JP5573212B2 - 空間光変調素子、空間光変調素子の製造方法、照明光発生装置及び露光装置 - Google Patents
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- 空間光変調素子の製造方法であって、
電極が形成された電極側基板を準備するステップと、
前記電極との間の静電力により可動する可動部、前記可動部上に配された反射鏡および前記可動部を支持する支持部を有する可動側基板を準備するステップと、
前記可動側基板の前記支持部を前記電極側基板に貼り合わせるステップと
を備え、
前記可動側基板を準備するステップは、
基板本体を準備するステップと、
前記基板本体の一面をエッチングすることにより前記可動部を形成するステップと、
前記可動部上に前記反射鏡を成膜するステップと、
前記基板本体の他面をエッチングすることにより前記支持部を形成するステップと
を有し、
前記反射鏡を成膜するステップは、
前記基板本体の前記一面に犠牲層を形成するステップと、
前記犠牲層をパターニングするステップと、
前記パターニングされた犠牲層上に金属膜を成膜するステップと
を有し、
前記貼り合わせステップの後に、前記犠牲層を除去することにより、前記反射鏡を前記可動部の動きに連れて傾斜可能とするステップをさらに備える製造方法。 - 前記反射鏡を成膜するステップは、前記金属膜を成膜するステップの後に、前記金属膜の表面を研磨するステップをさらに有する請求項1に記載の製造方法。
- 前記反射鏡を成膜するステップは、前記犠牲層をパターニングするステップの後に、前記犠牲層の表面を研磨するステップをさらに有する請求項1に記載の製造方法。
- 前記基板本体は、SOI基板である請求項1から3のいずれか一項に記載の製造方法。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の製造方法により製造された空間光変調素子。
- 請求項5に記載の空間光変調素子を備える照明光発生装置。
- 請求項6に記載の照明光発生装置を備える露光装置。
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