JP5515679B2 - 基板のダイシング方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の第1実施形態のダイシング方法を示す基板1の平面図及び個片2の平面図である。この実施形態の基板1は四角形であり、基板1を幅方向に16等分する例を示す。基板1は図示しないダイシングテーブルの上にダイサーシートを介して保持されている。基板1には図示しない回路部がマトリックス状に形成されており、その境界部に設けられたダイシングライン(実線で示す)に沿って一次ダイシングした後、一次ダイシングと直交方向にダイシングライン(破線で示す) に沿って二次ダイシングすることによって、個片(チップ)2に分割される。Lは個片2の長さ、Wは個片2の幅であり、L>Wである。一次ダイシングを個片2の長辺方向に実施し、二次ダイシングを個片2の短辺方向に実施する。周知の通り、ダイシングはダイシングブレードが一定位置で回転しながらダイシングテーブルがダイシングラインと平行に移動することで実行され、ダイシングラインの変更はダイシングブレードが基板1の幅方向に移動することで実行される。
図5は本発明の第2実施形態のダイシング方法を示す基板1の平面図、図6は各ステップ毎のダイシングブレードの幅方向移動軌跡を示す。図5では一次ダイシングの方法のみを示している。この実施形態も基板1を16等分する例であり、n=1の場合である。初回はステップ1 〜9 に示すように、基板1の始端側から終端側に向かって個片サイズWの2倍(21 倍) 幅で順にダイシングし、基板1を8等分する。2回目は、ステップ10〜17に示すように、個片サイズWと同一幅(20 倍) でダイシングし、初回にダイシングされた基板の中心位置に沿って面積均等ダイシングを行う。このようにダイシング幅の種類が2(=n+1)種類となる。
図7は基板を32分割する場合のダイシングブレードの幅方向移動軌跡を示し、(a)は本発明の第3実施形態のダイシング方法、(b)は従来(特許文献1)のダイシング方法を示す。第3実施形態では、初回のダイシング幅を個片サイズの4倍幅としている。基板1の周囲には耳部が存在するので、第3実施形態ではステップ1と9(従来例ではステップ1と3)で耳部の切除を行う。
図8は基板を64分割する場合のダイシングブレードの幅方向移動軌跡を示し、(a)は本発明の第4実施形態のダイシング方法、(b)は従来(特許文献1)のダイシング方法を示す。第4実施形態では、初回のダイシング幅を個片サイズの22 倍幅としている。図8から明らかなように、第4実施形態では、従来方法に比べてダイシングブレードの動きが格段に簡素となり、移動ピッチの設定数も少ないことがわかる。このように、従来方法では分割数が増えるに従い、ダイシングブレードの幅方向の移動ピッチの設定数も多くなり、チャンネル数もそれだけ多く必要になるのに対し、本発明では、初回のダイシング幅(2n )を適切に設定することにより、分割数が増えても移動ピッチの設定数が増えず、チャンネル数を少なくできる。さらに、ダイシングブレードの幅方向の総移動量も少なくなり、作業時間をさらに短縮できる。
1a 耳部
2 個片
Claims (4)
- ダイサーシート上に保持された基板をダイシングブレードにより個片にダイシングするダイシング方法において、
個片サイズの2n(nは正の整数)倍幅となるように、基板の一方端から他方端にかけて順次平行にダイシングして第1の分割片を得る第1の工程と、
前記第1の工程で得られた第1の分割片をその幅方向中心線でダイシングして第2の分割片を得る第2の工程とを含み、
前記第2の工程を前記第2の分割片が個片サイズと同一幅となるまで繰り返し、
前記基板を個片サイズに2 k 等分するとき、前記nの値はn≦k−2であり、kは正の整数であることを特徴とする、基板のダイシング方法。 - 前記nは3以下であることを特徴とする、請求項1に記載の基板のダイシング方法。
- 前記個片サイズより広い幅でダイシングする場合のダイシングスピードを、前記個片サイズと同一幅にダイシングする場合のダイシングスピードより速くすることを特徴とする、請求項1又は2に記載の基板のダイシング方法。
- 前記個片は長辺と短辺とを有する長方形状であり、
前記基板を前記長辺方向にダイシングする一次ダイシングを先に行い、前記短辺方向にダイシングする二次ダイシングを後で行い、
前記一次ダイシングにおいて請求項1乃至3のいずれかに記載のダイシング方法を実施することを特徴とする、基板のダイシング方法。
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JP2009267206A JP5515679B2 (ja) | 2009-11-25 | 2009-11-25 | 基板のダイシング方法 |
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