JP5605145B2 - 乾燥装置、およびモールドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、乾燥装置、およびモールドの製造方法に関する。

近年、可視光の波長以下の周期の微細凹凸構造を表面に有する物品は、反射防止効果、ロータス効果等を発現することが知られている。特に、モスアイ構造と呼ばれるナノオーダーの微細凹凸構造は、空気の屈折率から物品の材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。

物品の表面に微細凹凸構造を形成する方法としては、例えば微細凹凸構造の反転構造が表面に形成された円筒状のモールドを用い、該モールドの微細凹凸構造を物品の表面に転写する方法（ナノインプリント法）が注目されている。

このような円筒状のモールドは、例えば円筒状のアルミニウム基材を電解液中で陽極酸化して、アルミニウム基材の周面に複数の細孔を有する陽極酸化アルミナを形成する工程と、該細孔の径を拡大させる工程とを繰り返し行いモールド本体を得た後、該モールド本体を洗浄・乾燥することによって製造される。
モールド本体の洗浄・乾燥は、モールド本体を所定の装置に設置し、装置内を開放またはクリーンエアを供給しながら純水で満たした後、徐々に排水することによって行われていた。
しかし、このような徐々に排水する方法では乾燥に時間がかかるため、短時間でモールド本体を乾燥できる方法が望まれていた。

円筒体の乾燥方法としては、例えば特許文献１には、アルミニウムまたはアルミニウム合金製の素管に洗浄液を噴射させて素管を洗浄した後、素管の軸方向に移動するスプレーノズルを用い、素管を回転させながら素管の内面および外面にエアを噴射させて素管を乾燥させる方法が開示されている。
また、特許文献２には、外周面に凹部と凸部を連ねる棒状ワークの中心軸に向かって上方から、棒状ワークの長さ方向と同等かそれ以上の吐出幅を有する第１エアブローノズルを用いて、棒状ワーク全体にエアを吹き付けて水分を棒状ワークの下部に寄せ集め、ついで棒状ワークの中心軸に向かって下方から、棒状ワークに沿って往復動する第２エアブローノズルを用いてエアを吹き付けて、寄せ集めた水分を除去する方法が開示されている。

特開２００６−１０６３８０号公報 特開２００７−２７５７７１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の方法では、エアが当たった部分から乾燥していくが、エアが当っていない部分も自然乾燥していくため、素管の軸方向における上流側と下流側とで乾燥斑が発生し、これがシミの発生の原因となる問題があった。特に、素管が大型になると軸方向の長さも長くなるため、スプレーノズルの移動に時間がかかりやすく、乾燥斑の発生が顕著であった。
また、特許文献２に記載の方法では、棒状ワークの中心軸に向かって上方から棒状ワーク全体にエアを吹き付けるため、棒状ワークの長さ方向において均一にエアを吹き付けるのが困難であり、乾燥斑が発生しやすかった。また、棒状ワークの表面状態にも多少の斑があるため、乾燥斑が発生しやすかった。さらに、棒状ワークの中心軸に向かって下方からエアを吹き付けて寄せ集めた水分を除去するため、棒状ワークの上方へ水滴が再付着し、シミの発生の原因となることがあった。

乾燥斑や水滴の再付着などによってモールドにシミが発生すると、該モールドを用いて物品の表面に微細凹凸構造を転写したときにシミの形状も一緒に転写されるため、製品外観の悪化を招く。
特に、ナノオーダーの微細凹凸構造を有するモールドの場合は、シミの影響が顕著に現れる。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、大型のモールドを製造する場合でも短時間で斑なく乾燥でき、シミの発生を抑制できるモールドの製造方法と、この製造方法に好適に用いられる乾燥装置の提供を目的とする。

本発明の乾燥装置は、周面に微細凹凸構造を有する円筒状のモールド本体を乾燥させる乾燥装置において、モールド本体を回転させる回転手段と、回転するモールド本体の周面に一定幅でエアを吹き掛ける第１のエアノズルと、エアの吹き掛けと同時に、エアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛ける水掛ノズルとを備え、前記モールド本体の軸方向が鉛直方向であり、エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体の周面の上から下へ移動するように、前記モールド本体と第１のエアノズルと水掛ノズルとが相対移動し、かつ水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように水掛ノズルが配置されたことを特徴とする。

また、本発明の乾燥装置は、周面に微細凹凸構造を有する円筒状のモールド本体を乾燥させる乾燥装置において、モールド本体を回転させる回転手段と、回転するモールド本体の周面に一定幅でエアを吹き掛ける第１のエアノズルと、エアの吹き掛けと同時に、エアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛ける水掛ノズルとを備え、前記モールド本体の軸方向が鉛直方向であり、前記第１のエアノズルのエア吐出口形状が矩形状であり、かつ、モールド本体に対する第１のエアノズルの向きが下記（１）〜（３）を満たすことを特徴とする。
（１）モールド本体の軸方向から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向が、モールド本体の中心と第１のエアノズルの先端中心を結ぶ線と、第１のエアノズルの先端中心からモールド本体の回転方向と反対に延び、モールド本体の円周に接する接線との間である。
（２）第１のエアノズルの側面から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向とモールド本体の軸方向とのなす角度ｂが５０〜９０°である（但し、角度ｂは鉛直方向下向きを０°とする。）。
（３）モールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの、第１のエアノズルのエア吐出口の長手方向と、モールド本体の軸方向とのなす角度ｃが２０〜７０°である（但し、角度ｃは鉛直方向下向きを０°とし、かつ第１のエアノズルは後方から見たときに、鉛直方向下向きを基準としてモールド本体の回転方向側に傾いている。）。

さらに、モールド本体の上端にエアを吹き掛け、上端の水を一箇所に集める第２のエアノズルと、一箇所に集められた水を吸引する吸引ノズルとを備えたことが好ましい。

また、本発明のモールドの製造方法は、円筒状の基材の周面に微細凹凸構造を形成し、モールド本体を得る微細凹凸形成工程と、モールド本体を洗浄する洗浄工程と、洗浄後のモールド本体を乾燥する乾燥工程とを有するモールドの製造方法において、前記乾燥工程は、モールド本体を回転させながら、第１のエアノズルによりモールド本体の周面に一定幅でエアを吹き掛けてモールド本体を乾燥させるエア吹き掛け工程と、水掛ノズルによりエアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛ける水吹き掛け工程とを同時に行うことを特徴とする。

ここで、前記乾燥工程は、モールド本体の軸方向を鉛直方向に向け、エア吐出口形状が矩形状である第１のエアノズルを用い、かつ、モールド本体に対する第１のエアノズルの向きが下記（１）〜（３）を満たすように第１のエアノズルを配置することが好ましい。
（１）モールド本体の軸方向から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向が、モールド本体の中心と第１のエアノズルの先端中心を結ぶ線と、第１のエアノズルの先端中心からモールド本体の回転方向と反対に延び、モールド本体の円周に接する接線との間である。
（２）第１のエアノズルの側面から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向とモールド本体の軸方向とのなす角度ｂが５０〜９０°である（但し、角度ｂは鉛直方向下向きを０°とする。）。
（３）モールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの、第１のエアノズルのエア吐出口の長手方向と、モールド本体の軸方向とのなす角度ｃが２０〜７０°である（但し、角度ｃは鉛直方向下向きを０°とし、かつ第１のエアノズルは後方から見たときに、鉛直方向下向きを基準としてモールド本体の回転方向側に傾いている。）。

また、エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体の周面の上から下へ移動するように、かつ同じ場所にエアが２回以上吹き掛かるように、前記モールド本体と第１のエアノズルと水掛ノズルを相対移動させることが好ましい。
さらに、水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように水掛ノズルを配置することが好ましい。
また、前記乾燥工程は、第２のエアノズルによりモールド本体の上端にエアを吹き掛けて上端の水を一箇所に集め、一箇所に集められた水を吸引ノズルにより吸引し、モールド本体の上端を乾燥することが好ましい。
さらに、本発明のモールドの製造方法は、前記微細凹凸構造を構成する凹部の深さがナノオーダーであるモールドの製造に好適である。

本発明によれば、大型のモールドを製造する場合でも短時間で斑なく乾燥でき、シミの発生を抑制できるモールドの製造方法と、この製造方法に好適に用いられる乾燥装置を提供できる。

本発明の乾燥装置の一例を示す断面図である。 モールド本体に対する第１のエアノズルの向きを示す図であり、図２（ａ）はモールド本体の軸方向から見たときの平面図であり、図２（ｂ）は第１エアノズルの側面から見たときの側面図であり、図２（ｃ）はモールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの側面図である。 本発明の乾燥装置の他の例を示す図であり、図３（ａ）は第１エアノズルの側面から見たときの側面図であり、図３（ｂ）はモールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの側面図である。 表面に微細凹凸構造を有するモールド本体の製造工程の一例を示す断面図である。

以下、本発明を詳細に説明する。
［乾燥装置］
本発明の乾燥装置は、モールドの製造過程において洗浄されたモールド本体を乾燥するための装置である。
図１に本発明の乾燥装置の一例を示す。
図１に示す乾燥装置１は、モールド本体１０を回転させる回転手段２０と、回転するモールド本体１０の周面に一定幅でエアを吹き掛ける第１のエアノズル３０と、エアの吹き掛けと同時に、エアが吹き掛かっていないモールド本体１０の周面に水を吹き掛ける水掛ノズル４０と、モールド本体１０の上端１０ａにエアを吹き掛け、上端１０ａの水を一箇所に集める第２のエアノズル５０と、一箇所に集められた水を吸引する吸引ノズル６０と、フィルタユニット７０とを備えて構成される。
なお、回転手段２０は、モールド本体１０と、第１のエアノズル３０および水掛ノズル４０とをモールド本体１０の周方向に相対的に移動させるものであってもよい。例えば、回転手段２０は、固定されたモールド本体１０の周囲を、第１のエアノズル３０と水掛ノズル４０とを軸方向Ｃ１を中心に回転移動させる手段であっても構わない。本発明においては、このようなものも回転手段２０に含むものとする。
また、図１に示す乾燥装置１では、モールド本体１０の軸方向Ｃ１が鉛直方向である。

モールド本体１０は、円筒状の基材（例えばアルミニウム基材など）からなり、周面に微細凹凸構造を有する。また、図１に示すモールド本体１０は中空状であり、胴体部１１と、該胴体部１１の両端に位置し、胴体部１１よりも直径が小さい上端部１２および下端部１３とで構成されていても構わない。このような構成のモールド本体１０を用いてナノインプリントする際は、胴体部１１が物品と接触する。従って、微細凹凸構造は胴体部１１の外周面に形成されていればよく、上端部１２および下端部１３の周面については形成されていてもよいし、形成されていなくてもよい。

モールド本体１０は、詳しくは後述するが、例えば円筒状のアルミニウム基材を電解液中で陽極酸化して、アルミニウム基材の周面に複数の細孔（凹部）を有する陽極酸化アルミナを形成する工程と、該細孔の径を拡大させる工程とを繰り返し行うことで得られる。
このようにして得られたモールド本体１０の表面には各工程で用いた処理液が付着しているので、モールド本体１０は水で洗浄された後、本発明の乾燥装置１に設置される。

本発明の一実施形態においては、回転手段２０は、回転台座２１と、回転台座２１に接続された回転駆動部２２を有する。モールド本体１０は、下端部１３が回転台座２１に接するようにして、回転台座２１上に支持されており、回転駆動部２２によって回転台座２１が回転することで、このモールド本体１０が回転するようになっている。

第１のエアノズル３０は、モールド本体１０の周面に一定幅でエアを吹き掛けるものである。一定幅の大きさについては特に制限されないが、モールド本体１０の軸方向Ｃ１の長さよりも狭いことが好ましい。
第１のエアノズル３０は、モールド本体１０の軸方向Ｃ１と並行に設けられた第１の移動手段３１に取り付けられており、モールド本体１０の軸方向Ｃ１に沿って往復移動が可能となっている。
第１のエアノズル３０の吐出口形状としては、一定幅でエアを吹き掛けるものであれば特に限定はされず、矩形状、円形状、楕円形状などが挙げられる。
また、エアが吹き出すノズルの孔形状としては、複数の孔が直線状に並んだ形状や、細長い連続スロット形状などが挙げられる。

第１のエアノズル３０は、モールド本体１０に対する向きが下記（１）〜（３）を満たすように配置されるのが好ましい。ただし、第１のエアノズル３０の吐出口形状は矩形状である。
（１）モールド本体の軸方向から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向が、モールド本体の中心と第１のエアノズルの先端中心を結ぶ線と、第１のエアノズルの先端中心からモールド本体の回転方向と反対に延び、モールド本体の円周に接する接線との間である。
（２）第１のエアノズルの側面から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向とモールド本体の軸方向とのなす角度ｂが５０〜９０°である（但し、角度ｂは鉛直方向下向きを０°とする。）。
（３）モールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの、第１のエアノズルのエア吐出口の長手方向と、モールド本体の軸方向とのなす角度ｃが２０〜７０°である（但し、角度ｃは鉛直方向下向きを０°とし、かつ第１のエアノズルは後方から見たときに、鉛直方向下向きを基準としてモールド本体の回転方向側に傾いている。）。

ここで、図２を参照しながら上記（１）〜（３）について説明する。以下、（１）〜（３）を条件（１）〜（３）という。
図２はモールド本体に対する第１のエアノズルの向きを示す図であり、図２（ａ）はモールド本体１０の軸方向から見たときの平面図であり、図２（ｂ）は第１エアノズル３０の側面から見たときの側面図であり、図２（ｃ）はモールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの側面図である。

条件（１）：
条件（１）は、図２（ａ）に示すように、モールド本体１０の軸方向から見たときの、第１のエアノズル３０のエア吹き掛け方向Ｃ２が、モールド本体１０の中心Ｐ１と第１のエアノズル３０の先端中心Ｐ２を結ぶ線Ｌ１と、第１のエアノズル３０の先端中心Ｐ２からモールド本体１０の回転方向と反対に延び、モールド本体１０の円周に接する接線Ｌ２との間（線Ｌ１と線Ｌ２の内側）である。すなわち、エア吹き掛け方向Ｃ２と線Ｌ１とのなす角をａ、線Ｌ１と線Ｌ２とのなす角をθとしたとき、角度ａは０°≦ａ≦θである。但し、角度ａは線Ｌ１を０°とする。

エア吹き掛け方向Ｃ２が上記範囲内であれば、モールド本体１０の周面にエアを十分に吹き掛けることができると共に、周面に付着した水を回転方向と反対に飛ばすことができ、効率よくモールド本体１０を乾燥できる。
エア吹き掛け方向Ｃ２が線Ｌ１よりも外側になると、回転するモールド本体１０の同伴流の影響を受けて水切りが不十分となり、モールド本体が十分に乾燥されにくくなる傾向にある。一方、エア吹き掛け方向Ｃ２が線Ｌ２よりも外側になると、モールド本体１０の周面にエアが十分に吹き掛からず、乾燥に時間を要する傾向にある。
エア吹き掛け方向Ｃ２は線Ｌ１と線Ｌ２との中間、すなわちａ＝θ／２が好ましく、エアの吹き掛けと水切りのバランスを良好に保つことができる。

条件（２）：
条件（２）は、図２（ｂ）に示すように、第１のエアノズル３０の側面から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向Ｃ２とモールド本体１０の軸方向Ｃ１とのなす角度ｂが５０〜９０°である（但し、角度ｂは鉛直方向下向きを０°とする。）。
角度ｂが９０°以下であれば、モールド本体１０の周面に付着した水を効率よく下方に移動させることができるので、上方（すなわち、既に乾燥した部分）に水が再付着するのを抑制できる。

また、角度ｂが９０°のとき、エア吹き掛け方向Ｃ２は水平であることを意味し、第１のエアノズル３０の先端面３１はモールド本体１０の軸方向Ｃ１に対して略平行となる。
一方、角度ｂが９０°より小さくなると、エア吹き掛け方向Ｃ２は斜め下向きであることを意味するため、第１のエアノズル３０も斜め下向きに傾く。その結果、第１のエアノズル３０の先端面３１はモールド本体１０の軸方向Ｃ１に対して平行でなくなり、下方にいくほどモールド本体１０の周面から離れる。角度ｂが小さくなるほど第１のエアノズル３０の傾きは大きくなるため、先端面３１の下方部分におけるモールド本体１０の周面からの水平距離が長くなり、エアの吹き掛け効率が低下する傾向にある。
角度ｂが５０°以上であれば、先端面３１の下方部分におけるモールド本体１０の周面からの水平距離が長くなりすぎるのを抑制できるので、エアの吹き掛け効率を良好に維持できる。
角度ｂは６０〜９０°が好ましく、特にモールド本体１０の周面に均一かつ効率よくエアを吹き掛けることができる点で、９０°がより好ましい。

なお、第１のエアノズル３０は、モールド本体１０の周面から第１のエアノズル３０の先端面３１までの最短水平距離ｈが５〜２０ｍｍとなるように配置されるのが好ましい（条件（４））。
最短水平距離ｈが５ｍｍ以上であれば、第１のエアノズル３０とモールド本体１０とが意図せずに接触してしまうことを防止することができ、モールド本体１０に傷等が発生することを抑制することが可能となる。一方、最短水平距離ｈが２０ｍｍ以下であれば、第１のエアノズル３０からのエアの吹き出し速度を必要以上に速くせずとも、十分な乾燥能力を得ることが可能となる。
最短水平距離ｈは５ｍｍが好ましい。
ここで、最短水平距離ｈとは、第１のエアノズル３０の先端面３１のうちモールド本体１０（モールド本体１０が胴体部１１、上端部１２、下端部１３から構成される場合は胴体部１１）の周面に最も近い箇所から、該周面までの水平距離のことである。

条件（３）：
条件（３）は、図２（ｃ）に示すように、モールド本体１０の水平方向、かつ第１のエアノズル３０の後方から見たときの、第１のエアノズル３０のエア吐出口の長手方向Ｃ３と、モールド本体１０の軸方向Ｃ１とのなす角度ｃが２０〜７０°である（但し、角度ｃは鉛直方向下向きを０°とし、かつ第１のエアノズルは後方から見たときに、鉛直方向下向きを基準としてモールド本体の回転方向側に傾いている。）。
角度ｃが２０°以上であれば、モールド本体１０の周面に付着した水を効率よく下方に移動させることができる。一方、角度ｃが７０°以下であれば、エアの吹き掛け効率を良好に維持できる。
角度ｃは３０〜６０°が好ましく、特に水をより効果的に水切りできる点で、４５°がより好ましい。

水掛ノズル４０は、エアが吹き掛かっていないモールド本体１０の周面に水を吹き掛けるものであり、モールド本体１０を挟んで第１のエアノズル３０と対向配置され、かつ水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように配置されるのが好ましい。
ここで、「エアが吹き掛かっていないモールド本体の周面」とは、エアの吹き掛けによって乾燥していない部分のことである。

また、水掛ノズル４０は、モールド本体１０の軸方向と並行に設けられた第２の移動手段４１に取り付けられており、モールド本体１０の軸方向に沿って往復移動が可能となっている。
水掛ノズル４０から吐出される水としては、モールド本体への異物付着を効果的に防止できる点で、不純物が除去された水を用いる。具体的には、蒸留水、イオン交換水、純水、超純水などが挙げられる。

第２のエアノズル５０は、モールド本体１０の上端１０ａ、主に上端部１２にエアを吹き掛けるものであり、図１に示すようにモールド本体１０の上方に配置される。
エアは、第１のエアノズル３０によって、モールド本体１０の端から端まで吹き掛けられるが、図１に示すようにモールド本体１０が胴体部１１、上端部１２、および下端部１３から構成される場合、胴体部１１よりも上端部１２の直径が小さく、モールド本体１０の上端１０ａは段差状になっているため、この部分は胴体部１１の縁１１ａに水が溜まりやすい。従って、第１のエアノズルによるエアの吹き掛けだけでは水切りが困難となる傾向にある。その結果、残留する水が胴体部１１の周面に垂れ落ち、再付着してシミの発生の原因となる恐れがある。

第２のエアノズル５０によりモールド本体１０の上端１０ａにエアを吹き掛けることで、上端１０ａの水を一箇所に集めることができる。そして、後述する吸引ノズル６０にて集められた水を吸引することで、モールド本体１０の上端１０ａも十分に乾燥でき、水が胴体部１１の周面に垂れ落ちて再付着するのを抑制できる。
なお、モールド本体１０の下端１０ｂについては、胴体部１１と下端部１３とで段差状になっていても、胴体部１１よりも下端部１３の直径が小さいため、第１のエアノズル３０によるエアの吹き掛けだけでも水が下方に移動しやすく、容易に水切りできる。また、胴体部１１よりも下端部１３は下に位置することから、水が垂れ落ちることも無い。従って、胴体部１１の周面へ水が再付着しにくい。

第２のエアノズル５０の吐出口形状としては矩形状、円形状、楕円形状などが挙げられる。
第２のエアノズル５０の設置数は特に制限されず、図１に示すように１つでもよいし、図３（ａ）、（ｂ）に示すように複数でもよいが、複数であればモールド本体１０の上端１１ａの２点以上の箇所からエアを吹き掛けることになり、効率よく乾燥できる。

吸引ノズル６０は、第２のエアノズル５０によって一箇所に集められた水を吸引するものである。
吸引ノズル６０の配置場所は、一箇所に集められた水がモールド本体１０の胴体部１１の周面に垂れ落ちる前に吸引できる場所であれば特に制限されないが、モールド本体１０の上端部１２を挟んで第２のエアノズル５０と対向配置されるのが好ましい。
吸引ノズル６０としては、水を吸引できるものであれば特に制限されない。

フィルタユニット７０は、乾燥装置１内をクリーン環境下にするためのものである。フィルタユニット７０を備えることで、モールド本体１０をクリーン環境下で乾燥でき、異物の付着を防止できる。
フィルタユニット７０に用いられるフィルタとしては、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタが好ましい。
なお、本発明において「クリーン環境下」とは、ＦＥＤ規格でクラス１０００以下のことであり、異物の付着をより効果的に防止できる点でクラス１０００以下が好ましい。

本発明の乾燥装置１は、エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体１０の周面の上から下へ移動するように、モールド本体１０と第１のエアノズル３０と水掛ノズル４０とが相対移動するのが好ましい。具体的には、第１の移動手段３１および第２の移動手段４１によって、第１のエアノズル３０および水掛ノズル４０がモールド本体１０の軸方向Ｃ１に沿って、上から下へ移動するのが好ましい。その際、水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように水掛ノズルが移動するのが好ましい。
エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体１０の周面の上から下へ移動することで、大型のモールドを製造する場合でも、短時間で乾燥できる。

以上説明した本発明の乾燥装置は、第１のエアノズルによりモールド本体の周面にエアを吹き掛けて乾燥させるので、徐々に排水する方法に比べて短時間でモールド本体を乾燥できる。
加えて、エアの吹き掛けと同時に、水掛ノズルによりエアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛けるので、エアが吹き掛かっていない部分が自然乾燥しにくく、モールド本体を斑なく乾燥でき、シミの発生を抑制できる。

特に、モールド本体に対する第１のエアノズルの向きが条件（１）〜（３）を満たすように、第１のエアノズルを配置すれば、効率よくエアをモールド本体の周面に吹き掛け、水切りすることができるので、少ない風量でも短時間でモールド本体を乾燥できる。
また、第２のエアノズルおよび吸引ノズルを備えれば、図１に示すようにモールド本体１０の上端が乾燥しにくい段差状になっていても十分に乾燥でき、水が胴体部１１の周面に垂れ落ちて再付着するのを抑制できる。
さらに、フィルタユニット７０を備えれば、乾燥中にモールド本体に異物が付着するのを抑制できる。従って、物品の表面に微細凹凸構造を転写したときの製品外観の悪化をより防止できる。

このように、本発明の乾燥装置であれば、大型のモールドを製造する場合でも短時間で斑なく乾燥できる。よって、シミの発生を抑制できるので、物品の表面に微細凹凸構造を転写したときにシミの形状が転写されにくく、良好な製品外観を維持できる。
本発明の乾燥装置はモールドの製造過程で用いられるが、特にシミの影響が顕著に現れやすいナノオーダーの微細凹凸構造を有するモールドを製造する際に用いられる乾燥装置として好適である。

［モールドの製造方法］
本発明のモールドの製造方法は、円筒状のアルミニウム基材の表面に微細凹凸構造を形成し、モールド本体を得る微細凹凸形成工程と、モールド本体を洗浄する洗浄工程と、洗浄後のモールド本体を乾燥する乾燥工程とを有する。

＜微細凹凸形成工程＞
微細凹凸形成工程は、円筒状のアルミニウム基材の表面に微細凹凸構造を形成し、モールド本体を得る工程である。
ここで、微細凹凸構造を形成する方法としては、例えばアルミニウム基材を電解液中で陽極酸化して、アルミニウム基材の外周面に複数の細孔（凹部）を有する陽極酸化アルミナを形成する工程と、該細孔の径を拡大させる工程とを繰り返し行う方法が挙げられる。具体的には、以下の工程（ａ）〜（ｅ）を行うのが好ましい。

（ａ）ロール状のアルミニウム基材を電解液中、定電圧下で陽極酸化してアルミニウム基材の表面に酸化皮膜を形成する工程。
（ｂ）酸化皮膜を除去し、アルミニウム基材の表面に陽極酸化の細孔発生点を形成する工程。
（ｃ）アルミニウム基材を電解液中、再度陽極酸化し、細孔発生点に細孔を有する酸化皮膜を形成する工程。
（ｄ）細孔の径を拡大させる工程。
（ｅ）工程（ｃ）と工程（ｄ）を繰り返し行い、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナがアルミニウム基材の表面に形成されたモールドを得る工程。

ここで、図４を用い、工程（ａ）〜（ｅ）について説明する。
工程（ａ）：
図４（ａ）に示すように、アルミニウム基材１４を陽極酸化すると、細孔（凹部）１５を有する酸化皮膜１６が形成される。
アルミニウム基材は、表面状態を平滑化にするために、機械研磨、羽布研磨、化学的研磨、電解研磨処理（エッチング処理）などで研磨されることが好ましい。また、アルミニウム基材は、所定の形状に加工する際に用いた油が付着していることがあるため、陽極酸化の前に予め脱脂処理されることが好ましい。

アルミニウムの純度は、９９％以上が好ましく、９９．５％以上がより好ましく、９９．８％以上が特に好ましい。アルミニウムの純度が低いと、陽極酸化した時に、不純物の偏析によって可視光を散乱する大きさの凹凸構造が形成されたり、陽極酸化で得られる細孔の規則性が低下したりすることがある。

電解液としては、シュウ酸、硫酸等の水溶液が挙げられる。
これら電解液は１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

シュウ酸水溶液を電解液として用いる場合：
シュウ酸水溶液の濃度は、０．７Ｍ以下が好ましい。シュウ酸水溶液の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。
化成電圧が３０〜６０Ｖの時、周期が１００ｎｍの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向にある。
電解液の温度は、６０℃以下が好ましく、４５℃以下がより好ましい。電解液の温度が６０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。

硫酸水溶液を電解液として用いる場合：
硫酸水溶液の濃度は０．７Ｍ以下が好ましい。硫酸水溶液の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。
化成電圧が２５〜３０Ｖの時、周期が６３ｎｍの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向がある。
電解液の温度は、３０℃以下が好ましく、２０℃以下がより好ましい。電解液の温度が３０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。

工程（ｂ）：
図４（ｂ）に示すように、酸化皮膜１６を一旦除去し、これを陽極酸化の細孔発生点１７にすることで細孔の規則性を向上することができる。
酸化皮膜を除去する方法としては、アルミニウムを溶解せず、酸化皮膜を選択的に溶解する溶液に溶解させて除去する方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、クロム酸／リン酸混合液等が挙げられる。

工程（ｃ）：
図４（ｃ）に示すように、酸化皮膜を除去したアルミニウム基材１４を再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔１５を有する酸化皮膜１６が形成される。
陽極酸化は、工程（ａ）と同様な条件で行えばよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。

工程（ｄ）：
図４（ｄ）に示すように、細孔１５の径を拡大させる処理（以下、細孔径拡大処理と記す。）を行う。細孔径拡大処理は、酸化皮膜を溶解する溶解液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶解液としては、例えば、５質量％程度のリン酸水溶液等が挙げられる。
細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。

工程（ｅ）：
図４（ｅ）に示すように、再度、工程（ｃ）を行うと、円柱状の細孔１５の底部から下に延びる、直径の小さい円柱状の細孔１５がさらに形成される。その後、再度、工程（ｄ）を行う。
このように工程（ｃ）と工程（ｄ）を繰り返すと、図４（ｆ）に示すように、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔１５を有する酸化皮膜１６が形成され、アルミニウム基材１４の表面に陽極酸化アルミナ（アルミニウムの多孔質の酸化皮膜（アルマイト））を有するモールド本体１０が得られる。最後は工程（ｄ）で終わることが好ましい。

繰り返し回数は、合計で３回以上が好ましく、５回以上がより好ましい。繰り返し回数が２回以下では、非連続的に細孔の直径が減少するため、このような細孔を有する陽極酸化アルミナを用いて形成された多孔質構造（モスアイ構造）の反射率低減効果は不十分である。

細孔１５の形状としては、略円錐形状、角錐形状、円柱形状、釣鐘状等が挙げられ、円錐形状、角錐形状等のように、深さ方向と直交する方向の細孔断面積が最表面から深さ方向に連続的に減少する形状が好ましい。

細孔１５間の平均間隔は、可視光の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下である。細孔１５間の平均間隔は、２０ｎｍ以上が好ましい。
細孔１５間の平均間隔は、電子顕微鏡観察によって隣接する細孔１５間の間隔（細孔４１５の中心から隣接する細孔１５の中心までの距離）を５０点測定し、これらの値を平均したものである。

細孔１５の深さは、ナノオーダーが好ましい。
ここで、「ナノオーダー」とは１ｎｍ以上１μｍ未満のことである。
細孔１５の深さは、８０〜５００ｎｍがより好ましく、１２０〜４００ｎｍが特に好ましく、１５０〜３００ｎｍが最も好ましい。
細孔１５の深さは、電子顕微鏡観察によって倍率３００００倍で観察したときにおける、細孔１５の最底部と、細孔１５間に存在する凸部の最頂部との間の距離を測定した値である。
細孔１５のアスペクト比（細孔の深さ／細孔間の平均間隔）は、０．８〜５．０が好ましく、１．２〜４．０がより好ましく、１．５〜３．０が特に好ましい。

＜洗浄工程＞
洗浄工程は、微細凹凸形成工程により得られたモールド本体を洗浄する工程である。
モールド本体には、微細凹凸構造を形成する際に用いた薬剤（例えば細孔径拡大処理に用いたリン酸水溶液等）や不純物（埃等）等が付着しているため、洗浄工程において水洗によってこれらを除去する。
洗浄方法としては、モールド本体に付着した薬剤や不純物等を除去できる方法であれば特に限定されず、スプレー洗浄、シャワー洗浄、浸漬洗浄などが挙げられる。また、これらの方法を組み合わせて用いてもよい。

＜乾燥工程＞
乾燥工程は、洗浄後のモールド本体を乾燥する工程である。
乾燥工程では、例えば図１に示す本発明の乾燥装置１を用い、回転手段２０によりモールド本体１０を回転させながら、第１のエアノズル３０によりモールド本体１０の周面に一定幅でエアを吹き掛けてモールド本体１０を乾燥させるエア吹き掛け工程と、水掛ノズル４０によりエアが吹き掛かっていないモールド本体１０の周面に水を吹き掛ける水吹き掛け工程とを同時に行う。
エア吹き掛け工程と水吹き掛け工程とを同時に行うことで、エアが吹き掛かっていない部分が自然乾燥しにくく、モールド本体１０を斑なく乾燥でき、シミの発生を抑制できる。

モールド本体１０にエアを吹き掛ける際は、エアの吹き掛け面が一定幅になるようにするが、モールド本体１０の軸方向Ｃ１の長さよりも狭い幅でエアを吹き掛けることが好ましい。これにより、効率よくエアを吹き掛けることができる。

第１のエアノズル３０からのエアの吹き出し風速は、３５〜７０ｍ／ｓであることが好ましい。エアの吹き出し風速が３５ｍ／ｓ以上であれば、第１のエアノズル３０とモールド本体１０とを必要以上に接近させることなくモールド本体１０を乾燥できるため、第１のエアノズル３０とモールド本体１０とが接触し、モールド本体１０に傷等が発生することを防止できる。一方、エアの吹き出し風速が７０ｍ／ｓ以下であれば、吹き出したエアにより水が飛散し、モールド本体１０の乾燥済みの部位に付着することで乾燥ムラが発生してしまうことを防止できる。

モールド本体１０に吹き掛けるエアおよび水の温度は、それぞれ１５〜３０℃であることが好ましい。各温度が３０℃以下であれば、モールド本体１０を構成するアルミニウムが腐食するのを抑制できる。なお、各温度が１５℃未満であると、モールドの表面で容易に結露が発生する可能性があり、乾燥斑が発生する恐れがある。一方、各温度が３０℃を超えると、モールド本体１０の表面の乾燥が早くなりすぎ、水を同時に供給していても意図しない乾燥ムラが発生してしまう恐れがある。

乾燥工程は、図１、２に示すようにモールド本体の軸方向を鉛直方向に向け、エア吐出口形状が矩形状である第１のエアノズル３０を用い、かつモールド本体に対する第１のエアノズル３０の向きが上述した条件（１）〜（３）を満たすように第１のエアノズルを配置して、モールド本体１０を乾燥するのが好ましい。また、モールド本体１０の周面から第１のエアノズル３０の先端面３１までの最短水平距離ｈが５〜２０ｍｍとなるように第１のエアノズル３０を配置して、モールド本体１０を乾燥するのが好ましい（条件（４））。

条件（１）〜（３）を満たすように第１のエアノズルを配置すれば、効率よくエアをモールド本体の周面に吹き掛け、水切りすることができるので、少ない風量でも短時間でモールド本体を乾燥できる。
なお、条件（４）を満たすように第１のエアノズルを配置する際は、最短水平距離ｈに合わせて上述したエアの吹き出し風速を調節するのが好ましい。具体的には、最短水平距離ｈが長くなるに連れて、エアの吹き出し風速が早くなるように調節するのが好ましく、例えば最短水平距離ｈが５ｍｍの場合はエアの吹き出し風速を３５ｍ／ｓ、最短水平距離ｈが２０ｍｍの場合はエアの吹き出し風速を７０ｍ／ｓに調節するのが好ましい。

また、乾燥工程は、エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体１０の周面の上から下へ移動するように、かつ同じ場所にエアが２回以上吹き掛かるように、モールド本体１０と第１のエアノズル３０と水掛ノズル４０を相対移動させながら、モールド本体１０を乾燥するのが好ましい。
具体的には、第１の移動手段３１および第２の移動手段４１によって、第１のエアノズル３０および水掛ノズル４０をモールド本体１０の軸方向Ｃ１に沿って、上から下へ移動させるのが好ましい。その際、水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように水掛ノズル４０を移動させるのが好ましい。

エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体１０の周面の上から下へ移動することで、大型のモールドを製造する場合でも、短時間で乾燥できる。
また、同じ場所にエアが２回以上吹き掛かることで、モールド本体１０の周面にまんべんなくエアを吹き掛けることができ、斑なく均一に乾燥できる。

さらに、乾燥工程は、図１、３に示すように、第２のエアノズル５０によりモールド本体１０の上端にエアを吹き掛けて上端の水を一箇所に集め、一箇所に集められた水を吸引ノズル６０により吸引し、モールド本体１０の上端を乾燥することが好ましい。これにより、モールド本体１０の上端が乾燥しにくい段差状になっていても十分に乾燥でき、水が胴体部１１の周面に垂れ落ちて再付着するのを抑制できる。
モールド本体１０の上端に吹き掛けるエアの温度は、１５〜３０℃であることが好ましい。温度が１５℃以上であれば、モールド本体１０の表面で結露が発生することを防止できる。一方、温度が３０℃以下であれば、モールド本体１０を構成するアルミニウムが腐食するのを抑制できる。

また、乾燥工程は、フィルタユニット７０により乾燥装置１内をクリーン環境下にすることが好ましい。特に、ＦＥＤ規格でクラス１０００以下のクリーン環境下でモールド本体１０を乾燥するのが好ましい。これにより、モールド本体１０に異物が付着するのを防止できる。

このようにして乾燥されたモールド本体は、そのままモールドとして使用できるが、モールド本体の微細凹凸構造が形成された側の表面を離型剤で処理してもよい。
離型剤としては、アルミニウム基材の陽極酸化アルミナと化学結合を形成し得る官能基を有するものが好ましい。具体的には、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、フッ素化合物等が挙げられ、離型性に優れる点、モールド本体との密着性に優れる点から、シラノール基あるいは加水分解性シリル基を有することが好ましく、その中でも加水分解性シリル基を有するフッ素化合物が特に好ましい。

なお、モールド本体の表面が離型剤で処理されたことは、モールド本体の表面の水接触角を測定することによって確認できる。離型剤で処理されたモールド本体の表面の水接触角は、６０°以上が好ましく、９０°以上がより好ましい。水接触角が ６０°以上であれば、モールド本体の表面が離型剤で十分に処理され、離型性が良好となる。

以上説明した本発明のモールドの製造方法は、乾燥工程において第１のエアノズルによりモールド本体の周面にエアを吹き掛けて乾燥させるので、徐々に排水する方法に比べて短時間でモールド本体を乾燥できる。
加えて、エアの吹き掛けと同時に、水掛ノズルによりエアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛けるので、エアが吹き掛かっていない部分が自然乾燥しにくく、モールド本体を斑なく乾燥でき、シミの発生を抑制できる。

特に、モールド本体に対する第１のエアノズルの向きが条件（１）〜（３）を満たすように、第１のエアノズルを配置すれば、効率よくエアをモールド本体の周面に吹き掛け、水切りすることができるので、少ない風量でも短時間でモールド本体を乾燥できる。
また、第２のエアノズルおよび吸引ノズルを備えれば、図１に示すようにモールド本体１０の上端１１ａが乾燥しにくい段差状になっていても十分に乾燥でき、水が胴体部１１の周面に垂れ落ちて再付着するのを抑制できる。
さらに、フィルタユニット７０を備えれば、乾燥中にモールド本体に異物が付着するのを抑制できる。従って、物品の表面に微細凹凸構造を転写したときの製品外観の悪化をより防止できる。

このように、本発明のモールドの製造方法であれば、大型のモールドを製造する場合でも短時間で斑なく乾燥できる。よって、シミの発生を抑制できるので、物品の表面に微細凹凸構造を転写したときにシミの形状が転写される恐れがなく、良好な製品外観を維持できる。
本発明のモールドの製造方法は、特にシミの影響が顕著に現れやすいナノオーダーの微細凹凸構造を有するモールドを製造する場合に好適である。
本発明により得られたモールド、特にナノオーダーの微細凹凸構造を有するモールドは、ナノインプリント用のモールドとして好適である。

以下、本発明について実施例を挙げて具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。

［実施例１］
＜モールドの作製＞
アルミニウム基材（純度９９．９９％）として、長さ３２０ｍｍ、外径２００ｍｍ、内径１５５ｍｍの胴体部と、長さ２０ｍｍ、外径１９０ｍｍ、内径１５５ｍｍの上端部および下端部からなる中空円柱状のアルミニウム基材を、過塩素酸／エタノール混合溶液（１／４体積比）中で電解研磨したものを用い、以下に示す条件にて微細凹凸形成工程、洗浄工程、および乾燥工程を行ない、モールドを得た。

（微細凹凸形成工程）
工程（ａ）：
該アルミニウム基材について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で６時間陽極酸化を行った。
工程（ｂ）：
酸化皮膜が形成されたアルミニウム板を、６質量％リン酸／１．８質量％クロム酸混合水溶液に３時間浸漬して、酸化皮膜を除去した。
工程（ｃ）：
該アルミニウム板について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。
工程（ｄ）：
酸化皮膜が形成されたアルミニウム板を、３２℃の５質量％リン酸水溶液に８分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
工程（ｅ）：
前記工程（ｃ）と工程（ｄ）を合計で５回繰り返し、平均間隔：１００ｎｍ、深さ：２４０ｎｍの略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールド本体を得た。

なお、モールドの細孔については、以下のようにして測定した。
陽極酸化アルミナの一部を削り、断面にプラチナを１分間蒸着し、電界放出形走査電子顕微鏡（日本電子株式会社製、「ＪＳＭ−７４００Ｆ」）を用いて、加速電圧３．００ｋＶの条件にて断面を観察し、細孔の間隔および細孔の深さを測定した。各測定は、それぞれ５０点について行い、平均値を求めた。

（洗浄工程）
得られたモールド本体について、シャワーを用いて表面に付着したリン酸水溶液を軽く洗い流した後、モールド本体を流水中に１０分間浸漬し、洗浄した。

（乾燥工程）
乾燥工程では、図１に示す乾燥装置１を用いた。
なお、第１のエアノズル３０として、スプレーイングシステムス社製の「ウィンジェットシリーズＡＡＢ７２７（ＡＢＳ製）」を１本、第２のエアノズル５０としてスプレーイングシステムス社製の「ウィンジェットシリーズＡＡＢ７０７（ＡＢＳ製）を３本使用した。
第１のエアノズル３０は、モールド本体１０に対する向きが、上述した条件（１）〜（３）における角度ａ＝０°、角度ｂ＝９０°、角度ｃ＝４５°となるように、また条件（４）における最短水平距離ｈ＝１０ｍｍとなるように配置した（図２参照）。なお、モールド本体１０の中心Ｐ１と第１のエアノズル３０の先端中心Ｐ２を結ぶ線Ｌ１と、第１のエアノズル３０の先端中心Ｐ２からモールド本体１０の回転方向と反対に延び、モールド本体１０の円周に接する接線Ｌ２とのなす角θ＝６５°であった。
また、第２のエアノズル５０は、図３に示すように、９０°の等分配置でモールド本体１０の上方に３本配置した。そして、この３本のうち、中央に位置する第２のエアノズル５０と、モールド本体１０の上端部１２を挟んで対向する位置に、吸引ノズル６０を配置した。

洗浄後のモールド本体を、軸方向Ｃ１が鉛直方向となるように回転手段２０の回転台座２１上に設置した。ＦＥＤ規格でクラス１００のクリーン環境下、回転手段２０により回転速度８０ｒｐｍの条件でモールド本体１０を回転させながら、第１のエアノズル３０によりモールド本体１０の周面に一定幅でエア（風速６０ｍ／ｓ、温度２３℃）を吹き掛けてモールド本体１０を乾燥させると同時に、水掛ノズル４０によりエアが吹き掛かっていないモールド本体１０の周面に水（温度２５℃）を吹き掛けた。その際、第１の移動手段３１および第２の移動手段４１によって、第１のエアノズル３０および水掛ノズル４０をモールド本体１０の軸方向Ｃ１に沿って移動速度３ｍｍ／ｓで、かつ水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように上から下へ移動させ、モールド本体１０の下端部１３まで乾燥させた。
また、第２のエアノズル５０によりモールド本体１０の上端１０ａにエア（風速４０ｍ／ｓ、温度２３℃）を吹き掛けて上端の水を一箇所に集め、一箇所に集めた水を吸引ノズル６０により吸引し、モールド本体１０の上端を乾燥させた。

＜評価＞
（乾燥斑の評価）
乾燥中のモールド本体の周面を目視にて観察し、部分的に水が残っていないか確認した。さらに、乾燥後のモールド本体を暗室に持ち込み、８０ｌｘ程度のライトで表面を照らしながらモールド本体の周面を目視にて観察し、シミの有無を確認し、以下の評価基準にて評価した。結果を表１に示す。
○：シミが発生していない。
△：部分的にシミが発生した。
×：広範囲にわたりシミが発生した。

（異物付着の評価）
乾燥後のモールド本体を暗室に持ち込み、８０ｌｘ程度のライトで表面を照らしながら目視確認できる異物が最も多く付着した部分をマクロ撮影し、撮影した画像上で異物をカウントした。なお、カウントは、モールド本体の周面上における弧の長さ３５ｍｍ×高さ９０ｍｍの領域（評価面積）で行った。カウントした総数を評価面積で除して単位面積当たりの異物の数を求め、以下の評価基準にて評価した。結果を表１に示す。
Ａ：単位面積当たりの異物の数が０．５未満。
Ｂ：単位面積当たりの異物の数が０．５以上、１．０未満。
Ｃ：単位面積当たりの異物の数が１．０以上。

［実施例２〜１０］
条件（１）〜（３）における角度ａ〜ｃ、最短水平距離、および第１のエアノズルのエア吹き出し風速を表１に示すように変更した以外は、実施例１と同様にしてモールド本体を乾燥し、評価した。結果を表１に示す。
なお、実施例１０では角度ａ＝−３０°に設定したが、これは図２（ａ）において、第１のエアノズル３０のエア吹き掛け方向Ｃ２が、モールド本体１０の中心Ｐ１と第１のエアノズル３０の先端中心Ｐ２を結ぶ線Ｌ１よりも３０°外側にずれていることを意味する。

［実施例１１］
第２のエアノズル５０によるモールド本体１０の上端１０ａへのエアの吹き掛け、および吸引ノズル６０による水の吸引を行わなかった以外は、実施例１と同様にしてモールド本体を乾燥し、評価した。結果を表１に示す。

［比較例１］
エアの吹き掛けと同時に水掛ノズル４０による水の吹き掛けを行わなかった以外は、実施例１と同様にしてモールド本体を乾燥し、評価した。結果を表１に示す。

表１から明らかなように、各実施例の場合、概ねシミの発生を抑制でき、斑なく乾燥できたことが示された。特に、モールド本体に対する第１のエアノズルの向きが条件（１）〜（３）を満たすように、かつ最短水平距離ｈが５〜２０ｍｍとなるように（条件（４））、第１のエアノズルを配置し、第１のエアノズルのエア吹き出し風速を３５〜６０ｍ／ｓに設定した実施例１〜６の場合、シミが発生しなかった。従って、効率よくエアをモールド本体の周面に吹き掛け、水切りできたことが示された。
また、各実施例で乾燥されたモールド本体は、異物の付着が抑制されていた。
なお、実施例１１の場合、第２のエアノズルによるモールド本体の上端へのエアの吹き掛け、および吸引ノズルによる水の吸引を行わなかったため、モールド本体の上端に残留する水が胴体部の周面に垂れ落ちやすく、これが部分的なシミの発生の原因となったと考えられる。

一方、比較例１の場合、異物の付着は抑制できたものの、第１のエアノズルによるエアの吹き掛けによりモールド本体の周面に付着した水が下方に押しやられると共に、エアが吹き掛かっていない部分（特に下方部分）が自然乾燥しやすかったため、乾燥斑が発生しやすく、特にモールド本体の下方部分における幅広い範囲でシミが発生した。

１ 乾燥装置、
１０ モールド本体、
１０ａ 上端、
１４ アルミニウム基材
２０ 回転手段、
３０ 第１のエアノズル、
４０ 水掛ノズル、
５０ 第２のエアノズル、
６０ 吸引ノズル。

Claims (9)

1. 周面に微細凹凸構造を有する円筒状のモールド本体を乾燥させる乾燥装置において、
   モールド本体を回転させる回転手段と、回転するモールド本体の周面に一定幅でエアを吹き掛ける第１のエアノズルと、エアの吹き掛けと同時に、エアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛ける水掛ノズルとを備え、
   前記モールド本体の軸方向が鉛直方向であり、
   エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体の周面の上から下へ移動するように、前記モールド本体と第１のエアノズルと水掛ノズルとが相対移動し、かつ水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように水掛ノズルが配置された、乾燥装置。
2. 周面に微細凹凸構造を有する円筒状のモールド本体を乾燥させる乾燥装置において、
   モールド本体を回転させる回転手段と、回転するモールド本体の周面に一定幅でエアを吹き掛ける第１のエアノズルと、エアの吹き掛けと同時に、エアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛ける水掛ノズルとを備え、
   前記モールド本体の軸方向が鉛直方向であり、
   前記第１のエアノズルのエア吐出口形状が矩形状であり、
   かつ、モールド本体に対する第１のエアノズルの向きが下記（１）〜（３）を満たす、乾燥装置。
   （１）モールド本体の軸方向から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向が、モールド本体の中心と第１のエアノズルの先端中心を結ぶ線と、第１のエアノズルの先端中心からモールド本体の回転方向と反対に延び、モールド本体の円周に接する接線との間である。
   （２）第１のエアノズルの側面から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向とモールド本体の軸方向とのなす角度ｂが５０〜９０°である（但し、角度ｂは鉛直方向下向きを０°とする。）。
   （３）モールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの、第１のエアノズルのエア吐出口の長手方向と、モールド本体の軸方向とのなす角度ｃが２０〜７０°である（但し、角度ｃは鉛直方向下向きを０°とし、かつ第１のエアノズルは後方から見たときに、鉛直方向下向きを基準としてモールド本体の回転方向側に傾いている。）。
3. モールド本体の上端にエアを吹き掛け、上端の水を一箇所に集める第２のエアノズルと、一箇所に集められた水を吸引する吸引ノズルとを備えた、請求項１または２に記載の乾燥装置。
4. 円筒状の基材の周面に微細凹凸構造を形成し、モールド本体を得る微細凹凸形成工程と、モールド本体を洗浄する洗浄工程と、洗浄後のモールド本体を乾燥する乾燥工程とを有するモールドの製造方法において、
   前記乾燥工程は、モールド本体を回転させながら、第１のエアノズルによりモールド本体の周面に一定幅でエアを吹き掛けてモールド本体を乾燥させるエア吹き掛け工程と、水掛ノズルによりエアが吹き掛かっていないモールド本体の周面に水を吹き掛ける水吹き掛け工程とを同時に行う、モールドの製造方法。
5. 前記乾燥工程は、モールド本体の軸方向を鉛直方向に向け、
   エア吐出口形状が矩形状である第１のエアノズルを用い、
   かつ、モールド本体に対する第１のエアノズルの向きが下記（１）〜（３）を満たすように第１のエアノズルを配置する、請求項４に記載のモールドの製造方法。
   （１）モールド本体の軸方向から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向が、モールド本体の中心と第１のエアノズルの先端中心を結ぶ線と、第１のエアノズルの先端中心からモールド本体の回転方向と反対に延び、モールド本体の円周に接する接線との間である。
   （２）第１のエアノズルの側面から見たときの、第１のエアノズルのエア吹き掛け方向とモールド本体の軸方向とのなす角度ｂが５０〜９０°である（但し、角度ｂは鉛直方向下向きを０°とする。）。
   （３）モールド本体の水平方向、かつ第１のエアノズルの後方から見たときの、第１のエアノズルのエア吐出口の長手方向と、モールド本体の軸方向とのなす角度ｃが２０〜７０°である（但し、角度ｃは鉛直方向下向きを０°とし、かつ第１のエアノズルは後方から見たときに、鉛直方向下向きを基準としてモールド本体の回転方向側に傾いている。）。
6. エアおよび水の吹き掛け面がモールド本体の周面の上から下へ移動するように、かつ同じ場所にエアが２回以上吹き掛かるように、前記モールド本体と第１のエアノズルと水掛ノズルを相対移動させる、請求項５に記載のモールドの製造方法。
7. 水の吹き掛け面がエアの吹き掛け面よりも下側になるように水掛ノズルを配置する、請求項５または６に記載のモールドの製造方法。
8. 前記乾燥工程は、第２のエアノズルによりモールド本体の上端にエアを吹き掛けて上端の水を一箇所に集め、一箇所に集められた水を吸引ノズルにより吸引し、モールド本体の上端を乾燥する、請求項５〜７のいずれか一項に記載のモールドの製造方法。
9. 前記微細凹凸構造を構成する凹部の深さがナノオーダーである、請求項４〜８のいずれか一項に記載のモールドの製造方法。

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