JP5582314B2 - チップ部品支持装置及びその製造方法 - Google Patents
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11 有機フィルム
12 粘着層
13 非粘着層
3 チップ部品群
31 チップ部品
30 チップ部品用基板
7 リング状枠体
Claims (3)
- 有機粘着フィルムの上に多数のチップ部品を配置したチップ部品支持装置を製造する方法であって、
前記有機粘着フィルム上に粘着されたチップ部品基板にレーザを照射して、前記チップ部品基板を切断するとともに、切断位置及びその周辺においてのみ、前記有機粘着フィルムを改質して、その粘着力を失わせ、非粘着領域を生じさせる工程を含む、
方法。 - 請求項1に記載された方法であって、前記工程前に、前記チップ部品基板の表面に水溶性レジスト膜を塗布する前工程を含んでおり、
前記有機粘着フィルムは、周辺をリング状の第1の枠体によって支持されている、方法。 - 請求項1又は2に記載された方法であって、前記工程の後、前記有機粘着フィルムを全周方向に引き延ばし、引き延ばされた状態で、前記有機粘着フィルムの周辺を、第2の枠体で支持する後工程を含んでおり、
前記チップ部品基板は、ZnOを主成分とするセラミック基板である、
方法。
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