JP2010050416A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の面10aに複数の半導体素子11が形成され、第1の面10aと対向する第2の面10bに座繰り部12と、座繰り部12を取り囲むリム部13とが形成された半導体ウェーハ10を準備する工程と、半導体ウェーハ10の第1および第2の面10a、10bのうちの一方の面にテープ15を貼り付ける工程と、第1および第2の面10a、10bのうちの他方の面側から、ダイシングライン20に沿って、座繰り部12にレーザを照射し、座繰り部12内の半導体ウェーハ10を切断してチップに分割する工程と、を具備する。
【選択図】図1
Description
従来、半導体ウェーハに半導体素子を形成した後に、半導体基板の裏面を座繰ることにより、半導体基板の厚さを薄くしているが、座繰りを有する半導体ウェーハをブレードでダイシングする場合、以下のような問題が生じる。
また、半導体ウェーハを吸着ステージに設置する際に、座繰り形状のバラツキを見込んで座繰り部と吸着ステージの間にクリアランスを設ける必要があるため、ダイシング時に支持が無いため、チップ割れ、チッピングが発生する。
従って、半導体ウェーハ10の座繰り部12の厚さが50〜100μm、リム部12の厚さが700μm、幅が3mmである。
このとき、リム部13の根元には、テープ15が密着しづらいので、テープ浮き17が生じる。
従って、座繰りを有する半導体ウェーハを確実にチップに分割できる半導体装置の製造方法が得られる。
始めに、図2(a)に示すように、ダイシングに先立って、リム部13の上面に形成された金属電極膜14を、例えばラッピングにより除去する。
即ち、ダイシングライン20が第1の面10aに形成されているので、第1の面10a側から半導体ウェーハ10に赤外光を照射し、半導体ウェーハ10を透過した赤外光を検出して、ダイシングライン20を認識するにあたり、金属電極膜14は赤外光を透過しないので、金属電極膜14が本来不要なリム部13の上面に金属電極膜14が存在しない状態にしている。
次に、図2(c)に示すように、吸着ステージ22に半導体ウェーハ10を吸着固定し、第2の面10b側からダイシングライン20に沿って、座繰り部12にレーザを照射し、金属電極膜14からテープ15まで切り込み、座繰り部12内の半導体ウェーハ10をフルカットする。
また、半導体ウェーハ10より広い面積の吸着ステージ22を使用することにより、半導体ウェーハ10を全面で吸着し、吸着固定をより確実に安定して行うことができる利点がある。
本実施例において、上記実施例1と同一の構成部分には同一符号を付してその説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。
本実施例が実施例1と異なる点は、半導体ウェーハのリム部を切断するようにしたことにある。
図4はリム部13の上面の金属電極膜14を除去した後、半導体ウェーハ10の第1の面10aにテープ15を貼り付け、半導体ウェーハ10の第2の面10b側からレーザを照射してリム13を切断する場合を示す断面図である。
本実施例において、上記実施例1と同一の構成部分には同一符号を付してその説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。
本実施例が実施例1と異なる点は、レーザを照射して半導体ウェーハ内に改質層を形成し、エキスパンドによりチップに分割するようにしたことにある。
次に、図5(b)に示すように、テープ15をエキスパンドし、改質層30、31を起点として半導体ウェーハ10をチップ21に分割する。
これにより、アブレーションによる飛散物が生じないので、半導体ウェーハ10が汚染される恐れがなくなり、作業性を向上させることができる利点がある。
始めに、図6(a)に示すように、半導体ウェーハ10の第2の面10bに金属電極膜14を形成する手前まで工程を進める。
次に、図6(b)に示すように、金属電極膜14が形成されていない半導体ウェーハ10の第1の面10aにテープ15を貼り付け、半導体ウェーハ10を吸着ステージ22に吸着固定し、半導体ウェーハ10の第2の面10b側から、座繰り部12にレーザを照射し、座繰り部12の半導体ウェーハ10の内部に改質層30を形成するとともに、出力を大きくして、リム部13にレーザを照射し、リム部13の半導体ウェーハ10の内部に改質層31を形成する。
11 半導体素子
12 座繰り部
13 リム部
14 金属電極膜
15、32 テープ
16 フレーム
17 テープ浮き
18、22 吸着ステージ
19 クリアランス
20 ダイシングライン
21 チップ
30、31 改質層
Claims (5)
- 第1の面に複数の半導体素子が形成され、前記第1の面と対向する第2の面に座繰り部と、前記座繰り部を取り囲むリム部とが形成された半導体ウェーハを準備する工程と、
前記半導体ウェーハの前記第1および第2の面のうちの一方の面にテープを貼り付ける工程と、
前記第1および第2の面のうちの他方の面側から、ダイシングラインに沿って、前記座繰り部にレーザを照射し、前記座繰り部内の前記半導体ウェーハを切断してチップに分割する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ダイシングラインに沿って、前記リム部に前記座繰り部に照射するレーザより出力が大きいレーザを照射し、前記リム部を切断することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の面に複数の半導体素子が形成され、前記第1の面と対向する第2の面に座繰り部と、前記座繰り部を取り囲むリム部とが形成された半導体ウェーハを準備する工程と、
前記半導体ウェーハの前記第1および第2の面のうちの一方の面にテープを貼り付ける工程と、
前記第1および第2の面のうちの他方の面側から、ダイシングラインに沿って、前記座繰り部にレーザを照射して前記座繰り部内の前記半導体ウェーハ内に改質層を形成し、前記リム部に前記座繰り部に照射するレーザより出力が大きいレーザを照射し、前記リム部内に改質層を形成する工程と、
前記テープをエキスパンドして、前記半導体ウェーハをチップに分割する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記他方の面が前記第2の面であり、且つ全面に金属電極膜が形成される面である場合には、前記改質層を形成した後に、前記金属電極膜を形成することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の面に前記ダイシングラインが形成され、前記他方の面が前記第2の面であり、且つ全面に金属電極膜が形成される面である場合には、前記リム部の上面に前記金属電極膜が存在しない状態で、前記第1の面側から前記リム部に赤外光を照射し、前記リム部を透過した赤外光を検出し、前記ダイシングラインを認識することを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
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