JP5622262B2 - 磁性薄膜を用いた伝送線路デバイス - Google Patents
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Description
図1は、この発明の基本形態に係る伝送線路デバイスの導体ライン1の形状および磁性薄膜2の形状を示す構造図である。図1は伝送線路デバイスの上面図であり、図2は伝送線路デバイスの断面図である。
図9は、この発明の実施の形態に係る伝送線路デバイスの導体ライン1の形状および磁性薄膜2の形状を示す構造図である。図9は伝送線路デバイスの上面図であり、伝送線路デバイスの断面図は、図2と同様である。
Claims (7)
- 導体ラインと、該導体ラインに対して誘電体を介して積層された磁性薄膜とを構成要素として有する伝送線路デバイスにおいて、
前記導体ラインは、前記磁性薄膜の磁化容易軸方向に伸びる第1の線路部分と、前記磁性薄膜の磁化困難軸方向に伸びる第2の線路部分とが交互に接続されて矩形状のスパイラル形状を構成するスパイラル線路構造を有するとともに、該スパイラル線路構造の平面形状において前記磁性薄膜の磁化容易軸方向のスパイラル径が磁化困難軸方向のスパイラル径よりも大きく、
前記磁性薄膜は、相互に交差する、前記導体ラインの前記第1の線路部分に沿ったスリットと前記第2の線路部分に沿ったスリットにより分断され、
前記磁性薄膜は、平面的に見て、前記スパイラル線路構造の内部において前記第1の線路部分に沿って形成された前記スリットであって、前記スパイラル線路構造の内部の相互に隣接し同じ電流方向を備える一対の前記第1の線路部分の間に配置される内部スリット部分を含む前記スリットと、前記第2の線路部分に沿って形成された前記スリットであって、前記スパイラル線路構造の内部の相互に隣接し同じ電流方向を備える一対の前記第2の線路部分の間に配置される内部スリット部分を含む前記スリットとの双方を有し、
前記第1の線路部分及び前記第2の線路部分に沿った前記内部スリット部分を含む前記スリットの幅が前記導体ラインの線幅よりも小さいことを特徴とする伝送線路デバイス。 - 前記磁性薄膜は、平面的にみて、前記スパイラル線路構造の外側において前記第1の線路部分及び第2の線路部分に沿ってそれぞれ形成される外側スリット部分を含む前記スリットをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の伝送線路デバイス。
- 前記磁性薄膜は、平面的に見て、前記スパイラル線路構造の内側において前記第1の線路部分に沿って形成され、前記磁化困難軸の方向に相互に対向し異なる電流方向を備える両側の前記第1の線路部分の間に配置される内側スリット部分を含む前記スリットをさらに有することを特徴とする請求項1又は2に記載の伝送線路デバイス。
- 前記スパイラル線路構造の内側には、平面的に見て、前記第1の線路部分に沿って形成され、前記磁化困難軸の方向に相互に対向し異なる電流方向を備える両側の前記第1の線路部分の端縁に対しそれぞれ隣接した二箇所に配置される二つの前記内側スリット部分を一つずつ含む二つの前記スリットが設けられることを特徴とする請求項3に記載の伝送線路デバイス。
- 前記磁性薄膜は、前記スパイラル線路構造の内側において前記第2の線路部分に沿って形成され、前記磁化容易軸の方向に相互に対向し異なる電流方向を備える両側の前記第2の線路部分の間に配置される内側スリット部分を含む前記スリットをさらに有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の伝送線路デバイス。
- 前記スパイラル線路構造の内側には、平面的に見て、前記第2の線路部分に沿って形成され、前記磁化容易軸の方向に相互に対向し異なる電流方向を備える両側の前記第2の線路部分の端縁に対しそれぞれ隣接した二箇所に配置される二つの前記内側スリット部分を一つずつ含む二つの前記スリットが設けられることを特徴とする請求項5に記載の伝送線路デバイス。
- 前記導体ラインは、一端から他端に向けて相互に逆のスパイラル方向で線路が伸びるように構成された連続する一対の前記スパイラル線路構造を有し、該一対のスパイラル線路構造が前記磁化困難軸方向に隣接して配置され、前記一対のスパイラル線路構造の相互に隣接する内側部分にある前記導体ラインの線路部分同士が同じ電流方向を備えたダブルスパイラル線路構造を構成することを特徴とする請求項1乃至6に記載の伝送線路デバイス。
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