JP5558704B2 - 含フッ素化合物、含フッ素重合体、並びに該重合体を含む組成物および膜 - Google Patents
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Description
R4〜R6は、それぞれ独立して、単結合、又はフッ素原子で置換されていてもよいC1-10アルキレン基を示す。
R7は、単結合、又はフッ素原子で置換されていてもよいC1-15脂肪族炭化水素基を示す。
R8は、フッ素原子で置換されていてもよいC1-24脂肪族炭化水素基を示す。
R9は、水素原子、又はフッ素原子若しくは水酸基で置換されてもいてもよいC1-24脂肪族炭化水素基、又はメチレン単位の一部が酸素原子と置き換わっているC1-24脂肪族炭化水素基を示す。
但しR1〜R9のいずれか一つは、フッ素原子又はフッ素原子で置換されている基である。
1.式(I)で表される化合物において、R8がフッ素原子で置換されているC1-24脂肪族炭化水素基である重合体、
2.式(I)で表される化合物において、R9が水素原子である重合体、
3.式(I)で表される化合物と共重合可能な化合物との共重合体である重合体、
4.式(I)で表される化合物と共重合可能な化合物が、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステルまたはそれらの混合物である重合体、
が好ましい。
1.上記重合体(A)、感光剤(B)、硬化剤(C)及び溶剤(H)を含有する感光性組成物、
2.上記重合体(A)、硬化剤(C)、光酸発生剤(D)及び溶剤(H)、場合によりアミン系化合物(E)を含有する感光性組成物、
3.上記重合体(A)、重合性化合物(F)、光重合開始剤(G)及び溶剤(H)を含有する感光性組成物、
4.上記重合体(A)、硬化剤(C)及び溶剤(H)を含有する硬化性組成物
も提供する。
好ましい硬化剤(C)はメラミン化合物である。
好ましい光酸発生剤(D)はオキシム化合物である。
好ましい重合性化合物(F)は、多官能アクリレート化合物及び多官能メタクリレート化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種である。より好ましい重合性化合物(F)は、5〜6官能アクリレート化合物及び5〜6官能メタクリレート化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種である。
好ましい光重合開始剤(G)はオキシム系化合物である。
本発明の含フッ素化合物は、式(I)で表される。
例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−へキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、シクロヘキシル基、(シクロヘキシル)メチル基。
全フッ素置換炭化水素基には、下記(i)〜(iii)の基が含まれる。
例えば、トリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロ−n−プロピル基、パーフルオロ−n−ブチル基、パーフルオロ−n−ペンチル基、パーフルオロ−n−ヘキシル基、パーフルオロ−n−ヘプチル基、パーフルオロ−n−オクチル基、パーフルオロ−n−ノニル基、パーフルオロ−n−デシル基。
例えば、パーフルオロ−1−メチルエチル基、パーフルオロ−2−メチルプロピル基、パーフルオロ−3−メチルブチル基、パーフルオロ−4−メチルペンチル基、パーフルオロ−5−メチルヘキシル基、パーフルオロ−6−メチルヘプチル基、パーフルオロ−7−メチルオクチル基、パーフルオロ−8−メチルノニル基、パーフルオロ−9−メチルデシル基。
例えばパーフルオロシクロヘキシル基などのパーフルオロ単環状アルキル基;及び1−パーフルオロアダマンチル基、2−パーフルオロアダマンチル基などのパーフルオロ橋かけ環状炭化水素基。
部分フッ素置換炭化水素基には、下記(i)〜(iv)の基が含まれる。
例えばモノフルオロメチル基、ジフルオロメチル基。
例えば(トリフルオロメチル)メチル基、2−(トリフルオロメチル)エチル基、(パーフルオロエチル)メチル基、2−(パーフルオロエチル)エチル基、(パーフルオロ−n−プロピル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−プロピル)エチル基、(パーフルオロ−n−ブチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ブチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ペンチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ペンチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘキシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘプチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘプチル)エチル基、(パーフルオロ−n−オクチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−オクチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ノニル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ノニル)エチル基、(パーフルオロ−n−デシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−デシル)エチル基。
例えば(パーフルオロ−1−メチルエチル)メチル基、2−(パーフルオロ−1−メチルエチル)エチル基、(パーフルオロ−2−メチルプロピル)メチル基、2−(パーフルオロ−2−メチルプロピル)エチル基、(パーフルオロ−3−メチルブチル)メチル基、2−(パーフルオロ−3−メチルブチル)エチル基、(パーフルオロ−4−メチルペンチル)メチル基、2−(パーフルオロ−4−メチルペンチル)エチル基、(パーフルオロ−5−メチルヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロ−5−メチルヘキシル)エチル基、(パーフルオロ−6−メチルヘプチル)メチル基、2−(パーフルオロ−6−メチルヘプチル)エチル基、(パーフルオロ−7−メチルオクチル)メチル基、2−(パーフルオロ−7−メチルオクチル)エチル基、(パーフルオロ−8−メチルノニル)メチル基、2−(パーフルオロ−8−メチルノニル)エチル基、(パーフルオロ−9−メチルデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−9−メチルデシル)エチル基。
例えば(パーフルオロシクロヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロシクロヘキシル)エチル基などのパーフルオロ環状アルキル基で置換されているアルキル基;及び(1−パーフルオロアダマンチル)メチル基、2−(1−パーフルオロアダマンチル)エチル基、(2−パーフルオロアダマンチル)メチル基、2−(2−パーフルオロアダマンチル)エチル基などのパーフルオロ橋かけ環状炭化水素基で置換されているアルキル基。
例えばヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシ−n−プロピル基、2−ヒドロキシ−n−プロピル基、3−ヒドロキシ−n−プロピル基、1−ヒドロキシ−イソプロピル基、2−ヒドロキシ−イソプロピル基、1−ヒドロキシ−n−ブチル基、2−ヒドロキシ−n−ブチル基、3−ヒドロキシ−n−ブチル基、4−ヒドロキシ−n−ブチル基。
例えばメチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、n−ブチレン基、n−ペンチレン基、n−へキシレン基、n−ヘプチレン基、n−オクチレン基、n−ノニレン基、n−デシレン基。
例えばジフルオロメチレン基、パーフルオロエチレン基、パーフルオロ−n−プロピレン基、パーフルオロ−n−ブチレン基、パーフルオロ−n−ペンチレン基、パーフルオロ−n−へキシレン基、パーフルオロ−n−ヘプチレン基、パーフルオロ−n−オクチレン基、パーフルオロ−n−ノニレン基、パーフルオロ−n−デシレン基。
例えば2,2−ジフルオロ−1,3−プロピレン基、2,2,3,3−テトラフルオロ−1,4−ブチレン基、2,2,3,3,4,4−ヘキサフルオロ−1,5−ペンチレン基、2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロ−1,6−へキシレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6−デカフルオロ−1,7−ヘプチレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7−ドデカフルオロ−1,8−オクチレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8−テトラデカフルオロ−1,9−ノニレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9−ヘキサデカフルオロ−1,10−デシレン基。
例えばメチレン基、エチレン基、n−プロピレン基、n−ブチレン基、n−ペンチレン基、n−へキシレン基、n−ヘプチレン基、n−オクチレン基、n−ノニレン基、n−デシレン基、1,1−ジメチルエチレン基、2−メチル−1,3−プロピレン基、メチリデンエチレン基などのアルキレン基;及びエテニレン基、プロペニレン基などのアルケニレン基。
例えば1,2−シクロヘキシレン基などのシクロアルキレン基;及び1,2−シクロヘキセニレン基などのシクロアルケニレン基。
2価の橋かけ環状炭化水素基として、例えば、ノルボルナン、ノルボルネン、アダマンタン及びテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エンなどの橋かけ環状炭化水素の2つの水素原子を結合手に置き換えた基が挙げられる。
例えばジフルオロメチレン基、パーフルオロエチレン基、パーフルオロ−n−プロピレン基、パーフルオロ−n−ブチレン基、パーフルオロ−n−ペンチレン基、パーフルオロ−n−へキシレン基、パーフルオロ−n−ヘプチレン基、パーフルオロ−n−オクチレン基、パーフルオロ−n−ノニレン基、パーフルオロ−n−デシレン基。
例えば2,2−ジフルオロ−1,3−プロピレン基、2,2,3,3−テトラフルオロ−1,4−ブチレン基、2,2,3,3,4,4−ヘキサフルオロ−1,5−ペンチレン基、2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロ−1,6−へキシレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6−デカフルオロ−1,7−ヘプチレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7−ドデカフルオロ−1,8−オクチレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8−テトラデカフルオロ−1,9−ノニレン基、2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9−ヘキサデカフルオロ−1,10−デシレン基。
全フッ素置換炭化水素基には、下記(i)〜(iii)の基が含まれる。
例えばトリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロ−n−プロピル基、パーフルオロ−n−ブチル基、パーフルオロ−n−ペンチル基、パーフルオロ−n−ヘキシル基、パーフルオロ−n−ヘプチル基、パーフルオロ−n−オクチル基、パーフルオロ−n−ノニル基、パーフルオロ−n−デシル基、パーフルオロ−n−ウンデシル基、パーフルオロ−n−ドデシル基、パーフルオロ−n−トリデシル基、パーフルオロ−n−テトラデシル基、パーフルオロ−n−ペンタデシル基、パーフルオロ−n−ヘキサデシル基、パーフルオロ−n−ヘプタデシル基、パーフルオロ−n−オクタデシル基、パーフルオロ−n−ノナデシル基、パーフルオロ−n−エイコシル基、パーフルオロ−n−ヘンエイコシル基。
例えば、パーフルオロ−1−メチルエチル基、パーフルオロ−2−メチルプロピル基、パーフルオロ−3−メチルブチル基、パーフルオロ−4−メチルペンチル基、パーフルオロ−5−メチルヘキシル基、パーフルオロ−6−メチルヘプチル基、パーフルオロ−7−メチルオクチル基、パーフルオロ−8−メチルノニル基、パーフルオロ−9−メチルデシル基、パーフルオロ−10−メチルウンデシル基、パーフルオロ−11−メチルドデシル基、パーフルオロ−12−メチルトリデシル基、パーフルオロ−13−メチルテトラデシル基、パーフルオロ−14−メチルペンタデシル基、パーフルオロ−15−メチルヘキサデシル基、パーフルオロ−16−メチルヘプタデシル基、パーフルオロ−17−メチルオクタデシル基、パーフルオロ−18−メチルノナデシル基、パーフルオロ−19−メチルエイコシル基、パーフルオロ−20−メチルヘンエイコシル基。
例えばパーフルオロシクロヘキシル基などのパーフルオロ環状アルキル基;及び1−パーフルオロアダマンチル基、2−パーフルオロアダマンチル基などのパーフルオロ橋かけ環状炭化水素基。
部分フッ素置換炭化水素基には、下記(i)〜(iv)の基が含まれる。
例えばモノフルオロメチル基、ジフルオロメチル基。
例えば(トリフルオロメチル)メチル基、2−(トリフルオロメチル)エチル基、(パーフルオロエチル)メチル基、2−(パーフルオロエチル)エチル基、(パーフルオロ−n−プロピル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−プロピル)エチル基、(パーフルオロ−n−ブチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ブチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ペンチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ペンチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘキシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘプチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘプチル)エチル基、(パーフルオロ−n−オクチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−オクチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ノニル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ノニル)エチル基、(パーフルオロ−n−デシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−デシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ウンデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ウンデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ドデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ドデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−トリデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−トリデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−テトラデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−テトラデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ペンタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ペンタデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘキサデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘキサデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘプタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘプタデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−オクタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−オクタデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ノナデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ノナデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−エイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−エイコシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘンエイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘンエイコシル)エチル基。
例えば(パーフルオロ−1−メチルエチル)メチル基、2−(パーフルオロ−1−メチルエチル)エチル基、(パーフルオロ−2−メチルプロピル)メチル基、2−(パーフルオロ−2−メチルプロピル)エチル基、(パーフルオロ−3−メチルブチル)メチル基、2−(パーフルオロ−3−メチルブチル)エチル基、(パーフルオロ−4−メチルペンチル)メチル基、2−(パーフルオロ−4−メチルペンチル)エチル基、(パーフルオロ−5−メチルヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロ−5−メチルヘキシル)エチル基、(パーフルオロ−6−メチルヘプチル)メチル基、2−(パーフルオロ−6−メチルヘプチル)エチル基、(パーフルオロ−7−メチルオクチル)メチル基、2−(パーフルオロ−7−メチルオクチル)エチル基、(パーフルオロ−8−メチルノニル)メチル基、2−(パーフルオロ−8−メチルノニル)エチル基、(パーフルオロ−9−メチルデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−9−メチルデシル)エチル基、(パーフルオロ−10−メチルウンデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−10−メチルウンデシル)エチル基、(パーフルオロ−11−メチルドデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−11−メチルドデシル)エチル基、(パーフルオロ−12−メチルトリデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−12−メチルトリデシル)エチル基、(パーフルオロ−13−メチルテトラデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−13−メチルテトラデシル)エチル基、(パーフルオロ−14−メチルペンタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−14−メチルペンタデシル)エチル基、(パーフルオロ−15−メチルヘキサデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−15−メチルヘキサデシル)エチル基、(パーフルオロ−16−メチルヘプタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−16−メチルヘプタデシル)エチル基、(パーフルオロ−17−メチルオクタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−17−メチルオクタデシル)エチル基、(パーフルオロ−18−メチルノナデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−18−メチルノナデシル)エチル基、(パーフルオロ−19−メチルエイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−19−メチルエイコシル)エチル基、(パーフルオロ−20−メチルヘンエイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−20−メチルヘンエイコシル)エチル基。
例えば(パーフルオロシクロヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロシクロヘキシル)エチル基などのパーフルオロ環状アルキル基で置換されているアルキル基;及び(1−パーフルオロアダマンチル)メチル基、2−(1−パーフルオロアダマンチル)エチル基、(2−パーフルオロアダマンチル)メチル基、2−(2−パーフルオロアダマンチル)エチル基などのパーフルオロ橋かけ環状炭化水素基で置換されているアルキル基。
例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−へキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、シクロヘキシル基、1−メチル−1−シクロヘキシル基、(シクロヘキシル)メチル基などのアルキル基(直鎖状、分枝鎖状及び環状アルキル基を含む);及び1−アダマンチル基、2−メチル−2−アダマンチル基、2−エチル−2−アダマンチル基などの橋かけ環状炭化水素基。
全フッ素置換炭化水素基には、下記(i)〜(iii)の基が含まれる。
例えばトリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロ−n−プロピル基、パーフルオロ−n−ブチル基、パーフルオロ−n−ペンチル基、パーフルオロ−n−ヘキシル基、パーフルオロ−n−ヘプチル基、パーフルオロ−n−オクチル基、パーフルオロ−n−ノニル基、パーフルオロ−n−デシル基、パーフルオロ−n−ウンデシル基、パーフルオロ−n−ドデシル基、パーフルオロ−n−トリデシル基、パーフルオロ−n−テトラデシル基、パーフルオロ−n−ペンタデシル基、パーフルオロ−n−ヘキサデシル基、パーフルオロ−n−ヘプタデシル基、パーフルオロ−n−オクタデシル基、パーフルオロ−n−ノナデシル基、パーフルオロ−n−エイコシル基、パーフルオロ−n−ヘンエイコシル基。
例えば、パーフルオロ−1−メチルエチル基、パーフルオロ−2−メチルプロピル基、パーフルオロ−3−メチルブチル基、パーフルオロ−4−メチルペンチル基、パーフルオロ−5−メチルヘキシル基、パーフルオロ−6−メチルヘプチル基、パーフルオロ−7−メチルオクチル基、パーフルオロ−8−メチルノニル基、パーフルオロ−9−メチルデシル基、パーフルオロ−10−メチルウンデシル基、パーフルオロ−11−メチルドデシル基、パーフルオロ−12−メチルトリデシル基、パーフルオロ−13−メチルテトラデシル基、パーフルオロ−14−メチルペンタデシル基、パーフルオロ−15−メチルヘキサデシル基、パーフルオロ−16−メチルヘプタデシル基、パーフルオロ−17−メチルオクタデシル基、パーフルオロ−18−メチルノナデシル基、パーフルオロ−19−メチルエイコシル基、パーフルオロ−20−メチルヘンエイコシル基。
例えばパーフルオロシクロヘキシル基などのパーフルオロ環状アルキル基;及び1−パーフルオロアダマンチル基、2−パーフルオロアダマンチル基などのパーフルオロ橋かけ環状炭化水素基。
部分フッ素置換炭化水素基には、下記(i)〜(iv)の基が含まれる。
例えばモノフルオロメチル基、ジフルオロメチル基。
例えば(トリフルオロメチル)メチル基、2−(トリフルオロメチル)エチル基、(パーフルオロエチル)メチル基、2−(パーフルオロエチル)エチル基、(パーフルオロ−n−プロピル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−プロピル)エチル基、(パーフルオロ−n−ブチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ブチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ペンチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ペンチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘキシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘプチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘプチル)エチル基、(パーフルオロ−n−オクチル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−オクチル)エチル基、(パーフルオロ−n−ノニル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ノニル)エチル基、(パーフルオロ−n−デシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−デシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ウンデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ウンデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ドデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ドデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−トリデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−トリデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−テトラデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−テトラデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ペンタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ペンタデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘキサデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘキサデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘプタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘプタデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−オクタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−オクタデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ノナデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ノナデシル)エチル基、(パーフルオロ−n−エイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−エイコシル)エチル基、(パーフルオロ−n−ヘンエイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−n−ヘンエイコシル)エチル基。
例えば(パーフルオロ−1−メチルエチル)メチル基、2−(パーフルオロ−1−メチルエチル)エチル基、(パーフルオロ−2−メチルプロピル)メチル基、2−(パーフルオロ−2−メチルプロピル)エチル基、(パーフルオロ−3−メチルブチル)メチル基、2−(パーフルオロ−3−メチルブチル)エチル基、(パーフルオロ−4−メチルペンチル)メチル基、2−(パーフルオロ−4−メチルペンチル)エチル基、(パーフルオロ−5−メチルヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロ−5−メチルヘキシル)エチル基、(パーフルオロ−6−メチルヘプチル)メチル基、2−(パーフルオロ−6−メチルヘプチル)エチル基、(パーフルオロ−7−メチルオクチル)メチル基、2−(パーフルオロ−7−メチルオクチル)エチル基、(パーフルオロ−8−メチルノニル)メチル基、2−(パーフルオロ−8−メチルノニル)エチル基、(パーフルオロ−9−メチルデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−9−メチルデシル)エチル基、(パーフルオロ−10−メチルウンデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−10−メチルウンデシル)エチル基、(パーフルオロ−11−メチルドデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−11−メチルドデシル)エチル基、(パーフルオロ−12−メチルトリデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−12−メチルトリデシル)エチル基、(パーフルオロ−13−メチルテトラデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−13−メチルテトラデシル)エチル基、(パーフルオロ−14−メチルペンタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−14−メチルペンタデシル)エチル基、(パーフルオロ−15−メチルヘキサデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−15−メチルヘキサデシル)エチル基、(パーフルオロ−16−メチルヘプタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−16−メチルヘプタデシル)エチル基、(パーフルオロ−17−メチルオクタデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−17−メチルオクタデシル)エチル基、(パーフルオロ−18−メチルノナデシル)メチル基、2−(パーフルオロ−18−メチルノナデシル)エチル基、(パーフルオロ−19−メチルエイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−19−メチルエイコシル)エチル基、(パーフルオロ−20−メチルヘンエイコシル)メチル基、2−(パーフルオロ−20−メチルヘンエイコシル)エチル基。
例えば(パーフルオロシクロヘキシル)メチル基、2−(パーフルオロシクロヘキシル)エチル基などのパーフルオロ環状アルキル基で置換されているアルキル基;及び(1−パーフルオロアダマンチル)メチル基、2−(1−パーフルオロアダマンチル)エチル基、(2−パーフルオロアダマンチル)メチル基、2−(2−パーフルオロアダマンチル)エチル基などのパーフルオロ橋かけ環状炭化水素基で置換されているアルキル基。
例えば2−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシプロピル基、メトキシメチル基、2−(2−メトキシエトキシ)エチル基。
式(I−1)〜(I−30)中、R31は、水素原子、フッ素原子、トリフルオロメチル基又はメチル基を示し、好ましくは水素原子又はメチル基である。
式(I−1)〜(I−30)中、R41〜R61は、それぞれ独立して、単結合、メチレン基、エチレン基又はn−プロピレン基を示す。好ましいR41及びR61は単結合であり、好ましいR51はメチレン基及びエチレン基である。
式(I−1)及び(I−2)中、bは0〜10(好ましくは0〜6)の整数である。
式(I−1)〜(I−30)中、cは0〜21(好ましくは1〜8)の整数である。
式(I−7)及び(I−8)中、dは1〜10(好ましくは2〜4)の整数である。
式(I−13)及び(I−14)中、eは1〜8(好ましくは2〜4)の整数である。
なお本明細書中の「(メタ)アクリル酸エステル」との表記は、アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステルからなる群から選ばれる少なくとも1種を意味する。また「(メタ)アクリル酸」等の表記も同様である。
例えば、化合物(a)と化合物(b)とのエステル化反応は、4−ジメチルアミノピリジン及びピリジンの共存下で還流させながら撹拌して行われる。この反応混合物は、例えば、トルエン及び塩酸を用いる分液操作によって精製できる。
例えば、化合物(a)と化合物(c)との反応は、濃硫酸、硫酸マグネシウム及びクロロホルムの共存下で還流させながら攪拌して行われる。この反応混合物は、例えば、クロロホルムと飽和炭酸ナトリウム水溶液を用いる分液操作によって精製できる。
本発明の化合物(I)から得られる重合体は、高い耐熱性を有し、さらに低屈折率および高い透明性を示す。
次に本発明の重合体の用途について記述する。本発明の重合体の用途は、基本的にコーティング用途である。通常、本発明の重合体を有機溶媒に溶解させたコーティング材料を用いて、成膜する。詳しくは、本発明の重合体を有機溶剤に溶解させてコーティング材料を形成し、該コーティング材料を支持体上に塗布し、有機溶剤を除去することで、本発明の膜を形成できる。
本発明は、上記の含フッ素重合体を含有する組成物も提供する。本発明の組成物は、フォトリソグラフィによる現像に用いる感光性組成物、および現像に用いない硬化性組成物(非感光性組成物)に分類される。本発明のいずれの組成物も、上記重合体を含有し、高い耐熱性、低い低屈折率および高い透明性を示す膜を形成できる。
1.本発明の重合体(A)、感光剤(B)、硬化剤(C)及び溶剤(H)を含有する感光性組成物(以下「感光性組成物1」と呼ぶ場合がある)、
2.本発明の重合体(A)、硬化剤(C)、光酸発生剤(D)及び溶剤(H)、場合によりアミン系化合物(E)を含有する感光性組成物(以下「感光性組成物2」と呼ぶ場合がある)、
3.本発明の重合体(A)、重合性化合物(F)、光重合開始剤(G)及び溶剤(H)を含有する感光性組成物(以下「感光性組成物3」と呼ぶ場合がある)、
4.本発明の重合体(A)、硬化剤(C)及び溶剤(H)、及び場合によりアミン系化合物(E)を含有する硬化性組成物(以下「硬化性組成物4」と呼ぶ場合がある)
が含まれる。
本発明の感光性組成物1は、重合体(A)、感光剤(B)、硬化剤(C)及び溶剤(H)を含有する。
感光剤(B)は、感光性組成物の分野で公知のものを使用できる。代表的な感光剤(B)は、キノンジアジド化合物(特にナフトキノンジアジド化合物)である。好ましいナフトキノンジアジド化合物は、o−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物(例えばo−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸など)と、多価フェノール(好ましくはフェノール性水酸基を3つ以上有する多価フェノール)とのエステルである。
硬化剤(C)としては、熱硬化作用を有する化合物を用いることができ、例えば、メラミン化合物が挙げられる。好ましいメラミン化合物は、例えば、式(III)で表される。
感光性組成物1中の重合体(A)、感光剤(B)及び硬化剤(C)の含有量(重合体(A)、感光剤(B)及び硬化剤(C)の合計100質量部に対する量)は、それぞれ以下の通りである。
重合体(A):好ましくは30〜70質量部程度、より好ましくは40〜60質量部程度。
感光剤(B):好ましくは10〜60質量部程度、より好ましくは20〜50質量部程度。
硬化剤(C):好ましくは5〜30質量部程度、より好ましくは10〜20質量部程度。
感光剤(B)の量を上記範囲内にすることで、パターン形成時の現像工程での膜減りを小さくでき、またフォトリソグラフィでパターンを形成する際の露光時間を短くできる。
硬化剤(C)の量が上記範囲内であれば、フォトリソグラフィでパターンを形成する際の露光量を少なくできる。また現像後のパターンの形状が良好であり、該パターンを加熱して硬化させた後のパターンの機械的強度も充分である。
本発明の感光性組成物2は、重合体(A)、硬化剤(C)、光酸発生剤(D)及び溶剤(H)、場合によりアミン系化合物(E)を含有する。硬化剤(C)の説明は、上述した通りである。
光酸発生剤(D)としては、公知の種々の光酸発生剤、例えば、ヨードニウム塩化合物、スルホニウム塩化合物、有機ハロゲン化合物(ハロアルキル−s−トリアジン化合物など)、スルホン酸エステル化合物、ジスルホン化合物、ジアゾメタンスルホニル化合物、N−スルホニルオキシイミド化合物、オキシム系化合物などが使用できる。好ましい光酸発生剤(D)は、オキシム系化合物である。
感光性組成物2中の重合体(A)、硬化剤(C)及び光酸発生剤(D)の含有量(重合体(A)、硬化剤(C)及び光酸発生剤(D)の合計100質量部に対する量)は、それぞれ以下の通りである。
重合体(A)の含有量:好ましくは60〜95質量部程度、より好ましくは70〜90質量部程度。
硬化剤(C)の含有量:好ましくは1〜35質量部程度、より好ましくは5〜30質量部程度。
光酸発生剤(D)の含有量:好ましくは1〜15質量部程度、より好ましくは3〜10質量部程度。
硬化剤(C)の量が前記範囲であれば、フォトリソグラフィによって本発明の感光性組成物2からパターンを形成する際に、露光量を少なくできる。また現像後のパターン形状が良好であり、該パターンを加熱して硬化させた後のパターンの機械的強度も充分である。
光酸発生剤(D)の含有量が前記範囲であれば、感光性組成物2を光硬化した後の強度及び表面平滑性を良好にできる。
本発明の感光性組成物2は、さらにアミン系化合物(E)を含有していてもよい。アミン系化合物を用いることにより、フォトリソグラフィを行うときの露光量を、感光性組成物を長期間保存する前後で大きく変化しないようにすることができる。またアミン系化合物を用いることにより、露光後に放置したときの光酸発生剤(D)の失活によるパターンの寸法変化を低減できる。
本発明の感光性組成物3は、重合体(A)、重合性化合物(F)、光重合開始剤(G)及び溶剤(H)を含有する。
重合性化合物(F)として、ビニル基を有するビニル化合物(例えばN−ビニルピロリドン)なども使用できるが、(メタ)アクリロイル基を有する単官能又は多官能(メタ)アクリレート化合物を使用することが好ましい。好ましくは2以上(より好ましくは3以上)の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリレート化合物を使用することが推奨される。なお重合性化合物(F)は、1種のみを使用しても良く、2種以上を組み合わせて使用しても良い。
光重合開始剤(G)としては、例えば、オキシム系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物及びアシルフォスフィンオキサイド系化合物(好ましくはオキシム系化合物)が挙げられる(以下、これらを第1の光重合開始剤という)。光重合開始剤は、単独で用いても良く、2種以上を組み合わせてもよい。
感光性組成物3中の重合体(A)、重合性化合物(F)及び光重合開始剤(G)の含有量(重合体(A)、重合性化合物(F)及び光重合開始剤(G)の合計100質量部に対する量)は、それぞれ以下の通りである。
重合体(A):好ましくは15〜80質量部程度、より好ましくは50〜80質量部程度。
重合性化合物(F):好ましくは15〜80質量部程度、より好ましくは15〜35質量部程度。
光重合開始剤(G):好ましくは1〜15質量部程度、より好ましくは3〜10質量部程度。
なお第1の光重合開始剤を第2の光重合開始剤と組み合わせるときは、光重合開始剤(G)の前記含有量は、第1及び第2の光重合開始剤の合計量を意味する。
重合性化合物(F)の量を上記範囲内にすることで、感光性組成物の感度、並びに塗膜およびパターンの強度、平滑性及び機械強度などが向上する傾向がある。
光重合開始剤(G)の量が上記範囲内であれば、フォトリソグラフィでパターンを形成する際の露光量を少なくできる。また現像後のパターンの形状が良好であり、該パターンを加熱して硬化させた後のパターンの機械的強度も充分である。
本発明の硬化性組成物4は、重合体(A)、硬化剤(C)及び溶剤(H)、及び場合によりアミン系化合物(E)を含有する。硬化剤(C)およびアミン系化合物(E)の説明は、上述した通りである。なお本発明の硬化性組成物は、実質的に、感光剤、光重合開始剤および光酸発生剤を含有しない。
硬化性組成物4中の重合体(A)、硬化剤(C)及び光酸発生剤(D)の含有量(重合体(A)及び硬化剤(C)の合計100質量部に対する量)は、それぞれ以下の通りである。
重合体(A)の含有量:好ましくは70〜98質量部程度、より好ましくは80〜95質量部程度。
硬化剤(B)の含有量:好ましくは2〜30質量部程度、より好ましくは5〜20質量部程度。
〈溶剤(H)〉
感光性組成物1〜3および硬化性組成物4の各成分は、溶剤(H)に溶解していてもよく、分散していてもよい。溶剤(H)は、各成分の溶解度や、組成物の塗布性などに応じて、適宜選択すればよい。
本発明の感光性組成物1〜3および硬化性組成物4は、さらに必要に応じて、他の添加剤(J)(例えば界面活性剤、及び重合体(A)以外の他の重合体成分など)を含有していても良い。
本発明の感光性組成物1〜3は、溶剤中で各成分を混合した後、通常、ポアサイズが0.2μm以下程度のフィルタでろ過して、調製することが好ましい。ろ過することで、感光性組成物を塗布する際の均一性が向上する。
(1)感光性組成物を支持体上に塗布する工程
(2)溶剤を除去する工程
(3)塗布により得られた塗膜に、目的パターンに対応するマスクパターンを介して露光する工程
(4)現像工程
(5)得られたパターンに紫外線を照射する工程
(6)パターンを加熱する工程
本発明の硬化性組成物4は、支持体に塗布した後、熱硬化することによって保護膜などを形成できる。
なお実施例では、含有量または使用量を表す「%」及び「部」は、断りが無いかぎり、「質量%」及び「質量部」を示す。
化合物(a−3)10.0g(32mmol、ダイキン化成品販売(株)製)に、無水コハク酸6.6g(65mmol)、4−ジメチルアミノピリジン0.36g(2.9mmol)、ピリジン52gを加えた後、還流させながら2.5時間攪拌した。その後、反応液を室温まで冷却し、トルエン100mLを加え、有機層を塩酸50mLで2回及び水50mLで2回洗浄した。有機層を取り出し、硫酸マグネシウムを加えて乾燥させ、ろ過した。ろ液にカルボラフィンを加え、60℃で1時間攪拌し、セライトを通してろ過した。ろ液をロータリーエバポレーターで溶媒留去した後、60℃で減圧乾燥して、11.9gの化合物(I−1−1)(フッ素及びカルボキシ基含有メタクリル酸エステル)を得た。
1H−NMR(270MHz、δ値(ppm、TMS基準)、CDCl3、室温);1.95(3H、s)、2.4−2.7(6H、m)、4.1−4.4(2H、m)、5.4−5.6(1H、m)、5.63(1H、d、J=1.0Hz)、6.12(1H、d、J=1.0Hz)、9.29(1H、bs)
滴下ロート、ジムロート冷却菅、温度計、及びメカニカルスターラーを備えた500mLの4つ口フラスコにメチルイソブチルケトン14.0gを仕込み、攪拌しながら15分間窒素ガスをフラスコ内に流した後、そのまま90℃まで昇温した。200mLビーカーに化合物(I−1−1)11.9g(29mmol)、2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)0.140g(0.85mmol)及びメチルイソブチルケトン50gを加え、室温で攪拌して均一溶液にした。この溶液を滴下ロートに加え、90℃に保温した4つ口フラスコ内に1時間かけて滴下した。滴下終了後、4つ口フラスコ内を90℃に保温して4時間攪拌したところ、無色溶液が得られた。4つ口フラスコ内を室温まで冷却し、得られた無色溶液を1Lナス型フラスコに移し、ロータリーエバポレーターで溶媒留去した後、60℃で減圧乾燥して、11.8gの重合体Aaを得た。重合体Aaの数平均分子量(Mn)は11,800、重量平均分子量(Mw)は510,000、分散度(Mw/Mn)は44であった。
装置:K2479((株)島津製作所製)
カラム:SHIMADZU Shim−pack GPC−80M
カラム温度:40℃
溶媒:THF(テトラヒドロフラン)
流速:1.0mL/min
検出器:RI
被検液溶媒:濃度2%のTHF溶液
化合物(a−1)10.0g(24mmol、ダイキン化成品販売(株)製、CAS No.16083−79−7)に、無水コハク酸4.9g(49mmol)、4−ジメチルアミノピリジン0.31g(2.5mmol)、ピリジン51gを加えた後、還流させながら3.5時間攪拌した。その後、反応液を室温まで冷却し、トルエン100mLを加え、有機層を塩酸50mLで2回洗浄した。有機層を取り出し、硫酸マグネシウムを加え乾燥させ、ろ過した。ろ液にカルボラフィンを加え、60℃で1時間攪拌し、セライトを通してろ過した。ろ液をロータリーエバポレーターで溶媒留去した後、60℃で減圧乾燥して、12.1gの化合物(I−1−2)(フッ素及びカルボキシ基含有メタクリル酸エステル)を得た。
1H−NMR(500MHz、δ値(ppm、TMS基準)、DMSO、室温);1.94(3H、s)、2.3−2.8(6H、m)、4.1−4.3(1H、m)、4.3−4.5(1H、m)、5.5−5.7(1H、m)、5.62(1H、s)、6.12(1H、s)、9.29(1H、bs)
滴下ロート、ジムロート冷却菅、温度計、及びメカニカルスターラーを備えた500mLの4つ口フラスコにメチルイソブチルケトン13.0gを仕込み、攪拌しながら15分間窒素ガスをフラスコ内に流した後、そのまま90℃まで昇温した。200mLビーカーに化合物(I−1−2)12.1g(24mmol)、2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)0.120g(0.73mmol)及びメチルイソブチルケトン45gを加え、室温で攪拌して均一溶液にした。この溶液を滴下ロートに加え、前記の90℃に保温した4つ口フラスコ内に1時間かけて滴下した。滴下終了後、4つ口フラスコ内を90℃に保温して5時間攪拌したところ、無色溶液が得られた。4つ口フラスコ内を室温まで冷却し、得られた無色溶液を1Lナス型フラスコに移し、ロータリーエバポレーターを用いて溶媒を留去した後、60℃で減圧乾燥して、12.3gの重合体Abを得た。重合体Abの数平均分子量(Mn)は9,300、重量平均分子量(Mw)は53,000、分散度(Mw/Mn)は5.7であった。なお重合体Abの分子量は、重合体Aaの場合と同様にして測定した。
滴下ロート、ジムロート冷却菅、温度計、及びメカニカルスターラーを備えた500mLの4つ口フラスコにメチルイソブチルケトン(20g)を仕込み、攪拌しながら15分間窒素ガスをフラスコ内に流した後、そのまま90℃まで昇温した。200mLビーカーに、化合物(a−1)10.1g(24mmol)、2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)0.40g(2.4mmol)及びメチルイソブチルケトン10.0gを加え、室温で攪拌して均一溶液にした。この溶液を滴下ロートに加え、90℃に保温した4つ口フラスコ内に1時間かけて滴下した。滴下終了後、4つ口フラスコ内を90℃に保温して4時間攪拌したところ、無色溶液が得られた。4つ口フラスコ内を室温まで冷却し、得られた無色溶液を1Lナス型フラスコに移し、ロータリーエバポレーターで溶媒留去した後、60℃で減圧乾燥して、9.9gの重合体Acを得た。重合体Acの数平均分子量(Mn)は3,800、重量平均分子量(Mw)は6,300、分散度(Mw/Mn)は1.65であった。なお重合体Acの分子量は、重合体Aaの場合と同様にして測定した。
重合体Aaを固形分で100部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを400部混合した後、孔径0.2μmのメンブランフィルタでろ過して重合体Aaの液を得た。
重合体Aaの代りに重合体Abを用いたこと以外は、重合体Aaと同様にして重合体Abの液を得た。
重合体Aaの代りに重合体Abを用い、溶剤量を200部としたこと以外は、重合体Aaと同様にして重合体Acの液を得た。
シリコンウエハ上にスピンコート法で膜厚が1.0μmとなるように、重合体液を塗布し、90℃で1分間加熱して揮発成分を除去して塗膜を形成した。塗膜の550nmにおける屈折率を分光エリプソメータ(M−220;日本分光(株)製)にて測定した。屈折率は、低いほど好ましい。
石英ウエハ上にスピンコート法で膜厚が1.0μmとなるように、重合体液を塗布し、ホットプレート上で、90℃で1分間加熱して揮発成分を除去して塗膜を形成した。この塗膜に300〜450nmの紫外光200mJ/cm2を照射後し、180℃で3分間加熱し、400〜700nmの波長−透過率スペクトルを分光光度計(DU−640;BECKMAN社製)で測定し、平均透過率を算出した。平均透過率は、高いほど好ましい。
(3−1)透過率の差の絶対値の平均値
石英ウエハ上にスピンコート法で膜厚が1.0μmとなるように、重合体液を塗布し、ホットプレート上で、90℃で1分間加熱して揮発成分を除去して塗膜を形成した。この塗膜に300〜450nmの紫外光200mJ/cm2を照射後し、180℃で3分間加熱して、塗膜を得た。該塗膜の400〜700nmの波長−透過率スペクトルを分光光度計(DU−640;BECKMAN社製)により測定し、スペクトルAを得た。
上述のようにして240℃で60分間加熱した後、塗膜のはじきを目視で観察した。「塗膜のはじき」とは、加熱によって石英ウェハ上の塗膜が玉のような形状で凝縮することを意味する。
[紫外線照射過程を含まない場合]
シリコンウエハ上にスピンコート法で膜厚が1μmとなるように、重合体液を塗布し、90℃で1分間加熱して揮発成分を除去して塗膜を形成した。得られた塗膜の膜厚を光学干渉式膜厚計(VM1200;大日本スクリーン製造(株)製)で測定した。このときの膜厚をd1とする。
この塗膜を、110℃で1分間加熱し、現像液(2.38%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液)に1分間浸漬し、次いで水洗・乾燥した後、その膜厚を測定した。このときの膜厚をd2とする。
前記膜厚d1及びd2を下記式に代入して、現像残膜率1を求めた。
現像残膜率1(%)=d2/d1×100
重合体Aa:49部、感光剤(B)として式(110)で表されるフェノール化合物とo−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸とのエステル40部、硬化剤(C)としてヘキサメトキシメチルメラミン11部、溶剤(H)として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン400部を混合した後、孔径0.2μmのメンブランフィルタでろ過して感光性組成物1aを得た。
重合体Aaの代りに重合体Acを用いたこと以外は、感光性組成物1aと同様にして感光性組成物1cを得た。
紫外線照射過程を含まない場合の現像残膜率1は、重合体液の代わりに感光性組成物を使用したこと以外は、実施例1と同様にして測定した。紫外線照射過程を含む場合の現像残膜率2は、以下のようにして測定した。
シリコンウエハ上にスピンコート法で膜厚が1μmとなるように、感光性組成物を塗布し、90℃で1分間加熱して揮発成分を除去することで塗膜を形成した。得られた塗膜に波長300〜450nmの紫外光を200mJ/cm2で照射した後、その膜厚を光学干渉式膜厚計(VM1200;大日本スクリーン製造(株)製)で測定した。このときの膜厚をd3とする。
紫外線照射後の塗膜を、110℃で1分間加熱し、現像液(2.38%のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液)に1分間浸漬し、次いで水洗・乾燥した後、その膜厚を測定した。このときの膜厚をd4とする。
前記膜厚d3及びd4を下記式に代入して、現像残膜率2を求めた。
現像残膜率2(%)=d4/d3×100
シリコンウエハ上にスピンコート法で感光性組成物を塗布し、90℃で1分間加熱して揮発成分を除去して塗膜を形成した。次いで、得られた塗膜に波長300〜450nmの紫外光を200mJ/cm2で照射し、180℃で3分間加熱した。なお前記180℃での加熱後に塗膜の膜厚が1.0μmとなるように、スピンコート法での塗布を調整した。加熱後の塗膜の550nmにおける屈折率を、分光エリプソメータ(M−220;日本分光(株)製)で測定した。屈折率は、低いほど好ましい。
平均透過率は、重合体液の代わりに感光性組成物を使用したこと以外は、実施例1と同様にして測定した。平均透過率は、高いほど好ましい。
重合体Aa:82部、硬化剤(C)としてヘキサメトキシメチルメラミン13部、光酸発生剤(D)として下記式で表されるα−(4−トルエンスルホニルオキシイミノ)−α−(4−メトキシフェニル)アセトニトリル5部、アミン系化合物(E)として2−アミノ−2−メチル−1−プロパノール0.15部、溶剤(H)としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート400部を混合した後、孔径0.2μmのメンブランフィルタでろ過して感光性組成物2aを得た。
重合体Aaの代りに重合体Acを用いたこと以外は、感光性組成物2aと同様にして感光性組成物2cを得た。
重合体Aa:66部、重合性化合物(F)としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート29部、光重合開始剤(G)としてIRGACURE OXE01(チバ・ジャパン(株)製)5部、溶剤(H)としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート400部を混合した後、孔径0.2μmのメンブランフィルタでろ過して感光性組成物3aを得た。
重合体Aaの代りに重合体Abを用いたこと以外は、感光性組成物3aと同様にして感光性組成物3bを得た。
重合体Aaの代りに重合体Acを用いたこと以外は、感光性組成物3aと同様にして感光性組成物3cを得た。
重合体Aa:95部、硬化剤(C)としてヘキサメトキシメチルメラミン5部、溶剤(H)としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート400部を混合した後、孔径0.2μmのメンブランフィルタでろ過して硬化性組成物4aを得た。
重合体Aaの代りに重合体Abを用いたこと以外は、硬化性組成物4aと同様にして硬化性組成物4bを得た。
硬化性組成物4bから得られた塗膜は、低い屈折率(1.40)及び高い平均透過率(99%)を示した。
Claims (19)
- 式(I)で表される化合物。
R4〜R6は、それぞれ独立して、単結合、又はフッ素原子で置換されていてもよいC1-10アルキレン基を示す。
R7は、単結合、又はフッ素原子で置換されていてもよいC1-15脂肪族炭化水素基を示す。
R8は、フッ素原子で置換されているC1-24脂肪族炭化水素基を示す。
R9は、水素原子、又はフッ素原子若しくは水酸基で置換されていてもよいC1-24脂肪族炭化水素基、又はメチレン単位の一部が酸素原子と置き換わっているC1-24脂肪族炭化水素基を示す。〕 - 請求項1に記載の式(I)で表される化合物を構成モノマーとする重合体。
R4〜R6は、それぞれ独立して、単結合、又はフッ素原子で置換されていてもよいC1-10アルキレン基を示す。
R7は、単結合、又はフッ素原子で置換されていてもよいC1-15脂肪族炭化水素基を示す。
R8は、フッ素原子で置換されているC1-24脂肪族炭化水素基を示す。
R9は、水素原子、又はフッ素原子若しくは水酸基で置換されていてもよいC1-24脂肪族炭化水素基、又はメチレン単位の一部が酸素原子と置き換わっているC1-24脂肪族炭化水素基を示す。〕 - 式(I)で表される化合物において、R9が水素原子である請求項2に記載の重合体。
- 式(I)で表される化合物と共重合可能な化合物との共重合体である請求項2または3に記載の重合体。
- 式(I)で表される化合物と共重合可能な化合物が、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステルまたはそれらの混合物である請求項4に記載の重合体。
- 請求項2〜5のいずれかに記載の重合体を含んでなる膜。
- 請求項2〜5のいずれかに記載の重合体(A)、感光剤(B)、硬化剤(C)及び溶剤(H)を含有する感光性組成物。
- 感光剤(B)はキノンジアジド化合物である請求項7に記載の感光性組成物。
- 硬化剤(C)はメラミン化合物である請求項7または8に記載の感光性組成物。
- 請求項2〜5のいずれかに記載の重合体(A)、硬化剤(C)、光酸発生剤(D)及び溶剤(H)を含有する感光性組成物。
- 光酸発生剤(D)はオキシム化合物である請求項10に記載の感光性組成物。
- さらにアミン系化合物(E)を含有する請求項10又は11に記載の感光性組成物。
- 硬化剤(C)はメラミン化合物である請求項10〜12のいずれかに記載の感光性組成物。
- 請求項2〜5のいずれかに記載の重合体(A)、重合性化合物(F)、光重合開始剤(G)及び溶剤(H)を含有する感光性組成物。
- 重合性化合物(F)は、多官能アクリレート化合物及び多官能メタクリレート化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種である請求項14に記載の感光性組成物。
- 重合性化合物(F)は、5〜6官能アクリレート化合物及び5〜6官能メタクリレート化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種である請求項15に記載の感光性組成物。
- 光重合開始剤(G)はオキシム系化合物である請求項14〜16のいずれかに記載の感光性組成物。
- 請求項2〜5のいずれかに記載の重合体(A)、硬化剤(C)及び溶剤(H)を含有する硬化性組成物。
- 硬化剤(C)はメラミン化合物である請求項18に記載の硬化性組成物。
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