JP3779030B2 - ガスレーザ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、縮小投影露光用光源、材料の微細加工、材料の表面改質等に用いられるエキシマレーザなどのガスレーザ装置に関し、特にレーザガス中の特定のガスの濃度または分圧を正確かつ簡便に測定し得る測定手段を有するガスレーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、フッ素などのハロゲンガスを用いてエキシマレーザ装置を運転する場合、ハロゲンガスは極めて反応性が高いために、運転にしたがって電極材料の蒸発、レーザチャンバ構成材料との化学反応によりハロゲンガスが消費される。
【0003】
エキシマレーザでは、励起によって作られるハロゲンガスと希ガスによる一種の化合物がレーザ媒体となっているために、レーザ管内部におけるハロゲンガスと希ガスの比率には最適値が存在し、この比率が変化すると前記レーザ媒体である化合物の生成過程に影響を及ぼし、レーザ出力が低下し、最終的にはレーザ発振が観測されなくなる。
【0004】
したがって、従来においては、レーザ出力をモニタし、このレーザ出力の低下に応じてハロゲンガスを補給することによってレーザ出力を安定化させるようにしていたが、この補給の際にどの程度の補給量が最適であるかを判断するためには、ハロゲンガス濃度または分圧を正確に測定する必要がある。すなわち、補給するハロゲンガス量が不足しても過剰であってもレーザ発振は不安定になる。
【0005】
なお、希ガスは基本的には他の物質とは反応しないために、レーザチャンバからの漏洩以外には減少することは少ない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
以下に、エキシマレーザにおける従来のハロゲンガス濃度(F2濃度)の検出手法を示す。
【0007】
(1)原子吸収光度計を使ってF2濃度を測定する
この方法は、原子特有の原子スペクトルと同じ波長の光(685.60nm、690.25nmはF2の原子スペクトル)を測定対象に照射した場合、その測定対象空間にその原子があった場合に、その波長の光を吸収する現象を利用したものであるが、この手法では、高価で大がかりな原子吸収光度計を必要とする問題がある。
【0008】
(2)F2濃度と相関があるスペクトル線幅を測定して間接的にF2濃度を測定する手法
この手法は、狭帯域化したKrFエキシマレーザのスペクトル線幅とF2濃度との間には、F2濃度が高いと線幅が広く、F2濃度が低いと線幅が狭くなるという殆ど一次関数的な相関関係があることに着目し、スペクトル線幅に基づいてF2濃度を判定する手法である。この手法では、スペクトルデータという他の波長制御などにも利用しているデータを流用できるために、新たな構成要素が増えないという利点は有しているが、スペクトル線幅がF2濃度と一次関数的な相関があることが大前提であり、そのような都合の良い関係が全てのガスレーザに当てはまるわけではない。
【0009】
(3)F2吸収分析管を使って直接F2濃度を測定する手法
この手法はレーザガスをレーザチャンバからF2吸収分析管に取り出し、F2吸収分析管を用いて直接F2濃度を測定するものであるが、この手法ではF2濃度の測定に際してレーザガスをレーザチャンバからいちいち取り出す必要があり、レーザチャンバ内の希ガスの量および全圧が変化するため、レーザ発振中の検出用には使えない。また、計算に多くの時間がかかるという問題もある。
【0010】
このように従来ハロゲンガス濃度を測定するための各種手法があるが、それぞれ一長一短がある。
【0011】
この発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、レーザガス中のハロゲンガスなどの特定のガスの濃度または分圧を正確かつ簡便に測定し得るガスレーザ装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段及び作用効果】
そこでこの発明では、複数の異なる種類のガスの混合ガスとして構成されるレーザガスをレーザ媒質として用いるガスレーザ装置において、前記複数の異なる種類のガスのうちの特定のガスの放出光の発光強度を検出する発光強度検出手段と、レーザ発振中における前記発光強度検出手段の検出信号と発光強度に影響を与えるレーザ発振に係る変数とに基づき前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算する演算手段とを備えるようにしたことを特徴とする。
【0013】
すなわち、この本発明による手法は、レーザガス中に含まれる特定のガスが放電によって励起されることにより、或る励起準位から他の励起準位に遷移する際に各々のガスに特有のスペクトルを有する光エネルギーを放出することに着目してなされたものであり、例えばArFエキシマレーザの場合はF2,Ar、Ne,Heの4つのガスがレーザガスの基本構成物質であるため、レーザガスを励起する度にレーザ光以外にこの4つのガスに特有のスペクトルを有する光がそれぞれ放出される。
【0014】
また、これらの放出光はレーザ発振ではないので、全方位に同じ強度で出ているために、放電部分を観測できる位置であればどこでもこれらの放出光をモニタすることができる。
【0015】
このようにこの発明では、レーザガス中に含まれる特定のガスの放出光の発光強度を検出し、この検出出力に基づき該特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算するようにしたので、レーザ媒質中の特定のガスの濃度または分圧を正確かつ簡便に測定し得るようになる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施例を添付図面に従って詳細に説明する。
【0017】
図1にこの発明の実施例を示す。
【0018】
図1において、エキシマレーザ1のレーザチャンバ2は紙面に垂直な方向に対向された放電電極3を有している。レーザチャンバ2内にはF2などのハロゲンガス、Krなどの稀ガス、Neなどのバッファガスが封入されており、これらレーザガスを放電電極3間の放電によって励起させてレーザパルス発振を行う。
【0019】
発光したパルス光は共振器を構成するエンドミラー4および出力ミラー5によって共振され、出力ミラー5を介して出力される。
【0020】
出力されたレーザ光Lは、ビームスプリッタ6によってその一部がサンプリングされてモニタモジュール7に入射される。
【0021】
モニタモジュール7では、サンプリング光に基づいて出力レーザ光の波長、出力エネルギー等を測定し、これらの測定値をコントローラ8に入力する。
【0022】
ハロゲンガスボンベ9、希ガスボンベ10、バッファガスボンベ11には、
ハロゲンガス(F2など)、希ガス(Kr、Ar、など)、バッファガス(He、Neなど)がそれぞれ充填されており、ガス供給排気装置12によってこれらのガスボンベ9〜11からレーザチャンバに2にガス交換又は部分ガス交換用のレーザガスが供給される。また、ガス供給排気装置12によってレーザチャンバ2内のレーザガスが排気される。
【0023】
レーザ電源回路13は、レーザコントローラ8から加えられた電圧データに応じて前記放電電極間に電位差Vを与えて放電を行う。なお、レーザ電源回路12においては、図示しない充電回路により電荷を一旦充電した後、たとえばGTOやサイラトロン等のスイッチ素子の動作によりパルス放電を行う。
【0024】
ここで、レーザチャンバの側面には、2つの観測窓14、15が形成され、これら観測窓の近傍には受光面にバンドパスフィルタ16,17が配された受光素子18,19が設けられている。
【0025】
この場合、一方の受光素子18によってフッ素ガス(F2)による放出光の発光強度を測定し、他方の受光素子で希ガス(Ar)による放出光の発光強度を測定する。
【0026】
フッ素ガスによる放出光の中で波長が689.60nmと690.25nmの放出光は、可視光域にあるので観測し易いスペクトルである。また、これらの光は前述したように、レーザ光ではなく全方位にほぼ同じ強度で放出されている為に、レーザチャンバの側方に設けた観測窓14からも観測することができる。
【0027】
したがって、この場合は、バンドパスフィルタ16によって波長が689.60nmの光を分離して受光素子18に入射し、もう一方のバンドパスフィルタ17によってArに対応する波長の光を分離して受光素子19に入射するようにしており、これら受光素子18,19の受光出力は発光強度検出回路20に入力される。
【0028】
発光強度検出回路20においては、各受光素子18,19の出力に基づきF2ガス放出光の発光強度IFおよびArガス放出光の発光強度を演算し、これらの演算値をコントローラ8に入力する。
【0029】
コントローラ8においては、レーザ発振中において、受光素子18から入力されたF2ガス放出光の発光強度IFに基づいてF2ガスの分圧PFを測定し、この測定値PFを用いてフッ素ガスの供給制御を実行する。
【0030】
以下、図2及び図3のフローチャートに従ってF2ガスの分圧PFの測定手順、ハロゲンガスの供給制御手順について説明する。
【0031】
まず、レーザ発振中、発光強度検出回路20によってF2ガスの放出光の発光強度IFが所定の周期で測定され、この測定値はコントローラ8に入力されている(図2ステップ100)。コントローラ8は、レーザ発振の励起強度を測定するべくレーザ電源回路13の充電回路のコンデンサの充電電圧V(目標値)を取り込む(ステップ110)。
【0032】
そして、これら値IFおよびVをF2ガス分圧PFを演算するための所定の演算式f1(IF,V)に代入してF2ガス分圧PFを演算する(ステップ120)。
【0033】
すなわち、充電電圧Vが大きくなってレーザ発振の励起強度が強くなると、F2ガスの発光強度IFも大きくなるので、かかる特性を考慮してF2ガス分圧PFを演算する。
【0034】
そして、コントローラ8では、前記演算したF2ガス分圧値PFを用いてレーザガス(この場合はF2ガス)の供給制御およびレーザガスの排気制御を実行する(ステップ130)。
【0035】
F2ガスを供給する際、コントローラ8は、レーザチャンバ2内のレーザガスの全圧PTを測定する(図3ステップ140)。
【0036】
次に、コントローラ8は下式に従って注入すべきF2ガス量ΔPFを算出する(ステップ150)。
【0037】
ΔPF=PFT−PF
PFT:注入後のF2分圧の目標値
PF:測定されたF2分圧値
つぎに、コントローラ8は、ガス供給排気装置12に指令を与えてF2ガスボンベ9を所定時間Δtだけ開かして、F2ガスをレーザチャンバ2に所定時間Δtの間だけ供給する(ステップ160)。この供給が終了すると、コントローラ8は再度レーザチャンバ2内のレーザガスの全圧PT´を測定する(ステップ170)。
【0038】
そして、レーザガスの全圧の増加分(=PT´−PT)を前記注入F2ガス量の目標値ΔPFと比較し(ステップ180)、PT´−PT≧ΔPFが成立するまでF2ガスをレーザチャンバ2に供給する。
【0039】
図4は、F2ガス分圧PFの他の測定手順を示すものである。
【0040】
この図4に示す手法においては、下式に示すように、F2ガスの発光強度IFとレーザガスの全圧PTに基づいてF2ガス分圧PFを演算する。
【0041】
PF=f2(IF,PT)
すなわち、この図4の手法では、レーザガスの全圧PTが上昇すると、これに伴ってF2ガスの発光強度IFも大きくなるので、かかる特性を考慮してF2ガス分圧PFを演算するようにしている。
【0042】
図5は、F2ガス分圧PFのさらに他の測定手順を示すものである。
【0043】
この図5に示す手法においては、下式に示すように、F2ガスの発光強度IFとレーザガス交換後の経過時間taに基づいてF2ガス分圧PFを演算する。
【0044】
PF=f3(IF,ta)
すなわち、この図5の手法では、レーザガス交換後レーザ発振が進行すると、不純物の発生によってF2ガスの発光強度IFが小さくなるので、かかる特性を考慮してF2ガス分圧PFを演算するようにしている。
【0045】
なお、図5の手法において、レーザガス交換後の経過時間taの代わりにレーザガス交換後のレーザパルス光のショット数nを用いるようにしてもよい。
【0046】
図6は、F2ガス分圧PFのさらに他の測定手順を示すものである。
【0047】
この図6に示す手法においては、下式に示すように、F2ガスの発光強度IFとレーザパルス発振の繰り返し周波数(発振周波数)faに基づいてF2ガス分圧PFを演算する。
【0048】
PF=f4(IF,fa)
すなわち、この図6の手法では、レーザパルス発振の繰り返し周波数faが大きくなると、これに伴ってF2ガスの発光強度IFが小さくなるので、かかる特性を考慮してF2ガス分圧PFを演算するようにしている。
【0049】
図7は、F2ガス分圧PFのさらに他の測定手順を示すものである。
【0050】
この図7に示す手法は、レーザ光を所定回数連続してパルス発振させる連続パルス発振運転と、所定時間の間パルス発振を休止させる発振休止とを繰り返すバーストモードが実行されるエキシマレーザに適用されるものである。
【0051】
すなわち、エキシマレーザを半導体露光装置用の光源として用いた場合、半導体露光装置では露光とステージ移動とを交互に繰り返すようになっているので、エキシマレーザの運転状態は必然的に上記したバーストモードとなる。
【0052】
そして、このバーストモード運転の場合は、発振休止時間の長短がレーザ発振に大きな影響を与え、さらに発振休止後の初期のレーザパルス出力が他のレーザパルス出力に比べて大きくなるというスパイキング現象が重なって、個々のレーザパルスの出力エネルギーが大きくばらつくという性質を持っている。
【0053】
したがって、バーストモード運転の場合は、レーザ光だけでなく、これに伴って発生されるF2等の放出光の発光強度もばらつくと考えられる。
【0054】
そこで、図7の手法においては、1バースト周期の中で特定のパルス番号(発振休止後パルス発振が開始してから何発目のパルス発振であるかを識別する番号)のパルス発振を選び、このパルス番号のパルス発振が行われた際のF2ガスの放出光の発光強度IFを用いてF2ガス分圧PFを演算するようにしている。なお、上記パルス番号としては、パルス発振初期のスパイキング現象が発生する領域を避けてパルス発振の中期以降の出力エネルギーが安定した領域のものを選択するようにしたほうが望ましい。
【0055】
なお、図2、図3〜図7に示したF2分圧計算用の各パラメータを適宜組み合わせてF2分圧を計算するようにしてもよい。
【0056】
次に、図8〜図12に、F2ガスの放出光を受光するための受光素子の他の配置例を示す。
【0057】
図8においては、エンドミラー4の外側に、バンドパスフィルタ16および受光素子18を設けるようにしており、エンドミラー4は、レーザ発振に対応する波長の光にのみ(例えばKrFエキシマレーザでは248nm,ArFエキシマレーザでは193nm)高反射率特性を有し、他の波長の光は透過するような特性をもたせている。
【0058】
図9においては、出力ミラー5とレーザチャンバ2の間に反射ミラー30を配設し、この反射ミラー30で反射させたF2ガスの放出光をバンドパスフィルタ16を介して受光素子18で受光するようにしている。
【0059】
図10においては、エタロン、またはグレーティング等の波長選択素子とプリズムビームエキスパンダ等で構成した狭帯域化モジュール40を設け、レーザ光を狭帯域化して出力するようにしている。また、この場合は、図1にも示したモニタモジュール7内にミラー41、バンドパスフィルタ16および受光素子18を設けてF2ガスの放出光を受光するようにしている。
【0060】
すなわち、モニタモジュール7においては、ミラー41によってレーザ発振に対応する波長の光にのみを反射してビームスプリッタ42に入射し、それ以外の光はバンドパスフィルタ16を介して受光素子18に入射するようにしている。ビームスプリッタ42に入射された一部のレーザ発振光は受光素子43に入射されてその出力エネルギーがモニタされるとともに、残りのレーザ光は拡散板46、モニタエタロン44を介してラインイメージセンサ45に入射されて干渉縞を形成する。この形成された干渉縞に基づいてレーザ発振光の波長が検出される。
【0061】
図11においては、図10にも示した狭帯域化モジュール40内でF2ガスの放出光を受光するようにしている。
【0062】
この場合、狭帯域化モジュール40は、分散プリズム56および全反射ミラー51を有し、全反射ミラー51は、前述したようにレーザ発振に対応する波長の光にのみ高反射率特性を有し、他の波長の光は透過するような特性をもたせている。
【0063】
すなわち、図11の構成においては、レーザチャンバ2から狭帯域化モジュール40に入射された光のうちレーザ発振光はプリズム50およびミラー51を経由して再度同じ光路を経由してレーザチャンバ2に戻るが、F2放出光はレーザ光とは波長が異なるので、プリズム50によってレーザ光とは異なる方向に偏向されてミラー51に入射される。このF2放出光が入射されるミラー51の位置の後方には、複数のファイバーケーブルが束ねられたバンドルファイバー52の一方の受光端53が配設されており、これら受光端53で受光した光をファイバーケーブル54を介してバンドパスフィルタ16、および受光素子18が配置された位置まで導光するようにしている。この場合、バンドルファイバー52のミラー51側の受光端53は、その受光領域を広く確保できるように各ファイバーの受光端が列状に並べられており、他方の端部は受光端53で受光した光を全て受光素子18で受光できるように円形状に集合されている。
【0064】
次に、図12においては、狭帯域化モジュール40は、プリズムビームエキスパンダ50およびグレーティング55を備えている。すなわちこの場合は、波長に応じて入射光を異なる方向に回折するグレーティング55の特性を利用し、F2放出光を受光できる位置にバンドルファイバー52の一方の受光端53を配設するようにしており、これら受光端53で受光した光をファイバーケーブル54を介してバンドパスフィルタ16、および受光素子18が配置された位置まで導光するようにしている。この場合も、バンドルファイバー52の受光端53は、その受光領域を広く確保できるように各ファイバーの受光端が列状に並べれれており、他方の端部は受光端53で受光した光を全て受光素子18で受光できるように円形状に集合されている。
【0065】
なお、上記実施例ではガス分圧を測定するようにしたが、ガス濃度を測定するようにしてもよい。
【0066】
また、上記実施例では、レーザガス中のフッ素ガス分圧を測定するようにしたが、他の任意のガスの分圧を測定するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す図。
【図2】フッ素分圧測定手順を示すフローチャート。
【図3】レーザガス注入排気手順を示すフローチャート。
【図4】他のフッ素分圧測定手順を示すフローチャート。
【図5】他のフッ素分圧測定手順を示すフローチャート。
【図6】他のフッ素分圧測定手順を示すフローチャート。
【図7】他のフッ素分圧測定手順を示すフローチャート。
【図8】放出光測定用の受光素子の他の配置例を示す図。
【図9】放出光測定用の受光素子の他の配置例を示す図。
【図10】放出光測定用の受光素子の他の配置例を示す図。
【図11】放出光測定用の受光素子の他の配置例を示す図。
【図12】放出光測定用の受光素子の他の配置例を示す図。
【符号の説明】
1…エキシマレーザ 2…レーザチャンバ 3…放電電極
4…エンドミラー 5…出力ミラー 6…ビームスプリッタ
7…モニタモジュール 8…コントローラ
9,10,11…ガスボンベ 12…ガス供給排気装置
13…レーザ電源回路 14,15…観測窓
16,17…バンドパスフィルタ 18,19…受光素子
40…狭帯域化モジュール 46…拡散板
52…バンドルファイバー 55…グレーティング
56…分散プリズム
Claims (9)
- 複数の異なる種類のガスの混合ガスとして構成されるレーザガスをレーザ媒質として用いるガスレーザ装置において、
前記複数の異なる種類のガスのうちの特定のガスの放出光の発光強度を検出する発光強度検出手段と、
レーザ発振中における前記発光強度検出手段の検出信号と発光強度に影響を与えるレーザ発振に係る変数とに基づき前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算する演算手段と、
を備えるようにしたことを特徴とするガスレーザ装置。 - 前記演算手段は、前記発光強度信号とレーザ発振の励起強度とに基づいて前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算することを特徴とする請求項1記載のガスレーザ装置。
- 前記演算手段は、前記発光強度信号とレーザガスの全圧値とに基づいて前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算することを特徴とする請求項1記載のガスレーザ装置。
- 前記演算手段は、前記発光強度信号とレーザガス交換後の経過時間とに基づいて前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算することを特徴とする請求項1記載のガスレーザ装置。
- 前記ガスレーザ装置はパルス発振レーザであり、
前記演算手段は、前記発光強度信号とレーザガス交換後のレーザ発振パルス数とに基づいて前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算することを特徴とする請求項1記載のガスレーザ装置。 - 前記ガスレーザ装置はパルス発振レーザであり、
前記演算手段は、前記発光強度信号とレーザ発振の繰り返し周波数とに基づいて前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算することを特徴とする請求項1記載のガスレーザ装置。 - 前記ガスレーザ装置は、レーザ光を所定の周期で所定回数連続してパルス発振させる連続発振運転と、この連続発振運転後に前記連続パルス発振を所定時間停止させる停止運転とを交互に繰り返すものであり、
前記演算手段は、前記連続発振運転開始時の最初のパルス発振から予め設定した所定個数目のパルス発振における前記発光強度検出手段の検出信号に基づき前記特定のガスのガス濃度またはガス分圧を演算することを特徴とする請求項1記載のガスレーザ装置。 - 前記演算手段の演算出力に基づいてレーザガスの注入制御および排気制御を実行するガス注入排気制御手段をさらに具える請求項1〜7に何れかに記載のガスレーザ装置。
- レーザ光を狭帯域化する狭帯域化モジュールを更に具え、
前記発光強度検出手段は、前記狭帯域化モジュール内で前記特定のガスの放出光を受光する受光手段を具える請求項1記載のガスレーザ装置。
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