは発生しない。したがって、干渉によるノイズを発生させることなく、第2の光パルス列を生成することができる。
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
良好なS/N比を有し、顕微鏡や内視鏡等に応用が可能な誘導ラマン散乱検出装置を提供できる。
1 第1の光パルス生成部
1a 第1の光源
2 第2の光パルス生成部
2a 第2の光源
6 試料
10 検出部
11 ロックインアンプ
21 照射光学系
22 集光光学系
30 遅延合波部
100 SRS検出装置

Claims (10)

  1. 第1の光パルスを第1の周期で生成する第1の生成手段と、
    前記第1の光パルスとは異なる光周波数を有する第2の光パルスを、前記第1の周期よりも短い第2の周期で生成する第2の生成手段と、
    前記第1および第2の光パルスを合成して試料に照射する光学系と、
    前記第1および第2の光パルスの双方が前記試料に照射されることで生じる誘導ラマン散乱により強度変調された前記第2の光パルスを検出する検出手段と、を備え、
    前記第2の生成手段は光源から前記第2の周期で射出されるソース光パルスのそれぞれを2つの光パルスに分割する分割手段と前記2つの光パルスのうち一方の光パルスを他方の光パルスに対して遅延させる遅延手段と、前記一方の光パルスと前記他方の光パルスとを合成して前記第2の光パルスを生成する合成手段と、を有し、
    前記第1の周期をτ とし、前記遅延手段が前記一方の光パルスを遅延させる遅延時間をTとするとき、
    τ /2−τ /6≦T≦τ /2+τ /6
    なる条件を満足することを特徴とする誘導ラマン散乱検出装置。
  2. 前記遅延手段は、前記一方の光パルスが通る光路と前記他方の光パルスが通る光路とに対して光路長差を与える構成を有し、該光路長差をΔL、光速をc、とするとき、
    |ΔL−cτ /2|≦cτ /6
    なる条件を満足することを特徴とする請求項に記載の誘導ラマン散乱検出装置。
  3. 前記第2の光パルスのパルス幅をpとするとき、
    |T−(τ /2)|≧2p
    なる条件を満足することを特徴とする請求項またはに記載の誘導ラマン散乱検出装置。
  4. 前記分割手段は、前記ソース光パルスを互いに偏光方向が異なる前記2つの光パルスに分割することを特徴とする請求項1からのいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出装置。
  5. 前記検出手段は、前記第2の光パルスを前記第1の周期で同期検波するロックインアンプを含むことを特徴とする請求項1からのいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出装置。
  6. 第1の光パルスを第1の周期で生成し、前記第1の光パルスとは異なる光周波数を有する第2の光パルスを、前記第1の周期よりも短い第2の周期で生成し、前記第1および第2の光パルスを合成して試料に照射する照射工程と、
    前記第1および第2の光パルスの双方が前記試料に照射されることで生じる誘導ラマン散乱により強度変調された前記第2の光パルスを検出する検出工程と、を有し、
    前記照射工程は光源から前記第2の周期で射出されるソース光パルスのそれぞれを2つの光パルスに分割する分割ステップと前記2つの光パルスのうち一方の光パルスを他方の光パルスに対して遅延させる遅延ステップと、前記一方の光パルスと前記他方の光パルスとを合成して前記第2の光パルスを生成する合成ステップと、を含み、
    前記第1の周期をτ とし、前記遅延ステップにおいて前記一方の光パルスを遅延させる遅延時間をTとするとき、
    τ /2−τ /6≦T≦τ /2+τ /6
    なる条件を満足することを特徴とする誘導ラマン散乱検出方法。
  7. 前記遅延ステップにおいて、前記一方の光パルスが通る光路と前記他方の光パルスが通る光路とに対して光路長差を与えており、該光路長差をΔL、光速をc、とするとき、
    |ΔL−cτ /2|≦cτ /6
    なる条件を満足することを特徴とする請求項に記載の誘導ラマン散乱検出方法。
  8. 前記第2の光パルスのパルス幅をpとするとき、
    |T−(τ /2)|≧2p
    なる条件を満足することを特徴とする請求項またはに記載の誘導ラマン散乱検出方法。
  9. 前記分割ステップにおいて、前記ソース光パルスを互いに偏光方向が異なる前記2つの光パルスに分割することを特徴とする請求項からのいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出方法。
  10. 前記検出ステップにおいて、前記第2の光パルスを前記第1の周期で同期検波することを特徴とする請求項からのいずれか一項に記載の誘導ラマン散乱検出方法。
JP2013540135A 2011-03-04 2012-03-02 ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法 Active JP5623652B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013540135A JP5623652B2 (ja) 2011-03-04 2012-03-02 ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011048110 2011-03-04
JP2011048110 2011-03-04
PCT/JP2012/056041 WO2012121357A1 (en) 2011-03-04 2012-03-02 Stimulated raman scattering detection apparatus
JP2013540135A JP5623652B2 (ja) 2011-03-04 2012-03-02 ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2014507627A JP2014507627A (ja) 2014-03-27
JP2014507627A5 JP2014507627A5 (ja) 2014-06-05
JP5623652B2 true JP5623652B2 (ja) 2014-11-12

Family

ID=46798310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013540135A Active JP5623652B2 (ja) 2011-03-04 2012-03-02 ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9103726B2 (ja)
EP (1) EP2681535A4 (ja)
JP (1) JP5623652B2 (ja)
WO (1) WO2012121357A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10132681B2 (en) 2016-11-29 2018-11-20 Canon Kabushiki Kaisha Noise reduction apparatus and detection apparatus including the same

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015046070A1 (ja) * 2013-09-24 2015-04-02 国立大学法人電気通信大学 光学測定装置および光学測定方法
JP5646095B1 (ja) * 2014-03-14 2014-12-24 キヤノン株式会社 計測装置
JP2016018978A (ja) * 2014-07-11 2016-02-01 キヤノン株式会社 光パルス同期装置、照明装置、光学顕微鏡および光パルスの同期方法
JP6598437B2 (ja) * 2014-08-18 2019-10-30 キヤノン株式会社 光パルス同期装置および顕微鏡システム
JP6387106B2 (ja) * 2014-11-20 2018-09-05 キヤノン株式会社 ノイズ低減装置及びそれを備える検出装置
JP6566805B2 (ja) * 2015-09-14 2019-08-28 キヤノン株式会社 光パルス列同期装置、照明装置および検出装置
WO2017138606A1 (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 国立大学法人東京大学 誘導ラマン散乱顕微鏡装置および誘導ラマン散乱計測方法
WO2017154171A1 (ja) 2016-03-10 2017-09-14 オリンパス株式会社 画像取得装置および画像取得方法
JP6815846B2 (ja) * 2016-11-22 2021-01-20 キヤノン株式会社 試料観察装置
JP7000117B2 (ja) * 2016-11-29 2022-01-19 キヤノン株式会社 ノイズ低減装置およびそれを有する検出装置
US10921184B2 (en) * 2017-03-30 2021-02-16 Optiqgain Ltd. Stimulated Raman scattering spectroscope based on passive Q-switch and use thereof in industrial molecular analysis
JP7032689B2 (ja) * 2017-05-24 2022-03-09 学校法人東京理科大学 光学測定装置および光学測定方法
CN110755042B (zh) * 2019-10-21 2021-01-01 华中科技大学 实现大体积高分辨的时间脉冲光片断层成像方法及系统
CN115016133B (zh) * 2022-06-02 2023-03-14 北京理工大学 一种新型的载波调制脉冲的产生装置及方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5777736A (en) * 1996-07-19 1998-07-07 Science Applications International Corporation High etendue imaging fourier transform spectrometer
US5978528A (en) 1997-04-02 1999-11-02 Litton Systems, Inc. Method and apparatus for reducing excess photon noise in short coherence light sources
US5822471A (en) * 1997-06-27 1998-10-13 Elsicon, Inc. Differential optical modulator
JP2007278768A (ja) * 2006-04-04 2007-10-25 Toshiba Corp 顕微鏡装置
WO2010140614A1 (ja) * 2009-06-03 2010-12-09 国立大学法人大阪大学 光学顕微鏡、および光学計測
WO2013084621A1 (ja) * 2011-12-05 2013-06-13 ソニー株式会社 測定装置及び測定方法
US9222850B2 (en) * 2013-03-14 2015-12-29 Axonoptics, Llc Integrated optics reflectometer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10132681B2 (en) 2016-11-29 2018-11-20 Canon Kabushiki Kaisha Noise reduction apparatus and detection apparatus including the same
US10302487B2 (en) 2016-11-29 2019-05-28 Canon Kabushiki Kaisha Noise reduction apparatus and detection apparatus including the same

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012121357A1 (en) 2012-09-13
EP2681535A1 (en) 2014-01-08
JP2014507627A (ja) 2014-03-27
US20140043606A1 (en) 2014-02-13
EP2681535A4 (en) 2014-08-27
US9103726B2 (en) 2015-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5623652B2 (ja) ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱検出方法
JP6453266B2 (ja) 顕微鏡および顕微鏡検査法
JP5697584B2 (ja) 誘導ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱計測方法
JP5501360B2 (ja) 光学顕微鏡およびその制御方法
JP4862164B2 (ja) パルスレーザ光のタイミング調整装置、調整方法及び光学顕微鏡
WO2014125729A1 (ja) 測定装置及び測定方法
JP6324709B2 (ja) 光計測装置及び光計測方法
JPWO2014057998A1 (ja) 顕微鏡及び観察方法
JP2004528586A (ja) 対象物の干渉顕微鏡による高速度画像形成の方法および装置
JP6387106B2 (ja) ノイズ低減装置及びそれを備える検出装置
US9816932B2 (en) Pulsed light synchronizer and microscope system
JP2019086374A (ja) 光検出装置およびレーザ走査型顕微鏡
JP7000117B2 (ja) ノイズ低減装置およびそれを有する検出装置
US10132681B2 (en) Noise reduction apparatus and detection apparatus including the same
JP2015087385A (ja) 光学測定装置および光学測定方法
JP2016018978A (ja) 光パルス同期装置、照明装置、光学顕微鏡および光パルスの同期方法
JP5917664B2 (ja) 誘導ラマン散乱計測装置および誘導ラマン散乱計測方法
KR101085061B1 (ko) 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계
JP6501307B2 (ja) ヘテロダイン干渉装置
JP2010097063A (ja) レーザ顕微鏡装置
JPH03282253A (ja) 光音響信号検出方法および装置並びに半導体素子内部欠陥検出方法
JP2016085123A (ja) 誘導ラマン散乱計測装置およびその計測方法
JPH04343045A (ja) 光音響信号検出方法及び装置
JP2016145718A (ja) 光パルス列同期装置、光パルス列同期方法、照明装置、検出装置およびプログラム

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140415

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140415

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20140415

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20140509

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140603

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140801

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140826

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140924

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5623652

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151