JP5552840B2 - 樹脂フィルムロールの製造方法及び保管方法 - Google Patents
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2)3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物及びピロメリット酸二無水物(例えば、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物/ピロメリット酸二無水物(モル比)は0/100〜90/10であることが好ましい)と、p−フェニレンジアミン、又はp−フェニレンジアミン及び4,4−ジアミノジフェニルエ−テル(例えば、p−フェニレンジアミン/4,4−ジアミノジフェニルエ−テル(モル比)は90/10〜10/90であることが好ましい。)との組み合わせ。
3)ピロメリット酸二無水物と、p−フェニレンジアミン及び4,4−ジアミノジフェニルエ−テル(例えば、p−フェニレンジアミン/4,4−ジアミノジフェニルエ−テル(モル比)は90/10〜10/90であることが好ましい。)との組み合わせ。
使用したポリイミドフィルムは、厚さ12.5μm、弾性率9GPa、フィルムの幅方向の膜厚差は、平均膜厚の5%であった。
ポリイミドフィルムを、線膨脹係数1.4×10−6cm/cm/℃、吸水率1%以下、弾性率1500kgf/mm2の巻取りコア(FWPコア、直径:6インチ)に1000m巻取った後、張力がかかった状態で巻取りを停止し、ロールの最外層に両面テープを貼付した後、巻き取り末端部のポリイミドフィルムを最外層に巻付けてロールの表面に固定した。その後、張力をOFFし、ポリイミドフィルムの末端部を切断した後、更に固定テープによって該末端部を表面側からロールの表面に固定してポリイミドフィルムロールを得た。得られたポリイミドフィルムロール外周の表面凹凸は0.3mmで、表面硬度差は100×9.8m/sec2であった。また、ロール表面には皺がなかった。また、このポリイミドフィルムロールを立ててみたところ、巻緩みによる巻ズレは発生しなかった。また、このポリイミドフィルムロールを、23℃、60RH%にて30日間保管したところ、皺は発生しなかった。
使用したポリイミドフィルムは、厚さ125μm、弾性率7.5GPa、フィルムの幅方向の膜厚差は、平均膜厚の5%であった。
このポリイミドフィルムを用いた以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルムロールを得た。得られたポリイミドフィルムロール外周の表面凹凸は0.6mmで、表面硬度差は100×9.8m/sec2であった。また、ロール表面には皺がなかった。また、このポリイミドフィルムロールを立ててみたところ、巻緩みによる巻ズレは発生しなかった。また、このポリイミドフィルムロールを、23℃、60RH%にて30日間保管したところ、皺は発生しなかった。
使用したポリイミドフィルムは、厚さ35μm、弾性率10GPa、フィルムの幅方向の膜厚差は、平均膜厚の3%であった。
このポリイミドフィルムを用いた以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルムロールを得た。得られたポリイミドフィルムロール外周の表面凹凸は0.4mmで、表面硬度差は70×9.8m/sec2であった。また、ロール表面には皺がなかった。また、このポリイミドフィルムロールを立ててみたところ、巻緩みによる巻ズレは発生しなかった。また、このポリイミドフィルムロールを、23℃、60RH%にて30日間保管したところ、皺は発生しなかった。また、スパッタリング工程において、このポリイミドフィルムロールからポリイミドフィルムを取り出したところ皺の発生は見られなかった。
実施例1のポリイミドフィルムを、実施例1と同様にして巻取りコア(FWPコア、直径:6インチ)に1000m巻取った後、張力をOFFにした。そして、ポリイミドフィルムの末端部を切断した後、該末端部を表面側からロールの表面に粘着テープで固定して、ポリイミドフィルムロールを得た。
このポリイミドフィルムロールを立ててみたところ、巻緩みによる巻ズレは発生しなかったが、ロール表面に粘着テープを起点とした皺の発生が見られた。
実施例2のポリイミドフィルムを、実施例2と同様にして巻取りコア(FWPコア、直径:6インチ)に1000m巻取った後、張力をOFFにした。そして、ポリイミドフィルムの末端部を切断した後、該末端部を表面側からロールの表面に粘着テープで固定して、ポリイミドフィルムロールを得た。
このポリイミドフィルムロールは、ロール表面に皺は見られなかった。しかしながら、このポリイミドフィルムロールを立ててみたところ、巻緩みによる巻ズレが発生した。
実施例3のポリイミドフィルムを、実施例1と同様にして巻取りコア(FWPコア、直径:6インチ)に1500m巻取った後、張力をOFFにした。そして、ポリイミドフィルムの末端部を切断した後、該末端部を表面側からロールの表面に粘着テープで固定して、ポリイミドフィルムロールを得た。
このポリイミドフィルムロールは、ロール表面に皺は見られなかった。また、このポリイミドフィルムロールを立ててみたところ、巻緩みによる巻ズレは発生しなかった。しかしながら、23℃、60RH%にて30日間保管したところ、皺が発生した。
Claims (5)
- 平均厚みが5〜125μm、幅方向の膜厚の最大厚みと最少厚みの差が5%以下、弾性率が7〜12GPaのポリイミドフィルムを、
巻取り張力をかけながら50℃〜200℃における線膨脹係数が10×10 −6 cm/cm/℃以下で、吸水率が1%以下である巻取りコアに巻取り、
前記巻取り末端部のポリイミドフィルムの裏面に両面テープを貼付し、巻取り時の張力をかけた状態で、前記巻き取り末端部のポリイミドフィルムを最外層に巻付けて前記ポリイミドフィルムロールの表面に固定し、
前記ポリイミドフィルムの末端部を切断し、
更に固定テープによって該末端部を表面側から前記ポリイミドフィルムロールの表面に固定するポリイミドフィルムロールの製造方法。 - 平均厚みが5〜125μm、幅方向の膜厚の最大厚みと最少厚みの差が5%以下、弾性率が7〜12GPaのポリイミドフィルムを、
巻取り張力をかけながら50℃〜200℃における線膨脹係数が10×10 −6 cm/cm/℃以下で、吸水率が1%以下である巻取りコアに巻取り、
前記ポリイミドフィルムロールの最外層に両面テープを貼付し、巻取り時の張力をかけた状態で、前記巻き取り末端部のポリイミドフィルムを最外層に巻付けて前記ポリイミドフィルムロールの表面に固定し、
前記ポリイミドフィルムの末端部を切断し、
更に固定テープによって該末端部を表面側から前記ポリイミドフィルムロールの表面に固定するポリイミドフィルムロールの製造方法。 - 前記ポリイミドフィルムに30N/m〜220N/mの張力をかけた状態で、前記両面テープにより、前記巻取り末端部のポリイミドフィルムを前記ポリイミドフィルムロールの表面に固定する請求項1又は2に記載のポリイミドフィルムロールの製造方法。
- 前記ポリイミドフィルムが、メタライジング法に用いられる配線基板用フィルムである、請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムロールの製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法で得られたポリイミドフィルムロールを、温度5〜35℃、湿度35〜85%RHの条件下で保管することを特徴とするポリイミドフィルムロールの保管方法。
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