TWI361341B - System and method for flow monitoring and control - Google Patents

Description

1361341 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明之實施例一般而έ係關於流量監視及控制之領 域’且更具體而言之係關於在流量率之一範圍内監視及/或 控制流量。 【先前技街】 在半導體製造中，藉由製造工具來精確控制流體流量對 於在基板上精確製造電路很關鍵。為在當前之半導體製造 系統中控制流體流量，一質量流量計判定系統中之流體的 流量率，且若應調整流量率，則一質量流量控制器將相應 地開放或封閉一閥門。儘管熱質量流量計變得愈來愈普 遍’但許多當前系統仍依賴壓差質量流量計。在一壓差質 量流ΤΕ計中’兩個壓力感測器讀取跨過一限縮物之壓降， 該限縮物充當壓力損失引發元件，其具有一已知區域以基 於已知之流體動力學原則來計算氣體之流量率。使用經計 算之氣體流量率’質量流量控制器可調整一閥門以增加或 減少流量率。 依賴跨過限縮物之壓差之先前技術的系統通常具有有限 之插作範圍。更具體而言，該操作範圍通常被限制於低流 量率下’因為兩個感測器之間的壓差變得如此之小以至與 系統雜訊相比較而難於識別。因此，舉例而言，即使流量 控制器能夠物理地將流量控制在每秒〇_1〇〇 mL之速率下， 控制器仍可僅能夠精確控制具有每秒20-100 mL之速率的 济量 ^ ’因為若低於每秒20 mL，則來自兩個壓力感測器之壓 99458.doc 1361341 差難於識別。 為了將工作範圍擴展至較低流量率’在一些先前技術之 系統中用具有較小橫截面面積之限縮物以增加所感測 之壓差。耗此可允許流量計偵職低流量率，但採用一 更具限制性之限縮物對於一給定之流體供給壓力而言降低 了流量計之最大流量且通常為一不盡人意之解決方案。 【發明内容】 '

本發明之實施例提供了流量監視及控制之系統及方法， 其減少了先前所發展之流量監視及控制系統與方法之缺 點。更具體而言’本發明之實施例提供了一可根據多種操 作模式來控制流量之流量控制裝置。在一操作模式中，流 夏控制裝置可基於一自來自多個壓力感測器之壓力量測所 判定之差值來控制流量。舉例而言，流量控制裝置可基於 在自一壓力損失元件之上游之壓力感測器與該壓力損失元

件之下游之壓力感測器之間的壓力量測之間的差值來控制 流量。在另一操作模式中，流量控制裝置可基於在諸如下 游壓力感測器之特定壓力感測器處感測之壓力來控制流 量。流量控制裝置可在一預定點處在操作模式之間自動切 換。在本發明之一實施例中，該預定點可在一特定壓差處。 本發明之實施例亦可包括一流量控制裝置，其可判定是 否已發生一可能需要重校準該流量控制裝置之變化。在本 發明之一實施例中，一控制器可為波動而監視壓力感測器 (例如’下游壓力感測器）。若波動超過預定量，則控制器可 產生一指示可能必須重校準該流量裝置之警示。 99458.doc 1361341 本發明之一實施例可包括一流量控制裝置，其包含：一 入口；一與該入口形成流體連通之出口；一壓力損失元件， 其在該入口與該出口之間並與該入口與該出口形成流體連 通，一位於該壓力損失元件之上游的壓力感測器，其經組 悉以量測流經該流量控制裝置之流體的第一壓力；一位於 5玄壓力知失元件之下游的壓力感測器，其經組態以量測流 經該流量控制裝置之流體的第二壓力；及一控制器，其耦 接至該第一壓力感測器及該第二壓力感測器以產生一閥門 驅動訊號。該控制器可在第一操作模式過程中基於該第一 麗力與該第二Μ力之間的差值而產生—閥門控制訊號。該 控制器亦可在第二操作模式過程中基於在—特定Μ力感測 器處所量測之壓力而產生—閥門控制訊號。該操作模式可 基於一狀參數（例如’預設差值、在感測器之—端處之預 設壓力、一特定感測器之讀數的波動或其它參數)而自動切 換。 〇 ^ ^ ^ no ，再包 g 組電腦指令，該組電腦指令儲存於至少__電腦可讀取箱 上且可由至少一處理器執行以：接枚第-麗力之量測. 收第二壓力之量測；根據第_操作模式操作，其中 電腦指令以基於該第-壓力與該第二壓力之間的差值而 算一流量率；根據第二操作模式操作’其中可操作該等 腦指令以基於-特定壓力感測器處所量測之壓力而” 里率；及基於—預定參數在第_操作模式 : 之間切換。 ¥ it ^ 99458.doc 1361341 本發明之又一實施例可包括：量測第一壓力；量測第二 壓力；在第一操作模式中，基於該第一壓力與該第二壓力 之間的差值而產生一閥門控制訊號；在第二操作模式中， 基於一特$壓力⑨測器處所量測《壓力而產生該閱門控制 訊號m預定參數在第—操作模式與第：操作模式 之間切換。 、 本發明之又一實施例可包括一組電腦指令，其可執行以

接收來自一感測器之壓力量測、為波動而監視該等壓力量 測、將該波動與一預定限制相比較且若該波動大於該預定 限制’則產生一警示。

本發明之又一實施例可包括一組電腦指令，其可執行以 接收-來自位於魔力損失元件之上游的上游感測器之上游 壓力接收一來自壓力損失元件之下游的下游壓力量測、 為一閥門位置而監視閥門、料所量測之壓力之間的差值 且基於該等所量測之壓力之間的差值、該閥門位置及—閥 -門解析度而判定一控制解析度。 本發明之又-實施例可包括—種用於監視流量之方法， 其包含：量測第—壓力；量測第二壓力β第-操作模式 中’基於該第一壓力與該第二壓力之間的差值而判定—流 $率’在第二操作模式巾，基於m力感測器處所量 測之廢力而判定贫油I + . 巟置率，及根據一預定參數在第一操作 模式與第二操作模式之間切換。 本發月之又—實施例可包括—電腦程式產品，其包含一 組電腦指令’該組電腦指令健存於至少—電腦可讀取媒體 99458.doc 1361341 上且可由至少-處理器執行以··接收第一塵力 收第二屢力之量測；根據第一操作模式操作，其 ^ 該等電腦指令以基於該第一磨力與該第二廢力之間的差： 而產生-閥門控制訊號；根據第二操作 操作該等電腦指令以基於在一特定厂堅力感測器處作所= 壓力而產生閥門控制訊號；及根據一預定參數在第 模式與第二操作模式之間切換。 本發明之實施例藉由提供一更大之流量控制範固而提供 一優於先前技術之流量控制裝置的優點。 本發明之實施例藉由在以低流量率量測流量率方面提供 更大之精確度而提供另_優於先前技術之流量控制裝置 優點。 、 β本發明之實施例藉由提供監視以指示是否需要重校準或 疋否已發生錯誤而提供又—優於先前技術之流量控制裝置 的優點。 【實施方式】 諸圖中說明了·本發明之較佳之實施例，其中類似數字用 於表示各種圖式之類似及對應的部分。 田本發明之實施例提供了-可減少或消除與先前技術之流 置控制系統及方法相關聯的問題的流量控制器。本發明之 -實施例包括一流量控制器，其具有一上游壓力感測器及 -下游壓力感測器。在一操作模式中，流量控制器可基於 來自上游及下游感測器之壓力量測之間的麼差而控制流量 率◦在另一操作模式中，壓力控制器可基於由一特定壓力 99458.doc -10- 流體（氣體或液體）可在入口 32處進入流量控制裝置3〇、穿 過間門44及壓力損失元件36且在出口 34處退出流量控制裝 置30〇上游壓力感測器38及下游壓力感測器4〇可產生上游 壓力訊號46及下游壓力訊號48，其可為分別表示上游壓力 感測器38處及下游壓力感測器40處之壓力量測的數位或類 比訊號。 使用（舉例而言）儲存於電腦可讀取媒體上之軟體指令的 控制器42可基於由上游壓力感測器38及/或下游壓力感測 器40所量測之壓力而產生一閥門控制訊號5〇以開放或封閉 閥門44從而達成一所要之流量率。根據本發明之一實施 例，控制器42可判定上游壓力量測與下游壓力量測之間的 差值。該差值可為在上游壓力感測器3 8處與下游壓力感測 器40處之壓力量測之間的差額之任何表示。舉例而言，該 差值可表示成一壓力值（例如，100Pa)或表示成一具有一特 定電壓值（例如，100 mV)之訊號，或呈表示該等壓力量測 之間的差額之任何其它格式。控制器42可根據任何控制機 制（例如，比例積分（"PI")控制機制、比例積分微分（"PID”） 控制機制或此項技術中已知或已發展之任何其它控制機制） 將邊差值與一設定點相比較以產生閥門控制訊號5〇。基於 控制訊號50，閥門44可開放或封閉以調節流量率。 基於上游壓力感測器38處及下游壓力感測器4〇處所量測 之塵力之間的差值來計异流量率可提供較高流量率下之可 接受精確度。然而’當流量率減少時，上游壓力感測器3 8 及下游壓力感測器40之訊雜比可變得如此之低以至於難以 99458.doc •12- 1361341 基於所量測之壓力的差值進行精確之流量率計算。換言 之，在低流量率下，自雜訊分辨不出壓差。為處理此問題， Μ本發明之-實施例，控制器42可進行㈣以基於在單 " 個流量感測器處所量測之壓力計算流量率。 . 控制器4 2可基於已知之流體動力學方程及/或經驗性地 比較在校準過程中所產生之流量率的讀數並基於由一特定 壓力感測器所感測之壓力來計算流量率。根據本發明之一 鲁 實施例，在安裝時可校準流量控制裝置3〇以判定一特定感 測器處所感測之壓力與流量控制裝置3〇安裝於其中之系統 中的流量率之間的相關性。此可包括校準流量控制裝置3〇 以說明由位於流量控制裝置30之下游的組件所導致之壓力 損失其影響所计算之流置率。基於此校準，控制器42可 回應於一來自一特定感測器（例如，上游壓力感測器刊或下 游壓力感測器40)之壓力訊號而產生閥門控制訊號5〇以調 節流體流量率。應注意，當控制器42基於一特定感測器之 φ ®測而產生控制訊號時，其它感測器可處於"停止，，狀態或 可繼續向控制器42發送壓力量測。 可在任何任意界定之點處發生基於差值來計算流量率至 基於由一特定壓力感測器所量測之壓力來計算流量率之間 的切換。舉例而言（但不限於），控制器42可在下列情況時進 行切換：差值變得充分小；在一特定感測器處所量測之壓 力降至低於一指定位準或一或兩個感測器中之波動超過一 限制’其中單個感測器將提供更為精確之流量。 因此’本發明之一實施例可包括一流量控制裝置，其包 99458.doc 1361341 含一入口、一出口、一與該入口及該出口形成流體連通之 壓力損失元件、一上游壓力感測器、一下游壓力感測器及 一控制器。該上游壓力感測器可量測上游壓力且該下游壓 力感測盗可篁測下游壓力。在第一流量率範圍中，控制器 可基於所量測之壓力中的差值而產生一閥門控制訊號。在

第二流量率範圍中’控制器可基於在上游或下游壓力感測 器處所量測之壓力而產生一閥門控制訊號。該流量控制裝 置可進一步包括一閥門，其可回應於該閥門控制訊號而開 放或封閉。該控制器可在一預定點處自動地在第一操作模 式（意即，使控制訊號基於差值）與第二操作模式（使控制訊 號基於一特定感測器處之壓力）之間切換。

圖2為流量控制裝置30之一實施例之圖解表示。流量控制 裝置30可包括：一入口 32,其用於接收流量；一出口 34, 其用於將流量導引至流量系統之其它組件；一流量通道 35 ’其用於將流體自入& 32導引至出口 34 ; 一壓力損失元 件36，-上游壓力感測器38 ;—下游壓力感測器化一控 制器42 ’其用以產生-閥門控制訊號；及-閥門44,其用 以回應於該閥門控制訊號調節流體流量。 &制$ 42可自上游Μ力感測器38及下游壓力感測器40接 收表不在各自之感測器處所量測之壓力的訊號。訊號可為 •'員-或數位訊號’其可將由電壓位準所量測之壓力錄示成 表示所量測之壓力的位元或以此項技術中已知之任何並它 ^表示。控制器42可藉由(舉例而言)產生-差訊號及/ 或“-壓力差額來判定所量測之壓力之間的差值 99458.doc 1361341 可在各循環或按-預定排程判定是否在第一操作模式與第 二操作模式之間切換。 該控制演算法可使用此項技術中已知之任何控制機制來 •^特疋知作模式之數位控制訊號，該控制機制包括（但 不限於)PID、具有偏移之修正piD或此項技術中已知之其它 控制演算法》基本操作可創建一誤差訊號。接著，為特定 閥門而校正該誤差訊號。經校正之誤差訊號藉由A，。轉換器 W自數位格式轉換成類比訊號，且將所得之類比訊號發送 至一電麼至電流轉換器’其將控制闕門驅動至一新的位置。 。。控制器42可包括額外之輸入/輸出能力。舉例而言，控制 益42可包括一串列介面以支持諸如更新電腦指令％之管理 =能。此外，控制器42可包括網路介面以與其它流量控制 裝置、管理電腦或能夠經由網路通信之其它裝置進行通卜 電腦指令可以各種方式建構控制演算法。舉例而十，控 制訊號可基於將-計算值（例如，經計算之心值、磨差值玉 或經計算之流量率值）與—設定點相比較。作為另一實例， 控制盗可藉由使用一加法器產生一差分訊號來計算所量測 之壓力之間的差值’而非數位地計算所量測之壓力之間的 ^值。在該種情況下’在第一操作模式中，該控制訊號可 ί於將該差分訊號與一設定點柄比較。在第二操作模式 I’控制器可將壓力訊號與-設定點相比較，而並非所計 算之壓力值》 圖4為根據本發明之一實施例說明—種用於控制流量之 方法的流程圖。可藉由一控制器來建構圖4之方法，該控制 99458.doc 1361341 器具有可執行一組儲存於一電腦可讀取媒體上之電腦指令 (例如，軟體程式）的-或多個處理器。該控制器可使用許多 輸入> 數來產生-控制訊號，該等輸入參數包括壓差臨限 值6〇、預设流量校準參數62、原位流量校準參數64及設定 ' 點66 ’且該控^器可基於所量測之壓力之間的差值或一特 疋感測器處之壓力來計算流量率。該等輸入參數可儲存於 一電腦可讀取媒體（例如，RAM、R〇M、磁性儲存裝置或此 ^ 項技術已知之其它電腦可讀取媒體）上。 壓差臨限值6 0可用於判定控制器何時在基於所感測之壓 力之間的差值而產生控制訊號或基於一特定所感測之壓力 而產生控制訊號之間切換。根據本發明之一實施例，壓差 臨限值60可基於下游壓力、差壓、供給壓力及閥門位置而 得以計算。在判定壓差臨限值6〇中，流體可流經流量控制 裝置直至逹成流量控制裝置之全標度（意即，供給壓力）之約 10%的差壓。舉例而言，若供給壓力為100 psi，則控制器 φ 可調整閥門直至達成iopsi之差壓。此點處，可由控制器量 測下游壓力及閥門位置。下游壓力判定系統之"負載，，且閥 門位置給出供給壓力之指示及閥門之有效保持範圍。 採用上文之值’可如下判定流量控制裝置之控制解析度： Res=(dP%/(閥門位置％))*閥門解析度（psi/步長）[方程式 1] 其中： dP /〇 —作為流量控制裝置之供給壓力的百分數之差 壓， 99458.doc -17、 1361341 預設流量校準參數62可包括用於基於氣體類型、流量控 制裝置安裝或其它參數而計算流量率之參數。可根據此項 技術中已知之任何校準技術來建立預設流量校準參數62。 設定點66表禾一所要之流量率。經計算之流量率可與設定 點66相比較以判定閥門開放或封閉之程度。可藉由（舉例而 言）-遠端電腦、藉由-控制器或此項技術中已知之任何方 式來自動更新設定點66。 在步驟7G處，控制器可自上游及下游墨力感測器接收壓 力量測，且在可步驟72處其可計算一㈣。在步㈣處， 控制器可將所計算之麗差與壓差臨限值6〇相比較。若所計 算之壓差大於壓差臨限值60，則控制可轉至步驟％ ,反之 控制可轉至步驟78。 在步驟76處’控制器可使用預設流量校準參數以基於所 量測之屢力之間的差值來計算流量率。此可根據用於基於 所量測之壓力中的差值央许笪、θ * v 丁 J盎值來彳异流$率之此項技術中已知之 任何機制而得以完成。在步驟78處，另一方面，控制器可 使用原位流量校準參數64以判定流量率。此可根據用於基 於單個壓力來計算流量率之任何機制而得以完成，包括將 所量測之壓力與流量率之校準曲線（舉例而言，儲存於控制 器之記憶體或可由控制器存取之其它電腦可讀取媒體” 相比較。 在步驟80處，控制器可將所計算之流㈣與__設定_ 比較。若流量率不等於設定點，則在步驟以處，控制器可 基於來自-特定感測器之壓力(例如，自下游感測器所量測 99458.doc -19- 1361341 之壓力)而計算誤差增益。反之，若流量率等於設定點，則 控制器可基於所量測之壓力之間的差值而計算誤差增益 (步驟84)。在步驟86處，控制器可將誤差增益轉換成_類比 閥門控制訊號且將該閥門控制訊號傳達至閥門。可重複步 驟 70-84。 應注意，在步驟74處，控制器判定是基於所量測之壓力 ^間的差值還是基於—特定感測器處之I力來計算流量

率。可在每—次將計算流量率時執行此判I在本發明之 ,貫施例中，可根據一預定排程（例如，每30毫秒）執行此 判疋。在本發明之此實施例中，在判定控制器是否應切換 至其匕#作模式之前’在—預定之時間段巾，該控制器可 :據-特定操作模式(例如，根據步驟％或步驟Μ)來計算流 :率此外’可藉由一質量流量計執行步驟70-78以判定- 流量率。在該種情況下’可任意地判定壓差臨限值60(或其 它預設參數）。

如結合圖4所描述，可藉由在安裝時校準流量控制裝置以 說明由下游組件所導致之壓降並基於來自單個感測器之壓 力讀取而計算流量率。若下游組件變化，則所需之偏移亦 :變化。此可在下列情況下發生：若安裝新的管道、移動 ::控制單元、下游過遽器變得受限制、在分配過程中釋 乙位移4發生可影響感測器讀數之任何其它事件。 本發月t f施例，使用儲存於一電腦可讀取媒體 中…制器存取的電腦指彳，控制器可監視上游及下游 感測器中之一^ 4·' jc. 4^ 者或兩者以確保感測器之壓力量測不會波動 99458.doc 施例中，可監視闕門位置。 右閥門位罟夕m ,, α 定量，則控制器可產生一警示。 置超過一預 儘管已參考特定實施例指述 實施例為說明性實施例且本發明之應理解，該等 施例。對上文所p 鞄可並不受限於此等實 加及改^ 作之諸多變化、修正、添 如= = 期待此等變化、修正、添加及改良落至

之一實施例之流量控制裝置的示意圖 圖1為根據本發明 之圖解表示； 圖2為一流量控制裝置之一實施例之圖解表示； 圖3為一控制器之一實施例之圖解表示； 圖為種用於控制流量之方法的一實施例之流程圖； 圖5為一種用於監視一壓力感測器以判定下游系統是否 已變化之方法的流程圖；且

圖6為根據本發明之另一實施例之流量控制裝置的示意 圖之圖解表示。 【主要元件符號說明】 30 流量控制裝置 34 35 36 38 出口 流量通道 壓力損失元件 上游壓力感測器 99458.doc •23· 1361341 40 下游壓力感測器 42 控制器 44 閥門

46 48 50 52 54 56 58 60 62 64 上游壓力訊號 下游壓力訊號 閥門控制訊號 A/D轉換器 處理器 電腦指令 電腦可讀記憶體 壓差臨限值 預設流量校準參數 原位流量校準參數 66 設定點 100 流量控制裝置 102

104 106 108 110 112 114 入口 出口 壓力損失元件 上游壓力感測器 下游壓力感測器 控制器 閥門 99458.doc -24-

Claims (1)

136134 ^ 〇941〇4〇63號專利中請案 ^--------—j 中文申請專利範圍替換本(i00年8月） 十、申請專利範圍： 1. 一種流量控制裝置，其包含·· 一入口； 一與該入口形成流體連通之出口； 一壓力損失元件，其位在該人σ與該出％間並與該 入口與S亥出口形成流體連通； ^ -位於該壓力損失元件之上游的第—壓力感測哭，装 經組態以量測一流經該流量控制裝置之流體 2 - 力； —弟一壓 -位於該•力損失元件之下游的第二壓力感測器 經組態以量測流經該流量控制裝置之該流體 、 力；及 弟二壓 力 -控制态，其耦接至該第一壓力感測器及該第 感測器’該控制器經組態以： 〜操作模式 壓力之間的 根據一第一操作模式而操作，其中在該第 過程中，該控制器基於該第一壓力與該第二 一差值而產生一閥門控制訊號； 根據一第一操作模式而操作，其中在兮 過程中，該控制器基於在—特定壓力喿作拉式 一壓力而產生該閥門控制訊號；及 里/則之 根據-預定參數而在該第-操作模 式之間切換。 亥第二操作模 2. 如請求項1之流量控制裝置，其進— 門控制訊號之閥門，其被設置於該 步包含一回應於該閥 入口與該出口之間且 99458-1000804.doc 1361341 耦接至該控制器 3·如請求項1之流量控制裝置，其中，在該第二操作模 中’該控制器基於在該上游壓力感測器處所 死π里測之該壓 力而產生該閥門控制訊號。 4. 如請求項丨之流量控制裝置，其中，在該第二操作模式 中，該控制器基於在該下游壓力感測器處所量測之該壓 力而產生該閥門控制訊號。 參 5. 如請求項丨之流量控制裝置，其中該預定參數包含一壓差 臨限值。 6. 如請求項5之流量控制裝置，其中該控制器進一步經組態 以： 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值大於該壓差 臨限值，則根據該第一操作模式而操作。 7.如明求項5之流量控制裝置，其中該控制器進一步經組態 以： 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值，· 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值小於該壓差 臨限值，則根據該第二操作模式而操作。 8.如請求項5之流量控制裝置，其中該控制器進一步經組態 =基於4第一壓力與該第二壓力之間的該差值、一供給 壓力及一閥門位置而計算該壓差臨限值。 99458-1000804.doc 1361341 器進一步經組態 9.如請求項丨之流量控制裝置，其中該控制 以 為一波動而監視該第一感測器或 ^ Λ乐一感測器；及 右該波動大於一預定量，則產生—馨示。 10. 如請求項丨之流量控制裝置，其 以： 铋制态進一步經組態 為閥門位置中之一變化而監視—閥門；及 警示。 若閥門位置中之該變化大於—預定量，則產 11. 一種電腦程式產品，其包含： 電腦可讀 一組電腦指令，該組電腦指令儲存於至少_ 取媒體上且可由至少一處理器執行以： 接收一弟一壓力之一量測值； 接收一苐二壓力之一量測值； 根據一第一操作模式而操作， 丹肀可執打該等電腦指 令以基於該第一壓力與該第二壓 I刀之間的一差值而計算 一流量率； 根據-第二操作模式而操作，其中可操作該等電腦指 々以基於在m力感測器處所量測之—壓力而計曾 該流量率；及 根據—預定參數在該第一操作 歸作模式與該弟二刼作模式 之間切換。 12.如請求項11之電腦程式產品，其中，在該第二操作模式 中’可執行該組電腦指令以基於卜下游壓力感測器所 接收之該第二壓力的該量測值而計算該流量率。 99458-1000804.doc 13 •如請求項11之電腦程式產品，其中，在該第二操作模式 中，可執行該組電腦指令以自該來自一上游壓力感測器 之該第一壓力之量測值而計算該流量率。 14·如請求項11之電腦程式產品，其中該預定參數包含一壓 差臨限值。 15·如4求項14之電腦程式產品，其中可執行該等電腦指令 以： 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 "若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值大於該壓差 臨限值，則根據該第一操作模式而操作。 16.如請求項14之電腦程式產品…可執行該組電腦指令 以： 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將該差值與該塵差臨限值相比較；及 於該壓差 電腦指令 、一供給 若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值小 臨限值，則根據該第二操作模式而操作。 17·如請求項〗4之電腦程式產品，其令可執行該組 以基於該第一壓力與該第二壓力之間的該差值 愿力及一閥門位置而計算該壓差臨限值。 步執行該組電 18.如請求項11之電腦程式產品，其令可進 腦指令以： 為一波動而監視一壓力感測器；及 若該波動大於一預定量，則產生一邀_ 99458-1000804.doc 1361341 19. 如請求項11之電腦程式產品，其中可進一步執行該組電 腦指令以： 為閥門位置中之一變化而監視一閥門；及 若閥門位置中之該變化大於一預定量，則產生—警示。 20. —種用於控制流量之方法，其包含： 量測一第一壓力； 量測一第二壓力； 在一第一操作模式中，基於該第一壓力與該第二壓力 之間的一差值而產生一閥門控制訊號； 在一第二操作模式中，基於在一特定壓力感測器處所 量測之一壓力而產生該閥門控制訊號；及 根據一預定參數而在該第一操作模式與該第二操作模 式之間切換。 、 2 1.如„月求項2G之方法，其進_步包含回應於該閥門控制訊 號而開放或封閉一閥門。 籲22·^請求項2。之方法，其中基於在一特定壓力感測器處所 量測之該壓力而產生該閥門控制訊號包含基於在一上游 壓力感測器處所量測之該壓力而產生該閥門控制訊號。 23. :請求項2。之方法’其中基於在一特定壓力感測器處所 量測之該壓力而產生該閥門控制訊號包含基於在一下蹲 壓力感測器處所量測之該壓力而產生該閥門控制訊號。 24. 如請求項2〇之方法，其中該預定參數包含—壓差臨限值。 25. 如請求項24之方法，其進一步包含： 判定該第-壓力與該第二壓力之間的該差值； 99458-1000804.doc 1361341 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值大於該壓差 臨限值，則根據該第一操作模式而操作。 26. 如請求項24之方法，其進一步包含： 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值小於該壓差 臨限值，則根據該第二操作模式而操作。 27. 如請求項24之方法，其進一步包含基於該第一壓力與該 第二壓力之間的該差值、一供給壓力及一閥門位置而計 算該壓差臨限值。 28·如請求項20之方法，其進一步包含： 為一波動而監視該第二感測器；及 若該波動大於一預定量，則產生一警示。 29.如請求項20之方法，其進一步包含： 為閥門位置中之一變化而監視一閥門位置；及 若閥門位置中之該變化大於一預定量，則產生一警示。 3〇_ —種電腦程式產品，其包含儲存於至少一電腦可讀取媒 體上之一組電腦指令，該組電腦指令可由至少一處 執行以： @ 自一感測器接收壓力量測值； 為一波動而監視該等壓力量測值； 將該波動與一預定限度相比較； 若該波動大於該預定限度，則產生—警示。 99458-1000804.doc 1361341 31·如請求項30之電腦程式產品，其中該感測器為一位於一 壓力損失元件之下游的感測器。 32. 如請求項30之電腦程式產品，其中該感測器為—位於一 閥門之下游的感測器。 33. —種電腦程式產品，其包含儲存於至少一電腦可讀取媒 體上之一組電腦指令，該組電腦指令可由至少一處理器 執行以： 自一位於一壓力損失元件之上游的上游感測器接收一 上游壓力量測值； 自一位於該壓力損失元件之下游的下游感測器接枚一 下游壓力量測值； 為一閥門位置而監視一閥門； 判疋該等所量測之壓力之間的一差值；及 基於該等所量測之壓力之間的該差值、該閥門位置及 一閥門解析度而判定一控制解析度。 3 4 ·如明求項3 3之電月自程式產品，其中可進一步執行該組電 腦指令以： 判定該控制解析度是否可接受； 右該控制解析度不可接受，則產生一訊號以致使該閥 門將該閥門位置改變至一將產生一更大差值之新的閥門 位置； 接收一新的上游壓力； 接收一新的下游壓力； 基於該新的上游壓力及該新的下游壓力而判定該更大 99458-1000804.doc 35.1361341 之差值；及 該閥門解析度 步執行該組電 基於該更大之差值、該新的閥門位置及 而判定一新的控制解析度。 如請求項33之電腦程式產品，其中可進— 腦指令以： 判定該控制解析度是否可接受； 若該控制解析度可接受 限值。 則將該差值選擇為—差壓臨 36. 如請求項33之電腦程式產品，其中可進—步執行該等電 腦指令以基於隨後之差值與該差壓臨限值之比較而在— 第一操作模式與一第二操作模式之間切換。 37. 如請求項33之電腦程式產品，其中可執行該組電腦指令 以藉由下列步驟判定該控制解析度： 使作為-全標度塵力之-百分數之該差值與作為該閱 門開放程度之一百分比的該閥門位置相乘；及 乘以該閥門解析度。 38. —種用於流量監視及控制之方法，其包含： 自一感測器接收壓力量測值； 為一波動而監視該等壓力量測值； 將該波動與一預定限度相比較；及 若該波動大於該預定限度，則產生—警示。 39. 如請求項38之方法，其中該感測器為一位於一壓力損失 元件之下游的感測器。 40. 如請求項38之方法，其中該感測器為一位於一閥門之下 99458-1000804.doc 1361341 游的感測器。 41· 一種電腦程式產品，其包含： -組電腦指令’該組電腦指令儲存於至少—電腦可讀 取媒體上且可由至少一處理器執行以· 只 接收一第一壓力之一量測值； 接收一第二壓力之一量測值； 根據一第一操作模式而操作 辉作其中可執行該等電腦指 7以基於該第一壓力與該第二壓力 -閥門控制訊號； ' 值而產生 根據-第二操作模式而操作，其中可操作料電腦指 々以基於在—特定壓力感測器處所量測之-壓力而產生 該閥門控制訊號；及 根據-預定參數而在該第一操作模式與該第二 式之間切換。 、 A如請求項41之電腦程式產品’其中，在該第二操作模式 中’可執行該組電腦指令以基於自一下游壓力感測器所 接收之送第一壓力的該量測值而產生該閥門控制訊號。 43·如請求項41之電腦程式產品，其中，在該第二操作模式 中’可執行該、组電腦指令以自該來自—上游壓力感測器 之該第-壓力的量測值而產生該閥門控制訊號。 Μ.如請求項41之電腦程式產品，其_該預定參數包含一壓 差S&限值。 45.如請求項44之電腦程式產品，其中可軌行該等電腦指令 以： 99458-1000804.doc 1361341 46. 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 右s玄第一壓力與該第二壓力之間的該差值大於該壓差 臨限值’則根據該第一操作模式而操作。 如請求項44之電腦程式產品，其_可執行該組電腦指令 以： 47. 48. 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將该差值與該壓差臨限值相比較；及 右5亥第一壓力與該第二壓力之間的該差值小於該壓差 臨限值，則根據該第二操作模式而操作。 如响求項44之電腦程式產品，其中可執行該組電腦指令 以基於該第一壓力與該第二壓力之間的該差值、一供給 壓力及一閥門位置而計算該壓差臨限值。 如請求項41之電腦程式產品，其中可進-步執行該組電 腦指令以： 為一波動而監視一壓力感測器；及 若該波動大於一預定量，則產生一警示。 49. 如請求項41之電腦程式產 腦指令以： 品’其中可進一步執行該組電 50. 马閥門位置中之一變化而監視 — 若閥門位置中之該變化大於一預定量，則產生—警开 種用於監視流量之方法，其包含： 量測一第—壓力； 量測一第二壓力； 99458-1000804.doc 13ύ13'41 在一第一操作模式中，基於該第一壓力與該第二饜 之間的一差值來判定一流量率； 在一第二操作模式中，基於在一特定壓力感測器處 量測之一廢力來判定該流量率；及 根據-預定參數而在該第一操作模式與該第二 式之間切換。 ^ 51. :請求項50之方法，其中基於在一特定廢力感測器處所 量測之該壓力mΜ定該流量帛包含基於在一上游壓力感 測器處所量測之該壓力而判定該流量率。 52. :請求項50之方法，其中基於在一特定壓力感測器處所 里洌之，玄壓力而判定該流量率包含基於在一下游壓力感 測器處所量測之該壓力而判定該流量率。 53. 如請求項50之方法，其中該預定參數包含一壓差臨限值。 54. 如請求項53之方法’其進一步包含： 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值大於該壓差 δ»限值，則根據該第一操作模式而操作。 55. 如請求項53之方法，其進一步包含： 判定該第一壓力與該第二壓力之間的該差值； 將該差值與該壓差臨限值相比較；及 若該第一壓力與該第二壓力之間的該差值小於該壓差 臨限值，則根據該第二操作模式而操作。 99458-1000804.doc I 094104063號專利申請案 中文圖式替換頁(1〇〇年8月） 年癸換頁 0 Γ

COH 99458-fig-1000804.doc 〇94104063號專利申請案 中文圖式替換頁(100年8月）

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