JP5544226B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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- 固定ユニットに対して接離方向に可動する可動ユニットが設けられ、前記固定ユニットに載置された、少なくとも一面側に回路が形成された基板が、前記可動ユニットが近接して把持されたとき、前記固定ユニットに設けられているテストプローブの先端が前記基板の所定箇所に当接する基板検査装置であって、
前記固定ユニットには、前記基板の回路形成面方向に対向する一面側に先端部が突出するように複数本の前記テストプローブが設けられた固定ピンボードと、前記固定ピンボードを貫通する複数の貫通孔の各々に中途部が挿通されて、先端に前記基板が載置されている柱状支持体が立設されたリフトボードと、前記リフトボードを前記固定ピンボードの他面側に付勢する第1付勢部材とを具備し、
前記可動ユニットには、前記固定ユニットに対して接離方向に可動する可動板と、前記可動板の一面側に設けられ、前記可動板が前記固定ユニットに近接したとき、前記基板を前記柱状支持体との間で把持すると共に、前記基板の回路形成面の所定箇所に前記テストプローブの先端が当接するように、前記柱状支持体の先端との当接面に対応する前記基板の対応面を、前記第1付勢部材の付勢力に抗して押圧する柱状押圧体とを具備することを特徴とする基板検査装置。 - 前記テストプローブが、その先端の方向に第2付勢部材で付勢されて筒状のソケット内に収容され、且つ複数本の前記ソケットの各中途部が、収容された前記テストプローブの先端が前記基板の回路形成面方向を向くように、前記固定ピンボードに固着され、且つ前記リフトボードに前記固定ピンボードの他面側から突出する前記ソケットの突出部が挿通されるソケット用の貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記リフトボードは、前記柱状支持体が立設された立設面が前記固定ピンボードの他面側に当接されるように前記第1付勢部材によって付勢されていることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記可動ユニットには、前記柱状押圧体の先端が前記基板に当接したとき、先端面が前記リフトボードの一面側に当接し、前記可動板の前記固定ユニット方向への近接を防止するストッパが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記基板が、両面側に回路が形成された基板であって、前記柱状支持体の先端に載置された基板の前記可動板側面の所定箇所に先端が当接するテストプローブの中途部が、前記可動板を貫通して、前記可動板の他面側に設けられた可動ピンボードに固着され、且つ前記可動ピンボードが付勢部材によって前記可動板から離れる方向に付勢されていることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記リフトボードには、前記固定ピンボードの一面側から先端面が所定距離突出するように受け部と前記柱状支持体とが立設されていると共に、前記柱状支持体の中途部が挿通される支持体用貫通孔と、前記受け部の中途部が挿通される受け部用貫通孔とが前記固定ピンボードに形成され、
且つ前記可動板には、前記可動板が前記固定ユニットに近接したとき、前記基板に当接し押圧して前記柱状支持体との間で把持する柱状押圧体と、前記リフトボードを押圧して、前記基板の回路形成面の所定箇所に前記テストプローブの先端が当接するように、前記受け部の先端面に当接して押圧する押圧部材とが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
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