JP5556278B2 - 絶縁放熱基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の第1の実施形態における絶縁放熱基板の斜視図である。所定の導体パターン9a、9b、9c、9dを打抜いて形成したリードフレーム9に対して、その上面側をレジスト10で覆ったものとしている。そしてレジスト10を上面に露出させて、リードフレーム9の下面側を絶縁樹脂層11の上面側に配置あるいは貼り付けている。ここでは金属放熱板12を絶縁樹脂層11の下面側に接触させて配置しているが、金属放熱板12については必要に応じて配置し、適用すればよい。
次に、これまでに説明した剥離部13の形成方法について説明する。図8は絶縁放熱基板の製造方法に関する部分斜視図である。絶縁樹脂層11を金属放熱板12の上に形成し、この絶縁樹脂層11の上面に導体によって任意のパターンに形成された導体であるリードフレーム9を埋め込むことによってなる絶縁放熱基板において、少なくともリードフレーム9の表面を覆うレジスト10に対して、所定の波長を有するレーザ光21をレーザ光照射口22から照射することにより、レジスト10を除去した剥離部13を形成するものである。
9a 導体パターン
9b 導体パターン
9c 導体パターン
9d 導体パターン
10 レジスト
11 絶縁樹脂層
12 金属放熱板
13 剥離部
14 凹凸部
15 はんだ溶接部
16 凹部
17 凸部
18 絶縁樹脂層側面部
19 境界部
20 剥離側面部
Claims (10)
- 所定の導体パターン形状に打抜いて形成され、上面側をレジストで覆われたリードフレームと、
前記レジスト面を露出させて前記リードフレームが配置あるいは埋設された絶縁樹脂層と、
前記リードフレームの上面の一部に設けられ、前記レジストをレーザ光によって剥離して形成された剥離部と、を備え、
前記剥離部の底面には、前記レーザ光によって形成され、前記レジストの表面に比べて大きな凹凸を有する凹凸部が形成された絶縁放熱基板。 - 前記レジストは酸化膜によって形成された請求項1に記載の絶縁放熱基板。
- 前記レジストは、前記酸化膜を覆うシリコン化合物もしくはフッ素化合物を含む請求項2に記載の絶縁放熱基板。
- 前記凹凸部は格子状に配列された請求項1記載の絶縁放熱基板。
- 前記剥離部は前記リードフレームと前記絶縁樹脂層との境界部に接して形成された請求項1記載の絶縁放熱基板。
- 前記リードフレームの厚みは0.2mm以上とした請求項1記載の絶縁放熱基板。
- 前記絶縁樹脂層は熱硬化性樹脂であり、
少なくとも前記リードフレームにおいて絶縁樹脂層から露出した部分には、酸化膜を有し、
絶縁樹脂層から露出した部分の前記酸化膜は、前記リードフレームにおいて前記絶縁樹脂層で覆われている部分に比べて厚い請求項1記載の絶縁放熱基板。 - 熱硬化した絶縁樹脂層の上に、上面側を覆ったレジストが露出するように、配置されたリードフレームと、前記リードフレームの上面の一部に形成された剥離部とを有した絶縁放熱基板の製造方法において、
所定の導体パターン形状となるように前記リードフレームを打抜いて形成する工程と、
前記リードフレームの上面の一部に剥離部を形成する工程とが設けられ、
前記剥離部を設ける工程では、前記リードフレームへレーザ光を照射することによって、前記レジストを剥離して前記剥離部を形成するとともに、前記剥離部の底面に前記レジストの表面に比べて大きな凹凸を有した凹凸部を形成する絶縁放熱基板の製造方法。 - 前記剥離部を設ける工程は、前記レーザの照射により、直線状に複数の縦方向剥離溝を形成する第1の剥離工程と、
直線状に複数の横方向剥離溝を形成する第2の剥離工程とからなる請求項8記載の絶縁放熱基板の製造方法。 - 打抜いて形成された前記リードフレームを、前記絶縁樹脂層へ埋め込む工程と、
前記絶縁樹脂層を加熱・硬化するとともに、前記リードフレームが前記絶縁樹脂層から露出した部分を酸化させて前記レジストを形成する工程と、を有した請求項8記載の絶縁放熱基板の製造方法。
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