JP5704897B2 - 干渉計測方法および干渉計測装置 - Google Patents
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Description
図1及び図2を用いて本発明の第1実施形態の干渉計測方法及び装置について説明する。図1は本発明の第1実施形態における干渉計測方法のフローチャート、図2は干渉計測装置の構成を示した図である。
つぎに、図5、図6に基づいて本発明の第2実施形態の干渉計測方法及び干渉計測装置について説明する。図5は第2実施形態における干渉計測方法のフローチャート、図6は第2実施形態における干渉計測装置の構成を示した図である。
2 2倍波生成ユニット
10 多波長光源
30 解析器
40 干渉信号検出器
50 分圧検出器
60 分圧計測光源
Claims (9)
- 被検面で反射された被検光と参照面で反射された参照光との干渉光から、被検光路の幾何学的距離を算出する算出方法において、
互いに波長が異なる光のそれぞれの前記干渉光を用いて、異なる波長毎に前記被検光路の光路長を算出する光路長算出工程、
前記光路長算出工程で算出された前記被検光路の光路長から前記被検光路の屈折率を算出する屈折率算出工程、
前記光路長算出工程と前記屈折率算出工程を繰返すことで得られた複数の屈折率を平滑化することによって、前記被検光路の平滑化屈折率を算出する平滑化工程、
前記光路長算出工程で算出された前記被検光路の光路長を、前記平滑化工程で算出された前記被検光路の平滑化屈折率で除することによって、前記被検光路の幾何学的距離を算出する幾何学的距離算出工程、
を有する事を特徴とする算出方法。 - 前記被検光路は前記参照面で反射された参照光と前記被検面で反射された被検光の光路差であり、
前記被検面の移動に伴って、変化する前記光路差の幾何学的距離を計測することを特徴とする請求項1に記載の算出方法。 - 前記光路長算出工程において算出された、第1の光束におけるi番目の光路長をOPL1i、前記第1の光束とは異なる波長の第2の光束におけるi番目の光路長をOPL2i、大気の屈折率分散をK(λ)として、
前記屈折率算出工程において、下記式で前記屈折率を算出し、
移動平均値をNとし前記平滑化工程において、下記式で前記平滑化屈折率を算出することを特徴とする請求項2に記載の算出方法。
- 前記光路長算出工程において算出された、第1の光束におけるi番目の光路長をOPL1i、前記第1の光束とは異なる波長の第2の光束におけるi番目の光路長をOPL2i、乾燥空気の屈折率分散をK(λ)、水蒸気の波長分散をg(λ)として、
前記屈折率算出工程において、下記式で前記屈折率を算出し、
移動平均値をNとし前記平滑化工程において、下記式で前記平滑化屈折率を算出することを特徴とする請求項2に記載の算出方法。
- 前記第2の光束の波長は、前記第1の光束の1/2の波長であることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の算出方法。
- 前記平滑化工程において、前記移動平均値のNを前記被検面の移動速度に応じて変化させる事を特徴とする請求項3〜5のいずれか一項に記載の算出方法。
- 被検面で反射された被検光と参照面で反射された参照光との干渉光から、被検光路の幾何学的距離を計測する干渉計測装置において、
互いに波長が異なる光を射出する多波長光源と、
前記多波長光源から射出された光束が前記被検面で反射された被検光と、前記参照面で反射された参照光とが干渉した干渉光を検出する信号検出器と、
前記信号検出器が検出したそれぞれの前記干渉光を用いて異なる波長毎に前記被検光路の光路長を算出し、算出された前記光路長から前記被検光路の屈折率を算出し、前記光路長の算出と前記屈折率の算出を繰返すことで得られた複数の屈折率を平滑化することによって前記被検光路の平滑化屈折率を算出し、前記算出された前記被検光路の光路長を、前記算出された前記被検光路の平滑化屈折率で除することによって前記被検光路の幾何学的距離を算出する演算部と
を有することを特徴とする干渉計測装置。 - 前記被検光路は前記参照面で反射された参照光と前記被検面で反射された被検光の光路差であり、前記被検面の移動に伴って、変化する前記光路差の幾何学的距離を計測することを特徴とする、請求項7に記載の干渉計測装置。
- 前記被検光路の分圧を計測するための光束を射出する分圧計測光源と、
前記分圧計測光源から射出され、前記参照面で反射された水蒸気圧参照光束と、前記被検面で反射し前記被検光路を通過する水蒸気圧被検光束とを検出する分圧検出器とを備え、
前記演算部は、前記信号検出器が検出した光束から光路長を算出し、前記分圧検出器が検出した光束から水蒸気圧を算出し、算出された前記光路長と算出された前記水蒸気圧から前記被検光路の屈折率を算出することを特徴とする請求項7に記載の干渉計測装置。
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