JP5602537B2 - 光波干渉計測装置 - Google Patents
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Description
20 分圧計測光源
30 分散干渉計
40 第1分圧検出器
50 測長干渉計
52 参照面
53 被検面
60 第2分圧検出器
70 解析器
Claims (7)
- 干渉計測用の多波長光源を用いて、参照面と被検面の間の光路長差を計測して該光路長差の幾何学的距離を算出する光波干渉計測装置において、
分圧計測用光源と、
前記多波長光源の波長における空気の分散を計測する分散干渉計と、
前記分散干渉計における空気の成分気体の分圧を計測する第1分圧検出器と、
前記多波長光源の波長における前記参照面と前記被検面の間の光路長差を計測する測長干渉計と、
前記測長干渉計における前記成分気体の分圧を計測する第2分圧検出器と、
前記第1分圧検出器の検出結果によって前記分散干渉計における前記成分気体以外の空気分散比を算出し、前記成分気体以外の空気分散比と前記第2分圧検出器の検出結果から前記測長干渉計の空気の分散を算出し、前記参照面と前記被検面の間の光路長差の幾何学的距離を算出する解析器と、
を有することを特徴とする光波干渉計測装置。 - 前記解析器は、
以下の式を用いて前記参照面と前記被検面の間の光路長差の幾何学的距離を算出することを特徴とする請求項1に記載の光波干渉計測装置。
ここで、K(λ1)/K(λ2)は前記成分気体以外の空気分散比である。λ1は前記多波長光源の基本波の波長である。λ2は前記多波長光源の2倍波の波長である。OPL1(λ1),OPL1(λ2)は前記分散干渉計における前記多波長光源の各波長の光路長である。L1は前記分散干渉計の真空セルの長さである。g(λ1),g(λ2)は前記多波長光源の各波長の前記成分気体の分散である。Pw1は前記第1分圧検出器における前記成分気体の分圧である。L2は前記幾何学的距離である。OPL2(λ1),OPL2(λ2)は前記測長干渉計における前記多波長光源の各波長の光路長である。Pw2は前記第2分圧検出器における前記成分気体の分圧である。 - 前記成分気体の分圧は、前記成分気体を通過する光の透過率から算出されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光波干渉計測装置。
- 前記分圧計測用光源の波長は前記成分気体の吸収線波長であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光波干渉計測装置。
- 前記成分気体は水蒸気であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光波干渉計測装置。
- 前記解析器は、前記多波長光源の有する複数の波長の光路長計測結果から、前記分散干渉計及び前記測長干渉計の光路長の干渉次数を決定することを特徴とする請求項1又は2に記載の光波干渉計測装置。
- 前記多波長光源の有する波長の少なくとも一つは波長走査が可能であり、該波長と前記多波長光源の有する他の波長とで合成波長を生成することを特徴とする請求項6に記載の光波干渉計測装置。
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