KR101842160B1 - 유량제어장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유로 내에 잡음이 발생한 경우 이를 미리 인지하여 유체의 유량을 조절함으로써 과량의 유체가 공정에 투입되는 것을 방지할 수 있고, 유로 내의 잡음으로 인하여 과량의 유체가 유로에 흘러서 유로 내부의 온도가 상승하고, 이로 인하여 유로 내부에 이물질이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 유로 내의 잡음으로 인하여 제어부를 통한 밸브제어가 순간적으로 동요하는 것을 방지할 수 있고, 이물질의 특성으로 인하여 발생되는 잡음을 제거할 수 있어서, 반응성이 큰 물질을 사용하는 공정에 정밀한 제어가 가능한 유량제어장치 및 방법을 제공한다.
본 발명인 유량제어장치는 유로에 흐르는 유체의 유량을 측정하여 유량값을 산출하는 유량검출부; 상기 유로내에서 동작하며 개방정도에 따라 상기 유로를 흐르는 유체의 유량이 조절되는 밸브; 상기 밸브의 개방정도를 조절하는 밸브조절부; 상기 밸브의 개방정도를 검출하여 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 산출하는 밸브검출부; 상기 유량검출부로부터 상기 유량값을, 상기 밸브검출부로부터 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받아 저장하는 저장부; 상기 저장부로부터 상기 유량값, 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받고 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율을 산출하여 잡음 발생 여부를 판단하는 잡음판단부; 및 상기 잡음판단부로부터 잡음 발생 여부를 전달받고 잡음이 발생한 경우 경고음과 함께 제어신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 제어부를 포함한다.

Description

유량제어장치 및 방법 {FLOW RATE CONTROL APPARATUS AND METHOD}
본 발명은 유체가 흐르는 유로 내에 잡음이 발생하는 경우 이를 인지하여 밸브의 개방 정도를 조절함으로써 유로에 흐르는 유량의 정밀제어가 가능한 유량제어장치 및 방법에 관한 것이다.
제약이나 정밀화학 산업에 있어서 공정관리는 중요한 사항이다. 특히, 유기리튬과 같이 반응성이 뛰어난 물질을 소량 사용하는 연속공정에 있어 투입량의 제어는 무엇보다 중요하다. 투입량을 제어하기 위하여 일반적인 공정의 경우 유체가 흐르는 유로 내에 밸브를 설치하고, 이를 제어부를 통하여 자동제어함으로써 공정에 투입되는 유체의 유량을 일정량으로 유지하도록 하고 있다.
그러나 반응성이 뛰어난 물질의 경우 유로 내의 수분이나 알콜류 또는 공기와 접촉하는 경우 격렬한 발열반응을 하고, 고체인 염(salt)형태의 이물질이 석출될 가능성이 높다. 고체로 인하여 유로내 유체의 흐름에 방해가 되는 이물질로는 기어펌프 재질인 피크(PEEK:Polyether ether ketone)가 마모된 찌꺼기, 원료물질 내의 이물질, 유기 리튬이 대기 접촉 혹은 수분 접촉으로 인해 발생 되는 고형화 물질등이 있다. 이러한 이물질들은 유량제어를 위하여 유로 내의 밀도를 측정하는 과정 중에 유체 사이에 섞여 유체의 흐름을 방해하며, 이로 인하여 자동제어에 의해 밸브 개방정도가 커짐에도 불구하고 공정에 투입되는 유체의 유량은 증가하지 않거나 감소한다. 이후 밸브 개방정도가 충분히 커지고 유로 외부로 이물질이 빠져나가는 경우 큰 유량값이 검출되어 이를 제어하기 위한 밸브조절부의 구동전압이 크게 흔들리며 순간적으로 동요하게 된다.
본 발명은 유로 내에 잡음이 발생한 경우 이를 미리 인지하여 유체의 유량을 조절함으로써 과량의 유체가 공정에 투입되는 것을 방지할 수 있는 유량제어장치 및 방법을 제공한다.
본 발명은 유로 내의 잡음으로 인하여 과량의 유체가 유로에 흘러서 유로 내부의 온도가 상승하고, 이로 인하여 유로 내부에 이물질이 발생하는 것을 방지할 수 있는 유량제어장치 및 방법을 제공한다.
본 발명은 유로 내의 잡음으로 인하여 제어부를 통한 밸브제어가 순간적으로 동요하는 것을 방지할 수 있는 유량제어장치 및 방법을 제공한다.
본 발명은 이물질의 특성으로 인하여 발생되는 잡음을 제거할 수 있어서, 반응성이 큰 물질을 사용하는 공정에 정밀한 제어가 가능한 유량제어장치 및 방법을 제공한다.
본 발명인 유량제어장치는 유로에 흐르는 유체의 유량을 측정하여 유량(Flow rate)값을 산출하는 유량검출부; 상기 유로내에서 동작하며 개방정도에 따라 상기 유로를 흐르는 유체의 유량이 조절되는 밸브; 상기 밸브의 개방정도를 조절하는 밸브조절부; 상기 밸브의 개방정도를 검출하여 밸브개방값(Control Valve Opening Value) 및 밸브개방 평균값(Control Valve Opening average Value)을 산출하는 밸브검출부; 상기 유량검출부로부터 상기 유량값을, 상기 밸브검출부로부터 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받아 저장하는 저장부; 상기 저장부로부터 상기 유량값, 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받고 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율을 산출하여 잡음 발생 여부를 판단하는 잡음판단부; 및 상기 잡음판단부로부터 잡음 발생 여부를 전달받고 잡음이 발생한 경우 경고음과 함께 제어신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 제어부를 포함한다.
상기 잡음판단부는 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율, 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 2개 이상의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 초과한 경우 잡음이 발생되었다고 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 잡음판단부는 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 하나의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 4회 연속으로 초과하는 경우 잡음이 발생되었다고 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 잡음이 발생되었다고 판단시 수동입력 모드로 대기하며, 대기시간이 경과하면 상기 저장부에 저장된 밸브개방 평균값을 상기 밸브조절부로 전달하여 상기 밸브의 개방정도를 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 저장부로부터 상기 유량값 및 상기 밸브개방값을 출력하여 표시하는 표시부를 더 포함한다.
본 발명인 유량제어방법은 유로에 흐르는 유체의 유량을 측정하여 유량값을 산출하는 단계; 밸브검출부가 유로내에서 동작하는 밸브의 개방정도를 검출하여 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 산출하는 단계; 상기 유량검출부로부터 상기 유량값을, 상기 밸브검출부로부터 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받아 저장부에 저장하는 단계; 잡음판단부가 상기 저장부로부터 상기 유량값, 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받고 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율을 산출하여 잡음 발생 여부를 판단하는 단계; 및 제어부가 상기 잡음판단부로부터 잡음 발생 여부를 전달받고 잡음이 발생한 경우 경고음과 함께 제어신호를 발생시키는 단계를 포함한다.
상기 잡음 발생 여부를 판단하는 단계는 상기 잡음판단부가 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 2개 이상의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 초과한 경우 잡음이 발생되었다고 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 잡음판단부는 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 하나의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 4회 연속으로 초과하는 경우 잡음이 발생되었다고 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 잡음이 발생되었다고 판단시 수동입력 모드로 대기하며, 대기시간이 경과하면 상기 저장부에 저장된 밸브개방 평균값을 밸브조절부로 전달하여 상기 밸브의 개방정도를 제어하는 단계를 더 포함한다.
표시부는 상기 저장부로부터 상기 유량값 및 상기 밸브개방값을 출력하여 표시하는 단계를 더 포함한다.
본 발명인 유량제어장치 및 방법은 유로 내에 잡음이 발생한 경우 이를 미리 인지하여 유체의 유량을 조절함으로써 과량의 유체가 공정에 투입되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명인 유량제어장치 및 방법은 유로 내의 잡음으로 인하여 과량의 유체가 유로에 흘러서 유로 내부의 온도가 상승하고, 이로 인하여 유로 내부에 이물질이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명인 유량제어장치 및 방법은 유로 내의 잡음으로 인하여 제어부를 통한 밸브제어가 순간적으로 동요하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명인 유량제어장치 및 방법은 이물질의 특성으로 인하여 발생되는 잡음을 제거할 수 있어서, 반응성이 큰 물질을 사용하는 공정에 정밀한 제어가 가능하다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유량제어장치의 구성도;
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유량검출부의 구성도; 및
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 유량제어방법의 순서도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다. 하기의 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유량제어장치의 구성도이다.
본 발명인 유량제어장치는 유로(10)에 흐르는 유체의 유량을 측정하여 유량값을 산출하는 유량검출부(110); 유로(10)내에서 동작하며 개방정도에 따라 유로(10)를 흐르는 유체의 유량이 조절되는 밸브(120); 밸브(120)의 개방정도를 조절하는 밸브조절부(130); 밸브(120)의 개방정도를 검출하여 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 산출하는 밸브검출부(140); 유량검출부(110)로부터 유량값을, 밸브검출부(140)로부터 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 각각 전달받아 저장하는 저장부(150); 저장부(150)로부터 유량값, 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 각각 전달받고 유량값의 변화율, 밸브개방값의 변화율 및 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율을 산출하여 잡음 발생 여부를 판단하는 잡음판단부(160); 잡음판단부(160)로부터 잡음 발생 여부를 전달받고 잡음이 발생한 경우 경고음과 함께 제어신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 제어부(170)를 포함한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유량검출부의 구성도이다.
유량검출부(110)는 유로(10)의 일측에 연결되며 반대측에는 복수개의 바이패스관을 묶어서 이루어지는 바이패스군(20)이 설치된다. 바이패스군(20)의 양단에는, 바이패스군(20)을 우회하도록 센서관(30)이 접속되어 있고, 유로(10)내에 소량의 가스 유체를 일정 비율로 흐르게 할 수 있도록 되어 있다. 센서관(30)에 권회된 저항선(R1, R4)의 직렬 접속에 대해서, 유량검출부(110)에는 2개의 기준 저항(R2, R3)의 직렬 접속 회로가 병렬로 접속되어, 브리지(bridge) 회로를 형성하며, 브리지 회로에는 일정 전류를 흐르게 하기 위한 전류원(111)이 접속되어 있다. 저항선(R1, R4)끼리의 접속점과 기준 저항(R2, R3) 끼리의 접속점을 입력 측에 접속시켜서 차동 회로를 구성하였으며, 양 접속점의 전위차를 구하고, 이 전위차에 일정이득을 가한 값을 유량값으로 출력하도록 되어 있다. 저항선(R1, R4)은 온도에 따라 저항값이 변화하는 소재로 이루어져 있으며, 가스의 흐름 방향의 상류 측에 저항선 R1이 권회되고, 하류 측에 저항선 R4가 권회되어 있다. 또, 기준 저항(R2, R3)은 일정 온도로 유지된다. 센서관(30)에 가스 유체가 흐르고 있지 않은 경우에는, 양 저항선(R1, R4)의 온도는 같게 되어 있기 때문에, 브리지 회로는 평형 상태로 차동 회로의 검출값인 전위차는 0이다. 센서관(30)에 흐르는 유체는 상류 측에 위치하는 저항선(R1)의 발열에 의해서 따뜻해지고, 유체가 하류측의 저항선(R4)이 권회되어 있는 위치까지 흐르게 된다. 이 결과, 열의 이동이 생겨서 저항선(R1, R4) 사이에 온도차, 즉 양 저항선(R1, R4) 사이의 저항값에 차이가 생기고, 이 때 발생하는 전위차는 가스의 질량 유량에 비례하게 된다. 따라서, 증폭기(112)가 이 전위차에 소정의 이득값(gain)을 가하는 것에 의해서 유로(10)에 흐르고 있는 유체의 유량을 구하여 저장부(150)로 전달한다. 본 발명에서 말하는 유량검출부(110)란, 설명한 바와 같이 저항의 온도차이에 의하여 유량을 검출하는 수단 이외에 예를 들면, 유체로부터 밸브가 받는 힘을 이용하거나, 또는 밸브의 양단에서의 압력차를 이용하여 유량을 산출하는 수단 등을 모두 포함한다.
다시 도 1로 돌아와서 본 발명의 일실시예에 따른 유량제어장치를 보면, 유로(10)의 하류 측에는 유체의 유량을 직접적으로 제어하기 위한 밸브(120)가 설치되어 있으며, 밸브(120)는 금속판제의 굴곡 가능하게 이루어진 다이어프램(diaphragm)(미도시)을 포함한다. 밸브(120)는 다이어프램을 굴곡 변형시켜서 유로(10)의 벽측으로 이동시키는 것에 의해 유로(10)의 개방정도를 조절하여 유량을 임의로 제어할 수 있다. 다이어프램의 상면은 적층 압전 소자(피에조 소자)를 재료로 하는 액추에이터(미도시)의 하단부에 접속되어 있으며 이것에 의해, 밸브 개방정도를 조정할 수 있도록 되어 있다. 액추에이터로서 적층 압전 소자 대신에 전자식의 액추에이터를 이용하는 경우도 있다. 밸브(120)는 본 발명의 실시예에 한정하지 않으며 일반적으로 유체의 유량을 제어하는데 쓰이는 모든 종류의 밸브를 의미한다. 또한 본 발명의 실시예와는 다르게 유량 검출부를 유로(10)의 하류측에, 밸브를 유로(10)의 상류측에 설치할 수도 있음은 당업자에게 자명하다.
밸브조절부(130)는 제어부(170)로부터 구동신호를 받아서 구동전압을 액추에이터로 출력함으로써 밸브(120)의 개방정도를 조절한다.
밸브검출부(140)는 밸브조절부(130)에서 출력하는 구동전압에 일정한 이득값을 가해주어 밸브 개방정도를 값으로 산출한다. 밸브검출부(140)는 산출한 밸브 개방값을 저장부(150)로 전달하여 저장한다. 또한, 저장부(150)에 저장되어 있는 밸브 개방값들을 이용하여 제어부(170)로부터 설정된 일정 시간동안의 밸브 개방값에 대한 평균값을 산출하여 저장부(150)로 전달하여 저장한다.
저장부(150)는 메모리 소자로 구성되어 있으며, 유량검출부(110)로부터 유량값을, 밸브검출부(140)로부터 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 전달받아 저장한다.
표시부(180)는 저장부(150)에 저장된 유량값 및 밸브개방값을 표시하여 외부에서 인지할 수 있도록 디스플레이 소자로 구성된다.
잡음판단부(160)는 저장부(150)에 저장되어 있는 유량값의 변화율, 밸브개방값의 변화율, 밸브개방 평균값에 대한 밸브개방값의 변화율을 계산하여 잡음 여부를 판단하고, 제어부(170)로 잡음 발생 여부에 대한 정보를 전달한다. 잡음판단부(160)의 잡음발생여부를 판단하는 방법과 잡음발생시 제어부(170)의 행동패턴에 대하여서는 도 3에서 예시하고 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 유량제어방법에 대한 순서도이다.
본 실시예에서 유량검출부(110)는 0.25초마다 유량값을 산출하고, 밸브검출부(140)는 0.5초마다 밸브개방값을 산출하여 저장부(150)로 전달하여 저장한다. 또한, 밸브검출부(140)는 저장부(150)에 저장된 과거 10초 동안의 밸브개방값에 대한 밸브개방 평균값을 산출하여 저장부(150)로 전달하여 저장한다. 유량검출부(110)의 유량값의 산출 주기 및 밸브검출부(140)의 밸브개방값의 산출주기는 제어부(170)를 통하여 조절이 가능하며 산출주기가 짧을수록 더욱 정밀한 제어가 가능하나 유량제어장치의 과부하로 인하여 속도가 느려질 수 있다.
또한, 본 실시예에서 잡음판단부(160)는 현재의 유량값에 대하여 저장부(150)에 저장된 1초전의 유량값에 대한 변화율을 구하고［관계식1］, 현재의 밸브개방값에 대하여 저장부(150)에 저장된 4초전의 밸브개방값에 대한 변화율과［관계식2］, 저장부(150)에 저장된 10초 동안의 밸브개방 평균값에 대한 현재 밸브개방값의 변화율［관계식3］을 구한다. 이를 식으로 각각 나타내면 하기와 같다.
［관계식　１］
Figure 112011031690409-pat00001
［관계식　２］
Figure 112011031690409-pat00002
［관계식　３］
Figure 112011031690409-pat00003
잡음판단부(160)는 각각의 변화율이 10%를 초과하는지 비교하고(S301~S303), 초과하는 경우 해당하는 변화율의 변수에 각각 1을 더한다. (S311~S313)
각각의 변화율에 대해서는 2가지 변수가 사용되는데 변수 I(I1 또는 I2 또는 I3)는 잡음판단부(160)가 잡음 발생 여부를 반복하여 판단하는 동안 그 값이 초기화되지 않고 누적된다. 따라서, 하나의 변화율이 반복하여 4번 연속 10%를 초과하면(I=4) 잡음판단부(160)는 유로(10) 내에 잡음이 발생 되었다고 판단한다.(S321~S323)
하나의 변화율이 연속으로 4번 10%를 초과하지 않는 경우 잡음판단부(160)는 K1, K2, K3를 더한 값인 K0 가 2 이상인 경우 즉, 둘 이상의 변화율이 10%를 초과한다면 유로(10) 내에 잡음이 발생 되었다고 판단한다.(S331) K0 값이 1 인 경우 즉, 하나의 변화율만이 10%를 초과한다면 잡음판단부(160)는 K(K0 또는 K1 또는 K2 또는 K3)값을 초기화하고 잡음 발생 여부 판단을 반복한다. K0 값이 0 인 경우 즉, 어느 하나의 변화율도 10%를 초과하지 않은 경우 잡음판단부(160)는 유로(10) 내에 잡음이 발생하지 않은 것으로 판단하여 상황을 종료한다.(S332, S370)
제어부(170)는 잡음판단부(160)로부터 잡음 발생 사실을 전달받고 경고음을 울린다.(S340)
또한 제어부(170)는 밸브개방값을 수동으로 입력받기 위하여 일정시간 대기하며, 관리자측에서 밸브개방값을 수동으로 입력한 경우 이를 입력받아 밸브조절부(130)로 전달한다.(S350)
일정시간동안 수동으로 밸브개방값이 입력되지 않으면, 제어부(170)는 저장부(150)에 저장된 1분전의 밸브개방 평균값을 밸브조절부(130)로 전달한다.(S360) 본 실시예에서는 저장부(150)에 저장된 1분전의 밸브개방 평균값을 전달하도록 하였으나, 이는 유량값 및 밸브개방값의 산출주기에 따라 조절될 수 있음은 자명하다.
또한 본 실시예에서는 기준 변화율을 10%로 하였으나 반응도가 큰 물질등의 경우 기준 변화율을 더 작게 하여 정밀한 공정이 가능하다.
본 실시예에서 예시한 순서도 이외에도 저장부(150)에 저장된 유량값, 밸브개방값, 밸브개방 평균값을 이용하여 변화율을 구하고, 구해진 세 개의 변화율을 기준 변화율과 비교하여, 둘 이상의 변화율이 기준 변화율을 초과하거나, 하나의 변화율이 일정 횟수 연속으로 기준 변화율을 초과하는 경우 유로(10) 내에 잡음이 발생되었다고 판단하는 다른 알고리즘을 이용하여 본 발명인 유로제어장치를 구성할 수 있음은 당업자에게 자명하다 할 것이다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
10: 유로 20: 바이패스군
30: 센서관 110: 유량검출부
120: 밸브 130: 밸브조절부
140: 밸브검출부 150: 저장부
160: 잡음판단부 170: 제어부
180: 표시부

Claims (10)

  1. 유로에 흐르는 유체의 유량을 측정하여 유량값을 산출하는 유량검출부;
    상기 유로내에서 동작하며 개방정도에 따라 상기 유로를 흐르는 유체의 유량이 조절되는 밸브;
    상기 밸브의 개방정도를 조절하는 밸브조절부;
    상기 밸브의 개방정도를 검출하여 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 산출하는 밸브검출부;
    상기 유량검출부로부터 상기 유량값을, 상기 밸브검출부로부터 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받아 저장하는 저장부;
    상기 저장부로부터 상기 유량값, 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받고 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율을 산출하여 잡음 발생 여부를 판단하는 잡음판단부; 및
    상기 잡음판단부로부터 잡음 발생 여부를 전달받고 잡음이 발생한 경우 경고음과 함께 제어신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 제어부;를 포함하며,
    상기 유량값의 변화율은 과거 유량값 대비 현재 유량값의 변화율이고, 상기 밸브개방값의 변화율은 과거 밸브개방값 대비 현재 밸브개방값의 변화율이고, 상기 밸브개방 평균값에 대한 밸브개방값의 변화율은 과거 밸브개방 평균값 대비 현재 밸브개방값의 변화율이며,
    상기 잡음판단부는 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 2개 이상의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 초과한 경우 또는 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 하나의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 특정 횟수 연속으로 초과하는 경우 잡음이 발생되었다고 판단하는 유량제어장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 유량 검출부는,
    상기 유로에 권회되며 직렬 접속되는 두 개의 저항선 및 상기 두 개의 저항선에 병렬 접속되는 두 개의 기준 저항을 포함하는 브리지(bridge) 회로;
    상기 브리지 회로에 일정 전류를 흐르게 하기 위한 전류원; 및
    상기 두 개의 저항선의 접속점과 상기 두 개의 기준 저항의 접속점에 연결되는 증폭기를 포함하는 유량제어장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 잡음판단부는 하기 수학식 1 내지 3에 따라 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율을 산출하는 유량제어장치.
    ［수학식　１］
    Figure 112017123664756-pat00007

    ［수학식　２］
    Figure 112017123664756-pat00008

    ［수학식　３］
    Figure 112017123664756-pat00009
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부는 잡음이 발생되었다고 판단시 수동입력 모드로 대기하며, 대기시간이 경과하면 상기 저장부에 저장된 밸브개방 평균값을 상기 밸브조절부로 전달하여 상기 밸브의 개방정도를 제어하는 것을 특징으로 하는 유량 제어장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 저장부로부터 상기 유량값 및 상기 밸브개방값을 출력하여 표시하는 표시부
    를 더 포함하는 유량 제어장치.
  6. 유량검출부가 유로에 흐르는 유체의 유량을 측정하여 유량값을 산출하는 단계;
    밸브검출부가 유로내에서 동작하는 밸브의 개방정도를 검출하여 밸브개방값 및 밸브개방 평균값을 산출하는 단계;
    상기 유량검출부로부터 상기 유량값을, 상기 밸브검출부로부터 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받아 저장부에 저장하는 단계;
    잡음판단부가 상기 저장부로부터 상기 유량값, 상기 밸브개방값 및 상기 밸브개방 평균값을 각각 전달받고 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율을 산출하여 잡음 발생 여부를 판단하는 단계; 및
    제어부가 상기 잡음판단부로부터 잡음 발생 여부를 전달받고 잡음이 발생한 경우 경고음과 함께 제어신호를 발생시키는 단계;를 포함하며,
    상기 유량값의 변화율은 과거 유량값 대비 현재 유량값의 변화율이고, 상기 밸브개방값의 변화율은 과거 밸브개방값 대비 현재 밸브개방값의 변화율이고, 상기 밸브개방 평균값에 대한 밸브개방값의 변화율은 과거 밸브개방 평균값 대비 현재 밸브개방값의 변화율이며,
    상기 잡음 발생 여부를 판단하는 단계는, 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 2개 이상의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 초과한 경우 또는 상기 유량값의 변화율, 상기 밸브개방값의 변화율 및 상기 밸브개방 평균값에 대한 상기 밸브개방값의 변화율 중 하나의 변화율이 미리 설정해둔 기준 변화율을 특정 횟수 연속으로 초과하는 경우 잡음이 발생되었다고 판단하는 유량제어방법.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 제어부는 잡음이 발생되었다고 판단시 수동입력 모드로 대기하며, 대기시간이 경과하면 상기 저장부에 저장된 밸브개방 평균값을 밸브조절부로 전달하여 상기 밸브의 개방정도를 제어하는 단계
    를 더 포함하는 유량제어방법.
  10. 제 6항에 있어서,
    표시부는 상기 저장부로부터 상기 유량값 및 상기 밸브개방값을 출력하여 표시하는 단계
    를 더 포함하는 유량제어방법.
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