JP5570384B2 - ピンボードユニットおよび基板検査装置 - Google Patents
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Description
一端側に前記貫通孔よりも大径のフランジ部が形成されると共に、当該フランジ部が前記押圧板における前記保持板との対向面に対する背面側に位置するように前記貫通孔に挿入され、かつ他端が前記保持板に取り外し可能に取り付けられて、当該保持板に対して当該押圧板を平行な状態でスライド自在にガイドする複数のガイドピンと、前記保持板と前記押圧板とを接近させる方向に常時付勢する第1付勢部材と、前記複数の押さえピンにそれぞれ配設され、前記保持板に対して前記押圧板の方向であって前記押さえピンの前記一端が前記検査基板から離反する向きに当該押さえピンを常時付勢して当該押さえピンの他端を当該押圧板に当接させることにより、当該保持板と当該押圧板とを離反させる方向に常時付勢する複数の第2付勢部材とを備え、前記押圧板は、前記第1付勢部材の付勢力および前記複数の第2付勢部材の付勢力が平衡する平衡状態で前記複数のガイドピンによってガイドされている。
2,2A,3,3A ピンボードユニット
8 検査基板
11,11A 保持板
12,12A 押圧板
13 コンタクトピン
14 押さえピン
15 ガイドピン
15b フランジ部
16 第1付勢部材
17 第2付勢部材
21 貫通孔
Claims (5)
- 検査位置に配設された検査基板の一方の面側に配設されて、前記検査基板の前記一方の面における複数の接触位置に先端部が接触する複数のコンタクトピン、および前記検査基板の前記一方の面における複数の押さえ位置に一端が接触して当該検査基板を押さえる複数の押さえピンを有するピンボードユニットであって、
前記検査基板の前記一方の面側に当該検査基板と平行な状態で配設されると共に複数の貫通孔が形成され、かつ前記複数のコンタクトピンが前記複数の接触位置と対向する位置に前記先端部が当該検査基板との対向面から同じ長さだけ突出した状態で取り付けられ、かつ前記複数の押さえピンが前記複数の押さえ位置と対向する位置に軸線方向に沿ってスライド自在かつ抜脱不能な状態であって前記一端が前記対向面から突出した状態で貫通して配設された平板状の保持板と、
前記保持板を挟んで前記検査基板と反対側の位置に当該保持板と平行な状態で配設された平板状の押圧板と、
一端側に前記貫通孔よりも大径のフランジ部が形成されると共に、当該フランジ部が前記保持板における前記検査基板との対向面側に位置するように前記貫通孔に挿入され、かつ他端が前記押圧板に取り外し可能に取り付けられて、当該押圧板に対して当該保持板を平行な状態でスライド自在にガイドする複数のガイドピンと、
前記保持板と前記押圧板とを接近させる方向に常時付勢する第1付勢部材と、
前記複数の押さえピンにそれぞれ配設され、当該押さえピンを前記保持板に対して前記押圧板の方向に常時付勢して当該押さえピンの他端を当該押圧板に当接させることにより、当該保持板と当該押圧板とを離反させる方向に常時付勢する複数の第2付勢部材とを備え、
前記保持板は、前記第1付勢部材の付勢力および前記複数の第2付勢部材の付勢力が平衡する平衡状態で前記複数のガイドピンによってガイドされているピンボードユニット。 - 検査位置に配設された検査基板の一方の面側に配設されて、前記検査基板の前記一方の面における複数の接触位置に先端部が接触する複数のコンタクトピン、および前記検査基板の前記一方の面における複数の押さえ位置に一端が接触して当該検査基板を押さえる複数の押さえピンを有するピンボードユニットであって、
前記検査基板の前記一方の面側に当該検査基板と平行な状態で配設されると共に、前記複数のコンタクトピンが前記複数の接触位置と対向する位置に前記先端部が当該検査基板との対向面から同じ長さだけ突出した状態で取り付けられ、かつ前記複数の押さえピンが前記複数の押さえ位置と対向する位置に軸線方向に沿ってスライド自在かつ抜脱不能な状態であって前記一端が前記対向面から突出した状態で貫通して配設された平板状の保持板と、
前記保持板を挟んで前記検査基板と反対側の位置に当該保持板と平行な状態で配設されると共に、複数の貫通孔が形成された平板状の押圧板と、
一端側に前記貫通孔よりも大径のフランジ部が形成されると共に、当該フランジ部が前記押圧板における前記保持板との対向面に対する背面側に位置するように前記貫通孔に挿入され、かつ他端が前記保持板に取り外し可能に取り付けられて、当該保持板に対して当該押圧板を平行な状態でスライド自在にガイドする複数のガイドピンと、
前記保持板と前記押圧板とを接近させる方向に常時付勢する第1付勢部材と、
前記複数の押さえピンにそれぞれ配設され、前記保持板に対して前記押圧板の方向であって前記押さえピンの前記一端が前記検査基板から離反する向きに当該押さえピンを常時付勢して当該押さえピンの他端を当該押圧板に当接させることにより、当該保持板と当該押圧板とを離反させる方向に常時付勢する複数の第2付勢部材とを備え、
前記押圧板は、前記第1付勢部材の付勢力および前記複数の第2付勢部材の付勢力が平衡する平衡状態で前記複数のガイドピンによってガイドされているピンボードユニット。 - 前記複数の押さえピンは、前記平衡状態において、前記一端が前記複数のコンタクトピンの前記先端部よりも前記保持板の前記対向面から突出している請求項1または2記載のピンボードユニット。
- 請求項1から3のいずれかに記載のピンボードユニットと、
前記ピンボードユニットの前記保持板を検査位置に配設された検査基板に対して接離させる駆動部と、
前記複数のコンタクトピンに対して検査用信号を出力すると共に、当該検査用信号に起因して前記検査基板に発生する電気信号を前記複数のコンタクトピンを介して測定する測定部と、
前記検査用信号および前記電気信号に基づいて前記検査基板に対する検査を実行する処理部とを備えている基板検査装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載のピンボードユニットを一対備えると共に、当該ピンボードユニットが前記検査位置に配設された前記検査基板の各面側に配設され、
前記一対のピンボードユニットの前記保持板を検査位置に配設された検査基板に対して接離させる駆動部と、
前記複数のコンタクトピンに対して検査用信号を出力すると共に、当該検査用信号に起因して前記検査基板に発生する電気信号を前記複数のコンタクトピンを介して測定する測定部と、
前記検査用信号および前記電気信号に基づいて前記検査基板に対する検査を実行する処理部とを備え、
前記一対のピンボードユニットのうちの一方のピンボードユニットの前記保持板における前記複数の押さえピンの取り付け位置は、当該一対のピンボードユニットのうちの他方のピンボードユニットの前記保持板における前記複数の押さえピンの取り付け位置と対向する位置に規定されている基板検査装置。
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