JP5470544B2 - 放電イオン化電流検出器 - Google Patents
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Description
a)プラズマガスが流通するガス流路中に低周波交流電場による誘電体バリア放電を発生させ、該放電により前記プラズマガスからプラズマを生成させるプラズマ生成手段と、
b)前記ガス流路中に試料ガスを導入する試料ガス導入路と、
c)前記プラズマ生成手段により生成されるプラズマの発光の作用によってイオン化された前記試料ガス中の試料成分に由来するイオン電流を検出するために、前記ガス流路中に設けられたイオン収集用電極と、
d)前記ガス流路中であって前記プラズマによる発光が到達する一方、試料ガス又は該ガス中の成分が通過しない箇所に配設されたダミー電極と、
e)前記イオン収集用電極による検出信号と前記ダミー電極による検出信号との差動信号を求める差動検出手段と、
を備えることを特徴としている。
図1中に下向き矢印で示すように、プラズマガス導入口3にはプラズマガスとしてのヘリウムが所定流量で供給され、上部ガス流路4を下向きに流れる。他方、図1中に上向き矢印で示すように、希釈ガス導入口15には希釈ガスとしてのヘリウムが所定流量(基本的にはプラズマガスの流量と略同一)で供給され、下部ガス流路14中を上向きに流れる。また、キャピラリ管16には試料ガスが供給される。下部ガス流路14中で希釈ガスは試料ガスと合流して混合されつつ、さらに上方に向かう。ガス排出管17の接続部付近で試料ガスが混じった希釈ガスとプラズマガスとは衝突し、それらは一体となってガス排出管17を経て外部に排出される。なお、プラズマガスとしては、電離され易いガスであればヘリウムのほか、アルゴン、窒素、ネオン、キセノンなどのうちの1種又はそれらを2種以上混合したガスなどでもよい。また、希釈ガスはプラズマガスと同じものを用いる。
2…円筒管
3…プラズマガス導入口
4…上部ガス流路
5、6、7…プラズマ生成用電極
8…励起用高圧電源
10…イオン収集用電極
11…ダミー電極
12、18…バイアス電圧印加用電極
13、19…絶縁体
14…下部ガス流路
15…希釈ガス導入口
16…キャピラリ管
17…ガス排出管
18…バイアス電圧印加用電極
20…イオン電流検出部
21、22…電流アンプ
23…バイアス直流電源
24…差動アンプ
Claims (1)
- 放電により生起させたプラズマを利用して試料ガス中の試料成分をイオン化し検出する放電イオン化電流検出器であって、
a)プラズマガスが流通するガス流路中に低周波交流電場による誘電体バリア放電を発生させ、該放電により前記プラズマガスからプラズマを生成させるプラズマ生成手段と、
b)前記ガス流路中に試料ガスを導入する試料ガス導入路と、
c)前記プラズマ生成手段により生成されるプラズマの発光の作用によってイオン化された前記試料ガス中の試料成分に由来するイオン電流を検出するために、前記ガス流路中に設けられたイオン収集用電極と、
d)前記ガス流路中であって前記プラズマによる発光が到達する一方、試料ガス又は該ガス中の成分は通過しない箇所に配設されたダミー電極と、
e)前記イオン収集用電極による検出信号と前記ダミー電極による検出信号との差動信号を求める差動検出手段と、
を備えることを特徴とする放電イオン化電流検出器。
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