JP5619026B2 - 電子パッケージ及び電子パッケージのプログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアをプログラムする方法 - Google Patents
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- H01L2224/08135—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/08145—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
- H01L2224/08146—Disposition the bonding area connecting directly to another bonding area, i.e. connectorless bonding, e.g. bumpless bonding the bonding area connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked the bonding area connecting to a via connection in the body
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Description
プログラム可能ヒューズ式TSV構造は、上記少なくとも一つのTSV構造のビアの一部内に形成された、ビア開口中の導電材料の断面が縮小された部域を含み、
該プログラム可能ヒューズ式TSV構造は、該少なくとも一つのTSV構造のビアの一部内に形成された、ビア開口中の導電材料の縮小された断面を通り流れる電流を制御する制御回路によって、低インピーダンス状態から高インピーダンス状態にプログラムされ、
電流の流れは、互いに積み重ねられた少なくとも2つのチップの各々に形成された制御回路によって制御され、
該少なくとも2つのチップの各々の中の機能回路群は、プログラミング・オペレーションの間、分離回路によって制御回路から切り離され、
プログラミング・オペレーションの間、該少なくとも2つのチップの一つの中の制御回路は、該少なくとも一つのTSV構造のビアの一部内に形成された、ビア開口中の導電材料の縮小された断面に入る電流の流れレベルを制御し、ヒューズ式構造が低インピーダンス状態から高インピーダンス状態に移行したときを検知し、および
プログラミング・オペレーションの間、該少なくとも2つのチップの他方の中の制御回路は、該少なくとも一つのTSV構造のビアの一部内に形成された、ビア開口中の導電材料の縮小された断面から出る電流の流れを制御する。
導電材料の縮小された断面の部域を有する少なくとも一つのTSVを設けるステップと、
導電材料の縮小された断面の部域を有する該少なくとも一つのTSVの一端中に十分なレベルの電流を供給し、導電材料中にボイドを生じさせて高インピーダンス状態を生成させるステップと、
導電材料の縮小された断面の部域を有する該少なくとも一つのTSVの他方端から出る電流を制御するステップと、
該少なくとも一つのTSVが、高インピーダンス状態にプログラムされたときを検知し、該少なくとも一つのTSVから電流を除去するステップと、
によって、チップ・スタック中のチップを相互接続しているプログラム可能TSVをプログラムする方法が提供される。
少なくとも一つのTSVに一端中に電流を供給するステップは、チップ・スタックの一つのチップを介して供給がされ、該少なくとも一つのTSVの他方端から出る電流を制御するステップは、チップ・スタックの別のチップを介して制御がされる、ステップと、
少なくとも一つのチップおよび別のチップの中の機能回路群を、少なくとも一つのTSVの一端中に電流を供給して該少なくとも一つのTSVの他方端から出る電流を制御するステップから、切り離すさらなるステップと、
を含む。
導電材料の縮小された断面の部域を含むプログラム可能材料が、絶縁材料のビア側壁スペーサを設けることによって形成され、
該側壁スペーサは、少なくとも一つの導電ビアのビア内の導電材料の一部を除去し、チップの活性表面に凹部を形成するステップ、
凹部中に絶縁材料の層を堆積するステップ、および
該絶縁材料を方向性ドライ・エッチングして、絶縁材料中の底部域に狭小化された開口を形成するステップ、
によって形成される、上記プログラム可能材料が形成されるステップと、
制御回路が、別のチップのデバイス群および回路群内に形成された追加制御回路と、相補的に構成されるステップと、
該別のチップ中の追加制御回路から、該別のチップのメタラジー(metallurgy)の層中の表面コンタクト・パッドへの電気接続が形成されるステップと、
該チップと該別のチップとは相互に積み重ねられ、該別のチップの表面コンタクト・パッドが、チップのプログラム可能TSVに電気的に接続されるステップと、
上記狭小化された開口が導電材料で充填され、導電材料の縮小された断面の部域が形成されるステップと、
導電材料が開口を越えて、誘電体の表面の上に誘電体表面のメタライゼーションへと延び出して、プログラム可能材料と、プログラム可能TSVをプログラミングするための制御回路と、の間の導電接続の少なくとも一部を形成するステップと、
を含む。
シリコン薄削は、図9の矢印で図示されるように、例えば、背面研磨またはTMAエッチあるいはその両方を用いて実施することができる。
Claims (13)
- 第1チップの複数のスルー・シリコン・ビアのそれそれに第2チップの複数のスルー・シリコン・ビアが1つずつ接続されている電子パッケージであって、
前記第1チップの前記複数のスルー・シリコン・ビアのうち少なくとも1つであるプログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアであって、該ビア内の導電材料の一部の断面が縮小されているヒューズ式構造を有する前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアと、
前記第1チップに設けられ、プログラミング・オペレーションの間、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの一端をアース電位に接続する第1プログラミング・ブロックと、
前記第2チップに設けられ、前記プログラミング・オペレーションの間、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの他端を電流源に接続すると共に、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの低インピーダンス状態から高インピーダンス状態への切り替わりを感知する第2プログラミング・ブロックと、
前記第1チップ内に設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記一端に接続され、前記第1チップのオペレーションを行う第1機能回路であって、前記プログラミング・オペレーションの間、前記第1機能回路のための電源及びアース電位から切り離される前記第1機能回路と、
前記第2チップ内に設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記他端に接続され、前記第2チップのオペレーションを行う第2機能回路であって、前記プログラミング・オペレーションの間、前記第2機能回路のための電源及びアース電位から切り離される前記第2機能回路とを備える電子パッケージ。 - 前記プログラミング・オペレーションの完了後に、前記第1機能回路を前記第1機能回路のための電源及びアース電位に接続し、前記第2機能回路を前記第2機能回路のための電源及びアース電位に接続する、請求項1に記載の電子パッケージ。
- 第1チップの複数のスルー・シリコン・ビアのそれそれに第2チップの複数のスルー・シリコン・ビアが1つずつ接続されている電子パッケージであって、
前記第1チップの前記複数のスルー・シリコン・ビアのうち少なくとも1つであるプログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアであって、該ビア内の導電材料の一部の断面が縮小されているヒューズ式構造を有する前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアと、
前記第1チップに設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの一端を第1スイッチを介してアース電位に接続する第1プログラミング・ブロックと、
前記第2チップに設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの他端を第2スイッチを介して電流源に接続する第2プログラミング・ブロックと、
前記第2プログラミング・ブロック内に設けられ、第3スイッチを介して前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記他端に接続されている第1入力及び閾値電圧が印加される第2入力を有し、前記第1入力の電圧が前記第2入力の閾値電圧を超えると、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアがプログラムされたことを示す出力を発生するコンパレータと、
前記第1チップに設けられ、前記前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記一端に接続され、前記第1チップのオペレーションを行う第1機能回路と、
前記第2チップに設けられ、前記前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記他端に接続され、前記第2チップのオペレーションを行う第2機能回路と、
前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアのプログラミング・オペレーションの間、前記第1スイッチ及び前記第2スイッチを閉じるための信号、前記第1機能回路及び前記第2機能回路を、前記第1機能回路及び前記第2機能回路のそれぞれのための電源及びアース電位から切り離す信号、並びに、前記第3スイッチを閉じる信号を発生する手段とを備える電子パッケージ。 - 前記プログラミング・オペレーションは、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアを、低インピーダンス状態から高インピーダンス状態に切り替える、請求項3に記載の電子パッケージ。
- 前記第1機能回路と、該第1機能回路のための前記電源及び前記アース電位のそれぞれとの間に前記第1機能回路のためのスイッチが設けられており、前記プログラミング・オペレーションの間前記第1機能回路のためのスイッチが開き、前記プログラミング・オペレーションの完了後に前記第1機能回路のためのスイッチが閉じる、請求項3に記載の電子パッケージ。
- 前記第2機能回路と、該第2機能回路のための前記電源及び前記アース電位のそれぞれとの間に前記第2機能回路のためのスイッチが設けられており、前記プログラミング・オペレーションの間前記第2機能回路のためのスイッチが開き、前記プログラミング・オペレーションの完了後に前記第2機能回路のためのスイッチが閉じる、請求項3に記載の電子パッケージ。
- 前記第3スイッチを閉じる信号は、前記第1スイッチ及び前記第2スイッチを閉じるための信号の開始後の予定の期間経過後に発生される、請求項3に記載の電子パッケージ。
- 第1チップの複数のスルー・シリコン・ビアのそれそれに第2チップの複数のスルー・シリコン・ビアが1つずつ接続されており、さらに
前記第1チップの前記複数のスルー・シリコン・ビアのうち少なくとも1つであるプログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアであって、該ビア内の導電材料の一部の断面が縮小されているヒューズ式構造を有する前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアと、
前記第1チップに設けられた第1プログラミング・ブロックと、
前記第2チップに設けられた第2プログラミング・ブロックと、
前記第1チップ内に設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記一端に接続された第1機能回路と、
前記第2チップ内に設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記他端に接続された第2機能回路とを備える、電子パッケージの前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアを低インピーダンス状態から高インピーダンス状態へ切り替えるプログラミング・オペレーションを行う方法であって、
前記プログラミング・オペレーションの間、前記第1プログラミング・ブロックが、活性化された第1信号に応答して、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの一端をアース電位に接続し、前記活性化された第1信号が、前記第1機能回路に接続されたスイッチを開いて前記第1機能回路を該第1機能回路のための電源及びアース電位から切り離すと共に、前記第2機能回路に接続されたスイッチを開いて前記第2機能回路を該第2機能回路のための電源及びアース電位から切り離し、前記第2プログラミング・ブロックが、活性化された第2信号に応答して、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの他端を電流源に接続するステップと、
前記プログラミング・オペレーションの間、前記第2プログラミング・ブロックが、活性化された第3信号に応答して、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの低インピーダンス状態から高インピーダンス状態への切り替わりを感知するステップとを含む、方法。 - 前記プログラミング・オペレーションの完了後に、滅勢化された前記第1信号が、前記第1機能回路に接続されたスイッチを閉じて前記第1機能回路を該第1機能回路のための電源及びアース電位に接続すると共に、前記第2機能回路に接続されたスイッチを閉じて前記第2機能回路を該第2機能回路のための電源及びアース電位に接続するステップを含む、請求項8に記載の方法。
- 第1チップの複数のスルー・シリコン・ビアのそれそれに第2チップの複数のスルー・シリコン・ビアが1つずつ接続され、さらに、
前記第1チップの前記複数のスルー・シリコン・ビアのうち少なくとも1つであるプログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアであって、該ビア内の導電材料の一部の断面が縮小されているヒューズ式構造を有する前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアと、
前記第1チップに設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの一端とアース電位との間に接続された第1スイッチを有する第1プログラミング・ブロックと、
前記第2チップに設けられ、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの他端と電流源との間に接続された第2スイッチを有する第2プログラミング・ブロックと、
前記第2プログラミング・ブロック内に設けられ、第3スイッチを介して前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記他端に接続されている第1入力及び閾値電圧が印加される第2入力を有し、前記第1入力の電圧が前記第2入力の閾値電圧を超えると、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアがプログラムされたことす出力を発生するコンパレータと、
前記第1チップに設けられ、前記前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記一端に接続され、前記第1チップのオペレーションを行う第1機能回路と、
前記第2チップに設けられ、前記前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの前記他端に接続され、前記第2チップのオペレーションを行う第2機能回路とを備える、電子パッケージの前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアを低インピーダンス状態から高インピーダンス状態へ切り替えるプログラミング・オペレーションを行う方法であって、
前記プログラミング・オペレーションの間、前記第1プログラミング・ブロックが、活性化された第1信号が前記第1スイッチに印加されることにより、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの一端をアース電位に接続し、前記活性化された第1信号が、前記第1機能回路に接続されたスイッチを開いて前記第1機能回路を該第1機能回路のための電源及びアース電位から切り離すと共に、前記第2機能回路に接続されたスイッチを開いて前記第2機能回路を該第2機能回路のための電源及びアース電位から切り離し、前記第2プログラミング・ブロックが、活性化された第2信号が前記第2スイッチに印加されることにより、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの他端を電流源に接続するステップと、
前記プログラミング・オペレーションの間、前記第2プログラミング・ブロックの前記コンパレータが、活性化された第3信号に応答して、前記プログラム可能ヒューズ式スルー・シリコン・ビアの低インピーダンス状態から高インピーダンス状態への切り替わりを感知するステップとを含む、方法。 - 前記第1機能回路と、該第1機能回路のための前記電源及び前記アース電位のそれぞれとの間に前記第1機能回路のためのスイッチが設けられており、前記プログラミング・オペレーションの間、前記活性化された第1信号が前記第1機能回路のためのスイッチを開き、前記プログラミング・オペレーションの完了後に、滅勢化された前記第1信号が前記第1機能回路のためのスイッチを閉じる、請求項10に記載の方法。
- 前記第2機能回路と、該第2機能回路のための前記電源及び前記アース電位のそれぞれとの間に前記第2機能回路のためのスイッチが設けられており、前記プログラミング・オペレーションの間、前記活性化された第1信号が前記第2機能回路のためのスイッチを開き、前記プログラミング・オペレーションの完了後に、滅勢化された前記第1信号が前記第2機能回路のためのスイッチを閉じる、請求項10に記載の方法。
- 前記活性化された第3信号は、前記活性化された第1信号及び前記活性化された第2信号の開始後の予定の期間経過後に発生される、請求項10に記載の方法。
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KR100790452B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2008-01-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 다마신 공정을 이용한 반도체 소자의 다층 금속배선형성방법 |
GB2462589B (en) * | 2008-08-04 | 2013-02-20 | Sony Comp Entertainment Europe | Apparatus and method of viewing electronic documents |
US8304863B2 (en) * | 2010-02-09 | 2012-11-06 | International Business Machines Corporation | Electromigration immune through-substrate vias |
KR20120000748A (ko) * | 2010-06-28 | 2012-01-04 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
KR101251916B1 (ko) * | 2010-08-27 | 2013-04-08 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 집적회로 |
US9285168B2 (en) | 2010-10-05 | 2016-03-15 | Applied Materials, Inc. | Module for ozone cure and post-cure moisture treatment |
US8664127B2 (en) | 2010-10-15 | 2014-03-04 | Applied Materials, Inc. | Two silicon-containing precursors for gapfill enhancing dielectric liner |
US8216936B1 (en) * | 2010-10-21 | 2012-07-10 | Xilinx, Inc. | Low capacitance electrical connection via |
US9431298B2 (en) * | 2010-11-04 | 2016-08-30 | Qualcomm Incorporated | Integrated circuit chip customization using backside access |
US8557677B2 (en) * | 2010-11-10 | 2013-10-15 | Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences | Stack-type semiconductor device and method for manufacturing the same |
CN102468284B (zh) * | 2010-11-10 | 2014-04-16 | 中国科学院微电子研究所 | 堆叠的半导体器件及其制造方法 |
KR20120052734A (ko) | 2010-11-16 | 2012-05-24 | 삼성전자주식회사 | 반도체 칩 및 반도체 칩의 형성 방법 |
US20120154102A1 (en) * | 2010-12-16 | 2012-06-21 | Shi-Bai Chen | Electrical fuse structure |
US8421245B2 (en) | 2010-12-22 | 2013-04-16 | Intel Corporation | Substrate with embedded stacked through-silicon via die |
KR101817156B1 (ko) * | 2010-12-28 | 2018-01-10 | 삼성전자 주식회사 | 관통 전극을 갖는 적층 구조의 반도체 장치, 반도체 메모리 장치, 반도체 메모리 시스템 및 그 동작방법 |
US20120180954A1 (en) | 2011-01-18 | 2012-07-19 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing system and methods using capacitively coupled plasma |
US10283321B2 (en) | 2011-01-18 | 2019-05-07 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing system and methods using capacitively coupled plasma |
US8637353B2 (en) | 2011-01-25 | 2014-01-28 | International Business Machines Corporation | Through silicon via repair |
JP5870493B2 (ja) | 2011-02-24 | 2016-03-01 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置、センサーおよび電子デバイス |
US8716154B2 (en) | 2011-03-04 | 2014-05-06 | Applied Materials, Inc. | Reduced pattern loading using silicon oxide multi-layers |
US8836137B2 (en) * | 2012-04-19 | 2014-09-16 | Macronix International Co., Ltd. | Method for creating a 3D stacked multichip module |
CN102760711A (zh) * | 2011-04-29 | 2012-10-31 | 中国科学院微电子研究所 | 半导体器件及其编程方法 |
US8551882B2 (en) | 2011-06-14 | 2013-10-08 | Nxp B.V. | Back-side contact formation |
US8822336B2 (en) * | 2011-06-16 | 2014-09-02 | United Microelectronics Corp. | Through-silicon via forming method |
US9404178B2 (en) | 2011-07-15 | 2016-08-02 | Applied Materials, Inc. | Surface treatment and deposition for reduced outgassing |
US8877637B2 (en) * | 2011-09-16 | 2014-11-04 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd | Damascene process for aligning and bonding through-silicon-via based 3D integrated circuit stacks |
US8617989B2 (en) * | 2011-09-26 | 2013-12-31 | Applied Materials, Inc. | Liner property improvement |
US9059175B2 (en) * | 2011-11-16 | 2015-06-16 | International Business Machines Corporation | Forming BEOL line fuse structure |
US8552548B1 (en) | 2011-11-29 | 2013-10-08 | Amkor Technology, Inc. | Conductive pad on protruding through electrode semiconductor device |
JP6018757B2 (ja) | 2012-01-18 | 2016-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
US8963316B2 (en) | 2012-02-15 | 2015-02-24 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
CN103367307B (zh) * | 2012-03-27 | 2016-03-23 | 南亚科技股份有限公司 | 穿硅通孔与其形成方法 |
US9348385B2 (en) | 2012-07-09 | 2016-05-24 | L. Pierre deRochement | Hybrid computing module |
US8889566B2 (en) | 2012-09-11 | 2014-11-18 | Applied Materials, Inc. | Low cost flowable dielectric films |
US9281242B2 (en) * | 2012-10-25 | 2016-03-08 | Nanya Technology Corp. | Through silicon via stacked structure and a method of manufacturing the same |
US8921167B2 (en) | 2013-01-02 | 2014-12-30 | International Business Machines Corporation | Modified via bottom for BEOL via efuse |
US9018108B2 (en) | 2013-01-25 | 2015-04-28 | Applied Materials, Inc. | Low shrinkage dielectric films |
US8987914B2 (en) | 2013-02-07 | 2015-03-24 | Macronix International Co., Ltd. | Conductor structure and method |
US8993429B2 (en) | 2013-03-12 | 2015-03-31 | Macronix International Co., Ltd. | Interlayer conductor structure and method |
US8754499B1 (en) | 2013-03-14 | 2014-06-17 | International Business Machines Corporation | Semiconductor chip with power gating through silicon vias |
US9040406B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-05-26 | International Business Machines Corporation | Semiconductor chip with power gating through silicon vias |
JP6107357B2 (ja) * | 2013-04-16 | 2017-04-05 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US9117526B2 (en) | 2013-07-08 | 2015-08-25 | Macronix International Co., Ltd. | Substrate connection of three dimensional NAND for improving erase performance |
US9373588B2 (en) | 2013-09-24 | 2016-06-21 | Intel Corporation | Stacked microelectronic dice embedded in a microelectronic substrate |
US9070447B2 (en) | 2013-09-26 | 2015-06-30 | Macronix International Co., Ltd. | Contact structure and forming method |
US8970040B1 (en) | 2013-09-26 | 2015-03-03 | Macronix International Co., Ltd. | Contact structure and forming method |
US9318413B2 (en) | 2013-10-29 | 2016-04-19 | Globalfoundries Inc. | Integrated circuit structure with metal cap and methods of fabrication |
US9318414B2 (en) | 2013-10-29 | 2016-04-19 | Globalfoundries Inc. | Integrated circuit structure with through-semiconductor via |
CN103700618B (zh) * | 2013-12-13 | 2016-09-07 | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 | 基于圆片级硅通孔工艺基板的结构强度增强的制作方法 |
US9343322B2 (en) | 2014-01-17 | 2016-05-17 | Macronix International Co., Ltd. | Three dimensional stacking memory film structure |
US9196628B1 (en) | 2014-05-08 | 2015-11-24 | Macronix International Co., Ltd. | 3D stacked IC device with stepped substack interlayer connectors |
US9721964B2 (en) | 2014-06-05 | 2017-08-01 | Macronix International Co., Ltd. | Low dielectric constant insulating material in 3D memory |
US9412581B2 (en) | 2014-07-16 | 2016-08-09 | Applied Materials, Inc. | Low-K dielectric gapfill by flowable deposition |
US9613864B2 (en) | 2014-10-15 | 2017-04-04 | Micron Technology, Inc. | Low capacitance interconnect structures and associated systems and methods |
KR102469828B1 (ko) * | 2014-12-18 | 2022-11-23 | 소니그룹주식회사 | 반도체 장치, 제조 방법, 전자 기기 |
US9379129B1 (en) | 2015-04-13 | 2016-06-28 | Macronix International Co., Ltd. | Assist gate structures for three-dimensional (3D) vertical gate array memory structure |
KR102423813B1 (ko) * | 2015-11-27 | 2022-07-22 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 |
WO2017095398A1 (en) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | Intel Corporation | Anchored through-silicon vias |
US10396012B2 (en) * | 2016-05-27 | 2019-08-27 | International Business Machines Corporation | Advanced through substrate via metallization in three dimensional semiconductor integration |
US10312181B2 (en) | 2016-05-27 | 2019-06-04 | International Business Machines Corporation | Advanced through substrate via metallization in three dimensional semiconductor integration |
US9786605B1 (en) | 2016-05-27 | 2017-10-10 | International Business Machines Corporation | Advanced through substrate via metallization in three dimensional semiconductor integration |
US10361140B2 (en) | 2016-06-10 | 2019-07-23 | International Business Machines Corporation | Wafer stacking for integrated circuit manufacturing |
US10381304B2 (en) * | 2017-07-31 | 2019-08-13 | Globalfoundries Inc. | Interconnect structure |
JP7055109B2 (ja) * | 2019-01-17 | 2022-04-15 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
US10971447B2 (en) | 2019-06-24 | 2021-04-06 | International Business Machines Corporation | BEOL electrical fuse |
KR20220095424A (ko) * | 2020-12-30 | 2022-07-07 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 관통 전극을 포함하는 반도체 칩, 및 이를 포함하는 반도체 패키지 |
US11799001B2 (en) | 2021-03-09 | 2023-10-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Back-end-of-line devices |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05267464A (ja) * | 1992-03-18 | 1993-10-15 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
US5314840A (en) * | 1992-12-18 | 1994-05-24 | International Business Machines Corporation | Method for forming an antifuse element with electrical or optical programming |
US5973396A (en) * | 1996-02-16 | 1999-10-26 | Micron Technology, Inc. | Surface mount IC using silicon vias in an area array format or same size as die array |
US6252292B1 (en) * | 1999-06-09 | 2001-06-26 | International Business Machines Corporation | Vertical electrical cavity-fuse |
JP3779524B2 (ja) * | 2000-04-20 | 2006-05-31 | 株式会社東芝 | マルチチップ半導体装置及びメモリカード |
JP2005109116A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4365750B2 (ja) * | 2004-08-20 | 2009-11-18 | ローム株式会社 | 半導体チップの製造方法、および半導体装置の製造方法 |
US7122898B1 (en) | 2005-05-09 | 2006-10-17 | International Business Machines Corporation | Electrical programmable metal resistor |
US7317256B2 (en) | 2005-06-01 | 2008-01-08 | Intel Corporation | Electronic packaging including die with through silicon via |
JP4884077B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2012-02-22 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US7427803B2 (en) | 2006-09-22 | 2008-09-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Electromagnetic shielding using through-silicon vias |
KR100800161B1 (ko) | 2006-09-30 | 2008-02-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | 관통 실리콘 비아 형성방법 |
US7494846B2 (en) * | 2007-03-09 | 2009-02-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Design techniques for stacking identical memory dies |
EP2165362B1 (en) | 2007-07-05 | 2012-02-08 | ÅAC Microtec AB | Low resistance through-wafer via |
US7939926B2 (en) * | 2008-12-12 | 2011-05-10 | Qualcomm Incorporated | Via first plus via last technique for IC interconnects |
-
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