本発明の実施形態について詳細に説明する前に、本願における用語の意味を説明するとともに、実施形態の概要について説明する。
半導体基板とは、半導体装置が構成された基板や、単結晶基板、SOI(Silicon on Insulator)基板やTFT(Thin Film Transistor)基板、液晶製造用基板などの基板も含む。
プラズマCVD法とは、例えば、気体原料、あるいは液体原料を気化させることで減圧下の反応室に連続的に供給し、プラズマエネルギーによって、分子を励起状態にし、気相反応、あるいは基板表面反応などによって基板上に連続膜を形成する手法である。
CMP(Chemical Mechanical Polishing)法とは、多層配線形成プロセス中に生じるウェハ表面の凹凸を、研磨液をウェハ表面に流しながら回転させた研磨パッドに接触させて研磨することによって平坦化する方法である。溝に埋め込まれた余剰の銅を研磨することによって埋め込み配線(ダマシン配線)を形成したり、層間絶縁膜を研磨することで平坦化を行う。
バリアメタルとは、配線を構成する金属元素が層間絶縁膜や下層へ拡散することを防止するために、配線の側面および底面を被覆する、バリア性を有する導電性膜を示す。例えば、配線がCuを主成分とする金属元素からなる場合には、タンタル(Ta)、窒化タンタル(TaN)、窒化チタン(TiN)、炭窒化タングステン(WCN)のような高融点金属やその窒化物等、またはそれらの積層膜が使用される。これらの膜は、ドライエッチング加工が容易であり、従来のLSI製造プロセスとの整合性が良い。
バリア絶縁膜とはCu配線の上面に形成され、Cuの酸化や絶縁膜中へのCuの拡散を防ぐ機能、および加工時にエッチングストップ層としての役割を有する。例えば、SiC膜、SiCN膜、SiN膜、あるいはこれらの積層膜などが用いられている。また、銅表面の清浄化とは、銅表面に付着した有機物や異物、及び銅酸化膜を除去し、金属銅表面を得ることを指す。
本発明では、銅配線上に形成した絶縁膜に開口部を形成後、冷却しながら、前記開口部から露出した銅配線表面の自然酸化膜あるいは有機物を除去することをひとつの特徴とする。この時、半導体基板(銅配線)温度は0℃以下であることが好ましい。冷却手法としては、冷却機能ないし冷却機構を備えたステージに半導体基板を配置ないし載置して行うことができる。このように銅表面処理時に半導体基板を冷却した状態に保持することで、発熱による銅自体の物質移動を抑制しつつ、銅配線表面の自然酸化膜および有機物を除去し、平坦性に優れた銅配線表面の清浄化を行うことができるようになる。
前記銅配線表面の自然酸化膜あるいは有機物の除去は、不活性プラズマあるいは還元プラズマを用いて行うことができる。このようなプラズマガスを用いることで、通常の反応性ガスを用いる場合に必要な加熱を行うことなく、銅表面の自然酸化膜や有機物の除去を促進することができる。
前記還元プラズマガスは、少なくとも還元ガスと不活性ガスとを含むことができる。還元ガスに不活性ガスを混合することで、還元プラズマの発生効率を増大させることができるほか、混合比率によって清浄化処理の条件を調整することができる。
前記還元ガスとしては、銅酸化物を効率的に還元し銅に対しては不活性であるH2、NH3を用い、前記不活性ガスとしては、He、Ar、N2のうち少なくともいずれか1つを含むことができる。
前記不活性プラズマは、不活性ガスであるHe、Arのうち少なくともいずれか1つを含むことができる。さらに、Arに比べて原子量が小さく銅表面の凹凸が発生しにくいHeを含むことが好ましい。
前記銅配線表面処理方法は、前記銅配線表面の自然酸化膜およびエッチング副生成物を除去した後、半導体基板を大気中にさらすことなく、機能素子層の堆積を行うことが好ましい。これは、自然酸化膜および有機物が除去され清浄化した銅配線表面が大気暴露により再度酸化することを避けるためである。
銅配線上に設置する機能素子の製造装置は、冷却機能ないし冷却機構を備えたステージと、前記ステージに半導体基板を配置してドライエッチングを行うエッチング処理室と、を具備することが好ましい。また、前記エッチング処理室は、上記の銅配線表面の自然酸化膜および有機物を除去する機能、を備えることが好ましい。このような機能素子の製造装置を用いることで、銅配線表面の凹凸発生を抑制しながら、自然酸化膜および有機物が除去された清浄な銅配線表面が得られる。
以下に本発明の好ましい実施形態について例示して整理する。まず第1の視点において、前記銅配線を冷却する工程は、冷却機能ないし冷却機構を備えたステージに該半導体基板を配置して行うことが好ましい。
前記銅配線の冷却において、冷却したガスを前記半導体基板表面に照射することができる。
前記銅配線の冷却において、前記半導体基板を0℃以下に冷却することが好ましい。さらに設備及びスループットの観点から−40℃以上であることが好ましい。
前記清浄化工程は、不活性プラズマ及び/又は還元プラズマを用いるエッチング処理であることが好ましい。還元プラズマとは、還元ガスを含むガスのプラズマである。不活性プラズマとは不活性ガスを含むガスのプラズマである。
前記還元プラズマは、少なくともH2又はNH3を含むことが好ましい。
前記不活性プラズマは、He、Ar、N2のうちの少なくともいずれか1つを含むことが好ましい。
プラズマ原料であるガスを冷却して、前記還元プラズマ又は前記不活性プラズマを製造する工程を含むことが好ましい。つまり、冷却用のガスと清浄化ガスを兼ねる構成である。
先に前記半導体基板の前記銅配線の上側に形成された絶縁膜に開口部を形成して該銅配線を露出させる工程をさらに含むことが好ましい。
そして、該銅配線を露出させる工程に続いて、大気暴露することなく銅配線の表面の清浄化工程を行うことが好ましい。
第2の視点において、前記銅配線の表面の清浄化工程に続いて、大気暴露することなく清浄化した銅配線上に前記機能素子を製造することが好ましい。
第3の視点において、冷却機能ないし冷却機構は、冷媒又はペルチェ素子を用いる冷却機能ないし冷却機構であることが好ましい。冷媒はフルオロカーボンや液体窒素等を用いることができる。
(第1の実施形態)
以下、添付図面を用いて、本発明を実施するための第1の実施形態について説明する。本実施形態は、銅配線上に設置する機能素子製造工程において、前記銅配線上に形成した絶縁膜に開口部を形成後、冷却機構を備えたステージにウェハを設置して冷却しながら、前記開口部から露出した銅表面の除去することを特徴とする半導体装置の製造方法に関するものである。
図4および5は、銅配線上に機能素子を製造する工程のうち、リソグラフィ、ドライエッチング、およびエッチバックにより、銅配線上に銅表面が露出した開口部を形成した後、銅表面に付着している自然酸化膜およびエッチング副生成物を本発明により除去し、清浄化した銅表面を露出させる工程を説明するための断面図である。本実施形態において銅配線表面の開口部が形成される銅配線構造は、図4に示すように半導体基板101と、層間絶縁膜102と、層間絶縁膜103と、キャップ絶縁膜104と、バリアメタル105と、第1の配線106と、バリア絶縁膜107と、からなる。
ここで層間絶縁膜102、および103はシリコン酸化膜でもよく、シリコン酸化膜よりも比誘電率の低いSiOCH膜などでも良いが、層間絶縁膜102を銅配線106形成のためのドライエッチング加工におけるエッチングストッパ層とする目的で、層間絶縁膜102、および103は互いに異なる材料を用いることが好ましい。また、層間絶縁膜102、および103のいずれかは複数の絶縁膜を積層することで層間絶縁膜としても良い。
また、バリア絶縁膜107に形成された開口部からは、図4および5に示したように第1の銅配線上の銅配線のみが露出していても良いが、層間絶縁膜103およびキャップ絶縁膜104により互いに離間した複数の銅配線表面が単一の開口部から露出していても良い。このような複数の銅配線表面を端子として単一の開口部に機能素子を作製することで、素子動作における自由度が増し、動作信頼性を向上することができる。
以上のような銅配線の構造は、当該技術分野における一般的な手法を用いて作製することができる。
前工程であるエッチバック処理によりバリア絶縁膜107に開口部が形成されるとともに、第1の配線106上に自然酸化膜109が、また自然酸化膜109上およびバリア絶縁膜107上にエッチング副生成物110が付着している。
以下では、図4に示すような銅配線上に開口部を形成した銅配線構造の表面に対し、冷却した状態でプラズマ照射処理を行うことで、図5に示すように銅配線表面に存在する自然酸化膜109およびエッチング副生成物110を除去する方法について、具体的に説明する。
図6は、本実施形態における銅表面の自然酸化膜および有機物を除去するためのエッチング処理室を模式的に示した図である。
エッチング処理室201の底部にはステージ202が設けられており、ステージ202の上には当該プラズマ処理を行う半導体基板203が設置される。一方、エッチング処理室201内の上部には、プラズマ209を発生させるための空間を挟んで半導体基板203と対向して対向電極205が設けられている。また、エッチング処理室201には、高周波電源206がステージ202に接続して設けられており、高周波電源206を用いて、例えば、13.56MHzの電力をステージ202に対して印加する。また、ステージ202には、上部に設置した半導体基板203を冷却するための冷却機構204が設けられ、当該プラズマ処理中に半導体基板203を一定温度の冷却状態を保持することができる。さらに、エッチング処理室201には、エッチング処理室201内にプロセスガスを導入するためのガス供給口207と、エッチング処理室201内からプロセスガスを排出するためのガス排気口208とが設けられている。ガス供給口207およびガス排気口208は図6中においてエッチング処理室201の側壁に配置されているが、これらの位置に限定されることはなく、ステージ202や対向電極205の位置、発生するプラズマ209の状態およびプラズマ照射処理の半導体基板表面における均一性など考慮して、ガス供給口207およびガス排気口208の位置は適宜選択すれば良い。
本実施形態のプラズマ照射処理における半導体基板203の冷却温度は、開口部に露出した銅配線表面の銅原子の移動を抑制するため、0℃以下に設定することが好ましく、また、実用上の冷却設備の冷却能力およびスループットの観点から、冷却温度は−40℃以上に設定することが好ましい。ステージ202に備わる冷却機構204としては、ステージ202内部にフルオロカーボンや液体窒素などの冷媒を流すことで冷却する機構でも良く、あるいはペルチェ素子を用いて冷却する機構であっても良い。
銅配線表面の自然酸化膜109およびエッチング副生成物110の除去においては、不活性プラズマあるいは還元プラズマを照射することができる。いずれのプラズマ照射処理によっても、還元ガス照射のみでは困難な、冷却状態にある半導体基板上の銅配線表面の自然酸化膜109およびエッチング副生成物110の除去が可能である。
不活性プラズマ照射処理及および還元プラズマ照射処理は、一度のみ連続的に実施しても良いが、プラズマ発生のオン、オフを一定の時間間隔で繰り返すことで間欠的に実施しても良い。これにより、エッチング副生成物の分解反応および自然酸化膜の還元反応に伴う銅配線表面の温度上昇をより効果的に抑制することができる。
還元プラズマを用いる場合、還元プラズマには少なくとも還元ガスが含まれる。より好ましくは、還元プラズマには少なくとも還元ガスと、不活性ガスとが含まれる。還元ガスに不活性ガスを混合することで、還元プラズマの発生効率を増大させることができるほか、混合比率によって清浄化処理の条件を調整することができる。還元ガスとしては、H2、NH3、C2H5OHなどを用いることができるが、例えば、H2を用いることで、銅配線とは不活性で反応することなく自然酸化膜を還元し、エッチング副生成物を分解除去することができる。不活性ガスとしては、He、Ar、あるいはN2の少なくともいずれか1つが選ばれるが、Arに比べて原子量が小さく銅表面の凹凸が発生しにくいHeを含むことがより好ましい。
本実施における最も好適な還元プラズマ照射処理の条件としては、例えば、混合する還元ガスとしてH2を、不活性ガスとしてHeを用い、エッチング処理室内の圧力、H2およびHeの供給流量、高周波電源出力、半導体基板温度、および処理時間をそれぞれ、20mTorr、100sccm、100sccm、1000W、−20℃、および20秒に設定すれば良い。
この条件での還元プラズマ照射によって、銅配線開口部における自然酸化膜109およびエッチング副生成物110を除去でき、平坦な銅表面が得られる。銅配線開口部表面の形状については原子間力顕微鏡(AFM)、走査型トンネル顕微鏡、あるいは走査型電子顕微鏡で直接観察することができる。特に、AFMを用いることで、銅表面粗さを簡便にオングストローム単位で定量化することができる。
上記の条件での還元プラズマ照射処理を行うことで、AFM観察により見積もった銅配線表面粗さが冷却を行わなかった場合の5.0nmから0.7nmへ改善しており、還元プラズマ処理中の冷却の効果が確認された。
この平坦かつ清浄化された銅配線表面に固体電解質スイッチなどの機能素子を形成すると、素子間での動作電圧ばらつきを改善することが可能になる。このとき、この還元プラズマ照射処理を行った半導体基板203を、エッチング処理室201から固体電解質スイッチ素子構造の成膜用装置内へ大気暴露することなく搬送することで、清浄化した銅配線表面の再酸化による素子間での動作電圧ばらつきをより効果的に抑制することができる。具体的には、エッチング処理室201と固体電解質成膜装置とが、真空あるいは不活性ガス雰囲気とした搬送チャンバーを介して接続されていることが好ましい。
不活性プラズマを用いる場合、不活性プラズマには不活性ガスであるHeあるいはArのうち少なくともいずれか1つが含まれることが好ましいが、還元プラズマを用いる場合と同様に、Arに比べて原子量が小さく銅表面の凹凸が発生しにくいHeを含むことがより好ましい。最も好適な不活性プラズマ照射処理の条件としては、不活性プラズマに含まれる不活性ガスとしてHeを用い、エッチング処理室内の圧力、Heの供給流量、高周波電源出力、半導体基板温度、および処理時間はそれぞれ、2500mTorr、1000sccm、200W、−20℃、および30秒に設定すれば良い。
この条件での不活性プラズマ照射によっても、銅配線開口部における自然酸化膜109およびエッチング副生成物110を除去でき、AFM観察により見積もった銅配線表面粗さが冷却を行わなかった場合の6.4nmから0.9nmへ改善した。この場合においても、先述したように、エッチング処理室201と固体電解質成膜装置とが、真空あるいは不活性ガス雰囲気とした搬送チャンバーを介して接続され、プラズマ照射処理を行った基板を大気暴露することなく固体電解質成膜装置へ搬送し、基板表面に固体電解質層を成膜することが好ましい。
以上で説明した本発明の実施により平坦かつ清浄化された銅配線表面に、固体電解質スイッチなどの機能素子を形成することによって、素子間での動作電圧ばらつきおよび歩留まりを改善することが可能になる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態においては、本発明のプラズマ照射処理を用い、機能素子の一例として、CMOSデバイス基板上の多層配線層内部に形成した2端子型固体電解質スイッチ素子の構造及びその製造方法について、図7〜17および前述した図4、5を参照しながら説明する。
(構造)
図7は、本実施形態に係るCMOSデバイス基板上の多層配線層内部に形成した2端子型固体電解質スイッチ素子の構成を模式的に示した部分断面図である。
本実施形態により形成した固体電解質スイッチ素子部126は、第1の配線106と、固体電解質層111と、第1の上部電極112と、第2の上部電極113と、からなる。
また、本実施形態により形成した固体電解質スイッチ素子部126において、第1の上部電極112、第2の上部電極113の積層体上に第2のハードマスク膜114および第3のハードマスク膜115が形成されている。固体電解質層111、第1の上部電極112、第2の上部電極113、第2のハードマスク膜114、第3のハードマスク膜115、の側面と、バリア絶縁膜107上は、保護絶縁膜116で覆われている。
第1の配線106は、層間絶縁膜103およびキャップ絶縁膜104に形成された配線溝にバリアメタル105を介して埋め込まれた配線である。固体電解質スイッチ素子部126は、第1の配線106がCuを主成分とする金属材料で構成されている場合には、第1の配線106中のCu原子をイオン化して固体電解質層111中へ溶出させる目的で、第1の配線106自身を下部電極として用いることができ、固体電解質層111と第1の配線とはバリア絶縁膜107の開口部にて接続されている。
バリアメタル105は、第1の配線106に含まれる金属が層間絶縁膜102および103、キャップ絶縁膜104などへ拡散することを防止するために、配線の側面および底面を被覆する、バリア性を有する導電性膜である。バリアメタル105には、例えば、第1の配線106がCuを主成分とする金属元素からなる場合には、タンタル(Ta)、窒化タンタル(TaN)、窒化チタン(TiN)、炭窒化タングステン(WCN)のような高融点金属やその窒化物等、またはそれらの積層膜が用いられる。
第2の配線122は、層間絶縁膜118およびキャップ絶縁膜119に形成された配線溝にバリアメタル120を介して埋め込まれた配線である。第2の配線122は、プラグ121と一体になっている。プラグ121は、保護絶縁膜116、第3のハードマスク膜115および第2ハードマスク膜114に形成された下穴にバリアメタル120を介して埋め込まれている。プラグ121は、バリアメタル120を介して第2の上部電極113と電気的に接続されている。第2の配線122およびプラグ121には、例えば、Cuが用いられる。
バリアメタル120は、第2の配線122およびプラグ121に含まれる金属がビア層間絶縁膜117、層間絶縁膜118、キャップ絶縁膜119へ拡散することを防止する、バリア性を有する導電性膜であり、第2の配線122およびプラグ121の側面および底面を被覆している。バリアメタル120には、例えば、第2の配線122およびプラグ121がCuを主成分とする金属元素からなる場合には、Ta、TaN、TiN、WCNのような高融点金属やその窒化物等、またはそれらの積層膜が用いられる。
バリアメタル120は、接触抵抗の低減の観点から、第2の上部電極113と同一材料であることが好ましい。例えば、バリアメタル120がTaN(下層)/Ta(上層)の積層構造である場合には、下層材料であるTaNを第2の上部電極113に用いることが好ましい。あるいは、バリアメタル120がTi(下層)/Ru(上層)である場合は、下層材料であるTiを第2の上部電極113に用いることが好ましい。
第3のハードマスク膜115は、第2のハードマスク膜114をエッチングする際のハードマスクとなる膜である。第2のハードマスク膜114は、第3のハードマスク膜115と異なる種類の膜であることが好ましく、例えば、第2のハードマスク膜114がSiN膜であれば、第3のハードマスク膜115にSiO2膜を用いることが可能である。
保護絶縁膜116は、側面が露出した固体電解質スイッチ素子部126にダメージを与えることなく、さらに固体電解質スイッチ素子部126からビア層間絶縁膜117への構成原子の拡散を防ぐ機能を有する絶縁膜である。保護絶縁膜116には、例えば、SiN膜、SiCN膜等を用いることが可能である。保護絶縁膜116は、第2のハードマスク膜114およびバリア絶縁膜107と同一材料であることが好ましい。同一材料である場合には、保護絶縁膜116とバリア絶縁膜107および第2のハードマスク膜114が一体化して、界面の密着性が向上するためである。
(製造方法)
次に、図7で示した、CMOSデバイス基板上の多層配線層内部に形成した2端子型固体電解質スイッチ素子の製造方法について、図8〜17および前述した図4および5を用いて説明する。
また、図8〜17および前述した図4および5には、本発明の第2の実施形態に係るプラズマ照射処理を用いた、固体電解質スイッチ素子の製造方法の1例を説明するための図であり、素子の断面が工程順に模式的に示されている。
まず、半導体基板101上に層間絶縁膜102、層間絶縁膜103およびキャップ絶縁膜104を順に形成する。ここで言う半導体基板101は、半導体基板そのものであってもよく、基板表面に半導体素子(図示せず)が形成されている基板であってもよい。例えば、層間絶縁膜102は膜厚300nmのシリコン酸化膜であり、層間絶縁膜103は膜厚150nmのSiOCH膜であり、キャップ絶縁膜104は膜厚100nmのシリコン酸化膜である。
続いて、リソグラフィ法を用いて、キャップ絶縁膜104、層間絶縁膜103、および102に配線溝を形成する。このリソグラフィ法では、キャップ絶縁膜104の上に所定のパターンのレジストを形成するフォトレジスト形成処理、積層された膜に対してレジストをマスクにして異方性エッチングを行うドライエッチング処理、および、エッチングにより配線溝を形成した後にレジストを除去する処理を含む。
その後、配線溝にバリアメタル105を介して金属を埋め込んで第1の配線106を形成する(図8(a))。バリアメタル105の積層構造は、例えば、TaN(膜厚5nm)/Ta(膜厚5nm)である。第1の配線106の材料は、例えば、銅である。
続いて、第1の配線106を含むキャップ絶縁膜104上にバリア絶縁膜107を形成する。バリア絶縁膜107は、例えば、膜厚30nmのSiCN膜である。次に、バリア絶縁膜107上に第1のハードマスク膜108を形成する(図8(b))。第1のハードマスク膜108は、ドライエッチング加工におけるエッチング選択比を大きく保つ観点から、バリア絶縁膜107とは異なる材料であることが好ましく、絶縁膜であっても導電膜であっても良い。例えば、シリコン酸化膜、TiN、Ti、Ta、TaNなどを用いることができる。ここでは、第1のハードマスク膜108として、例えば、シリコン酸化膜を用いる。
続いて、所定の開口部パターンを有するフォトレジスト(図示せず)を第1のハードマスク膜108上に形成し、フォトレジストをマスクにしてドライエッチング行って第1のハードマスク膜108に開口部パターンを転写する。その後、酸素プラズマアッシング等によってフォトレジストを剥離する(図9)。
次に、第1のハードマスク膜108をマスクとして、第1のハードマスク膜108の開口部に露出しているバリア絶縁膜107をエッチバック(ここでは、反応性ドライエッチングを用いる)することにより、第1の配線106の上面にまで達する開口部をバリア絶縁膜107に形成する。第1のハードマスク膜108は、このエッチバック中にエッチング除去される。この開口部が形成された後、開口部の第1の配線106上に自然酸化膜109が形成され、またエッチバック処理により開口部の第1の配線106上およびバリア絶縁膜107上にエッチング副生成物110が付着する(図4)。ここで、前述した第1の実施形態に係る冷却機構を備えたエッチング処理室内のステージに設置し、半導体基板を冷却した状態でプラズマ照射処理を行うことにより、これらの自然酸化膜109およびエッチング副生成物110を除去する(図5)。図8から図9、図4および図5の順に示した構造を形成するまでをステップA1とする。
前記ステップA1において、キャップ絶縁膜104および層間絶縁膜103に形成された配線溝の深さは、キャップ絶縁膜104と層間絶縁膜103の膜厚分に加え、層間絶縁膜102がその上面から40nm程度の深さまでオーバーエッチングにより掘り込まれている。このように、予め層間絶縁膜102まで達するオーバーエッチングを施しておくことで、配線溝の抜け性を向上させることができる。
ステップA1において、バリア絶縁膜107の開口部を形成する際の反応性ドライエッチングは、CF4/Arのガス流量=25/50sccm、圧力0.53Pa、ソースパワー400W、基板バイアスパワー90Wの条件で行うことができる。ソースパワーを低下、または基板バイアスを大きくすることで、エッチング時のイオン性を向上させ、バリア絶縁膜107のテーパ形状の角度を小さくすることができる。このとき、バリア絶縁膜107の開口部の底のバリア絶縁膜107の残膜約20nmに対して、35nm相当(約80%のオーバーエッチングに相当)のエッチングを行うことができる。
また、ステップA1において、バリア絶縁膜107の開口部を形成する際の反応性ドライエッチングおよびエッチバックは、減圧した雰囲気下で基板を350℃に加熱して行ってもよく、この加熱は、エッチバックをスパッタリング装置で行えば、スパッタリング装置内に搭載されているヒートチャンバにて行うことができる。
また、ステップA1において、不活性ガスを用いたRFエッチングでエッチバックを行う場合、不活性ガスを用いたRFエッチングは、RFエッチングチャンバにてArガスを用いて、Arガス流量=30sccm、圧力1.3Pa、ソースパワー290W、基板バイアスパワー130Wの条件で行うことができる。RFエッチング時間は、プラズマCVD法により形成したSiO2膜のエッチング量で定量化することができ、SiO2膜換算で3nmとすることができる。
また、ステップA1において、開口部の銅配線表面に形成した自然酸化膜109およびエッチング副生成物110を、還元ガスを用いた還元プラズマ照射処理で除去する場合、冷却機構を備えたエッチング処理室にてH2ガスおよび不活性ガスであるHeガスを用いて、Heガス流量=100sccm、Heガス流量=100sccm、圧力800mTorr、RFパワー1000W、基板温度−20℃の条件で行うことができる。
次に、第1の配線106を含むバリア絶縁膜107上に固体電解質層111を堆積する。固体電解質層111には、Ta、Ni、Ti、Zr、Hf、Si、Al、Fe、V、Mn、Coのうち少なくとも1つを含む金属酸化物膜、SiOCH膜、カルコゲナイド膜、およびそれらの積層などを用いることができるが、例えば、膜厚6nmのSiOCH膜が用いられる。この場合、プラズマCVD法によって堆積し、続いて不活性プラズマ処理を行う。次に、固体電解質層111上にスパッタリング法により第1の上部電極112および第2の上部電極113をこの順に形成する(図10(a))。
図5から図10(a)に示した構造を形成するまでの工程をステップA2とする。
ステップA2において、固体電解質層111にSiOCH膜を用いた場合、プラズマCVD法では、原料には液体SiOCHモノマー分子を用い、基板温度は400℃以下とし、He流量500〜2000sccm、原料流量0.1〜0.8g/min、プラズマCVDチャンバー圧力2.7〜4.2Torr、RFパワー20〜100Wにそれぞれ設定することで固体電解質層111を堆積することができる。具体的には、基板温度350℃、He流量1500sccm、原料流量0.75g/min、プラズマCVDチャンバー圧力3.5Torr、RFパワー50Wの条件で堆積することができる。
固体電解質層111堆積後の不活性プラズマ処理は、不活性ガスとしてHeを用い、基板温度は400℃以下とし、He流量500〜1500sccm、プラズマチャンバー圧力2.7〜3.5Torr、RFパワー20〜200Wにそれぞれ設定することで行うことができる。具体的には、基板温度350℃、He流量1000sccm、プラズマチャンバー圧力2.7Torr、RFパワー50W、処理時間30秒の条件で行うことができる。この不活性プラズマ処理によって、次に堆積する第1の上部電極112との密着性を改善することができる。
また、ステップA2において、第1の上部電極112は、DCスパッタリングによりRuをターゲットとして、基板温度は室温、スパッタパワー0.2kW、Ar流量20sccm、圧力0.27Paの条件で膜厚10nmを堆積することができる。また、第2の上部電極113は、同じくDCスパッタリングによりTaをターゲットとして同条件で膜厚30nmを堆積することができる。
次に、第2の上部電極113上に第2のハードマスク膜114、および第3のハードマスク膜115をこの順に積層する(図10(b))。第2のハードマスク膜114は、バリア絶縁膜107と同一材料を用いることが好ましく、例えば、膜厚30nmのSiCN膜である。第3のハードマスク膜115は、例えば、膜厚100nmのSiO2膜である。図10(a)に示した構造から図10(b)に示した構造を形成するまでの工程をステップA3とする。
ここで、第2のハードマスク膜114および第3のハードマスク膜115は、プラズマCVD法を用いて成膜することができる。いずれのハードマスク膜114、115は当該技術分野における一般的なプラズマCVD法を用いて形成することができる。成膜温度は200℃〜400℃の範囲を選択することが可能である。ここでは、成膜温度を200℃とした。
次に、第3のハードマスク膜115上に固体電解質スイッチ素子部126をパターニングするためのフォトレジスト(図示せず)を形成する。その後、当該フォトレジストをマスクとして、第2のハードマスク膜114が表れるまで第3のハードマスク膜115をドライエッチングする。その後、酸素プラズマアッシングと有機剥離を用いてフォトレジストを除去する(図11(a))。その後、第3のハードマスク膜115をマスクとして、第2のハードマスク膜114、第2の上部電極113、第1の上部電極112、固体電解質層111を連続的にドライエッチングする(図11(b))。図10(b)に示した構造から図11(b)に示した構造を形成するまでの工程をステップA4とする。
ステップA4において、第3のハードマスク膜115のドライエッチングは、第2のハードマスク膜114の上面または内部で停止していることが好ましい。この場合、固体電解質層111は第2のハードマスク膜114よってカバーされているため、酸素プラズマ中に暴露されることはない。また、第1の上部電極112のRuも酸素プラズマに暴露されることがないため、第1の上部電極112に対するサイドエッチの発生を抑制することができる。なお、第3のハードマスク膜115のドライエッチングは、一般的な平行平板型のドライエッチング装置を用いることができる。
ステップA4において、第2のハードマスク膜114、第2の上部電極113、第1の上部電極112、および固体電解質層111の各エッチングは、平行平板型のドライエッチャーを用いることができる。第2のハードマスク膜114(例えば、SiCN膜)のエッチングは、CF4/Arのガス流量=25/50sccm、圧力0.53Pa、ソースパワー400W、基板バイアスパワー90Wの条件で行うことができる。
また、第2の上部電極113(例えば、Ta)のエッチングは、基板温度90℃、Cl2ガス流量=50sccmにて圧力0.53Pa、ソースパワー400W、基板バイアスパワー60Wの条件で行うことができる。
また、第1の上部電極112(例えば、Ru)のエッチングは、基板温度は室温、CH3OHのガス流量=50sccmにて圧力0.53Pa、ソースパワー1200W、基板バイアスパワー300Wの条件で行うことができる。
また、固体電解質層111(例えば、SiOCH)のエッチングは、第1の上部電極112にRuを用いた場合、第1の上部電極のエッチングと同条件で行うことができる。したがって、第1の上部電極112と一括してエッチングを行うこともできる。
また、ステップA4において、上述の条件にて、第2のハードマスク膜114、第2の上部電極113、第1の上部電極112、および固体電解質層111の各エッチングは、平行平板型のドライエッチャーを用いて行うことができる。
また、ステップA4において、上述の条件にて、第2のハードマスク膜114、第2の上部電極113、第1の上部電極112、および固体電解質層111の各エッチングを行った後、第3のハードマスク膜115の残り膜厚は50nmとすることができる。
次に、第3のハードマスク膜115、第2のハードマスク膜114、第2の上部電極113、第1の上部電極112、固体電解質層111、およびバリア絶縁膜107からなる積層構造上に保護絶縁膜116を堆積する(図14)。保護絶縁膜116は、バリア絶縁膜107および第2のハードマスク膜と同一材料を用いることが好ましく、例えば、膜厚30nmのSiCN膜である。図11(b)に示した構造から図12に示した構造を形成するまでの工程をステップA5とする。
ステップA5において、保護絶縁膜116は、例えばSiCN膜を用いる場合、テトラメチルシランとアンモニアを原料ガスとし、基板温度200℃にて、プラズマCVD法を用いて形成することができる。この保護絶縁膜116の形成により、第1の配線106上のバリア絶縁膜107、保護絶縁膜116、および第2のハードマスク膜114はSiCN膜で同一材料として抵抗変化素子の周囲を一体化し保護することで、界面の密着性が向上し、吸湿性や耐水性、酸素脱離耐性を向上でき、素子の歩留まりと信頼性を向上することができる。
次に、保護絶縁膜116上に、プラズマCVD法を用いてビア層間絶縁膜117を堆積する(図13)。ビア層間絶縁膜117は、例えば、膜厚500nmのSiO2膜である。図12に示した構造から図13に示した構造を形成するまでの工程をステップA6とする。
次に、CMPを用いて、ビア層間絶縁膜117を平坦化する(図14)。ビア層間絶縁膜117に対する平坦化処理をステップA7とする。
ここで、ビア層間絶縁膜117の平坦化では、ビア層間絶縁膜117の頂面から約350nmを削り取り、残膜を約150nmとすることができる。このとき、ビア層間絶縁膜117のCMPでは、一般的な、コロイダルシリカ、あるいはセリア系のスラリーを用いて研磨することができる。
次に、ビア層間絶縁膜117上に、層間絶縁膜118、およびキャップ絶縁膜119をこの順に堆積する(図15)。層間絶縁膜118は、エッチング加工時に下部で接するビア層間絶縁膜117をエッチングストッパ層とするために、ビア層間絶縁膜117とは異なる材料が用いられ、例えば、膜厚150nmのSiOCH膜である。図14に示した構造から図15に示した構造を形成するまでの工程をステップA8とする。
ステップA8において、層間絶縁膜118およびキャップ絶縁膜119は、プラズマCVD法を用いて堆積することができる。
次に、デュアルダマシン法のビアファースト法を用いて、図7に示した第2の配線122、およびプラグ121を形成する。
ビアファースト法では、まず、キャップ絶縁膜119上に、図7に示したプラグ121用の下穴124を形成するためのフォトレジスト(不図示)を形成する。その後、当該フォトレジストをマスクとしてドライエッチングすることにより、層間絶縁膜118、ビア層間絶縁膜117、保護絶縁膜116、および第3のハードマスク膜115を貫通した、図7に示したプラグ121用の下穴124を形成する。その後、酸素プラズマアッシングと有機剥離を行うことで、フォトレジストを除去する(図16)。図15に示した構造から図16に示した構造を形成するまでの工程をステップA9とする。
ステップA9において、下穴124を形成するためのドライエッチングでは、エッチング条件と時間を調節することで、第2のハードマスク膜114上またはその内部で停止することができる。
次に、キャップ絶縁膜119上に、図7に示した第2の配線122用の配線溝125を形成するためのフォトレジスト(不図示)を形成する。その後、当該フォトレジストをマスクとしてドライエッチングすることにより、キャップ絶縁膜119および層間絶縁膜118に図7に示した第2配線122用の配線溝125を形成する。その後、酸素プラズマアッシングと有機剥離を行うことで、フォトレジストを除去する(図17)。図16に示した構造から図17に示した構造を形成するまでの工程をステップA10とする。
ステップA10において、下穴124の底にはARC(Anti−Reflection Coating;反射防止膜)などを埋め込んでおくことで、下穴124の底の突き抜けを防止することができる。
また、ステップA10において、下穴124の底は第2のハードマスク膜114によって保護されているため、酸素プラズマアッシングによる酸化ダメージを受けることがない。
次に、下穴124の底の第2のハードマスク膜114をエッチングすることで、下穴124から第2の上部電極113を露出させる。その後、配線溝125および下穴124内にバリアメタル120(例えば、Ta、膜厚5nm)を介して第2の配線122(例えば、Cu)およびプラグ121(例えば、Cu)を同時に形成する。その後、第2の配線122を含むキャップ絶縁膜119上にバリア絶縁膜123(例えば、SiCN膜)を堆積することで、図7に示した構造が形成される。図17に示した構造から図7に示した構造を形成するまでの工程をステップA11とする。
ステップA11において、第2の配線122の形成は、下層配線形成と同様のプロセスを用いることができる。このとき、プラグ121の底径は、バリア絶縁膜107の開口部径よりも小さくしておくことが好ましい。本実施形態では、例えばプラグ121の底部の直径は60nm、バリア絶縁膜107の開口部の直径は100nmとする。また、第1下部電極と接続する第1の配線106の幅は、バリア絶縁膜107の開口部の直径よりも大きいことが好ましい。さらに、バリアメタル120と第2の上部電極113を同一材料とすることでプラグ121と第2の上部電極113の間の接触抵抗を低減し、素子性能を向上(ON時の固体電解質スイッチ素子部126の抵抗を低減)させることができるようになる。
(実施例1)
本実施形態において、図7に示した第1の配線106に銅を用い、バリア絶縁膜107に第1の配線106表面が露出した開口部(開口直径200nm)をドライエッチングにより形成後、ステージ202を−20℃に冷却した場合と冷却を行わなかった場合で清浄化処理を行い、それぞれ固体電解質スイッチ素子を作製した。その結果、冷却を行わなかった場合は1Vバイアス時のOFFリーク電流が最も高いもので1×10−7A、閾値電圧ばらつき幅が±0.5Vであったのに対し、−20℃に冷却して清浄化処理を行った場合、1Vバイアス時のOFFリーク電流が最も高いもので3×10−8A、閾値電圧ばらつき幅が±0.3Vとなり、本発明による素子特性の改善が見られた。これは、冷却により清浄化処理中に銅配線表面粗さが冷却を行わなかった場合の5.0nmから0.7nmへ低減し、局所的な電流リーク経路の形成が抑制されたためである。
(実施例2)
本発明のプラズマ照射処理を用い、CMOSデバイス基板上の多層配線層内部にReRAM素子を形成する方法である。
本発明によるプラズマ照射処理を用いて、図5に示すように第1の配線106表面の清浄化処理を実施した後、第1の配線106上にTaN(5nm)/Ru(5nm)の下部電極を形成し、続いて、このTaN/Ru下部電極上にReRAM層としてTiOx(3nm)/TaOx(7nm)を堆積する。次に、第2の実施形態と同様にRu/Ta上部電極を形成する。Ru/Ta上部電極形成以降のステップは第2の実施形態に従うことにより、多層配線層内部にReRAM素子を形成することができる。
本発明のプラズマ照射処理において基板を−20℃に冷却することで、ReRAM素子における歩留まりが、冷却しない場合の95.8%から99.7%へ向上した。さらに、閾値電圧ばらつきについても、±0.6Vから±0.4Vへと改善した。以上のような効果が得られたのは、下部電極下の銅配線表面のラフネスに起因する動作不良が抑制されたためである。
また、同様の歩留まりの改善が、HfOx、ZrOx,NiOxなどの金属酸化物層を用いたReRAM素子においても確認された。
(実施例3)
本発明のプラズマ照射処理を用いて多層配線層内部にキャパシタを形成する方法である。第2の実施形態と同様の方法で形成した開口部から露出した銅配線表面に、本発明であるプラズマ照射処理を行った後、金属/絶縁体/金属キャパシタ構造を形成する。ここでは一例として、TiN(50nm)/SiN(6nm)/TiN(50nm)構造を積層した。銅配線表面の開口直径は200nmであり、上部電極は所望のキャパシタ容量に依存して可変である。
冷却を行わずにプラズマ照射処理を行った場合、キャパシタの1Vバイアスにおけるリーク電流密度は4×10−14A/μm2であったが、−20℃に冷却しながらプラズマ照射処理を行うことで、8×10−16A/μm2へと低減した。
(実施例4)
本発明におけるプラズマ照射処理において用いるガスをあらかじめ冷却しておき、ガス照射による基板の冷却とプラズマ照射処理とを交互に繰り返して行う方法である。基板の銅配線表面を混合ガスにより直接冷却できることが特長である。
本実施例におけるプラズマガスとして、不活性ガスであるHeと還元ガスであるH2の混合ガスを用い、冷媒として、例えばフルオロカーボンを用いた熱交換器を通して前記混合ガスを冷却してエッチング処理室201(図6)に導入する。エッチング処理室内の圧力、H2およびHeの供給流量をそれぞれ、80mTorr、200sccm、200sccmで一定とし、高周波電源の出力、オフ時間、オン時間およびプラズマ照射サイクルをそれぞれ1000W、10秒、2秒、10サイクルとした。これにより、プラズマ照射処理中における基板温度を−10℃程度に維持することができる。
このプラズマ照射処理を行った銅配線表面へ、第2の実施形態と同様の製造方法により固体電解質スイッチ素子を作製した。冷却混合ガス照射により銅配線表面を直接冷却することで、固体電解質スイッチ素子の1Vバイアス時のOFFリーク電流が、冷却ガスを用いない場合の1×10−7Aから7×10−9Aへ低減し、閾値電圧ばらつき幅についても±0.5Vから±0.35Vへ改善した。これらの結果からも、基板を冷却することにより銅配線表面のプラズマ照射による清浄化処理により凹凸発生が抑制されることで動作特性が向上していることが分かる。
(実施例5)
本発明のプラズマ照射処理を用いて、CMOSデバイス基板上の多層配線層内部に3端子型固体電解質スイッチ素子を形成する方法である。
図18に示すように、3端子型固体電解質スイッチ素子においては、バリア絶縁膜107に形成した1つの開口部から、層間絶縁膜303およびキャップ絶縁膜304を挟んで互いに離間した第1の配線306aおよび第1の配線306bの各表面が露出した構造を有している。第1の配線306aおよび第1の配線306bは銅であり、層間絶縁膜303はSiOCHであり、キャップ絶縁膜304はSiO2であり、バリア絶縁膜はSiCN、固体電解質膜はSiOCHである。ドライエッチングによる開口部の形成において、第1の配線306aおよび第1の配線306bに挟まれたキャップ絶縁膜304は、表面がドライエッチングされることにより膜減りが生じている。開口部を形成後、本発明のプラズマ照射処理を用いて、露出した第1の配線306aおよび第1の配線306bの表面の清浄化処理を実施し、続いて、この1の配線306aおよび第1の配線306bの表面を含む開口部上に固体電解質層311を堆積する。固体電解質層311堆積以降のステップは第2の実施形態に従うことにより、多層配線層内部にすることができる。
上記の3端子型積固体電解質スイッチ素子を形成においても、本発明の還元プラズマ照射処理を行うことで、AFM観察により見積もった銅配線表面粗さが冷却を行わなかった場合の5.7nmから1.0nmへ低減した。この凹凸抑制によって、3端子型積固体電解質スイッチ素子の閾値電圧ばらつき幅が±0.6Vから±0.3Vへ改善することが確認された。
以上では、好適な実施形態に関連付けして本発明を説明したが、これら実施形態および実施例は単に実例を挙げて発明を説明するためのものであって、限定することを意味するものではないことが理解できる。
例えば本発明者によってなされた発明の背景となった利用分野であるCMOS回路を有する半導体製造装置技術に関して詳しく説明し、半導体基板上の銅配線上部に固体電解質スイッチ素子を形成する例について説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、例えば、DRAM(Dynamic Random Access Memory)、SRAM(Static Random Access Memory)、フラッシュメモリ、FRAM(Ferro-Electric Random Access Memory;登録商標)、MRAM(Magnetic Random Access Memory)、抵抗変化型メモリ、バイポーラトランジスタ等のようなメモリ回路を有する半導体製品、マイクロプロセッサなどの論理回路を有する半導体製品、あるいはそれらを同時に掲載したボードやパッケージの銅配線上へも適用することができる。また、本発明は半導体装置への、電子回路装置、光回路装置、量子回路装置、マイクロマシン、MEMSなどの接合にも適用することができる。また、本発明では並行平板型のプラズマ発生装置について詳しく説明したが、プラズマ源は本発明を限定するものではなく、例えばリモートプラズマを用いてもよい。
本明細書を読んだ後であれば、当業者にとって等価な構成要素や技術による数多くの変更および置換が容易であることが明白であるが、このような変更および置換は、添付の請求項の真の範囲および精神に該当するものであることは明白である。
本発明の全開示(請求の範囲及び図面を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素(各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む)の多様な組み合わせ、ないし、選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。