JP5611913B2 - レーザ装置用エネルギー測定装置及びそれに用いられる光拡散板のエージング方法 - Google Patents
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Description
図4のフッ化カルシウムの場合に示すように、拡散板36の透過率は、エージングレーザ光59の照射に伴って次第に増加するが、パルス数n1のあたりで、増加がほぼ飽和する。このパルス数n1は、照射するエージングレーザ光59の強度によって変動する。従って、予めエージング装置58によって、所定強度でn1パルスのエージングレーザ光59を照射しておくことにより、拡散板36をエネルギー測定装置35に組み込んだ後は、透過率の変化が殆んどなくなる。或いは、図3に示すように、照射中に拡散板36の透過率をモニタリングし、その変化の割合が、所定の割合よりも小さくなったことを見計らって、エージングを停止してもよい。
即ち、拡散板46A,46Bをエージングして、予め透過率を略一定としておくことにより、パターン検出器48A,48Bへの入射光量が変化せず、パターン検出器48A,48Bが飽和するようなこともない。これは、拡散板46A,46Bだけではなく、拡散板36についても同様であり、これによって光検出器37の飽和を防ぐことができる。
Claims (1)
- 光を透過して出射する方向を拡散させる拡散板のエージング方法において、
フッ化カルシウム又は合成石英で構成された拡散板に対して紫外線光を照射し、紫外線光照射時に酸素を供給し、拡散板の紫外線光の透過率の変化を飽和させた
ことを特徴とする、拡散板のエージング方法。
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