JP5592260B2 - マイクロエレクトロニクス基板のウェットエッチング処理のためのスピンオン保護被膜 - Google Patents
マイクロエレクトロニクス基板のウェットエッチング処理のためのスピンオン保護被膜 Download PDFInfo
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Description
HNO3/HF/H3PO4=7:1:7または3:1:4である。
これらの酸混合物中でのバルクシリコンのエッチング時間は、通常、室温で5〜30分の範囲内であり、場合により120分に亘る。
第1の保護層は、溶媒系に分散または溶解された第1のポリマーと、相溶性化合物を含む組成物から形成される。第1のポリマーは、スチレンモノマー繰り返し単位と、アクリロニトリルモノマー繰り返し単位とを含むコポリマーが好ましい。
各R1は個々に、水素およびC1−C8(好ましくはC1−C4)アルキル基からなる群から選択され;
各R2は個々に、水素、C1−C8(好ましくはC1−C4)アルキル基、およびC1−C8(好ましくはC1−C4)アルコキシ基からなる群から選択される。
本発明の保護系中にプライマー層が用いられることも好ましい。この層は、基板と第1の保護層との間に含まれるのが望ましい。好ましいプライマー層は、シランが溶媒系に分散または溶解されているプライマー層組成物から形成される。芳香族オルガノシランおよびアミノシランは、本発明のプライマー層に用いる特に好ましいシランである。最も好ましいシランは、下記式で表される。
式中、
であり、
各i、j、およびkは個々に、0および1からなる群から選択され、iおよびjの一方が1のとき、iおよびjの他方は0であり;
各R3は個々に、水素、ハロゲン基、C1−C8(好ましくはC1−C4)アルキル基、C1−C8(好ましくはC1−C4)アルコキシ基、C1−C8(好ましくはC1−C4)ハロアルキル基、アミノ基、およびC1−C8(好ましくはC1−C4)アルキルアミノ基からなる群から選択され;
各R4は個々に、C1−C8(好ましくはC1−C4)脂肪族基からなる群から選択され;
各Xは個々に、ハロゲン基、ヒドロキシル基、C1−C4アルコキシ基、およびC1−C4カルボキシル基からなる群から選択され;
Yは、酸素および硫黄からなる群から選択され;
Zは、窒素およびリンからなる群から選択され;
各dは個々に、0および1からなる群から選択される。
プライマー層を塗布する前に、プライマー層による結合を高めるために、基板に対して短時間(約15〜60秒)の酸素プラズマエッチングを施すことにより基板表面を清浄化して、および/または化学的に活性化して、基板を下処理しておくことが好ましい。アルゴン等の重イオンによるプラズマ衝撃も、結合を高める上で有益である。そのような処理は、保護被膜系の窒化ケイ素への結合を高める上で特に効果的である。
プライマーI〜IVの調製
ジフェニルジクロロシラン0.5gをキシレン99.5gに溶解し、0.2/0.45μmのポリプロピレンフィルタを用いてろ過することによりプライマーIを調製した。
プライマーV(比較プライマー)の調製
実施例1と同様の方法で、(ペンシルベニア州モリスヴィルのGelest社から入手される)3−アミノプロピルトリエトキシシラン1.0gを、PGME95gおよび水5gに添加することによりプライマーVを調製した。プライマーを少なくとも24時間エージングさせ、シランを部分的に加水分解し、縮合した。次いで、プライマーを0.2/0.45μmのポリプロピレンフィルタを用いてろ過した。
プライマーVIの調製
N−(3−トリメトキシシリル)−プロピルエチレンジアミン1モルをフマル酸ジエチル1モルと混合して室温で48時間撹拌することにより、フマル酸ジエチルで修飾したアミノ官能性シランを調製した。混合処理は、発熱を伴うものであったが、これは両成分が即時に反応したことを示すものである。
プライマーVIIの調製
プライマーVIIは、3−(N−フェニル)アミノプロピルトリメトキシシラン系の密着促進剤であり、この密着促進剤は、ポリスチレン−共重合−アクリロニトリルポリマーに対して、特に、エポキシ基、エステル基、またはクロロメチル基(塩化ベンジル基)等の反応基を含む被膜に対して極めて効果的である。芳香族アミノシラン0.5gを、PGME90gおよび水10gに溶解することによりプライマーVIIを調製した。この混合物を、先の実施例と同様の方法でエージングし、0.2/0.45μmのポリプロピレンフィルタを用いてろ過した。
スチレンとアクリロニトリルのコポリマーからの、被膜組成物AおよびBの調製
市販のスチレン−アクリロニトリル樹脂をそのままコーティング組成調製物に用いた。組成物Aは、12gのポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)(SAN30:MW=185,000,30重量%のアクリロニトリル、Aldrich社から入手可能)を、メチルイソアミルケトン(MIAK)44gおよびジ(エチレングリコール)ジメチルエーテル44gに溶解することにより調製した。組成物Bは、18gのSAN30をMIAK41gおよびジ(エチレングリコール)ジメチルエーテル41gに溶解することにより調製した。両被膜組成物を、0.2/0.45μmのポリプロピレンフィルタを用いて2回ろ過した。別の方法として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)と乳酸エチルとを9:1の重量比で混合した溶媒も、溶媒として用いた。溶媒を変えても被膜の特性や密着性に目立った変化はなかった。
三元共重合体の調製および該三元共重合体からの被膜組成物Cの調製
この手順では、スチレン、アクリロニトリル、およびグリシジルメタクリレートの三元共重合体を調製した。スチレンおよびグリシジルメタクリレートを、酸化アルミニウムのカラムに通すことにより精製した。アクリロニトリルを、5重量%のH2SO4溶液、5重量%のNaOH溶液、および水で順次洗浄し、阻害物質、およびポリマーの架橋をもたらす可能性アミン不純物を除去することにより精製した。これを無水塩化カルシウム上で乾燥させ、次いで4Åの分子篩上で乾燥させた。
三元共重合体の調製および該三元共重合体からの被膜組成物Dの調製
本実施例では、スチレン、アクリロニトリル、およびブチルアクリレートの三元共重合体を調製した。スチレンおよびアクリロニトリルを、実施例6に記載したのと同様の方法で精製した。ブチルアクリレートは、酸化アルミニウムのカラムに通すことにより精製した。
四元共重合体の調製および該重合体からの被膜組成物Eの調製
この手順では、スチレン、アクリロニトリル、ブチルアクリレートおよびグリシジルメタクリレートの四元共重合体を調製した。この調製を達成するために、スチレン、ブチルアクリレートおよびグリシジルメタクリレートを、酸化アルミニウムのカラムに通すことにより精製した。アクリロニトリルは、5重量%のH2SO4、5重量%のNaOH、および脱イオン水で順次洗浄して精製した後、無水塩化カルシウム上および4Åの分子篩上で乾燥させた。
被膜組成物Fの調製
13.5gのスチレンおよびアクリロニトリルのコポリマー(MW=165,000、アクリロニトリル25%)ならびに1.5gのポリメチルメタクリレート(PMMA、MW=120,000)を、溶液中で混合することにより組成物Fを調製した。被膜組成物を、0.2/0.45μmのポリプロピレンフィルタを用いてろ過した。
被膜組成物Gの調製
塩化ゴム12g(American Tartaric社のCLORTEX(R)20)をPGMEA88gに溶解した後、0.2/0.45μmのポリプロピレンフィルタを用いてろ過することにより組成物Gを調製した。
被膜組成物Hの調製
塩素化PVC10g(Noven社のTempRite674X571)を、シクロヘキサノン90gに溶解した後、0.2/0.45μmのポリプロピレンフィルタを用いてろ過することにより組成物Hを調製した。
プライマーI〜VIIおよび被膜組成物A〜Gを塗布する手順
シリコン製、窒化ケイ素製、または中央の領域をアルミニウムで被覆した窒化ケイ素ウェハをスピンコーターに載置し、中央に正しく位置決めした。スピン加速率20,000rpm2、スピン速度2,500rpm、および90秒間という条件下で、まずウェハをアセトンで約20秒間洗浄し、存在しうる汚染物質を除去し、次いで、プライマーを5〜10mlの一定分量でウェハ上に分注した。さらに約40〜60秒間回転させた後、ウェハ上に均一なプライマー層が得られた。続いて、プライマーが設けられたウェハをホットプレート上で100〜130℃で1分間焼成し、基板とプライマー層との間の化学結合の形成およびプライマーの部分的な加硫を促進した。プライマーが設けられたウェハが室温まで冷却された後、特定の被膜組成物(例えば組成物A)の層をスピン塗布し、次いでホットプレート上で、100℃で2分間、130℃で1分間、および205℃で1分間、順次焼成した。
各種被膜/プライマー積層体のKOHディープエッチング試験
試験機器は、約4000mlの30重量%〜35重量%のKOH水溶液を収容するガラス製の腐食液槽を含み、同液槽内に、試験基板を水平に保持するTEFLON(R)製ウェハボート(保持皿)を十分に浸漬させた。腐食溶液を内蔵加熱器またはホットプレートのような外部加熱器を用いて加熱し、腐食液の温度を85℃±1.5℃に制御した。一般的には、シリコン製、窒化ケイ素製、または中央の円形状領域(直径約2インチ)をアルミニウムで被覆した窒化ケイ素製の4インチのウェハを試験に用いた。シリコンウェハの場合、KOH中でのシリコンのエッチング速度が速いため、試験は2〜4時間だけ行った。窒化ケイ素ウェハに関しては、試験は少なくとも8時間に亘って行った。エッチング試験中、撹拌のため溶液を窒素により強く発泡させた。エッチング処理後、ウェハのサンプルを取り出して、すすぎ、乾燥させて、ピンホールおよび被膜層端部の剥離、または分離に関して検査した。
被膜積層体の濃フッ化水素酸に対する耐性
本実施例に記載の試験では、被膜積層体のフッ化水素酸に対する耐性、およびフッ化水素酸が1.5ミクロンの厚さの被膜層に浸透する時間の評価手段が与えられた。
被膜積層体の混酸に対する耐性に関する模擬試験
本試験は、機械的バッチ式エッチング装置において、硝酸(70重量%)、フッ化水素酸(49重量%)、およびリン酸(85重量%)の混合物(HNO3:HF:H3PO4=3:1:4)を腐食液として用いて行った。シリコンウェハをウェハキャリアボート(保持皿)の中に納め、次いで、それを腐食液に暴露するための器具の中に置いた。ウェハを全エッチング工程(約30分)に亘り揺動した。ウェハを取り出し、すすいで、被膜性能の評価を行った。試験は室温で、基板には絶えず新たにエッチング溶液を供給しながら行った。結果を表3に示す。
N−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含む耐アルカリ性被膜
A.ポリマーブレンド溶液の調製
MIAKとジエチレングリコールジメチルエーテル(「diglyme」)の1:1混合液に溶解されたポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)(米国ペンシルベニア州ピッツバーグのBayer社から入手され、LUSTRANの商品名で市販されている)を、ポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)の25%溶液50gに、N−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン(ペンシルベニア州モリスヴィルのGelest社から入手される)0.5gを添加して、ポリマー溶液を調製した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン(Gelest社から入手される)を含むプライマー溶液を、4インチの窒化ケイ素ウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、205℃で1分間焼成した。次いで、本実施例の項目Aに記載のポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、続いて1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含むプライマー溶液を、4インチのシリコン製ウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、205℃で1分間焼成した。次いで、本実施例の項目Aに記載のポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、続いて1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
本実施例の項目Bでコートした窒化ケイ素ウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で8時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。
本実施例の項目Cでコートしたシリコンウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で4時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。
ポリ(スチレン−共重合−アリルアルコール)を含む耐アルカリ性被膜
A.ポリマーブレンド溶液の調製
ポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)コポリマー(米国ペンシルベニア州ピッツバーグのBayer社から入手される)144g、およびポリ(スチレン−共重合−アリルアルコール)(ウィスコンシン州ミルウォーキーのSigma-Aldrich社から入手される)36gを、PGME(ニュージャージー州パーシッパニーのGeneral Chemical社から入手される)574gとアセト酢酸エチル(“EAA”、カンザス州カンザスシティーのHarcros社から入手される)246.2グラムとの混合物に溶解することによりポリマーブレンド溶液を調製した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含むプライマー溶液を、4インチの窒化ケイ素ウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、205℃で1分間焼成した。次いで、本実施例の項目Aに記載のポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、続いて1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含むプライマー溶液を、4インチのシリコンウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、205℃で1分間焼成した。次いで、本実施例の項目Aに記載のポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、続いて1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
本実施例の項目Bでコートした窒化ケイ素ウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で8時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。被膜は、端部が2〜3mm剥離した。
本実施例の項目Cでコートしたシリコンウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で4時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。被膜は、端部が1〜10mm剥離した。
ポリ(スチレン−共重合−アリルアルコール)およびN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含む耐アルカリ性被膜
A.ポリマー溶液の調製
N−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン(ペンシルベニア州モリスヴィルのGelest社の)5gを、参考例17の項目Aで調製したポリマー溶液495gに添加することによりポリマー溶液を調製した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含むプライマー溶液を、4インチの窒化ケイ素ウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、130℃で1分間焼成した。本実施例の項目Aで調製したポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、次いで1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含むプライマー溶液を、4インチのシリコンウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、130℃で1分間焼成した。本実施例の項目Aのポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、続いて1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
本実施例の項目Bでコートした窒化ケイ素ウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で8時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。被膜は、端部が1mm剥離した。
本実施例の項目Cでコートしたシリコンウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で4時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。被膜は、端部が1〜4mm剥離した。
エポキシクレゾールノボラック樹脂を含む耐アルカリ性被膜
A.ポリマーブレンド溶液の調製
ポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)コポリマー20〜25g、およびエポキシクレゾールノボラック樹脂(ECN1299、ニューヨーク州タリータウンのCiba Geigy社から入手される)1〜5gを、エチル−3−エトキシプロピオネート(“EEP”、ウィスコンシン州ミルウォーキーのSigma-Aldrich社から入手される)37.5gとMIAK37.5gとの混合物に溶解することによりポリマーブレンド溶液を調製した。ポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)およびエポキシクレゾールノボラック樹脂の量は、ポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)のECN1299に対する比が、90/10(重量/重量)となるように選択した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含むプライマー溶液を、4インチの窒化ケイ素ウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、130℃で1分間焼成した。本実施例の項目Aのポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、続いて1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
PGMEと脱イオン水との90:10混合液中に、0.1%のN−フェニルアミノプロピルトリメトキシシランを含むプライマー溶液を、4インチのシリコンウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、130℃で1分間焼成した。本実施例の項目Aで調製したポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、続いて1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
本実施例の項目Bでコートした窒化ケイ素ウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で8時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。その結果、ウェハはKOHによる作用を受けず、端部の剥離は全く発生しなかった。被膜は密着性を保持した。エッチング後のウェハを図1に示す。
本実施例の項目Cでコートしたシリコンウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で4時間エッチングを行った。KOH中でのエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。その結果、ウェハはKOHによる作用を受けず、端部の剥離は全く発生しなかった。
プライマー溶液
プライマー溶液は、3−アミノプロピルトリエトキシシラン0.05gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル98.95gおよび脱イオン水1.0gと混合することにより調製した。4時間に亘って攪拌した後、プライマー溶液を0.1μmのフィルタに通すことでろ過して、プラスチック製容器に保存した。
エポキシクレゾールノボラック樹脂を含む耐アルカリ性被膜
1.ポリマーブレンド溶液の調製
ポリマーブレンド溶液は、ポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)コポリマー22.5g、および2.5gのECN1299を、EEP37.5gとMIAK37.5gとの混合物に溶解することにより調製した。
実施例20のプライマー溶液を、シリコンウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを205℃で1分間焼成した。本実施例の項目1で調製したポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、次いで1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
本実施例の項目2でコートしたウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で4時間エッチングを行った。KOHによるエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。ウェハは、KOHによる作用または影響を受けず、端部の剥離は全く発生しなかった。
エポキシクレゾールノボラック樹脂を含む耐アルカリ性被膜
1.ポリマーブレンド溶液の調製
ポリマーブレンド溶液は、実施例21で使用したポリ(スチレン−共重合−アクリロニトリル)コポリマー22.5g、および2.5gのECN1299を、EEP37.5gとMIAK37.5gとの混合物に溶解することにより調製した。
上記実施例20で調製したプライマー溶液を、SiNウェハ上に1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを205℃で少しの間焼成した。本実施例の項目1のポリマーブレンド溶液を、200rpmで10秒間スピンコートし、次いで1,500rpmで1分間スピンコートした。ウェハを、100℃で2分間、さらに130℃で2分間焼成し、次いで160℃で2分間焼成した。
本実施例の項目2でコートしたウェハに対して、30%KOH水溶液中で、80〜85℃で8時間エッチングを行った。KOHによるエッチング後、ウェハを脱イオン水で5分間洗浄し、風乾した。ウェハは、KOHによる作用または影響を受けず、端部の剥離は全く発生しなかった。
Claims (13)
- 溶媒系に溶解または分散された、第1のポリマーと、相溶性化合物とを含み、
前記第1のポリマーが:
(式中、
各R1は個々に、水素およびC1−C8アルキル基からなる群から選択され;
各R2は個々に、水素、C1−C8アルキル基、およびC1−C8アルコキシ基からなる群から選択される)を含み、
前記相溶性化合物が、
エポキシフェノールノボラック樹脂、エポキシビスフェノールA/F樹脂、エポキシクレゾールノボラック樹脂、エポキシビスフェノールA樹脂、エポキシビスフェノールAノボラック樹脂、および、これらの混合物からなる群から選択され、かつ
光酸発生剤を実質的に含まず、かつ、非架橋性であり、マイクロエレクトロニクス構造体の保護層として有用な組成物。 - 前記相溶性化合物が、該化合物の総重量を100重量%としたときに、15重量%〜30重量%のエポキシ基を含む請求項1に記載の組成物。
- マイクロエレクトロニクス構造体を、塩基性腐食液および酸性腐食液からなる群から選択される腐食液に接触させることを含む方法であって、
前記マイクロエレクトロニクス構造体が、
表面を有するマイクロエレクトロニクス基板と、
前記基板の表面に隣接するアミノシランから成るプライマー層と、
前記プライマー層に隣接する第1の保護層とを含み、
前記第1の保護層が、溶媒系に溶解または分散した、第1のポリマーと、相溶性化合物とを含む組成物から形成され、
前記第1のポリマーが:
(式中、
各R1は個々に、水素およびC1−C8アルキル基からなる群から選択され;
各R2は個々に、水素、C1−C8アルキル基、およびC1−C8アルコキシ基からなる群から選択される)を含み、
前記相溶性化合物が、
エポキシフェノールノボラック樹脂、エポキシビスフェノールA/F樹脂、エポキシクレゾールノボラック樹脂、エポキシビスフェノールA樹脂、エポキシビスフェノールAノボラック樹脂、および、これらの混合物からなる群から選択され、
前記組成物は光酸発生剤を実質的に含まず、かつ、非架橋性である、マイクロエレクトロニクスデバイスを形成する方法。 - 前記接触が、前記マイクロエレクトロニクス構造体を前記腐食液に浸漬させることを含む請求項3に記載の方法。
- 前記マイクロエレクトロニクス構造体が、前記第1の保護層に隣接する第2の保護層をさらに含む請求項3または4に記載の方法。
- 前記接触が、前記マイクロエレクトロニクス構造体を前記塩基性腐食液および前記酸性腐食液の一方に接触させることを含み、さらに、前記マイクロエレクトロニクス構造体を前記塩基性腐食液および前記酸性腐食液の他方に接触させることを含む請求項5に記載の方法。
- 前記第1の保護層が、1〜5μmの平均厚さを有する請求項3〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記マイクロエレクトロニクス基板が、Si基板、SiO2基板、Si3N4基板、SiO2被覆シリコンの基板、Si3N4被覆シリコン上基板、ガラス基板、石英基板、セラミック基板、半導体基板、および金属基板からなる群から選択される請求項3〜7のいずれかに記載の方法。
- 前記プライマー層および前記第1の保護層が、相互に作用して、下記を含む結合を形成する請求項3〜8のいずれかに記載の方法。
- 表面を有するマイクロエレクトロニクス基板と、
前記基板の表面に隣接するアミノシランから成るプライマー層と、
前記プライマー層に隣接する第1の保護層とを含む、マイクロエレクトロニクス構造体であって、
前記第1の保護層が、溶媒系に溶解または分散した、第1のポリマーと、相溶性化合物とから成る組成物で形成され、
前記第1のポリマーが:
(式中、
各R1は個々に、水素およびC1−C8アルキル基からなる群から選択され;
各R2は個々に、水素、C1−C8アルキル基、およびC1−C8アルコキシ基からなる群から選択される)を含み、
前記相溶性化合物が、
エポキシフェノールノボラック樹脂、エポキシビスフェノールA/F樹脂、エポキシクレゾールノボラック樹脂、エポキシビスフェノールA樹脂、エポキシビスフェノールAノボラック樹脂、および、これらの混合物からなる群から選択され、
前記組成物は光酸発生剤を実質的に含まず、かつ、非架橋性である、マイクロエレクトロニクス構造体。 - 前記マイクロエレクトロニクス構造体が、前記第1の保護層に隣接する第2の保護層をさらに含む請求項10に記載の構造体。
- 前記第1の保護層が、1〜5μmの平均厚さを有する請求項10または11に記載の構造体。
- 前記マイクロエレクトロニクス基板が、Si基板、SiO2基板、Si3N4基板、SiO2被覆シリコンの基板、Si3N4被覆シリコン上基板、ガラス基板、石英基板、セラミック基板、半導体基板、および金属基板からなる群から選択される請求項10〜12のいずれかに記載の構造体。
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