JP5563811B2 - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、上記従来技術においては、トランジスタの形成前に、受動素子の側壁部分の絶縁膜がトレンチ内部から基板表面にかけて全面に形成されている。このため、受動素子を形成した後、基板表面をウェットエッチングで露出させるために、トレンチ内部には側壁絶縁層を残しつつ半導体基板表面の酸化膜のみ除くという選択的な除去が困難であった。すなわち、ウェットエッチングを行うと、基板表面の絶縁膜だけでなく、トレンチ内部の側壁絶縁層も除去されてしまい、その結果、受動素子と基板間にショートが発生することがあった。
基板上に研磨ストッパ膜を形成する工程と、
選択的エッチングにより、前記研磨ストッパ膜および前記基板を除去して、前記基板内に第1のトレンチを形成する工程と、
前記第1のトレンチを埋め込むように、前記研磨ストッパ膜と異なる材料から構成された第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜を研磨して、前記研磨ストッパ膜を露出させる工程と、
選択的エッチングにより、前記第1の絶縁膜に凹部を形成する工程と、
前記凹部を埋め込むように、第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜を研磨して、前記研磨ストッパ膜および前記第1の絶縁膜を露出させ、前記第1のトレンチに受動素子層を形成する工程と、
エッチングにより前記研磨ストッパ膜を除去して、前記基板の表面および前記第1の絶縁膜の側壁を露出させる工程と、を含む半導体装置の製造方法が提供される。
基板と、
前記基板に設けられた第1のトレンチと、
前記第1のトレンチに埋め込まれた受動素子層と、
前記第1のトレンチと前記受動素子層との間に設けられた第1の絶縁膜と、を備え、
上面視において、前記第1のトレンチの周縁部分と、前記第1の絶縁膜の周縁部分とが略一致している、半導体装置が提供される。
また、第1の絶縁膜の周縁部分は、第1のトレンチの周縁部分と略一致しているので、第1の絶縁膜の周縁部分が基板に占める占有面積を小さくすることができる。そのため、受動素子層の近くにMOSトランジスタを設けることができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
図2(d)は、本実施の形態の半導体装置の一部を示す。
本実施の形態の半導体装置は、不図示のMOSトランジスタを備えるものである。
本実施の形態の半導体装置は、基板(シリコン基板1)と、シリコン基板1に設けられた第1のトレンチ3と、第1のトレンチ3に埋め込まれた受動素子層10と、第1のトレンチ3と受動素子層10との間に設けられた第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)と、を備え、上面視において、第1のトレンチ3形成の周縁部分と第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)の周縁部分とが略一致している。
また、本実施の形態の半導体装置は、シリコン基板1に設けられた第2のトレンチ8と、第2のトレンチ8に埋め込まれた素子分離膜9とを備える。
図2(d)に示すように、受動素子層10およびその側壁に設けられているシリコン窒化膜4の上面は、シリコン基板1の表面を基準面としたとき、この基準面より高く設けられている。
また、受動素子層10の上面およびシリコン窒化膜4の上面は、略同一平面を構成している(ただし、製造工程のバラツキ等は許容する)。
また、上記基準面からの受動素子層10およびシリコン窒化膜4の上面の高さは、同一とすることができる。さらに、上記基準面からの受動素子層10の上面の高さは、特に限定されないが、たとえば受動素子層10の抵抗値に応じて適宜設定できる。
また、シリコン窒化膜4の延設方向に対して直角方向から見たとき、一体に設けられていてもよく、分離して設けられていてもよい。シリコン窒化膜4の延設方向に対して直角方向の断面形状は、コの字状、ハの字状等でもよい。特に、上記基準面から凸設した部分のシリコン窒化膜4の延設方向に対して直角方向の断面形状は、たとえば矩形、正方形、台形等とすることができるシリコン基板1の平面視において、凸設した部分のシリコン窒化膜4の端部は、受動素子層10を囲むように形成することができる。
さらに、シリコン窒化膜4の凸設した部分は、受動素子層10の側壁に形成され、すなわち、第1のトレンチ3の側壁の延長線上に囲まれた、第1のトレンチ3形成領域内に形成されている(ただし、製造工程のバラツキ等は許容する)。
さらに、本実施の形態では、第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)と素子分離膜9とを、略同一のエッチングレートを有する材料で構成することができる。たとえば、第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)と素子分離膜9とを、同じ材料から構成されている。本実施の形態では、材料として、シリコン窒化膜を用いることができる。
上記基準面からの素子分離膜9および受動素子層10の膜厚(高さ)は、略同一とすることができ、また上記基準面からの素子分離膜9およびシリコン窒化膜4の膜厚(高さ)は、略同一とすることができる(ただし、製造工程のバラツキ等は許容する)。
図1および図2は、本実施の形態の半導体装置の製造手順の工程断面図を示す。
本実施の形態の半導体装置の製造方法は、基板(シリコン基板1)上に研磨ストッパ膜(シリコン酸化膜2)を形成する工程と、選択的エッチングにより、シリコン酸化膜2およびシリコン基板1の一部を除去して、シリコン基板1内に第1のトレンチ3を形成する工程と、第1のトレンチ3を埋め込むように、シリコン酸化膜2と異なる材料から構成された第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)を形成する工程と、シリコン窒化膜4を研磨して、シリコン酸化膜2を露出させる工程と、選択的エッチングにより、シリコン窒化膜4に凹部6を形成する工程と、凹部6を埋め込むように、第2の絶縁膜(シリコン膜7)を形成する工程と、シリコン膜7を研磨して、シリコン酸化膜2およびシリコン窒化膜4を露出させ、第1のトレンチ3に受動素子層10を形成する工程と、エッチングによりシリコン酸化膜2を除去して、シリコン基板1の表面およびシリコン窒化膜4の側壁を露出させる工程と、を含む。
さらに、本実施の形態の製造工程は、上記第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)を形成する工程において、第2のトレンチ8を埋め込むように、シリコン窒化膜4を形成し、上記露出させる工程において、第2のトレンチ8上のシリコン窒化膜4を露出させて、素子分離膜9を形成し、上記シリコン基板1の表面およびシリコン窒化膜4の側壁を露出させる工程において、素子分離膜9の側壁を露出させる。
そして、抵抗素子形成予定領域用のレジストパターン(抵抗素子形成予定領域に相当する開口部を有するマスク5)を形成する(図1(d))。この開口部は、基板平面視において、シリコン窒化膜4の領域内に配置されるように形成される。
このように、シリコン窒化膜4を選択的に除去できるので、シリコン基板1の表面およびシリコン窒化膜4の凸設部分の側壁を露出させることができる(図2(d))。また、本工程にて、同時に素子分離膜9の凸設部分の側壁を露出させることができる。この後、シリコン基板1上に不図示のMOSトランジスタを設けることができる。
以上により、図2(d)に示す本実施の形態の半導体装置を得ることができる。
本実施の形態の半導体装置は、受動素子層10の側壁とシリコン基板1との間に、シリコン窒化膜4(第1の絶縁膜)が設けられている。このとき、本製造工程において、第1のトレンチ3内の側壁上のシリコン窒化膜4(第1の絶縁膜)は、シリコン基板1表面上のシリコン酸化膜2(研磨ストッパ膜)と異なる材料から構成されていて、連続していない。異なる材料のエッチングレートの違いを利用して、シリコン酸化膜2のみ除去できる。すなわち、第1のトレンチ3内の側壁上のシリコン窒化膜4を残したまま、シリコン酸化膜2を選択的に除去できる。そのため、受動素子層10とシリコン基板1との間のショートを抑制することができる。このように、本実施の形態の半導体装置の信頼性を向上させることができる。
また、シリコン窒化膜4の周縁部分は、第1のトレンチの周縁部分に略一致するように設けられている。このため、シリコン窒化膜4の周縁部分が、シリコン基板1に占める占有面積を小さくすることができる。このとき、本製造工程においては、受動素子層10の側壁上の第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)と受動素子層10付近のシリコン基板1表面上のシリコン酸化膜2(研磨ストッパ膜)とのエッチングレートの違いを利用して、シリコン酸化膜2のみ除去できる。すなわち、このため、受動素子層10付近のシリコン基板1表面上において、シリコン酸化膜2を除去してシリコン基板1を露出させることができる。そのため、受動素子層10の近くにMOSトランジスタを併設することができる。このように、本実施の形態の半導体装置の集積性を向上させることができる。
さらに、第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)は、第1のトレンチ3から突出した受動素子層10の側壁に沿って、第1のトレンチ3領域の直上のみに凸設されている。このため、突出した受動素子層10の側壁についても、シリコン窒化膜4で保護されているので、受動素子層10とシリコン基板1との間のショートを抑制することができる。このように、受動素子層10の形状に依らず、本実施の形態の半導体装置の信頼性を向上させることができる。
また、シリコン基板1の表面を基準面としたとき、抵抗体(受動素子層10)およびその側壁に設けられているシリコン窒化膜4の上記基準面からの高さは、シリコン酸化膜2の膜厚で制御することができる。これは、シリコン酸化膜2が、研磨ストッパ膜として作用するためである。たとえば、抵抗体(受動素子層10)の抵抗値を上げたい場合には、シリコン酸化膜2の膜厚を厚くすればよい。
ここで、シリコン酸化膜2はCMPのストッパ膜として作用する。このため、受動素子層10の膜厚は、CMPによってほとんど変化させないようにすることが可能になる。すなわち、本実施の形態では、受動素子層10の膜厚を設計通りの膜厚に精度良く制御できる。そのため、抵抗体(受動素子層10)の膜厚のバラツキを抑制し、抵抗値のバラツキを抑制することができる。このように、本実施の形態では、所望の特性を有する受動素子(抵抗体)の形成とともに、MOSトランジスタの形成が両立できる。
上記特許文献に記載の従来技術は、それほど微細化が進んでいない時代の技術である。くわえて、バイポーラ素子という表面の凹凸形状がMOSトランジスタに較べると大きな影響を及ぼさない素子を対象としている。MOSトランジスタの場合、素子分離(STI:Shallow Trench Isolation)部の表面の凹凸やSiとSTI界面の状態がトランジスタ特性に大きな影響を与えるので、STI形成時に表面の酸化膜をどのくらい除去するかは慎重に制御されている。
このような従来技術において、MOSトランジスタを形成する場合には、トランジスタ形成部分の半導体基板表面を露出させる必要がある。しかしながら、MOSトランジスタの形成において、素子分離領域と受動素子部を同一トレンチプロセスで形成する場合に従来例で示される方法では以下の問題がある。
従来例に示される方法ではトランジスタの形成前に、受動素子の側壁部分の酸化膜がトレンチ内部から基板表面にかけて全面に形成されている。このため、素子分離領域と受動素子を形成した後、基板表面をウェットエッチングで露出させる際に、トレンチ内部には側壁絶縁層を残し、半導体基板表面の酸化膜のみ除くという選択的な除去ができない。その結果、上記の公知例を単純にメタルゲートのMOSトランジスタに適用しようとしても、STI/Si境界のシリコン酸化膜が過剰に除去され、MOSトランジスタの特性を悪化させるなどの問題が生じてしまうことになる。
また、シリコン基板1内部およびシリコン基板1から突出した部分の受動素子層10の側壁と、シリコン基板1との間に、シリコン窒化膜4(第1の絶縁膜)が設けることができる。そして、受動素子層10とシリコン基板1との間のショートを抑制することができる。
さらに、シリコン酸化膜2を除去してシリコン基板1を露出させることができるので、受動素子層10の近くにMOSトランジスタを併設することができる。
このように、本実施の形態では、半導体装置の信頼性を向上させつつ、集積性を向上させることができる。
第2の実施の形態の半導体装置は、第2のトレンチ8の内部において、基板(シリコン基板1)と第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)との間に、第3の絶縁膜(シリコン酸化膜71)が設けられている(図4(d))。第2の実施の形態は、この点が異なる以外は、第1の実施の形態と同様である。
図3から図5は、本実施の形態の半導体装置の製造手順の工程断面図を示す。
また、図6は、半導体装置の製造手順の一部の変形例を示す。
本実施の形態の製造工程は、上記第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)を形成する工程において、第1のトレンチ3の内部に第3の絶縁膜(シリコン酸化膜71)を形成する工程と、第1のトレンチ3を埋め込むように、シリコン酸化膜71上にシリコン窒化膜4を形成する工程と、を含む。
ここで、図4(d)に示す凹部20を形成する工程において、第1の絶縁膜(シリコン窒化膜4)を貫通し第3の絶縁膜(シリコン酸化膜71)に達する、凹部20を形成してもよい。すなわち、エッチングの制御性が高く、常に一定の深さに凹部20を形成することが可能である場合には、シリコン窒化膜75のエッチング途中で止めて、その後、ポリシリコン膜21を埋込んでも良い(図6)。
これに対して、本実施の形態では、シリコン窒化膜75またはシリコン窒化膜76(シリコン基板11表面上のシリコン酸化膜12と異なる)で埋め込まれているため、STIの後退が無く、又、ディボットも発生しない。
この後、何度も酸化膜を除去する工程が繰り返されるが、従来技術ではその度にSTIが後退しディボットが大きくなる。その為、従来技術では、接合漏洩電流を抑制するために、あらかじめSTIの後退量を最小限に留める策として、あえてSTIを埋め込んだ酸化膜の上端面をSi基板の上端面よりも高くすることで後退を抑制している。
これに対して、本実施の形態では、STIの後退が無く、又、ディボットも発生しない。このように、STIの後退が小さいため、STIを埋め込んだシリコン窒化膜75の上端面をシリコン基板11の上端面とほぼ同じ高さにすることもできる。
また、第2の実施の形態は、第1の実施の形態と同様の効果が得られる。
第3の実施の形態の半導体装置は、受動素子膜22とSTI(シリコン窒化膜76およびシリコン酸化膜72)との間に、ゲート電極膜(第2の金属膜39、第3の金属膜40)が設けられている(図9(d))。第3の実施の形態は、この点が異なる以外は、第1の実施の形態と同様である。
図7から図9は、本実施の形態の半導体装置の製造手順の工程断面図を示す。
本実施の形態の製造工程は、受動素子膜22と素子分離膜(シリコン窒化膜76およびシリコン酸化膜72)との間のシリコン基板1上に、ゲート電極膜を形成する工程をさらに含む。
ここで、本実施の形態では、置換型メタルゲートプロセスへの適用フローを示す。
続いて、第2のメタルゲートを形成するために、NMOS形成予定領域の第2のダミーゲート電極33のポリシリコンを除去する。そして、第4の凹部82内に第2の金属膜39を成膜する(図9(a))。そして、ゲート電極内部(第3の凹部81および第4の凹部82)を完全に埋め込むように、第3の金属膜40を成膜する(図9(b))。続いて、余分な第2の金属膜39と第3の金属膜40を除去するように、CMPを用いて研磨する(図9(c))。このとき、従来技術ではポリシリ抵抗層が再三削られることになり、膜厚の制御性が劣化し、結果として抵抗値のバラツキを発生させる。
この後、通常のコンタクト形成技術及び配線形成技術を用いて、第2の層間絶縁膜41、コンタクトプラグ42、配線層43などを形成する。
以上により、本実施の形態の半導体装置が得られる(図9(d))。
また、第3の実施の形態は、第1の実施の形態および第2の実施の形態と同様の効果が得られる。
なお、本実施の形態では、NMOS形成予定領域に第1のダミーゲート電極31を設け、PMOS形成予定領域に第2のダミーゲート電極33を設けてもよい。
第4の実施の形態の半導体装置は、受動素子膜22とSTI(シリコン窒化膜76およびシリコン酸化膜72)との間に、ゲート電極膜(第2の金属膜39、第3の金属膜40)が設けられている(図11(d))。第4の実施の形態は、この点が異なる以外は、第1の実施の形態と同様である。
図10および図11は、本実施の形態の半導体装置の製造手順の工程断面図を示す。
本実施の形態の製造工程は、受動素子膜22と素子分離膜(シリコン窒化膜76およびシリコン酸化膜72)との間のシリコン基板1上に、ゲート電極膜(第2のポリシリコンゲート電極53)を形成する工程をさらに含む。
ここで、本実施の形態では、FUSI(フルシリサイド)ゲートプロセスへの適用フローを示す。
この後は、通常のコンタクト形成技術及び配線形成技術を用いて、第2の層間絶縁膜61、コンタクトプラグ62、配線層63等を形成する。
これにより、本実施の形態の半導体装置が得られる(図11(d))。
本実施の形態では、受動素子膜22と素子分離膜(シリコン窒化膜76およびシリコン酸化膜72)との間のシリコン基板1上に、第2のFUSIゲート電極59を形成している。このため、さらに半導体装置の集積性を向上させることができる。
また、第4の実施の形態は、第1の実施の形態および第2の実施の形態と同様の効果が得られる。
なお、本実施の形態では、NMOS領域に第1のFUSIゲート電極58を設け、PMOS領域に第2のFUSIゲート電極59を設けてもよい。
たとえば、本実施の形態の半導体装置において、抵抗素子(抵抗体)に代えて、ヒューズを設けることができる。このとき、受動素子層(ヒューズ)を形成する方法として、Siを含む膜に代えて、たとえば、Ti、TiN、Ta、TaN、W、Mo、Cr、Ni、Al、Cuからなる群から選ばれる一種以上を含有する膜を用いることができる。
2 シリコン酸化膜
3 第1のトレンチ
4 シリコン窒化膜
5 マスク
6 凹部
7 シリコン膜
8 第2のトレンチ
9 素子分離膜
10 受動素子層
11 シリコン基板
12 シリコン酸化膜
13 ポリシリコン膜
14 シリコン窒化膜
15 レジスト
16 第1のトレンチ
17 シリコン酸化膜
18 シリコン窒化膜
19 レジスト
20 凹部
21 ポリシリコン膜
22 受動素子膜
23 ゲート絶縁膜
30 ポリシリコン膜
31 第1のダミーゲート電極
32 レジスト
33 第2のダミーゲート電極
34 サイドウォール
35 カバー膜
36 シリサイド
37 第1の層間絶縁膜
38 第1の金属膜
39 第2の金属膜
40 第3の金属膜
41 第2の層間絶縁膜
42 コンタクトプラグ
43 配線層
50 ポリシリコン膜
51 シリコン窒化膜
52 ポリシリコンゲート電極
53 ポリシリコンゲート電極
54 サイドウォール
55 カバー膜
56 シリサイド
57 第1の層間絶縁膜
58 第1のFUSIゲート電極
59 第2のFUSIゲート電極
60 レジスト
61 第2の層間絶縁膜
62 コンタクトプラグ
63 配線層
70 第2のトレンチ
71 シリコン酸化膜
72 シリコン酸化膜
73 凹部
74 凹部
75 シリコン窒化膜
76 シリコン窒化膜
80 拡散層
81 第3の凹部
82 第4の凹部
Claims (18)
- 基板上に研磨ストッパ膜を形成する工程と、
選択的エッチングにより、前記研磨ストッパ膜および前記基板を除去して、前記基板内に第1のトレンチを形成する工程と、
前記第1のトレンチを埋め込むように、前記研磨ストッパ膜と異なる材料から構成された第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜を研磨して、前記研磨ストッパ膜を露出させる工程と、
選択的エッチングにより、前記第1の絶縁膜に凹部を形成する工程と、
前記凹部を埋め込むように、第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜を研磨して、前記研磨ストッパ膜および前記第1の絶縁膜を露出させ、前記第1のトレンチに受動素子層を形成する工程と、
エッチングにより前記研磨ストッパ膜を除去して、前記基板の表面および前記第1の絶縁膜の側壁を露出させる工程と、を含む半導体装置の製造方法。 - 前記第1のトレンチを形成する工程は、前記基板内に前記第1のトレンチとともに、第2のトレンチを形成する工程を含む、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜を形成する工程において、前記第2のトレンチを埋め込むように、前記第1の絶縁膜を形成し、
前記露出させる工程において、前記第2のトレンチ上の前記第1の絶縁膜を露出させて、素子分離膜を形成し、
前記基板の表面および前記第1の絶縁膜の側壁を露出させる工程において、前記素子分離膜の側壁を露出させる、請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記受動素子層と前記素子分離膜との間の前記基板上に、ゲート電極膜を形成する工程をさらに含む、請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜を形成する工程において、前記第1のトレンチの内部に第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1のトレンチを埋め込むように、前記第3の絶縁膜上に前記第1の絶縁膜を形成する工程と、を含む、請求項1から4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第3の絶縁膜が、シリコン酸化膜である、請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記凹部を形成する工程において、前記第1の絶縁膜を貫通し前記第3の絶縁膜に達する、前記凹部を形成する、請求項5または6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記研磨ストッパ膜が、シリコン酸化膜である、請求項1から7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜が、シリコン窒化膜である、請求項1から8のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の絶縁膜が、Siを含む膜である、請求項1から9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 基板と、
前記基板に設けられた第1のトレンチと、
前記第1のトレンチに埋め込まれた受動素子層と、
前記第1のトレンチと前記受動素子層との間に設けられた第1の絶縁膜と、
前記基板に設けられた第2のトレンチと、
前記第2のトレンチに埋め込まれた素子分離膜と、を備え、
上面視において、前記第1のトレンチの周縁部分と、前記第1の絶縁膜の周縁部分とが略一致しており、
前記第1の絶縁膜と前記素子分離膜とが、同じ材料から構成されており、
前記素子分離膜は、前記第2のトレンチから突出した形状を有する半導体装置。 - 前記第1の絶縁膜は、前記第1のトレンチから突出した前記受動素子層の側壁に沿って、前記第1のトレンチから凸設している、請求項11に記載の半導体装置。
- 前記基板の表面からの、前記第1の絶縁膜の膜厚と前記素子分離膜の膜厚とが略同一である、請求項12に記載の半導体装置。
- 基板と、
前記基板に設けられた第1のトレンチと、
前記第1のトレンチに埋め込まれた受動素子層と、
前記第1のトレンチと前記受動素子層との間に設けられた第1の絶縁膜と、
前記基板に設けられた第2のトレンチと、
前記第2のトレンチに埋め込まれた素子分離膜と、を備え、
上面視において、前記第1のトレンチの周縁部分と、前記第1の絶縁膜の周縁部分とが略一致しており、
前記第1の絶縁膜と前記素子分離膜とが、同じ材料から構成されており、
前記第1のトレンチの内部において、前記基板と前記第1の絶縁膜との間に、第3の絶縁膜が設けられている半導体装置。 - 前記受動素子層が、前記第1の絶縁膜を貫通して前記第3の絶縁膜に接触している、請求項14に記載の半導体装置。
- 基板と、
前記基板に設けられた第1のトレンチと、
前記第1のトレンチに埋め込まれた受動素子層と、
前記第1のトレンチと前記受動素子層との間に設けられた第1の絶縁膜と、
前記基板に設けられた第2のトレンチと、
前記第2のトレンチに埋め込まれた素子分離膜と、を備え、
上面視において、前記第1のトレンチの周縁部分と、前記第1の絶縁膜の周縁部分とが略一致しており、
前記第1の絶縁膜と前記素子分離膜とが、同じ材料から構成されており、
前記受動素子層と前記素子分離膜との間の前記基板上に、ゲート電極膜が設けられている半導体装置。 - 前記ゲート電極膜の構成材料が、シリサイドを含む、請求項16に記載の半導体装置。
- 基板と、
前記基板に設けられた第1のトレンチと、
前記第1のトレンチに埋め込まれた受動素子層と、
前記第1のトレンチと前記受動素子層との間に設けられた第1の絶縁膜と、
前記基板に設けられた第2のトレンチと、
前記第2のトレンチに埋め込まれた素子分離膜と、を備え、
上面視において、前記第1のトレンチの周縁部分と、前記第1の絶縁膜の周縁部分とが略一致しており、
前記第1の絶縁膜と前記素子分離膜とが、同じ材料から構成されており、
前記受動素子層が、抵抗素子またはヒューズである半導体装置。
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