JP5445353B2 - 放電イオン化電流検出器 - Google Patents
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Description
a)プラズマガスが一方向に流通する第1ガス流路中に低周波交流電場による誘電体バリア放電を発生させ、該放電により前記プラズマガスからプラズマを生成させるプラズマ生成手段と、
b)前記第1ガス流路のプラズマガスの出口端に接続されたガス流路であって、その接続部と反対側の端部から前記プラズマガスの流れと対向する方向に希釈ガスが流通される第2ガス流路と、
c)前記第2ガス流路中に試料ガスを導入する試料ガス導入路と、
d)前記プラズマ生成手段により生成されるプラズマの作用によってイオン化された前記試料ガス中の試料成分に由来するイオン電流を検出するために、前記第2ガス流路中でガス流れ方向に互いに離して設けられたイオン収集用電極及びバイアス電圧印加用電極を含むイオン電流検出手段と、
e)前記プラズマガス、希釈ガス、及び試料ガスを前記第2ガス流路中から外部に排出するために、前記イオン収集用電極と前記バイアス電圧印加用電極との間に入口端が接続されたガス排出流路と、
を備えることを特徴としている。
以上のような様々な要因により、図2(b)に示した従来の構造では、特に試料濃度が高くなったときの感度が急に下がり、結果的に感度の直線性が低下するものと考えられる。
2…円筒管
3…プラズマガス導入口
4…上部ガス流路
5、6、7…プラズマ生成用電極
8…励起用高圧電源
10…下部ガス流路
11…イオン収集用電極
12…バイアス電圧印加用電極
13…絶縁体
14…希釈ガス導入口
15…ガス排出管
16…キャピラリ管
16a…吐出口
20…イオン電流検出部
21…電流アンプ
22…バイアス直流電源
Claims (2)
- 放電により生起させたプラズマを利用して試料ガス中の試料成分をイオン化し検出する放電イオン化電流検出器であって、
a)プラズマガスが一方向に流通する第1ガス流路中に低周波交流電場による誘電体バリア放電を発生させ、該放電により前記プラズマガスからプラズマを生成させるプラズマ生成手段と、
b)前記第1ガス流路のプラズマガスの出口端に接続されたガス流路であって、その接続部と反対側の端部から前記プラズマガスの流れと対向する方向に希釈ガスが流通される第2ガス流路と、
c)前記第2ガス流路中に試料ガスを導入する試料ガス導入路と、
d)前記プラズマ生成手段により生成されるプラズマの作用によってイオン化された前記試料ガス中の試料成分に由来するイオン電流を検出するために、前記第2ガス流路中でガス流れ方向に互いに離して設けられたイオン収集用電極及びバイアス電圧印加用電極を含むイオン電流検出手段と、
e)前記プラズマガス、希釈ガス、及び試料ガスを前記第2ガス流路中から外部に排出するために、前記イオン収集用電極と前記バイアス電圧印加用電極との間に入口端が接続されたガス排出流路と、
を備えることを特徴とする放電イオン化電流検出器。 - 請求項1に記載の放電イオン化電流検出器であって、
前記イオン収集用電極と前記バイアス電圧印加用電極とは前記プラズマガスの流れ方向にその順序で設けられ、前記試料ガス導入路は前記第2ガス流路中で前記ガス排出流路の接続部からみて前記イオン収集用電極が位置する側に試料ガスを導入するように配設されていることを特徴とする放電イオン化電流検出器。
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