JP5910161B2 - 放電イオン化電流検出器と試料ガス検出方法 - Google Patents
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Description
この放電イオン化電流検出器は、プラズマ生成部1aと試料イオン化及び検出部2aを備えている。プラズマ生成部1aは、ヘリウムなどのプラズマ生成ガスが流れる例えば石英管などの誘電体管40の一区間として設けられている。誘電体管40の外周にはプラズマ生成ガスの流れ方向に沿ってその外周を取り巻くようにリング状の電極46,48及び50が取り付けられている。電極48と電極50との間の区間がプラズマ生成部1aである。電極46には高圧交流電源12により高圧の交流電圧が印加され、電極48及び50は接地されている。電極46,48及び50間で起こる誘電体バリア放電によってプラズマ生成ガスを励起するようになっている。
この放電イオン化電流検出器は、プラズマ生成部1と試料イオン化及び検出部2を備えている。プラズマ生成部1は、例えば石英管などの誘電体管3の一区間として設けられている。誘電体管3内の流路4はヘリウムなどのプラズマ生成ガスが後述する筐体16へ向かう方向に流れる。誘電体管3の外周を取り巻くように誘電体管3の外周面に誘電体管3の内側を流れるプラズマ生成ガスの流れ方向に沿って互いに間隔をもってリング状の電極6,8及び10が取り付けられている。プラズマ生成部1は電極6と10の間の区間であり、電極6には高圧交流電源12によって高圧の交流電圧が印加されることで、電極6と電極8及び10との間で誘電体バリア放電が発生し、それによってプラズマ生成ガスを励起する。電極8及び10は接地されている。
なお、突出部分3aが設けられていることにより、突出部分3aが設けられていない場合に比べて試料ガスがプラズマ生成部1に到達しないようにするために必要なプラズマ生成ガス流量が小さくなり、プラズマ生成ガス流量の消費量を低減できるという利点もある。
2 試料イオン化及び検出部
3 誘電体管
4 誘電体管内の流路
6,8,10 放電用電極
12 高圧電流
14 筐体内部空間
15 絶縁体
16 筐体
18 試料ガス供給管
20 荷電用電極
22 イオン電流検出用電極
24,26 ガス排出口
28 直流電源
30 電流アンプ
Claims (3)
- プラズマ生成ガスが流れる誘電体管と、
前記誘電体管の前記プラズマ生成ガスの流れ方向における一区間であって、前記誘電体管の外周を取り囲むようにプラズマ生成ガスの流れ方向に沿って互いに間隔をもって前記誘電体管の外周面に取り付けられた複数の放電用電極を備え、前記放電用電極間において誘電体バリア放電を発生させることによりプラズマを生成するプラズマ生成部と、
前記誘電体管の前記プラズマ生成ガスの流れ方向の下流側の端部を接続するための誘電体管接続部、前記誘電体管よりも大きい内径を有する空間、前記誘電体管接続部と対向する位置に設けられ前記空間内に試料ガスを導入するための試料ガス導入口及び前記空間内のガスを排出するための排出口を備えた筐体と、
前記筐体内に設けられ、前記プラズマ生成部からの光エネルギーにより試料成分をイオン化する試料イオン化部と、
前記試料イオン化部においてイオン化された試料成分を検出するためのイオン電流検出部と、を備え、
前記誘電体管の前記プラズマ生成ガスの流れ方向の下流側の一端は前記筐体内部の空間側へ突出していることを特徴とする放電イオン化電流検出器。 - 前記誘電体管を流れるプラズマ生成ガスの流量を調節する機構と、
前記空間内に導入される試料ガスの流量を調節する機構と、を備え、
前記両機構は前記筐体中へ導入された試料ガスが前記誘電体管の前記突出した部分を経て前記誘電体管内の前記プラズマ生成部へ到達しないようにそれぞれの流量を調節するものである請求項1に記載の放電イオン化電流検出器。 - 請求項1に記載の放電イオン化電流検出器において、
前記筐体中へ導入された試料ガスが前記誘電体管の前記突出した部分を経て前記誘電体管内の前記プラズマ生成部へ到達しないように、前記誘電体管を流れるプラズマ生成ガスの流量と前記空間内に導入される試料ガスの流量を調節しながら試料ガス中の成分を検出する試料ガス検出方法。
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