JP5503905B2 - スパッタ装置及びスパッタ方法 - Google Patents
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims description 104
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 72
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 64
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 34
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 27
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012864 cross contamination Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020598 Co Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002519 Co-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002885 antiferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
第1乃至第3のターゲットは、上記真空槽の内部において同一円周上に等角度間隔で配置されている。
ステージは、上記スパッタ装置で薄膜が形成される基板を支持する。
上記第1のシャッタは、上記第1乃至第3のターゲットと上記ステージとの間に配置されている。第1のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第1の開口、上記第2のターゲットと対応する第2の開口及び上記第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、上記第1の開口と上記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記第2のシャッタは、上記第1のシャッタと同軸的に配置されている。上記第2のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第5の開口、上記第2のターゲットと対応する第6の開口及び上記第3のターゲットと対応する第7の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記制御ユニットは、上記第1乃至第3のターゲットに対する上記第1のシャッタ及び上記第2のシャッタの各々の回転位置を制御するためのものである。
上記第1のシャッタは、第1のターゲットと対応する第1の開口、第2のターゲットと対応する第2の開口、第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、上記第1の開口と上記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記第2のシャッタは、上記第1のシャッタと同軸的に配置されている。上記第2のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第5の開口、上記第2のターゲットと対応する第6の開口及び上記第3のターゲットと対応する第7の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3のターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、当該第1乃至第3の開口が上記第1乃至第3のターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の開口が上記第1乃至第3の開口と対応する位置に回転させられる。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3の何れか1つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第4の開口が上記1つのターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の何れか1つの開口が上記第4の開口と対応する位置に回転させられる。
上記第1のシャッタは、第1のターゲットと対応する第1の開口、第2のターゲットと対応する第2の開口、第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、上記第1の開口と上記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記第2のシャッタは、上記第1のシャッタと同軸的に配置されている。上記第2のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第5の開口、上記第2のターゲットと対応する第6の開口及び上記第3のターゲットと対応する第7の開口、上記第5の開口と上記第6の開口との間に位置する第8の開口、及び、上記第6の開口と上記第7の開口との間に位置する第9の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3のターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第1乃至第3の開口が上記第1乃至第3のターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の開口が上記第1乃至第3の開口と対応する位置に回転させられる。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3の何れか1つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第4の開口が上記第1乃至第3の何れか1つのターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の何れか1つの開口が上記第4の開口と対応する位置に回転させられる。
そして、このスパッタ方法は、上記第1乃至第3の何れか2つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第1乃至第3の何れか2つの開口が上記2つのターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第8及び第9の開口が上記2つのターゲットと対応する位置に回転させられる。
第1乃至第3のターゲットは、上記真空槽の内部において同一円周上に等角度間隔で配置されている。
ステージは、上記スパッタ装置で薄膜が形成される基板を支持する。
上記第1のシャッタは、上記第1乃至第3のターゲットと上記ステージとの間に配置されている。第1のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第1の開口、上記第2のターゲットと対応する第2の開口及び上記第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、上記第1の開口と上記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記第2のシャッタは、上記第1のシャッタと同軸的に配置されている。上記第2のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第5の開口、上記第2のターゲットと対応する第6の開口及び上記第3のターゲットと対応する第7の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記制御ユニットは、上記第1乃至第3のターゲットに対する上記第1のシャッタ及び上記第2のシャッタの各々の回転位置を制御するためのものである。
このスパッタ装置によれば、上記第2のシャッタを上記第8、第9の開口が上記第1乃至第3の何れか2つのターゲットと対応する位置に回転させることができる。上記第1のシャッタは、上記第1乃至第3の何れか2つの開口が上記2つのターゲットを対応する位置に回転させられる。これにより、全てのターゲットの同時スパッタによる薄膜形成と、任意の2つのターゲットの同時スパッタによる薄膜形成と、個々のターゲットに対する個別スパッタによる薄膜形成が可能となる。
これにより、一元系、二元系及び三元系の材料でなる薄膜を同一の真空槽内で形成することが可能となる。
上記第1のシャッタは、第1のターゲットと対応する第1の開口、第2のターゲットと対応する第2の開口、第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、上記第1の開口と上記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記第2のシャッタは、上記第1のシャッタと同軸的に配置されている。上記第2のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第5の開口、上記第2のターゲットと対応する第6の開口及び上記第3のターゲットと対応する第7の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3のターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、当該第1乃至第3の開口が上記第1乃至第3のターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の開口が上記第1乃至第3の開口と対応する位置に回転させられる。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3の何れか1つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第4の開口が上記1つのターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の何れか1つの開口が上記第4の開口と対応する位置に回転させられる。
ターゲットの予備放電は、成膜前のターゲット表面の清浄化などを目的として実施することができる。
このスパッタ方法によれば、上記第1、第2のシャッタ部材による遮蔽効果によって、基板にスパッタ粒子を付着させることなく、任意の1つのターゲットまたは全部のターゲットの予備放電を実施することが可能である。
上記第1のシャッタは、第1のターゲットと対応する第1の開口、第2のターゲットと対応する第2の開口、第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、上記第1の開口と上記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
上記第2のシャッタは、上記第1のシャッタと同軸的に配置されている。上記第2のシャッタは、上記第1のターゲットと対応する第5の開口、上記第2のターゲットと対応する第6の開口、上記第3のターゲットと対応する第7の開口、上記第5の開口と上記第6の開口との間に位置する第8の開口、及び、上記第6の開口と上記第7の開口との間に位置する第9の開口がそれぞれ同一円周上に形成されており、当該円周方向に回転可能である。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3のターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第1乃至第3の開口が上記第1乃至第3のターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の開口が上記第1乃至第3の開口と対応する位置に回転させられる。
このスパッタ方法は、上記第1乃至第3の何れか1つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第4の開口が上記第1乃至第3の何れか1つのターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第5乃至第7の何れか1つの開口が上記第4の開口と対応する位置に回転させられる。
そして、このスパッタ方法は、上記第1乃至第3の何れか2つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、上記第1乃至第3の何れか2つの開口が上記2つのターゲットと対応する位置に上記第1のシャッタを回転させることを含む。上記第2のシャッタは、上記第8及び第9の開口が上記2つのターゲットと対応する位置に回転させられる。
ターゲットの予備放電は、成膜前のターゲット表面の清浄化などを目的として実施することができる。
このスパッタ方法によれば、上記第1、第2のシャッタ部材による遮蔽効果によって、基板にスパッタ粒子を付着させることなく、任意の2つのターゲットの予備放電を実施することが可能である。
図6及び図7は、第1のターゲットT1の単独使用時における各シャッタ15A、15Bの回転位置の組み合わせの一例を示している。
図8及び図9は、第2のターゲットT2の単独使用時における各シャッタ15A,15Bの回転位置の組み合わせの一例を示している。
図10及び図11は、第3のターゲットT3の単独使用時における各シャッタ15A,15Bの回転位置の組み合わせの一例を示している。
図12及び図13は、第1のターゲットT1と第2のターゲットT2の同時使用時における各シャッタ15A,15Bの回転位置の組み合わせの一例を示している。
図14及び図15は、第2のターゲットT2と第3のターゲットT3の同時使用時における各シャッタ15A,15Bの回転位置の組み合わせの一例を示している。
図16及び図17は、第1のターゲットT1と第3のターゲットT3の同時使用時における各シャッタ15A,15Bの回転位置の組み合わせの一例を示している。
図18及び図19は、第1のターゲットT1と第2のターゲットT2と第3のターゲットT3の同時使用時における各シャッタ15A,15Bの回転位置の組み合わせの一例を示している。
2 真空槽
3 ステージ
5A〜5C スパッタカソード
6 処理室
14 シャッタ機構
15A 第1のシャッタ
15B 第2のシャッタ
16 回動軸
20 駆動軸
21 制御ユニット
H1〜H9 第1〜第9の開口
T1〜T3 第1〜第3のターゲット
W 基板
Claims (3)
- 基板の表面に薄膜を形成するためのスパッタ装置であって、
真空槽と、
前記真空槽の内部において同一円周上に等角度間隔で配置された第1、第2及び第3のターゲットと、
前記基板を支持するステージと、
前記第1乃至第3のターゲットと前記ステージとの間に配置され、かつ、前記第1のターゲットと対応する第1の開口、前記第2のターゲットと対応する第2の開口及び前記第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、前記第1の開口と前記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成された、当該円周方向に回転可能な第1のシャッタと、
前記第1のシャッタと同軸的に配置され、かつ、前記第1のターゲットと対応する第5の開口、前記第2のターゲットと対応する第6の開口、前記第3のターゲットと対応する第7の開口、前記第5の開口と前記第6の開口との間の前記同一円周上に位置する第8の開口、及び、前記第6の開口と前記第7の開口との間の前記同一円周上に位置する第9の開口がそれぞれ同一円周上に形成された、当該円周方向に回転可能な第2のシャッタと、
前記第1乃至第3のターゲットに対する前記第1のシャッタ及び前記第2のシャッタの各々の回転位置を制御するための制御ユニットと
を具備し、
前記制御ユニットは、
前記第4の開口が前記第1乃至第3の何れか1つのターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタが回転し、前記第8及び第9の開口が前記第1乃至第3の残りの2つのターゲットと対応する位置に前記第2のシャッタが回転した第1の状態と、
前記第1乃至第3の開口が前記第1乃至第3のターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタが回転し、前記第5乃至第7の開口が前記第1乃至第3の開口と対応する位置に前記第2のシャッタが回転した第2の状態と、
前記第4の開口が前記第1乃至第3の何れか1つのターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタが回転し、前記第5乃至第7の何れか1つの開口が前記第4の開口と対応する位置に前記第2のシャッタが回転した第3の状態と、
前記第1乃至第3の何れか2つの開口が前記2つのターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタが回転し、前記第8及び第9の開口が前記2つのターゲットと対応する位置に前記第2のシャッタが回転した第4の状態と、を選択的に切り替え可能に構成される
スパッタ装置。 - 請求項1に記載のスパッタ装置であって、
前記第1乃至第3のターゲットは、それぞれ異種の材料でなる
スパッタ装置。 - それぞれ等角度間隔で配置された第1乃至第3のターゲットに対向して配置され、前記第1のターゲットと対応する第1の開口、前記第2のターゲットと対応する第2の開口、前記第3のターゲットと対応する第3の開口、及び、前記第1の開口と前記第2の開口との間に位置する第4の開口がそれぞれ同一円周上に形成された、当該円周方向に回転可能な第1のシャッタと、
前記第1のシャッタと同軸的に配置され、かつ、前記第1のターゲットと対応する第5の開口、前記第2のターゲットと対応する第6の開口及び前記第3のターゲットと対応する第7の開口、前記第5の開口と前記第6の開口との間に位置する第8の開口、及び、前記第6の開口と前記第7の開口との間に位置する第9の開口がそれぞれ同一円周上に形成された、当該円周方向に回転可能な第2のシャッタとを用いたスパッタ方法であって、
前記第1乃至第3のターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、
前記第4の開口が前記第1乃至第3の何れか1つのターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタを回転させ、前記第8及び第9の開口が前記第1乃至第3の残りの2つのターゲットと対応する位置に前記第2のシャッタを回転させて前記第1乃至第3のターゲットを予備放電した後、
前記第1乃至第3の開口が前記第1乃至第3のターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタを回転させ、前記第5乃至第7の開口が前記第1乃至第3の開口と対応する位置に前記第2のシャッタを回転させて前記第1乃至第3のターゲットをスパッタし、
前記第1乃至第3の何れか1つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、
前記第4の開口が前記第1乃至第3の何れか1つのターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタを回転させ、
前記第8及び第9の開口が前記第1乃至第3の残りの2つのターゲットと対応する位置に前記第2のシャッタを回転させて前記1つのターゲットを予備放電した後、
前記第5乃至第7の何れか1つの開口が前記第4の開口と対応する位置に前記第2のシャッタを回転させて前記1つのターゲットをスパッタし、
前記第1乃至第3の何れか2つのターゲットをスパッタして薄膜を形成する場合には、
前記第4の開口が前記第1乃至第3の何れか1つのターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタを回転させ、前記第8及び第9の開口が前記第1乃至第3の残りの2つのターゲットと対応する位置に前記第2のシャッタを回転させて前記2つのターゲットを予備放電した後、
前記第1乃至第3の何れか2つの開口が前記2つのターゲットと対応する位置に前記第1のシャッタを回転させ、前記第8及び第9の開口が前記2つのターゲットと対応する位置に前記第2のシャッタを回転させて前記2つのターゲットをスパッタする
スパッタ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009145569A JP5503905B2 (ja) | 2009-06-18 | 2009-06-18 | スパッタ装置及びスパッタ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009145569A JP5503905B2 (ja) | 2009-06-18 | 2009-06-18 | スパッタ装置及びスパッタ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011001597A JP2011001597A (ja) | 2011-01-06 |
JP5503905B2 true JP5503905B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=43559787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009145569A Active JP5503905B2 (ja) | 2009-06-18 | 2009-06-18 | スパッタ装置及びスパッタ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5503905B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012147298A1 (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | キヤノンアネルバ株式会社 | 成膜装置 |
CN103635604B (zh) * | 2011-06-30 | 2015-09-30 | 佳能安内华股份有限公司 | 镀膜装置 |
CN103635603B (zh) | 2011-09-09 | 2016-04-13 | 佳能安内华股份有限公司 | 成膜装置 |
JP5922761B2 (ja) | 2012-03-14 | 2016-05-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタ装置 |
DE112013005734B4 (de) * | 2012-11-30 | 2022-02-03 | Canon Anelva Corporation | Sputtergerät und Substratbearbeitungsgerät |
TW201437397A (zh) * | 2013-03-06 | 2014-10-01 | Applied Materials Inc | 物理蒸氣沉積系統 |
JP7325278B2 (ja) * | 2019-09-18 | 2023-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | スパッタ方法およびスパッタ装置 |
CN116479383A (zh) * | 2020-07-03 | 2023-07-25 | 埃频(上海)仪器科技有限公司 | 多通路式真空蒸发源 |
CN115612981A (zh) * | 2021-07-16 | 2023-01-17 | 鑫天虹(厦门)科技有限公司 | 双层式遮蔽构件及具有双层式遮蔽构件的薄膜沉积机台 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5239584A (en) * | 1975-09-25 | 1977-03-26 | Hitachi Ltd | Vacuum evaporation apparatus |
JP4494047B2 (ja) * | 2004-03-12 | 2010-06-30 | キヤノンアネルバ株式会社 | 多元スパッタ成膜装置の二重シャッタ制御方法 |
JPWO2007066511A1 (ja) * | 2005-12-07 | 2009-05-14 | 株式会社アルバック | 成膜装置及び成膜方法 |
JP5584409B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2014-09-03 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタリング装置およびその制御方法 |
-
2009
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011001597A (ja) | 2011-01-06 |
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