JP5577760B2 - パッケージ基板および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態における半導体装置では、有機樹脂を基材とするパッケージ基板に半導体チップを実装するにあたり、例えばシリコン(Si)を母材とする半導体チップ(以下、単にチップという)の微細化に対応して、例えばシリコンを母材とするインターポーザ(シリコンインターポーザ)を介在させて用いている。これにより、チップにてファインピッチで形成されたパッドを、再配線が形成されたインターポーザによってラフにピッチ変換することができる。
前記実施形態1ではインターポーザの母材としてシリコン(シリコンインターポーザ)を用いた場合について説明したが、本実施形態ではインターポーザの母材としてセラミック(セラミックインターポーザ)を用いた場合について説明する。このセラミックインターポーザにおいても、チップにてファインピッチで形成されたパッドをピッチ変換することができる。なお、本実施形態では、前記実施形態1のシリコンインターポーザを、セラミックインターポーザに置き換えた点が相違するので、その相違する点を中心に説明する。
前記実施形態1ではインターポーザの母材としてシリコン(シリコンインターポーザ)を用いた場合について説明したが、本実施形態ではインターポーザの母材として樹脂(樹脂インターポーザ)を用いた場合について説明する。この樹脂インターポーザにおいても、チップにてファインピッチで形成されたパッドをピッチ変換することができる。なお、本実施形態では、前記実施形態1のシリコンインターポーザを、樹脂インターポーザに置き換えた点が相違するので、その相違する点を中心に説明する。
1a 表面(第1面)
1b 裏面(第2面)
2 配線パターン(第1配線パターン)
2a、2b 配線
3 パッシベーション膜
4 貫通孔
5 ビア
6 配線パターン(第2配線パターン)
10 インターポーザ
11a、11b チップ
12 支持体
12a 平坦面
13 絶縁接着層
14 絶縁樹脂層
15 貫通孔
16 配線パターン(配線層)
17 絶縁樹脂層(層間絶縁樹脂)
18 貫通孔
19 配線パターン(配線層)
20 ソルダレジスト
21、22 開口部
23 バンプ電極
30 パッケージ基板
30a 表面
30b 裏面
40 インターポーザ
40a 表面
40b 裏面
41 ビア
42 配線パターン
43 セラミック基板
44 絶縁層
45 貫通孔
46 ビア
47 配線パターン
48 絶縁層
51a、51b ビア
52a、52b 配線パターン
53a、53b 貫通孔
54 保護層
60 インターポーザ
60a 表面
60b 裏面
61 ベース材
61a 平坦面
62 接着層
63 絶縁樹脂層
64 貫通孔
65 端子部及び/又は配線パターン
66 配線パターン
67 絶縁樹脂層
68 ビア
70 配線パターン
71 貫通孔
72 絶縁樹脂層
73 ビア
74 配線パターン
Claims (10)
- 第1面と前記第1面とは反対側の第2面とを有し、前記第1面で半導体チップが実装されるパッケージ基板であって、
前記第1面側に設けられた絶縁接着層と、
前記絶縁接着層の前記第2面側の面内で接着されたインターポーザと、
前記インターポーザの前記第2面側の面および前記絶縁接着層の前記第2面側の面上に、前記インターポーザを埋め込むように形成された絶縁樹脂層と、
前記絶縁樹脂層の前記第2面側の面上に、層間絶縁樹脂層および配線層が複数積層して形成されたビルドアップ層と、
前記ビルドアップ層の前記第2面側の面上に形成されたソルダレジストと、
を備え、
前記インターポーザの前記第1面側の面上には保護膜が形成され、
前記インターポーザの前記第2面側の面上には配線パターンが形成され、
前記保護膜上で接着している前記絶縁接着層が、前記インターポーザよりも大きく延在し、
前記絶縁樹脂層には、前記インターポーザの配線パターンおよび前記ビルドアップ層と電気的に接続された配線層が形成され、
前記絶縁樹脂層はその熱膨張係数が、前記層間絶縁樹脂層の熱膨張係数より前記半導体チップの熱膨張係数に近いことを特徴とするパッケージ基板。 - 請求項1記載のパッケージ基板において、
前記絶縁樹脂層には、フィラーが含有されていることを特徴とする。 - 請求項1または2記載のパッケージ基板において、
前記インターポーザは、シリコン基板から構成されることを特徴とする。 - 以下の工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法:
(a)第1面と前記第1面とは反対側の第2面とを有し、前記第1面上に第1配線パターンおよび前記第1配線パターンを覆う保護膜が形成され、前記第2面上に第2配線パターンが形成されたインターポーザを準備する工程;
(b)平坦面を有し、前記インターポーザよりも大きく延在する絶縁接着層が前記平坦面上に貼り付けられた支持体を準備する工程;
(c)前記インターポーザの第1面を前記支持体の平坦面に合わせて、前記絶縁接着層と前記保護膜とを接着させて前記支持体上に前記インターポーザを載置する工程;
(d)前記インターポーザを埋め込むように前記支持体の平坦面上に絶縁樹脂層を形成し、前記第2配線パターンと電気的に接続される配線層を前記絶縁樹脂層に形成する工程;
(e)前記絶縁樹脂層に形成された配線層と電気的に接続され、前記絶縁樹脂層上に層間絶縁樹脂層および配線層を複数積層してビルドアップ層を形成する工程;
(f)前記ビルドアップ層上にソルダレジストを形成する工程;
(g)前記(f)工程の後、前記支持体を除去する工程;
(h)前記(g)工程の後、前記第1配線パターンを露出する開口部を前記絶縁接着層および前記保護膜に形成する工程;
(i)前記(h)工程の後、前記第1面上に、露出した前記第1配線パターンと電気的に接続して半導体チップを実装する工程、
ここで、前記(d)工程では、前記層間絶縁樹脂層より前記半導体チップに近い熱膨張係数の前記絶縁樹脂層を形成する。 - 請求項4記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程では、フィラーを含有させた前記絶縁樹脂層を形成することを特徴とする。 - 請求項4または5記載の半導体装置の製造方法において、
前記(i)工程では、前記第1面上に複数の半導体チップを実装し、
前記(a)工程では、前記第1配線パターンのうち、前記複数の半導体チップ間の配線を他の配線よりもファインピッチで形成することを特徴とする。 - 請求項4、5または6記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程では、シリコンウエハの第1面およびそれとは反対側の第2面のそれぞれに前記第1配線パターンおよび前記第2配線パターンを形成した前記インターポーザを準備することを特徴とする。 - 請求項4、5または6記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程では、セラミック材を含む基板の第1面およびそれとは反対側の第2面のそれぞれに前記第1配線パターンおよび前記第2配線パターンを形成した前記インターポーザを準備することを特徴とする。 - 請求項4、5または6記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)工程では、樹脂からなる基板の第1面およびそれとは反対側の第2面のそれぞれに前記第1配線パターンおよび前記第2配線パターンを形成した前記インターポーザを準備することを特徴とする。 - 請求項4〜9のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程では、銅板からなる前記支持体を準備し、
前記(g)工程では、エッチングにより前記銅板を除去することを特徴とする。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010050962A JP5577760B2 (ja) | 2009-03-09 | 2010-03-08 | パッケージ基板および半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009054756 | 2009-03-09 | ||
JP2009054756 | 2009-03-09 | ||
JP2010050962A JP5577760B2 (ja) | 2009-03-09 | 2010-03-08 | パッケージ基板および半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010239126A JP2010239126A (ja) | 2010-10-21 |
JP2010239126A5 JP2010239126A5 (ja) | 2013-02-14 |
JP5577760B2 true JP5577760B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=43093146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010050962A Active JP5577760B2 (ja) | 2009-03-09 | 2010-03-08 | パッケージ基板および半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5577760B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106170857A (zh) * | 2015-03-18 | 2016-11-30 | 艾马克科技公司 | 半导体装置和其制造方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101789765B1 (ko) | 2010-12-16 | 2017-11-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
JP5649490B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2015-01-07 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法 |
TWI492680B (zh) | 2011-08-05 | 2015-07-11 | Unimicron Technology Corp | 嵌埋有中介層之封裝基板及其製法 |
TWI476888B (zh) * | 2011-10-31 | 2015-03-11 | Unimicron Technology Corp | 嵌埋穿孔中介層之封裝基板及其製法 |
JP5536748B2 (ja) * | 2011-12-16 | 2014-07-02 | 聯致科技股▲フン▼有限公司 | パッケージ基板の製造方法 |
TWI543307B (zh) | 2012-09-27 | 2016-07-21 | 欣興電子股份有限公司 | 封裝載板與晶片封裝結構 |
JP6000297B2 (ja) * | 2014-03-17 | 2016-09-28 | 聯致科技股▲フン▼有限公司 | パッケージ基板 |
JP6665375B2 (ja) * | 2014-09-19 | 2020-03-13 | インテル・コーポレーション | ブリッジ型相互接続を埋め込んだ半導体パッケージ |
JP2017228647A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 富士通株式会社 | 樹脂インターポーザ及びそれを用いた半導体装置及び樹脂インターポーザの製造方法 |
KR101815785B1 (ko) | 2016-08-31 | 2018-01-05 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 디바이스 및 그 제조 방법 |
KR101815784B1 (ko) | 2016-08-31 | 2018-01-05 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 디바이스 및 그 제조 방법 |
US10410999B2 (en) | 2017-12-19 | 2019-09-10 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor device with integrated heat distribution and manufacturing method thereof |
KR102556703B1 (ko) * | 2018-05-30 | 2023-07-18 | 삼성전기주식회사 | 패키지 기판 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0837205A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-02-06 | Hitachi Ltd | Tabパッケージ |
JP4890959B2 (ja) * | 2005-06-17 | 2012-03-07 | 日本電気株式会社 | 配線基板及びその製造方法並びに半導体パッケージ |
US7462784B2 (en) * | 2006-05-02 | 2008-12-09 | Ibiden Co., Ltd. | Heat resistant substrate incorporated circuit wiring board |
JP5174355B2 (ja) * | 2007-02-02 | 2013-04-03 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板及びその製造方法と半導体装置 |
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- 2010-03-08 JP JP2010050962A patent/JP5577760B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106170857A (zh) * | 2015-03-18 | 2016-11-30 | 艾马克科技公司 | 半导体装置和其制造方法 |
US11195726B2 (en) | 2015-03-18 | 2021-12-07 | Amkor Technology Singapore Holding Pte. Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
US11948808B2 (en) | 2015-03-18 | 2024-04-02 | Amkor Technology Singapore Holding Pte. Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010239126A (ja) | 2010-10-21 |
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A521 | Written amendment |
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