JP5554126B2 - SiC半導体素子の製造方法 - Google Patents
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<構成>
図1は、本発明の実施の形態1におけるSiCショットキーバリアダイオードの構成を示す断面図である。
図2〜図7を用いて、実施の形態1におけるSiCショットキーバリアダイオードの製造工程を示す。図2〜図7は、SiCショットキーバリアダイオードの各製造工程における断面模式図である。
研磨による傷をRIE等で除去(図7)した後、SiC基板10の薄板化を行う。まず、SiC基体11の素子活性領域が形成された表面デバイス側をレジストなどで保護した上でテープやサファイア基板の平坦面に貼り付け、SiC基板10の底面を研削し、厚みを減少させる。
本実施の形態のSiC半導体素子の製造方法によれば、以下の効果を奏する。すなわち、本実施の形態のSiC半導体素子の製造方法は、(a)表面側にイオン注入領域30(素子活性領域)が形成されたSiC基体11(SiC基板)を準備する工程と、(b)SiC基体11の表面を平坦面に固定し、裏面を研削する工程と、(c)SiC基体11の表面を平坦面に固定したまま、研削によるSiC基体11の反りを相殺する応力を付与する内部応力層3を、SiC基体11内部に形成する工程とを備える。これにより、薄板化に伴うSiC基板の反りを修正し、オン抵抗を低減することが出来る。
Claims (5)
- (a)表面側に素子活性領域が形成されたSiC基板を準備する工程と、
(b)前記SiC基板の前記表面を平坦面に固定し、裏面を研削する工程と、
(c)前記SiC基板の前記表面を前記平坦面に固定したまま、前記研削による前記SiC基板の反りを相殺する応力を付与する膨張応力を有する内部応力層を、前記SiC基板内部に形成する工程とを備える、SiC半導体素子の製造方法。 - 前記工程(c)は、レーザ照射によって前記内部応力層を形成することを特徴とする、請求項1に記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記工程(c)は、前記内部応力層としてアモルファス層を形成することを特徴とする、請求項1又は2に記載のSiC半導体素子の製造方法。
- 前記工程(c)は、前記内部応力層をチップのダイシングラインに沿って形成する工程である、請求項1〜3のいずれかに記載のSiC半導体素子の製造方法。
- (d)前記ダイシングラインに沿って前記表面側に別の内部応力層を形成する工程をさらに備えた、請求項4に記載のSiC半導体素子の製造方法。
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