JP2008130700A - 多角形半導体チップの製造方法および製造装置 - Google Patents
多角形半導体チップの製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008130700A JP2008130700A JP2006312315A JP2006312315A JP2008130700A JP 2008130700 A JP2008130700 A JP 2008130700A JP 2006312315 A JP2006312315 A JP 2006312315A JP 2006312315 A JP2006312315 A JP 2006312315A JP 2008130700 A JP2008130700 A JP 2008130700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- cutting line
- semiconductor
- manufacturing
- polygonal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体ウエハ2を矩形状に切断する第1の工程(a)と、矩形状に切断した各半導体チップc1〜c9の各間隔を広げる第2の工程(b)と、各半導体チップc1〜c9のコーナー部を切断する第3の工程(c)とを有していることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図5(a)では半導体チップ10にバンプ11を形成する。図5(b)(c)では半導体チップ10に形成されたバンプ11を基板12の側に向けて配置し、実装位置に熱硬化性樹脂シート13が塗布された基板12に押し付けて半導体チップ10のバンプ11を基板12の配線電極14に当接させ熱硬化性樹脂シート13を硬化させて基板12における半導体チップ10の位置を固定する。
一般的な半導体チップ10は矩形で、コーナー部16が90°であるため、基板12の反りなどが発生した場合には、応力が半導体チップ10の前記コーナー部16に集中して、図5(f)に示すようにコーナー部16を起点として、前記樹脂15にクラック17が発生し、不良が発生する。
本発明は、コーナー部を面取りした半導体チップを、良好な生産性で製造できる多角形半導体チップの製造方法を提供することを目的とする。
(実施の形態1)
図2は多角形半導体チップの製造方法の実施に使用する多角形半導体チップの製造装置を示す。
ダイシング装置5は、ソーブレード6とこの回転駆動装置7とで構成されており、台座3にセットされた半導体ウエハ2を、制御装置4から命令されたタイミングに切断しながら切断線の方向に命令された長さだけ水平移動する。
図1(a)(b)(c)は第1,第2,第3の工程を模式的に示している。
図1(a)に示した第1の工程では、図2に示すように仮固定シート9に貼り付けた状態で台座3にセットされている。仮固定シート9は2層構造で、下層9aがエクスパンド性を有しており、上層9bは粘着性を有している。仮固定シート9は真空吸着により台座3に固定されている。仮固定シート9の厚さは、50μm〜500μmである。
図1(b)に示した第2の工程では、第1の工程でダイシングされた後の半導体ウエハ2に対して、制御装置4がエクスパンド装置8に命令して、仮固定シート9を引っ張る。
仮固定シート9は引っ張ることで伸び、半導体チップc1〜c9の間隔20,21が広がる。横(左右)方向に均等な力で引っ張ることで間隔20は均等な間隔となる。縦(上下)方向に均等な力で引っ張ることで間隔21は均等な間隔に広がる。また、横(左右)方向、縦(上下)方向に均等な力で引っ張ることで、各間隔20,21を均等にできる。
第3切断線z3では、半導体チップc1,c5,c9のコーナー部と半導体チップc2,c6のコーナー部が切断される。
第3切断線z5では、半導体チップc2,c4のコーナー部と半導体チップc1のコーナー部が切断される。
第3切断線z7では、半導体チップc3,c5,c7のコーナー部と半導体チップc6,c8のコーナー部が切断される。
第3切断線z9〜z12では、半導体チップc7,c3,c1,c9のコーナー部が切断される。
図4(a)は実施の形態2を示す。
実施の形態1の半導体チップc1〜c9は正方形であるため第2の工程では縦横方向に均等にエクスパンドしたが、この実施の形態では半導体チップc1〜c9は長方形であって、第2の工程で縦横方向にエクスパンドする大きさが異なっている。その他は実施の形態1と同じである。
間隔がそれぞれの辺の長さに比例した間隔でかつ、k<1でない場合には、半導体チップc7の右下のコーナー部23と半導体チップc8の左上のコーナー部24の切断には、切断線25と切断線26との2回のダイシングを行う必要があり効率が悪くなる。
2 半導体ウエハ
3 台座
4 制御装置
5 ダイシング装置
6 ソーブレード
7 回転駆動装置
8 エクスパンド装置
9 仮固定シート
9a 仮固定シート9の下層
9b 仮固定シート9の上層
c1〜c9 半導体チップ
X1,X2,X3,X4 X軸方向に沿う第1切断線
Y1,Y2,Y3,Y4 Y軸方向に沿う第2切断線
z1〜z12 第3切断線
Claims (8)
- 半導体ウエハから半導体チップを切り出すに際し、
互いに交差するX軸方向に沿う第1切断線とY軸方向に沿う第2切断線とで前記半導体ウエハを矩形状の複数の半導体チップに切断する第1の工程(a)と、
第1の工程(a)で切断線を入れた前記半導体ウエハをX軸方向とY軸方向に拡張して隣接する矩形状の半導体チップの間隔を広げる第2の工程(b)と、
第2の工程(b)で拡張して配置されている半導体チップに対して、斜め方向に隣り合う前記矩形状の半導体チップのコーナー部を通過する直線の第3切断線によって、前記半導体チップのコーナー部を切断する第3の工程(c)と
を実施する多角形半導体チップの製造方法。 - 前記第2の工程(b)の前記各半導体チップの各間隔が、X軸方向に等間隔で、Y軸方向に等間隔である
請求項1に記載の多角形半導体チップの製造方法。 - 前記第2の工程(b)の前記矩形状に切断された各半導体チップの辺の長さをX,Yとした場合に、
長さXの辺に対し、垂直方向の前記各半導体の各間隔はk・Yであり、
長さYの辺に対し、垂直方向の前記各半導体の各間隔はk・Xであり、
かつ、kは 0.4142 ≦ k< 1 である
請求項2に記載の多角形半導体チップの製造方法。 - 前記第3の工程(c)の前記第3の切断線は、
横あるいは縦方向に隣り合う前記矩形状の半導体チップのコーナー部を通過する
請求項1に記載の多角形半導体チップの製造方法。 - 前記第1の工程(a)では、半導体ウエハをエクスパンド性を有する仮固定シートに貼り付けてから半導体ウエハを前記第1切断線と前記第2切断線で切断し、
前記第2の工程(b)では、前記仮固定シートを引っ張り伸ばすことで、前記半導体チップの各間隔を広げる
請求項1に記載の多角形半導体チップの製造方法。 - 仮固定シートがエクスパンド性を有する下層の上に粘着性を有する上層を形成した2層構造で、第1の工程(a)では、仮固定シートの前記上層に半導体ウエハを貼り付けて仮固定シートの前記下層に達しない前記第1切断線と前記第2切断線で半導体ウエハを切断する
請求項5に記載の多角形半導体チップの製造方法。 - 前記第2の工程(b)と前記第3の工程(c)との間に、
前記第2の工程(b)で拡張して配置されている半導体チップの全部を載せてある台座を回転して、前記第3切断線の位置を決める工程を実行する
請求項1に記載の多角形半導体チップの製造方法。 - 仮固定シートに貼り付けられた半導体ウエハを、互いに交差するX軸方向に沿う第1切断線とY軸方向に沿う第2切断線とで前記半導体ウエハを矩形状の複数の半導体チップに切断するダイシング装置と、
前記仮固定シートを引っ張り伸ばすことで仮固定シートに貼り付けられた各半導体チップの各間隔を広げるエクスパンド装置と、
間隔を広げられ斜め方向に隣り合う前記矩形状の半導体チップのコーナー部を前記第3切断線が通過するように、前記ダイシング装置の角度と仮固定シートに貼り付けられた各半導体チップが搭載されている台座を相対移動させる角度変更装置と
を設けた多角形半導体チップの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312315A JP4818076B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | 多角形半導体チップの製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006312315A JP4818076B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | 多角形半導体チップの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008130700A true JP2008130700A (ja) | 2008-06-05 |
JP4818076B2 JP4818076B2 (ja) | 2011-11-16 |
Family
ID=39556252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006312315A Expired - Fee Related JP4818076B2 (ja) | 2006-11-20 | 2006-11-20 | 多角形半導体チップの製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4818076B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014112671A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-06-19 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 基板の加工方法、及びそれを用いた液晶表示パネルの製造方法 |
US10211175B2 (en) | 2012-11-30 | 2019-02-19 | International Business Machines Corporation | Stress-resilient chip structure and dicing process |
JP2020181877A (ja) * | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
JP2021015888A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | 株式会社ディスコ | 製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4727757U (ja) * | 1971-04-16 | 1972-11-29 | ||
JPH05102300A (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2000346648A (ja) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 半導体デバイスとその製造方法 |
JP2004079667A (ja) * | 2002-08-13 | 2004-03-11 | Seiko Epson Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-11-20 JP JP2006312315A patent/JP4818076B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4727757U (ja) * | 1971-04-16 | 1972-11-29 | ||
JPH05102300A (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2000346648A (ja) * | 1999-06-08 | 2000-12-15 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 半導体デバイスとその製造方法 |
JP2004079667A (ja) * | 2002-08-13 | 2004-03-11 | Seiko Epson Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014112671A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-06-19 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 基板の加工方法、及びそれを用いた液晶表示パネルの製造方法 |
US10211175B2 (en) | 2012-11-30 | 2019-02-19 | International Business Machines Corporation | Stress-resilient chip structure and dicing process |
JP2020181877A (ja) * | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
JP7229088B2 (ja) | 2019-04-24 | 2023-02-27 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
JP2021015888A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | 株式会社ディスコ | 製造方法 |
JP7308680B2 (ja) | 2019-07-11 | 2023-07-14 | 株式会社ディスコ | 製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4818076B2 (ja) | 2011-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6561743B1 (en) | Pellet picking method and pellet picking apparatus | |
JP6048654B2 (ja) | 半導体ウェーハの製造方法 | |
JP2018509746A (ja) | ウェハーのレーザー分離方法 | |
US10607861B2 (en) | Die separation using adhesive-layer laser scribing | |
JP5980600B2 (ja) | テープ拡張装置 | |
JP6119551B2 (ja) | 弾性支持板、破断装置及び分断方法 | |
JP6115438B2 (ja) | 破断装置及び分断方法 | |
JP6087707B2 (ja) | テープ拡張装置 | |
JP4818076B2 (ja) | 多角形半導体チップの製造方法および製造装置 | |
JP6119550B2 (ja) | エキスパンダ、破断装置及び分断方法 | |
US9018080B2 (en) | Wafer processing method | |
JP2016035965A (ja) | 板状部材の分割装置および板状部材の分割方法 | |
US7728257B2 (en) | Method of forming embrittled areas inside wafer for division | |
US10615075B2 (en) | Dicing a wafer | |
JP6009885B2 (ja) | テープ拡張装置 | |
JP5488139B2 (ja) | ダイシング方法及びダイシング装置 | |
JP2015077711A (ja) | 弾性支持板、破断装置及び分断方法 | |
JP6301565B1 (ja) | マイクロチップをウェーハーから切り離して該マイクロチップを基板上に装着する方法および装置 | |
JP4611227B2 (ja) | 複合ウエハ構造の製造方法 | |
JP2011218607A (ja) | 基板分割装置および基板分割方法 | |
JP6611130B2 (ja) | エキスパンドシート | |
JP6723644B2 (ja) | エキスパンドシート | |
JP2010141085A (ja) | 積層製品の製造方法 | |
JPWO2014185446A1 (ja) | 半導体チップのピックアップ装置 | |
JP6723643B2 (ja) | エキスパンドシート |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080430 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090601 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110729 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110802 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110830 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4818076 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |