JP5617915B2 - 抵抗変化素子とそれを含む半導体装置及びこれらの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、日本国特許出願:特願2010−064689号(2010年3月19日出願)の優先権主張に基づくものであり、同出願の全記載内容は引用をもって本書に組み込み記載されているものとする。
本発明は、抵抗変化素子とそれを含む半導体装置及びこれらの製造方法に関する。特に、多層配線層の内部に抵抗変化型不揮発性素子(以下では、「抵抗変化素子」と称する。)を有するメモリ、およびフィールドプログラマブルゲートアレイ(Field Programmable Gate Array;FPGA)を搭載した半導体装置と、抵抗変化素子およびその製造方法とに関する。
以下の分析は、本発明によって与えられたものである。
ところで、抵抗変化素子として、銅とイオン伝導層を用いた素子(例えば、NanoBridge(登録商標))を用いる場合には、イオン伝導層材料がスイッチング特性に大きな影響を及ぼすことがわかっている。イオン伝導層として、Ta2O5や、TaSiOなどの酸化物を用いることで、スイッチング電圧を1V以上にすることができ、ロジック製品へ混載することができるようになってきている。
オン伝導層は、6員環または8員環からなるシロキサン構造を主骨格として持つ有機物を含む膜であることが好ましい。
本発明の実施形態に係る半導体装置(抵抗変化素子)について図面を用いて説明する。図1は、本実施形態の半導体装置の一構成例を模式的に示した断面図である。
図2は、本実施形態の方法に基づいて多孔質膜を形成する際に使用するプラズマCVD装置の一構成例を示すブロック図である。
次に、上記構成のプラズマCVD装置50を用いた、多孔質膜(イオン伝導層)の形成方法の手順を説明する。
次に、銅電極上にイオン伝導層を形成する際に、銅電極側からイオン伝導層に含まれる炭素濃度を連続的、あるいは段階的に減少させる方法を説明する。
本実施形態の抵抗変化素子の構成を説明する。図4(a)、(b)は本実施形態の抵抗変化素子の一構成例を示す断面図である。
本実施形態は、本発明の抵抗変化素子を半導体装置の多層配線内部に形成した装置である。本実施形態に係る半導体装置について図面を用いて説明する。
本実施形態は、第3の実施形態で説明した半導体装置の製造方法の一例を示すものである。ここでは図6(b)に示した半導体装置の製造方法を中心に、図面を参照して説明する。図8から図11は、図6(b)に示した半導体装置の製造方法を模式的に示す工程断面図である。
本実施例1では、第4の実施形態で説明した方法で作製した抵抗変化素子の構造と電気特性を説明する。有機シリカ原料としては、化学式5に示す構造の原料を用いた。
化学3から化学式9に示した各有機シロキサン原料について、イオン伝導層としての評価を実施した。抵抗変化素子の形成を、第4の実施形態で説明した方法を用いて行った。説明が重複するため、ここでは、その詳細な説明を省略する。
2 層間絶縁膜
3 バリア絶縁膜
4 層間絶縁膜
5a、5b 第1配線
6a、6b バリアメタル
7 絶縁性バリア膜
8 酸化チタン膜
9 イオン伝導層(多孔質膜)
10 第1上部電極
11 第2上部電極
12 ハードマスク膜
15 層間絶縁膜
16 エッチングストッパ膜
17 層間絶縁膜
18a、18b 第2配線
19a、19b プラグ
20a、20b バリアメタル
21 絶縁性バリア膜
23 ハードマスク膜
24 保護絶縁膜
25 抵抗変化素子
71a、71b 下穴
72a、72b 配線溝
101、110 第1の電極
102a 第1のイオン伝導層(多孔質膜)
102b 第2のイオン伝導層(多孔質膜)
103、114 第2の電極
112 酸化チタン膜
112a チタン膜
113 イオン伝導層(多孔質膜)
113a 炭素濃度の高いイオン伝導層
113b 炭素濃度の低いイオン伝導層
114 第2の電極
500 メモリセルアレイ
530 メモリセル
531 抵抗変化素子
533、543 トランジスタ
Claims (10)
- 第1の電極及び第2の電極と、該第1の電極及び該第2の電極の間に設けられたイオン伝導層と、を含む抵抗変化素子であって、
該イオン伝導層は少なくとも酸素及び炭素を含む有機シロキサンを含み、
該イオン伝導層中の炭素濃度分布が、該第1の電極に近い側の炭素濃度が該第2の電極に近い側の炭素濃度に比べて大きくなるように構成されていることを特徴とする、抵抗変化素子。 - 前記イオン伝導層中の前記炭素濃度分布が、前記第1の電極側から前記第2の電極側に向かって連続的又は段階的に減少するように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の抵抗変化素子。
- 前記イオン伝導層は、前記酸素および前記炭素の他に少なくともシリコンを元素として含む膜であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の抵抗変化素子。
- 前記イオン伝導層は、6員環または8員環からなるシロキサン構造を主骨格として持つ有機物を含む膜であることを特徴とする、請求項3に記載の抵抗変化素子。
- 前記有機物は、少なくとも不飽和炭化水素基をさらに含むことを特徴とする、請求項4に記載の抵抗変化素子。
- 前記イオン伝導層が多孔質膜であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一に記載の抵抗変化素子。
- 前記イオン伝導層は、比誘電率が2.5以上3.5以下である請求項1〜6のいずれか一に記載の抵抗変化素子。
- 前記第1の電極の材料が銅であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一に記載の抵抗変化素子。
- 前記イオン伝導層と前記第1の電極である銅との間に酸化チタン膜を有し、かつ、該イオン伝導層はチタンを含むことを特徴とする、請求項8に記載の抵抗変化素子。
- 第1の電極、有機系酸化物を含むイオン伝導層及び第2の電極をこの順で積層した構造を含む抵抗変化素子の製造方法であって、
有機系酸化物を含むイオン伝導層を形成するための、少なくともシリコン、炭素及び酸素からなる骨格を有する有機シリカ化合物の蒸気と希釈用不活性ガスを用いたプラズマCVD工程を含み、
該プラズマCVD工程は、プラズマの着火時から連続的あるいは段階的に、プラズマ励起用高周波電力又は供給する該有機シリカ化合物蒸気の分圧を変化させる工程、
を含むことを特徴とする、抵抗変化素子の製造方法。
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