JP5613748B2 - フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 - Google Patents
フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5613748B2 JP5613748B2 JP2012256361A JP2012256361A JP5613748B2 JP 5613748 B2 JP5613748 B2 JP 5613748B2 JP 2012256361 A JP2012256361 A JP 2012256361A JP 2012256361 A JP2012256361 A JP 2012256361A JP 5613748 B2 JP5613748 B2 JP 5613748B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- flow
- control device
- pressure sensor
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 55
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims description 22
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 54
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 46
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 44
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 40
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 20
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 14
- 230000004044 response Effects 0.000 description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 9
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/363—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction with electrical or electro-mechanical indication
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
- Y10T137/7758—Pilot or servo controlled
- Y10T137/7761—Electrically actuated valve
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
本出願は、Brodeurらのタイトルが「System and Method for Flow Monitoring and Control」の米国特許出願第10/777,300号(2004年2月12日出願)の一部継続出願であり、該出願の米国特許法第120条の優先権の利益を主張する。本明細書では、該出願の全体を援用する。
本発明の実施形態は、一般に流量のモニタリング及び制御の分野に関し、さらに具体的には、ある流量範囲のフローのモニタリング及び/又は制御に関する。
例えば、本発明は以下の項目を提供する。
(項目1)
フロー制御装置であって、
流入口と、
上記流入口と流体連通している流出口と、
上記流入口と流出口との間にあり上記流入口及び流出口と流体連通している圧力低減エレメントと、
上記圧力低減エレメントの上流に配置され、上記フロー制御装置を流れ通る流体の第一圧力を測定するよう構成された第一圧力センサと、
上記圧力低減エレメントの下流に配置され、上記フロー制御装置を流れ通る流体の第二圧力を測定するよう構成された第二圧力センサと、
上記第一圧力センサ及び第二圧力センサに連結されたコントローラであって、上記コントローラは、
第一作動モードによって動作し、上記第一作動モードにおいては、上記第一圧力と第二圧力との間の較差に基づいてバルブ制御信号を発生させ、
第二作動モードによって動作し、上記第二作動モードにおいては、特定の圧力センサにおいて測定した圧力に基づいて上記バルブ制御信号を発生させ、
所定のパラメータに従って、上記第一作動モードと第二作動モードとの間の切り替えを行う、ように構成された、コントローラと
を含む、装置。
(項目2)
項目1のフロー制御装置であって、上記流入口と上記流出口との間に配置され上記コントローラに連結された、上記バルブ制御信号に反応するバルブをさらに含む、装置。
(項目3)
項目1のフロー制御装置であって、上記第二作動モードにおいて、上記コントローラは、上記上流の圧力センサにおける上記測定圧力に基づいて上記バルブ制御信号発生させる、装置。
(項目4)
項目1のフロー制御装置であって、上記第二作動モードにおいて、上記コントローラは、上記下流の圧力センサにおける上記測定圧力に基づいて上記バルブ制御信号発生させる、装置。
(項目5)
項目1のフロー制御装置であって、上記所定パラメータは圧力較差閾値を含む、装置。
(項目6)
項目5のフロー制御装置であって、上記コントローラは、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定し、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較し、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より大きい場合には上記第一作動モードによって動作する、ようにさらに構成されている、装置。
(項目7)
項目5のフロー制御装置であって、上記コントローラは、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定し、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較し、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より小さい場合には上記第二作動モードによって動作する、ようにさらに構成されている、装置。
(項目8)
項目5のフロー制御装置であって、上記コントローラは、上記圧力較差閾値を、上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差と、供給圧力と、バルブ位置とに基づいて計算するようにさらに構成されている、装置。
(項目9)
項目1のフロー制御装置であって、上記コントローラは、
上記第一又は第二センサの変動をモニターし、
上記変動が所定の量よりも大きい場合は、警報を発する、ようにさらに構成されている、装置。
(項目10)
項目1のフロー制御装置であって、上記コントローラは、
バルブのバルブ位置の変化をモニターし、
バルブ位置の上記変化が所定の量よりも大きい場合には、警報を発する、ようにさらに構成されている、装置。
(項目11)
コンピュータプログラム製品であって、上記該コンピュータプログラム製品は、少なくとも一つのコンピュータ可読媒体に格納され、少なくとも一つのプロセッサによって、
第一圧力の測定値を受信し、
第二圧力の測定値を受信し、
上記コンピュータ命令が上記第一圧力と上記第二圧力との間の較差に基づいて流量の計算をすることが実行可能である、第一作動モードによって動作し、
上記コンピュータ命令が特定の圧力センサにより測定された圧力に基づいて上記流量の計算をすることが実行可能である、第二作動モードによって動作し、
所定のパラメータに従って、上記第一作動モードと上記第二作動モードとの間で切り替えを行う
ことを実行可能なコンピュータ命令のセットを含む、製品。
(項目12)
項目11のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットが、上記第二作動モードにおいて、下流圧力センサから受信した上記第二圧力の上記測定値に基づいて流量の計算を実行できる、製品。
(項目13)
項目11のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、上記第二作動モードにおいて、上流圧力センサからの上記第一圧力の上記測定値に基づいて上記流量の計算を実行できる、製品。
(項目14)
項目11のコンピュータプログラム製品であって、上記所定パラメータは圧力較差閾値を含む、製品。
(項目15)
項目14のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令は、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定し、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較し、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より大きい場合には、上記第一作動モードによって動作する
ことを実行可能である、製品。
(項目16)
項目14のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定し、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較し、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より小さい場合には、上記第二作動モードによって動作する
ことを実行可能である、製品。
(項目17)
項目14のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、上記圧力較差閾値を、上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差と、供給圧力と、バルブ位置とに基づいて計算することを実行可能である、製品。
(項目18)
項目11のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
圧力センサの変動をモニターし、
上記変動が所定の量よりも大きい場合は、警報を発する
ことをさらに実行可能である、製品。
(項目19)
項目11のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
バルブのバルブ位置の変化をモニターし、
バルブ位置の上記変化が所定の量よりも大きい場合には、警報を発する
ことをさらに実行可能である、製品。
(項目20)
フローを制御する方法であって、
第一圧力を測定する工程と、
第二圧力を測定する工程と、
第一作動モードにおいて、上記第一圧力と上記第二圧力との間の較差に基づいてバルブ制御信号を発生させる工程と、
第二作動モードにおいて、特定の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいて上記バルブ制御信号を発生させる工程と、
所定のパラメータに従って、上記第一作動モードと上記第二作動モードとの間の切り替えを行う工程と
を含む、方法。
(項目21)
項目20の方法であって、上記バルブ制御信号に応答してバルブを開閉する工程をさらに含む、方法。
(項目22)
項目20の方法であって、上記特定の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいてバルブ制御信号を発生させる工程は、上流の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいて上記バルブ制御信号を発生させる工程を含む、方法。
(項目23)
項目20の方法であって、上記特定の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいてバルブ制御信号を発生させる工程は、下流の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいて上記バルブ制御信号を発生させる工程を含む、方法。
(項目24)
項目20の方法であって、上記所定パラメータが圧力較差閾値を含む、方法。
(項目25)
項目24の方法であって、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定する工程と、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較する工程と、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より大きい場合には、上記第一作動モードによって動作する工程と
をさらに含む、方法。
(項目26)
項目24の方法であって、
上記第一圧力と第二圧力との間の上記較差を決定する工程と、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較する工程と、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より小さい場合には、上記第二作動モードによって動作する工程と
をさらに含む、方法。
(項目27)
項目24の方法であって、上記圧力較差閾値を、上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差と、供給圧力と、バルブ位置とに基づいて計算する工程をさらに含む、方法。
(項目28)
項目20の方法であって、
上記第二センサの変動をモニタリングする工程と、
上記変動が所定の量よりも大きい場合は、警報を発する工程と
をさらに含む、方法。
(項目29)
項目20の方法であって、
バルブ位置の変化についてバルブ位置をモニタリングする工程と、
バルブ位置の上記変化が所定の量よりも大きい場合には、警報を発する工程と
をさらに含む、方法。
(項目30)
少なくとも一つのコンピュータ可読媒体に格納されたコンピュータ命令のセットを含むコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、少なくとも一つのプロセッサによって、
センサから圧力測定値を受信し、
上記圧力測定値の変動をモニタリングし、
上記変動を所定の限度と比較し、
上記変動が上記所定限度より大きい場合には、警報を発する
ことを実行可能である、製品。
(項目31)
項目30のコンピュータプログラム製品であって、上記センサは、圧力低減エレメントの下流のセンサである、製品。
(項目32)
項目30のコンピュータプログラム製品であって、上記センサは、バルブの下流のセンサである、製品。
(項目33)
少なくとも一つのコンピュータ可読媒体に格納されたコンピュータ命令のセットを含むコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、少なくとも一つのプロセッサによって、
圧力低減エレメントの上流に配置された上流センサから上流圧力を受信し、
上記圧力低減エレメントの下流から下流圧力測定値を受信し、
バルブのバルブ位置をモニターし、
上記測定圧力の間の較差を決定し、
上記測定圧力の間の上記較差、上記バルブ位置、及びバルブ設定能に基づいて、制御設定能を決定する
ことを実行可能である、製品。
(項目34)
項目33のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
上記制御設定能が容認可能かどうかを判定し、
上記制御設定能が容認できない場合は、上記バルブに、上記バルブ位置を、高めの較差を生成することになる新しい位置へ変更させるための信号を発生させ、
新しい上流圧力を受信し、
新しい下流圧力を受信し、
上記新しい上流圧力及び上記新しい下流圧力に基づいて、上記高めの較差を決定し、
上記高めの較差、上記新しいバルブ位置、及び上記バルブ設定能に基づいて、新しい制御設定能を決定する
ことをさらに実行可能である、製品。
(項目35)
項目33のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
上記制御設定能が容認可能かどうかを判定し、
上記制御設定能が容認可能な場合は、上記較差を較差圧力閾値として選定する
ことをさらに実行可能である、製品。
(項目36)
項目33のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令は、引き続き得られる較差と上記較差圧力閾値との比較に基づいて、第一作動モードと第二作動モードとの間での切り替えを行うことをさらに実行可能である、製品。
(項目37)
項目33のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
フルスケール圧力に対する上記較差のパーセントに、上記バルブの開き度合いをパーセントで示す上記バルブ位置を乗じ、これに
上記バルブ設定能を乗じることによって、
上記制御設定能を決定することをさらに実行可能である、製品。
(項目38)
センサから圧力測定値を受信する工程と、
上記圧力測定値の変動をモニタリングする工程と、
上記変動を所定の限度と比較する工程と、
上記変動が上記所定限度より大きい場合には、警報を発する工程と
を含む、方法。
(項目39)
項目38のコンピュータプログラム製品であって、上記センサは、圧力低減エレメントの下流のセンサである、製品。
(項目40)
項目38のコンピュータプログラム製品であって、上記センサは、バルブの下流のセンサである、製品。
(項目41)
コンピュータプログラム製品であって、少なくとも一つのコンピュータ可読媒体に格納され、少なくとも一つのプロセッサによって、
第一圧力の測定値を受信し、
第二圧力の測定値を受信し、
上記コンピュータ命令が上記第一圧力と上記第二圧力との間の較差に基づいてバルブ制御信号の発生をすることが実行可能な、第一作動モードによって動作し、
上記コンピュータ命令が特定の圧力センサにより測定された圧力に基づいて上記バルブ制御信号の発生をすることが実行可能な、第二作動モードによって動作し、
所定のパラメータに従って、上記第一作動モードと上記第二作動モードとの間で切り替えを行う
ことを実行可能なコンピュータ命令のセットを含む、製品。
(項目42)
項目41のコンピュータプログラム製品であって、上記第二作動モードにおいて、上記コンピュータ命令のセットは、下流の圧力センサから受信した上記第二圧力の上記測定値に基づいて、上記バルブ制御信号を発生させることを実行可能である、製品。
(項目43)
項目41のコンピュータプログラム製品であって、上記第二作動モードにおいて、上記コンピュータ命令のセットは、上流の圧力センサから受信した上記第一圧力の上記測定値に基づいて、上記バルブ制御信号を発生させることを実行可能である、製品。
(項目44)
項目41のコンピュータプログラム製品であって、上記所定パラメータは、圧力較差閾値を含む、製品。
(項目45)
項目44のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令は、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定し、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較し、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より大きい場合には、上記第一作動モードによって動作する
ことを実行可能である、製品。
(項目46)
項目44のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定し、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較し、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より小さい場合には、上記第二作動モードによって動作する
ことを実行可能である、製品。
(項目47)
項目13のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、上記圧力較差閾値を、上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差と、供給圧力と、バルブ位置とに基づいて計算することを実行可能である、製品。
(項目48)
項目41のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
圧力センサの変動をモニターし、
上記変動が所定の量よりも大きい場合は、警報を発する
ことをさらに実行可能である、製品。
(項目49)
項目41のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
バルブのバルブ位置の変化をモニターし、
バルブ位置の上記変化が所定の量よりも大きい場合には、警報を発する
ことをさらに実行可能である、製品。
(項目50)
フローをモニタリングする方法であって、
第一圧力を測定する工程と、
第二圧力を測定する工程と、
第一作動モードにおいて、上記第一圧力と上記第二圧力との間の較差に基づいて流量を決定する工程と、
第二作動モードにおいて、特定の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいて上記流量を決定する工程と、
所定のパラメータに従って、上記第一作動モードと上記第二作動モードとの間の切り替えを行う工程と
を含む、方法。
(項目51)
項目50の方法であって、上記特定の圧力センサにおける測定された圧力に基づいて流量を決定する工程は、上流の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいて上記流量を決定する工程を含む、方法。
(項目52)
項目50の方法であって、上記特定の圧力センサにおける測定された圧力に基づいて流量を決定する工程は、下流の圧力センサにおいて測定された圧力に基づいて上記流量を決定する工程を含む、方法。
(項目53)
項目50の方法であって、上記所定パラメータは圧力較差閾値を含む、方法。
(項目54)
項目53の方法であって、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定する工程と、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較する工程と、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より大きい場合には、上記第一作動モードによって動作する工程と
をさらに含む、方法。
(項目55)
項目53の方法であって、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差を決定する工程と、
上記較差を上記圧力較差閾値と比較する工程と、
上記第一圧力と上記第二圧力との間の上記較差が上記圧力較差閾値より小さい場合には、上記第二作動モードによって動作する工程と
をさらに含む、方法。
(項目56)
フロー制御装置であって、
流入口と、
上記流入口と流体連通している流出口と、
上記フロー制御装置を流れ通る流体の圧力を測定する第一圧力センサと、
上記圧力センサと連結されたコントローラであって、上記コントローラは単一の圧力センサにおいて測定した圧力に基づいてバルブ制御信号を発生させるよう構成され、上記単一の圧力センサは上記第一圧力センサである、コントローラと
を含む、装置。
(項目57)
項目56のフロー制御装置であって、上記流入口と上記流出口との間に配置され、上記コントローラに連結された、上記バルブ制御信号に応答するバルブをさらに含む装置。
(項目58)
項目57のフロー制御装置であって、上記第一圧力センサは上記バルブの上流に配置されている、装置。
(項目59)
項目57のフロー制御装置であって、上記第一圧力センサは上記バルブの下流に配置されている、装置。
(項目60)
項目56のフロー制御装置であって、上記コントローラは、
上記第一センサから圧力測定値を受信し、
上記圧力測定値の変動をモニターし、
上記変動を所定の限度と比較し、
上記変動が上記所定限度より大きい場合には、警報を発する
ようにさらに動作可能である、装置。
(項目61)
項目56のフロー制御装置であって、上記コントローラは、
バルブのバルブ位置の変化をモニターし、
バルブ位置の上記変化が所定の量よりも大きい場合には、警報を発する
ようにさらに動作可能である、装置。
(項目62)
フロー制御装置を通るフローを、単一の圧力センサからの測定値に基づいて調節するためのコンピュータプログラム製品であって、上記製品は、少なくとも一つのコンピュータ可読媒体に格納され、少なくとも一つのプロセッサによって、
第一圧力センサからの圧力測定値を受信し、
上記第一圧力センサからの上記圧力測定値と校正パラメータのセットとに基づいて流量を計算し、
上記流量を設定ポイントと比較し、
上記計算された流量と設定ポイントとの間の上記差異に基づいてバルブ制御信号を発生させる
ことを実行可能なコンピュータ命令のセットを含む、製品。
(項目63)
項目62のコンピュータプログラム製品であって、上記校正パラメータは、インサイチュ校正パラメータを含む、製品。
(項目64)
項目62のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
圧力測定値の変動をモニターし、
上記変動を所定の限度と比較し、
上記変動が上記所定限度より大きい場合には、警報を発する
ことを実行可能な命令をさらに含む、製品。
(項目65)
項目64のコンピュータプログラム製品であって、上記モニターされる圧力測定値は、上記第一センサによって生成される、製品。
(項目66)
項目65のコンピュータプログラム製品であって、上記モニターされる圧力測定値は、別の圧力センサによって生成される、製品。
(項目67)
項目62のコンピュータプログラム製品であって、上記コンピュータ命令のセットは、
バルブのバルブ位置の変化をモニターし、
バルブ位置の上記変化が所定の量よりも大きい場合には、警報を発する
ことを実行可能な命令をさらに含む、製品。
(項目68)
フロー制御装置を通るフローを、単一の圧力センサからの測定値に基づいて調節するための方法であって、上記方法は、
第一圧力センサにおいて圧力を測定する工程と、
上記第一圧力センサからの圧力測定値及び校正パラメータのセットに基づいて流量を計算する工程と、
上記流量を設定ポイントと比較する工程と、
上記計算された流量と設定ポイントとの間の上記差異に基づいてバルブ制御信号を発生させる工程と
を含む、方法。
(項目69)
項目68の方法であって、インサイチュ校正を実施することによって上記校正パラメータを生成する工程を含む、方法。
(項目70)
項目68の方法であって、
圧力測定値の変動をモニタリングする工程と、
上記変動を所定の限度と比較する工程と、
上記変動が上記所定限度より大きい場合には、警報を発する工程と
をさらに含む、方法。
(項目71)
項目70の方法であって、上記モニターされる圧力測定値は、上記第一センサによって生成される、方法。
(項目72)
項目70の方法であって、上記モニターされる圧力測定値は、別の圧力センサによって生成される、方法。
(項目73)
項目68の方法であって、
バルブのバルブ位置の変化をモニタリングする工程と、
バルブ位置の上記変化が所定の量よりも大きい場合には、警報を発する工程と
をさらに含む、方法。
制御設定能=(dP%/(バルブ位置%))*バルブ設定能(psi/ステップ) [式1]
dP%=フロー制御装置への供給圧力に対する%で表した較差圧力
バルブ位置%=バルブの開き度合いのパーセント
バルブ設定能=特定のバルブの設定能、通常バルブ製造者が決定する。
Claims (13)
- フロー制御装置を通るフローを、前記フロー制御装置のハウジング内で単一の圧力センサからの測定値に基づいて調節するためのコンピュータプログラム製品において、
前記コンピュータプログラム製品が、少なくとも一つのコンピュータ可読媒体に格納されているコンピュータ命令セットであって、
前記単一の圧力センサにおいて感知された圧力と前記フロー制御装置を流通する対応する流量との間における相関を決定すること、及び、校正パラメータのセットを設定することを含む、前記フロー制御装置の校正を実施すること、
前記フロー制御装置内に前記フローを受容するための流入口と、
前記フロー制御装置からフロー・システムの構成要素に前記フローを導くために、前記流入口と流通している流出口と、
前記ハウジング内に且つ前記流入口と前記流出口との間に配置されているバルブであって、前記フロー制御装置を流れ通る前記フローを調節するためのバルブ制御信号に応答する前記バルブと、
を含んでいる単一の流路をさらに備えている、前記フロー制御装置に設けられた唯一の圧力センサである、前記単一の圧力センサによって、前記フロー制御装置の前記ハウジング内で測定された圧力についての圧力測定値を前記単一の圧力センサから受信すること、
前記単一の圧力センサにおいて感知された圧力と前記フロー制御装置を流通する対応する流量との間における決定された相関を適用することによって前記ハウジング内で前記単一の圧力センサから得られた前記圧力測定値と、校正の際に設定された前記校正パラメータのセットとに基づいて、流量を計算すること、
前記流量を設定ポイントと比較すること、及び
計算された流量と前記設定ポイントとの差に基づいて、前記バルブ制御信号を発生させること、
を少なくとも一つのプロセッサによって実行可能な前記コンピュータ命令セットを備えていることを特徴とするコンピュータプログラム製品。 - 前記校正パラメータが、インサイチュ校正パラメータを含んでいることを特徴とする請求項1に記載のコンピュータプログラム製品。
- 前記コンピュータ命令セットが、
前記単一の圧力センサから得られた前記圧力測定値を変動についてモニタリングすること、
前記変動を所定の限度と比較すること、及び
前記変動が前記所定の限度より大きい場合に、警報を発生させること、
を実行可能な命令を備えていることを特徴とする請求項1に記載のコンピュータプログラム製品。 - 前記バルブをバルブ位置の変化についてモニタリングすることと、
前記バルブ位置の変化が所定の量より大きい場合に、警報を発生させることと、
を実行可能な命令を備えていることを特徴とする請求項1に記載のコンピュータプログラム製品。 - フロー制御装置を通るフローを、前記フロー制御装置のハウジング内で且つ前記フロー制御装置の単一の流路で、単一の圧力センサからの測定値に基づいて調節するための方法において、
前記単一の圧力センサにおいて感知された圧力と前記フロー制御装置を流通する対応する流量との間における相関を決定すること、及び、校正パラメータのセットを設定することを含む、前記フロー制御装置の校正を実施するステップと、
前記フロー制御装置の前記ハウジング内に且つ前記フロー制御装置の前記単一の流路の流入口と流出口との間に配置されている前記単一の圧力センサであって、前記ハウジング内に設けられた唯一の圧力センサである前記単一の圧力センサによって、前記フロー制御装置の前記ハウジング内で圧力を測定するステップと、
前記単一の圧力センサにおいて感知された圧力と前記フロー制御装置を流通する対応する流量との間における決定された相関を適用することによって前記ハウジング内で前記単一の圧力センサにおいて測定された圧力と、校正の際に設定された前記校正パラメータのセットとに基づいて、流量を計算するステップと、
前記流量を所望の流量と比較するステップと、
計算された流量と前記所望の流量との差に基づいて、バルブ制御信号を発生させるステップと、
を備えていることを特徴とする方法。 - インサイチュ校正を実施することによって、前記校正パラメータを生成するステップを備えていることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記単一の圧力センサから得られた圧力の測定値を変動についてモニタリングするステップと、
前記変動を所定の限度と比較するステップと、
前記変動が前記所定の限度より大きい場合に、警報を発生させるステップと、
を備えていることを特徴とする請求項5に記載の方法。 - 前記フロー制御装置内に且つ前記フロー制御装置の前記流入口と前記流出口と間に配置されているバルブをバルブ位置の変化についてモニタリングするステップと、
前記バルブ位置の変化が所定の量より大きい場合に、警報を発生させるステップと、
を備えていることを特徴とする請求項5に記載の方法。 - フロー制御装置であって、
ハウジングと、
フローを前記フロー制御装置内に受容するための流入口と、
前記フロー制御装置からフロー・システムの構成要素に前記フローを導くために、前記流入口と流通している流出口と、
前記流入口と前記流出口との間に配設されている圧力低減エレメントと、
前記フロー制御装置の前記ハウジング内に且つ前記フロー制御装置の前記流入口と前記流出口との間に配置されているバルブであって、前記フロー制御装置を流れ通る前記フローを調節するためのバルブ制御信号に応答する前記バルブと、
前記ハウジング内に配設されている第1の圧力センサであって、前記流入口において前記フロー制御装置に流入し、前記バルブを通過し、前記流出口において前記フロー制御装置から流出する流体の第1の圧力を測定するための前記第1の圧力センサと、
前記ハウジング内に配設されている第2の圧力センサであって、前記流入口において前記フロー制御装置に流入し、前記バルブを通過し、前記流出口において前記フロー制御装置から流出する流体の第2の圧力を測定するための前記第2の圧力センサと、
前記流入口と、前記圧力低減エレメントと、前記バルブと、前記流出口とを含んでいる単一の流路と、
前記第1の圧力センサ及び前記第2の圧力センサに結合されているコントローラであって、
前記第1の圧力センサ及び前記第2の圧力センサのうち少なくとも1つの圧力センサにおいて感知された圧力と前記フロー制御装置を流通する対応する流量との間における相関を決定すること、及び、校正パラメータのセットを設定することを含む、前記フロー制御装置の校正を実施するように、並びに、決定された相関を適用することによって第1の作動モードにおいて前記第1の圧力センサのみで又は前記第2の圧力センサのみで計測された圧力と、校正において設定された校正パラメータのセットによって決定された流量とに基づいて、前記バルブ制御信号を発生させるように構成されている前記コントローラと、
を備えている前記フロー制御装置において、
前記第1の圧力センサと前記第2の圧力センサのみが、前記ハウジング内に配置されている圧力センサであることを特徴とするフロー制御装置。 - 前記第1の圧力センサが、前記圧力低減エレメントの上流に位置しており、
前記第2の圧力センサが、前記圧力低減エレメントの下流に位置していることを特徴とする請求項9に記載のフロー制御装置。 - フロー制御装置であって、
ハウジングと、
フローを前記フロー制御装置内に受容するための流入口と、
前記フロー制御装置からフロー・システムの構成要素に前記フローを導くために、前記流入口と流通している流出口と、
前記流入口と前記流出口との間に配設されている圧力低減エレメントと、
前記フロー制御装置の前記ハウジング内に且つ前記フロー制御装置の前記流入口と前記流出口との間に配置されているバルブであって、前記フロー制御装置を流れ通る前記フローを調節するためのバルブ制御信号に応答する前記バルブと、
前記流入口と、前記圧力低減エレメントと、前記バルブと、前記流出口とを含んでいる単一の流路と、
前記ハウジング内に配設されている単一の圧力センサであって、前記流入口において前記フロー制御装置に流入し、前記バルブを通過し、前記流出口において前記フロー制御装置から流出する流体の圧力を、前記フロー制御装置の前記単一の流路の前記流入口と前記流出口との間において測定するための前記単一の圧力センサと、
前記単一の圧力センサに結合されているコントローラであって、
前記単一の圧力センサにおいて感知された圧力と前記フロー制御装置を流通する対応する流量との間における相関を決定すること、及び、校正パラメータのセットを設定することを含む、前記フロー制御装置の校正を実施するように、前記単一の圧力センサにおいて感知された圧力と前記フロー制御装置を流通する対応する流量との間における決定された相関を適用することによって前記ハウジング内で前記単一の圧力センサにおいて計測された圧力と、校正の際に設定された前記校正パラメータのセットとに基づいて、流量を計算するように、前記流量を所望の流量と比較するように、並びに、計算された流量と前記所望の流量との差に基づいてバルブ制御信号を発生させるように構成されている前記コントローラと、
を備えている前記フロー制御装置において、
前記単一の圧力センサが、前記ハウジング内に設けられている唯一の圧力センサであることを特徴とするフロー制御装置。 - 前記コントローラが、インサイチュ校正を実施することによって、前記校正パラメータを生成するように構成されていることを特徴とする請求項11に記載のフロー制御装置。
- 前記コントローラが、前記単一の圧力センサから得られた圧力の測定値を変動についてモニタリングするように、前記変動を所定の限度と比較するように、及び、前記変動が前記所定の限度より大きい場合に、警報を発生させるように構成されていることを特徴とする請求項11に記載のフロー制御装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/777,300 | 2004-02-12 | ||
US10/777,300 US6973375B2 (en) | 2004-02-12 | 2004-02-12 | System and method for flow monitoring and control |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010106809A Division JP5186530B2 (ja) | 2004-02-12 | 2010-05-06 | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013058251A JP2013058251A (ja) | 2013-03-28 |
JP5613748B2 true JP5613748B2 (ja) | 2014-10-29 |
Family
ID=34837957
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006553241A Pending JP2007522587A (ja) | 2004-02-12 | 2005-02-09 | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 |
JP2010106809A Active JP5186530B2 (ja) | 2004-02-12 | 2010-05-06 | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 |
JP2012256361A Active JP5613748B2 (ja) | 2004-02-12 | 2012-11-22 | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006553241A Pending JP2007522587A (ja) | 2004-02-12 | 2005-02-09 | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 |
JP2010106809A Active JP5186530B2 (ja) | 2004-02-12 | 2010-05-06 | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6973375B2 (ja) |
EP (1) | EP1716516A4 (ja) |
JP (3) | JP2007522587A (ja) |
KR (2) | KR101362601B1 (ja) |
CN (1) | CN1918575A (ja) |
SG (2) | SG145614A1 (ja) |
TW (1) | TWI361341B (ja) |
WO (1) | WO2005081169A1 (ja) |
Families Citing this family (81)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6633856B2 (en) * | 2001-06-15 | 2003-10-14 | Flarion Technologies, Inc. | Methods and apparatus for decoding LDPC codes |
US7673223B2 (en) * | 2001-06-15 | 2010-03-02 | Qualcomm Incorporated | Node processors for use in parity check decoders |
DE10251486A1 (de) * | 2002-11-05 | 2004-05-19 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Gaserückgewinnung |
US6957375B2 (en) * | 2003-02-26 | 2005-10-18 | Flarion Technologies, Inc. | Method and apparatus for performing low-density parity-check (LDPC) code operations using a multi-level permutation |
US7740024B2 (en) * | 2004-02-12 | 2010-06-22 | Entegris, Inc. | System and method for flow monitoring and control |
US6973375B2 (en) | 2004-02-12 | 2005-12-06 | Mykrolis Corporation | System and method for flow monitoring and control |
US7107128B2 (en) * | 2004-02-13 | 2006-09-12 | Entegris, Inc. | System for controlling fluid flow |
WO2006020870A1 (en) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Entegris, Inc. | System and method for calibration of a flow device |
JP2006153677A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 差圧式流量計、流量制御装置および基板処理装置 |
US7814936B2 (en) * | 2005-11-16 | 2010-10-19 | Fisher Controls International Llc | Sound pressure level feedback control |
JP5453806B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2014-03-26 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法及びディスプレイの製造方法 |
WO2007127616A2 (en) * | 2006-04-12 | 2007-11-08 | Benjamin Pless | Cavitation heating system and method |
US7517469B2 (en) * | 2006-04-28 | 2009-04-14 | Sokudo Co., Ltd. | Method and system to measure flow velocity and volume |
DE06398009T1 (de) * | 2006-07-14 | 2009-08-13 | Thermojet Do Brasil, LTDA., Vila Vivaldi Sao Bernardo do Campo | System zur Regelung der Gasdurchflussrate und Gasregelventil |
EP2066880A1 (en) * | 2006-09-19 | 2009-06-10 | Industriell Plåtproduktion Ab | Exhaust gas system |
GB0619243D0 (en) * | 2006-09-29 | 2006-11-08 | Rolls Royce Plc | Activation sensing |
KR20090060412A (ko) * | 2006-10-03 | 2009-06-12 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 매스 플로우 컨트롤러 |
CN101529356B (zh) * | 2006-11-02 | 2013-04-10 | 株式会社堀场Stec | 差压式质量流量控制器中的诊断机构 |
US8265794B2 (en) * | 2007-10-01 | 2012-09-11 | Westlock Controls Corporation | Knowledge based valve control method |
WO2009065174A1 (en) * | 2007-11-21 | 2009-05-28 | Structural Monitoring Systems Ltd | Comparative pressure monitoring instrument |
US7693606B2 (en) * | 2007-12-21 | 2010-04-06 | Rosemount Inc. | Diagnostics for mass flow control |
JP4885901B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2012-02-29 | 株式会社山武 | 流量制御システム |
EP2128515A1 (en) * | 2008-05-30 | 2009-12-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A water appliance having a flow control unit and a filter assembly |
DE102008040062A1 (de) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Fluidventils mit einer oszillierenden Ventilbewegung |
US20100307600A1 (en) * | 2009-02-19 | 2010-12-09 | Crucs Holdings, Llc | Apparatus and method for automatically disabling utilities |
JP2010247028A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Renesas Electronics Corp | プラズマ処理装置、異常検出装置、及び異常検出方法 |
KR101090904B1 (ko) | 2009-11-11 | 2011-12-08 | 이재형 | 미소 유량계 및 그 작동방법 |
JP2011124343A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
US9267831B2 (en) | 2010-01-29 | 2016-02-23 | General Electric Company | Systems and methods for determining a real time solid flow rate in a solid-gas mixture |
US8727744B2 (en) * | 2010-02-26 | 2014-05-20 | Entegris, Inc. | Method and system for optimizing operation of a pump |
JP5501806B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2014-05-28 | サーパス工業株式会社 | 圧力センサ、差圧式流量計及び流量コントローラ |
US20130168890A1 (en) * | 2011-07-11 | 2013-07-04 | Moldcool International Llc | Method for characterizing, monitoring, and controlling a mold, die, or injection barrel |
US8915262B2 (en) * | 2011-08-09 | 2014-12-23 | Hitachi Metals, Ltd. | Mass flow controller algorithm with adaptive valve start position |
US9772629B2 (en) | 2011-09-29 | 2017-09-26 | Applied Materials, Inc. | Methods for monitoring a flow controller coupled to a process chamber |
US9644796B2 (en) | 2011-09-29 | 2017-05-09 | Applied Materials, Inc. | Methods for in-situ calibration of a flow controller |
JP5433660B2 (ja) | 2011-10-12 | 2014-03-05 | Ckd株式会社 | ガス流量監視システム |
CA3141754A1 (en) * | 2011-10-24 | 2013-05-02 | President And Fellows Of Harvard College | Enhancing diagnosis of disorder through artificial intelligence and mobile health technologies without compromising accuracy |
US8276890B1 (en) | 2012-01-31 | 2012-10-02 | Gerald Kloehn | Pressure monitoring panel for aeration basins |
JP5868815B2 (ja) * | 2012-09-03 | 2016-02-24 | 株式会社堀場エステック | 流量制御装置 |
US9133959B2 (en) * | 2012-09-07 | 2015-09-15 | Pentair Flow Services Ag | Virtual limit switch |
CN103809621B (zh) * | 2012-11-13 | 2018-04-06 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 以机械式控制作为备用的电控式流量控制系统 |
CN103274223A (zh) * | 2013-06-21 | 2013-09-04 | 北京爱社时代科技发展有限公司 | 一种气力输料专用节气单元及其控制系统 |
US11815923B2 (en) | 2013-07-12 | 2023-11-14 | Best Technologies, Inc. | Fluid flow device with discrete point calibration flow rate-based remote calibration system and method |
US11429121B2 (en) | 2013-07-12 | 2022-08-30 | Best Technologies, Inc. | Fluid flow device with sparse data surface-fit-based remote calibration system and method |
US10030882B2 (en) | 2013-07-12 | 2018-07-24 | Best Technologies, Inc. | Low flow fluid controller apparatus and system |
EP3019834B1 (en) * | 2013-07-12 | 2022-03-16 | John C. Karamanos | Fluid control measuring device |
JP6065118B2 (ja) * | 2013-09-03 | 2017-01-25 | 株式会社島津製作所 | 流量調整装置及びこれを備えた分析装置 |
US9335768B2 (en) * | 2013-09-12 | 2016-05-10 | Lam Research Corporation | Cluster mass flow devices and multi-line mass flow devices incorporating the same |
CN104806888B (zh) * | 2014-01-24 | 2017-07-04 | 上海华林工业气体有限公司 | 一种生产co用旁路控制系统 |
JP6404639B2 (ja) * | 2014-08-22 | 2018-10-10 | 株式会社堀場製作所 | 燃料流量測定装置 |
EP3043228B1 (de) * | 2015-01-09 | 2018-09-19 | Levitronix GmbH | Strömungsregler sowie verfahren zum einstellen vorgebbaren volumenstroms |
US10845781B2 (en) * | 2015-03-23 | 2020-11-24 | Fisher Controls International Llc | Integrated process controller with loop and valve control capability |
CN105043436B (zh) * | 2015-05-08 | 2018-07-13 | 大连理工大学 | 一种自适应深海自容式监测装置及其工作方法 |
CN105159334A (zh) * | 2015-06-23 | 2015-12-16 | 长沙开元仪器股份有限公司 | 一种气体流量调节装置 |
CN108351862B (zh) | 2015-08-11 | 2023-08-22 | 科格诺亚公司 | 利用人工智能和用户输入来确定发育进展的方法和装置 |
ITUB20153506A1 (it) | 2015-09-09 | 2017-03-09 | Fimcim Spa | Impianto di condizionamento e/o riscaldamento e processo di controllo dello stesso impianto |
ITUB20153497A1 (it) | 2015-09-09 | 2017-03-09 | Fimcim Spa | Impianto di condizionamento e/o riscaldamento e processo di controllo dello stesso impianto |
US10857507B2 (en) | 2016-03-23 | 2020-12-08 | Alfa Laval Corporate Ab | Apparatus for dispersing particles in a liquid |
US9950328B2 (en) * | 2016-03-23 | 2018-04-24 | Alfa Laval Corporate Ab | Apparatus for dispersing particles in a fluid |
CN108240884B (zh) * | 2016-12-23 | 2020-04-17 | 中国石油化工股份有限公司 | 流化床反应器的进料分布器的压降监测系统和监测方法 |
GB201704766D0 (en) * | 2017-01-05 | 2017-05-10 | Illumia Inc | System and methods for selective effluent collection |
GB2575740A (en) | 2017-02-09 | 2020-01-22 | Congoa Inc | Platform and system for digital personalized medicine |
EP3372881A1 (de) | 2017-03-07 | 2018-09-12 | VAT Holding AG | Optimierte druckregelung für und mit einem vakuumventil |
JP6913498B2 (ja) * | 2017-04-18 | 2021-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 流量制御器の出力流量を求める方法及び被処理体を処理する方法 |
CN109404603A (zh) * | 2017-08-18 | 2019-03-01 | 广东核电合营有限公司 | 一种气动调节阀的故障在线监测的方法和装置 |
US10761070B2 (en) * | 2017-12-26 | 2020-09-01 | Shimadzu Corporation | Flow controller and gas chromatograph apparatus using the same |
US11073846B2 (en) * | 2018-01-30 | 2021-07-27 | Illinois Tool Works Inc. | Mass flow controller with absolute and differential pressure transducer |
US10558227B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-02-11 | Johnson Controls Technology Company | System and method for output compensation in flow sensors using pulse width modulation |
US11002461B2 (en) * | 2018-02-15 | 2021-05-11 | Johnson Controls Technology Company | System and method for output compensation in flow sensors |
DE102018111120A1 (de) | 2018-05-09 | 2019-11-14 | J. Wagner Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Fördervorrichtung und Fördervorrichtung |
CA3105395A1 (en) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | Minnetronix Neuro, Inc. | Systems for treating along the central nervous system |
US11429409B2 (en) * | 2018-09-04 | 2022-08-30 | Lam Research Corporation | Software emulator for hardware components in a gas delivery system of substrate processing system |
WO2020136477A1 (en) * | 2018-12-27 | 2020-07-02 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Method for detecting obstructions in a gas network under pressure or under vacuum and gas network |
KR102643554B1 (ko) | 2019-03-22 | 2024-03-04 | 코그노아, 인크. | 개인 맞춤식 디지털 치료 방법 및 디바이스 |
US20200348702A1 (en) * | 2019-04-30 | 2020-11-05 | Illinois Tool Works Inc. | Advanced pressure based mass flow controllers and diagnostics |
DE102019209091A1 (de) * | 2019-06-24 | 2020-12-24 | Festo Se & Co. Kg | Verfahren zum Betreiben eines Fluidsystems, Fluidsystem und Computerprogrammprodukt |
CN114144252A (zh) * | 2019-06-25 | 2022-03-04 | Slm方案集团股份公司 | 粉末供给系统、操作粉末供给系统的方法和用于生产三维工件的设备 |
CN112944007B (zh) * | 2019-12-11 | 2023-09-01 | 浙江三花智能控制股份有限公司 | 控制方法、控制系统及电动阀 |
CN112058754B (zh) * | 2020-08-24 | 2022-04-08 | 阳光新能源开发股份有限公司 | 水清洗系统及其控制方法 |
DE102020210777A1 (de) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | Festo Se & Co. Kg | Durchflussregler, Ventilanordnung und Verfahren |
CN115553193B (zh) * | 2022-09-27 | 2024-04-26 | 海南时空科技股份公司 | 多级联橡胶收集控制方法、系统及电子设备 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0711473B2 (ja) * | 1990-10-25 | 1995-02-08 | 旭化成工業株式会社 | 異常検出方法および装置 |
US5277215A (en) * | 1992-01-28 | 1994-01-11 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Method for supplying and discharging gas to and from semiconductor manufacturing equipment and system for executing the same |
US5706892A (en) * | 1995-02-09 | 1998-01-13 | Baker Hughes Incorporated | Downhole tools for production well control |
JP3291161B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2002-06-10 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
US6167965B1 (en) * | 1995-08-30 | 2001-01-02 | Baker Hughes Incorporated | Electrical submersible pump and methods for enhanced utilization of electrical submersible pumps in the completion and production of wellbores |
US5684245A (en) | 1995-11-17 | 1997-11-04 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus for mass flow measurement of a gas |
US5944048A (en) * | 1996-10-04 | 1999-08-31 | Emerson Electric Co. | Method and apparatus for detecting and controlling mass flow |
FI116587B (fi) | 1997-10-17 | 2005-12-30 | Metso Automation Oy | Menetelmä ja laitteisto turvalaitteen toimintakunnon todentamiseksi |
JPH11259140A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Kokusai Electric Co Ltd | 流量制御装置 |
US6026849A (en) | 1998-06-01 | 2000-02-22 | Thordarson; Petur | High pressure regulated flow controller |
JP3522544B2 (ja) | 1998-08-24 | 2004-04-26 | 忠弘 大見 | 流体可変型流量制御装置 |
US6152162A (en) * | 1998-10-08 | 2000-11-28 | Mott Metallurgical Corporation | Fluid flow controlling |
US6464464B2 (en) * | 1999-03-24 | 2002-10-15 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Apparatus and method for controlling a pump system |
CN1274810A (zh) * | 1999-05-21 | 2000-11-29 | 株式会社岛津制作所 | 多阀门装置 |
US6119710A (en) * | 1999-05-26 | 2000-09-19 | Cyber Instrument Technologies Llc | Method for wide range gas flow system with real time flow measurement and correction |
US6441744B1 (en) * | 1999-06-29 | 2002-08-27 | Fisher Controls International, Inc. | Regulator diagnostics system and method |
US6510746B1 (en) * | 1999-07-12 | 2003-01-28 | Ford Global Technologies, Inc. | Gas flow measurement |
US6578435B2 (en) * | 1999-11-23 | 2003-06-17 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow control with non-contaminating body |
EP1269027B1 (en) * | 2000-03-08 | 2005-07-27 | Rosemount Inc. | Bi-directional differential pressure flow sensor |
FR2811577B1 (fr) * | 2000-07-11 | 2003-05-23 | Taema | Installation de ventilation en gaz d'un patient |
US6467505B1 (en) | 2000-10-11 | 2002-10-22 | Flowmatrix Inc. | Variable pressure regulated flow controllers |
US6564824B2 (en) * | 2001-04-13 | 2003-05-20 | Flowmatrix, Inc. | Mass flow meter systems and methods |
US7004453B1 (en) * | 2001-04-25 | 2006-02-28 | Mykrolis Corporation | Pendulum valve with a full range of position control |
US6564874B2 (en) * | 2001-07-11 | 2003-05-20 | Schlumberger Technology Corporation | Technique for facilitating the pumping of fluids by lowering fluid viscosity |
US6595295B1 (en) * | 2001-08-03 | 2003-07-22 | Wood Group Esp, Inc. | Electric submersible pump assembly |
US6631882B2 (en) | 2001-08-09 | 2003-10-14 | Robert Mack | Method and apparatus to test a shutdown device while process continues to operate |
JP4102564B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2008-06-18 | 忠弘 大見 | 改良型圧力式流量制御装置 |
JP2003280745A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Stec Inc | マスフローコントローラ |
US7073392B2 (en) * | 2002-07-19 | 2006-07-11 | Celerity, Inc. | Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller |
US7032606B1 (en) * | 2002-11-07 | 2006-04-25 | Tri-Tech Medical Inc. | Manifold system and method for compressed medical gases |
US6843439B1 (en) | 2003-07-07 | 2005-01-18 | Pure Fishing, Inc. | Anti-reverse bail control |
US6973375B2 (en) | 2004-02-12 | 2005-12-06 | Mykrolis Corporation | System and method for flow monitoring and control |
-
2004
- 2004-02-12 US US10/777,300 patent/US6973375B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-02-05 TW TW94104063A patent/TWI361341B/zh active
- 2005-02-09 WO PCT/US2005/004276 patent/WO2005081169A1/en active Application Filing
- 2005-02-09 SG SG200705754-0A patent/SG145614A1/en unknown
- 2005-02-09 KR KR1020127013903A patent/KR101362601B1/ko active IP Right Grant
- 2005-02-09 SG SG200705756-5A patent/SG149738A1/en unknown
- 2005-02-09 EP EP05722929A patent/EP1716516A4/en not_active Withdrawn
- 2005-02-09 JP JP2006553241A patent/JP2007522587A/ja active Pending
- 2005-02-09 KR KR1020067015786A patent/KR101323503B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-02-09 CN CNA2005800046254A patent/CN1918575A/zh active Pending
- 2005-09-19 US US11/229,912 patent/US7610117B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2010
- 2010-05-06 JP JP2010106809A patent/JP5186530B2/ja active Active
-
2012
- 2012-11-22 JP JP2012256361A patent/JP5613748B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010176707A (ja) | 2010-08-12 |
KR101362601B1 (ko) | 2014-02-12 |
US7610117B2 (en) | 2009-10-27 |
EP1716516A4 (en) | 2008-05-21 |
TWI361341B (en) | 2012-04-01 |
KR20120081221A (ko) | 2012-07-18 |
SG145614A1 (en) | 2008-09-29 |
JP2007522587A (ja) | 2007-08-09 |
US6973375B2 (en) | 2005-12-06 |
KR20060135740A (ko) | 2006-12-29 |
US20050182524A1 (en) | 2005-08-18 |
EP1716516A1 (en) | 2006-11-02 |
WO2005081169A1 (en) | 2005-09-01 |
US20060052904A1 (en) | 2006-03-09 |
CN1918575A (zh) | 2007-02-21 |
SG149738A1 (en) | 2009-02-27 |
KR101323503B1 (ko) | 2013-10-31 |
JP2013058251A (ja) | 2013-03-28 |
TW200600990A (en) | 2006-01-01 |
JP5186530B2 (ja) | 2013-04-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5613748B2 (ja) | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 | |
US7740024B2 (en) | System and method for flow monitoring and control | |
JP6093019B2 (ja) | 質量流量制御システム | |
KR101616582B1 (ko) | 유량 콘트롤러 | |
CN102483344B (zh) | 上游体积质量流量检验系统和方法 | |
TWI406119B (zh) | 用以在一區域內遠端控制壓力的系統及一化學機械研磨機系統 | |
US7881829B2 (en) | Mass flow controller | |
KR101938928B1 (ko) | 질량 유량 제어기 또는 질량 유량 측정기의 실시간 측정과 제로 옵셋 및 제로 드리프트의 보정을 위한 감쇠율 측정을 사용하는 시스템과 방법 | |
JP5091821B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
JP5148634B2 (ja) | 弁の自己漏洩の診断 | |
KR20100114079A (ko) | 가스 유동 제어기의 인 시투 시험을 위한 방법 및 장치 | |
KR20090075816A (ko) | 차압식 매스 플로우 컨트롤러에 있어서 진단 기구 | |
JP2015500542A (ja) | 複数種類の気体を用いることができる、適応的な圧力無感応性のマスフローコントローラ及び方法 | |
KR20090029269A (ko) | 멀티모드 콘트롤 알고리즘 | |
JP2014056618A (ja) | 圧力の揺らぎに鈍感な質量流量制御のための装置及び方法 | |
WO2020218138A1 (ja) | 流量制御装置 | |
KR20160122732A (ko) | 압력 둔감형 자기 검증 질량 유량 컨트롤러를 제공하는 시스템 및 방법 | |
US20080295892A1 (en) | Mass flow controller | |
JP2007079996A (ja) | 圧力制御装置 | |
JP7326917B2 (ja) | 異常検知装置、異常検知方法およびプログラム | |
KR101842160B1 (ko) | 유량제어장치 및 방법 | |
JPH06194203A (ja) | 異常診断機能付マスフローコントローラ及びその異常診断方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130924 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131220 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140708 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140715 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140811 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5613748 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |