JP5467743B2 - ヒータユニットおよび熱処理装置 - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000010410 dusting Methods 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 2
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/68—Heating arrangements specially adapted for cooking plates or analogous hot-plates
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D11/00—Arrangement of elements for electric heating in or on furnaces
- F27D11/02—Ohmic resistance heating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/0033—Heating devices using lamps
- H05B3/0038—Heating devices using lamps for industrial applications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
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Description
ヒータにおける辺縁部に位置する第1のヒータ片をヒータ支持部に対して滑動可能とし、ヒータ支持部における第1のヒータ片が載置される部分に、内側に向かって傾斜するように構成された傾斜面が設けられている。
12−炉体
18−ヒータラック
19−サポートプレート
20−ヒータユニット
21−ヒータ
26−コロ
210〜219−ヒータ片
Claims (3)
- 炉内に配置されたワークに対して熱処理を行うための熱処理装置に用いられるヒータユニットであって、
前記炉内に配置される前記ワークよりも大きなサイズのヒータであって、前記ワークよりも小さなサイズの複数のヒータ片によって構成されたヒータと、
前記炉内に水平状態で配置可能なヒータ支持部であって、前記複数のヒータ片が載置されるように構成されたヒータ支持部と、を備え、
前記複数のヒータ片は、前記ヒータにおける辺縁部に位置する第1のヒータ片と、前記ヒータにおける前記第1のヒータ片の内側に位置する第2のヒータ片とからなっており、
少なくとも前記第1のヒータ片が、前記ヒータ支持部に対して滑動可能な状態で前記ヒータ支持部に載置されており、
前記ヒータ支持部における前記第1のヒータ片が載置される部分に、内側に向かって傾斜するように構成された傾斜面が設けられた
ヒータユニット。 - 前記第1のヒータ片は、底部にボール状のコロまたはローラが回転可能に設けられた請求項1に記載のヒータユニット。
- 請求項1又は2に記載のヒータユニットを各段に配置した多段熱処理部を備えた熱処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008221639A JP5467743B2 (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | ヒータユニットおよび熱処理装置 |
CN2009101617328A CN101662853B (zh) | 2008-08-29 | 2009-08-07 | 加热单元及热处理装置 |
TW098127824A TWI487425B (zh) | 2008-08-29 | 2009-08-19 | 加熱單元及熱處理裝置 |
KR1020090077820A KR101570735B1 (ko) | 2008-08-29 | 2009-08-21 | 히터 유닛 및 열처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008221639A JP5467743B2 (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | ヒータユニットおよび熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010054157A JP2010054157A (ja) | 2010-03-11 |
JP5467743B2 true JP5467743B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=41790524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008221639A Expired - Fee Related JP5467743B2 (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | ヒータユニットおよび熱処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5467743B2 (ja) |
KR (1) | KR101570735B1 (ja) |
CN (1) | CN101662853B (ja) |
TW (1) | TWI487425B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101256519B1 (ko) * | 2010-12-27 | 2013-04-22 | 주식회사 포스코 | 소둔공정용 열처리장치 |
CN102049620B (zh) * | 2011-01-20 | 2013-03-27 | 陕西华钛电热电器有限公司 | 远红外金属镀层清除机 |
CN102872650B (zh) * | 2012-09-21 | 2015-10-07 | 成都易态科技有限公司 | 烧结粉末多孔材料滤芯制备方法及专用真空加热炉 |
KR101391304B1 (ko) * | 2012-11-06 | 2014-05-02 | 주식회사 제우스 | 고온용 케이블과 이것을 이용한 열처리 장치 |
MX2016016102A (es) * | 2014-06-06 | 2017-07-11 | Nippon Steel & Sumikin Texeng Co Ltd | Horno de calentamiento por radiacion de infrarrojo lejano para lamina de acero para estampado en caliente. |
CN105217940A (zh) * | 2015-08-21 | 2016-01-06 | 四川省洪雅县中保光学元件有限公司 | 一种安全可控的退火炉 |
JP6946571B2 (ja) * | 2018-09-28 | 2021-10-06 | 日鉄テックスエンジ株式会社 | 加熱炉 |
CN111805841B (zh) * | 2020-07-14 | 2022-04-08 | 长春百思特汽车零部件有限公司 | 一种注塑加工用快速换模机构 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2054826C1 (ru) * | 1991-08-23 | 1996-02-20 | Станислав Викторович Цивинский | Нагревательный элемент в виде линейной лампы накаливания |
KR100245260B1 (ko) | 1996-02-16 | 2000-02-15 | 엔도 마코토 | 반도체 제조장치의 기판 가열장치 |
JPH11283909A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板熱処理装置 |
US6547121B2 (en) * | 2000-06-28 | 2003-04-15 | Advanced Micro Devices, Inc. | Mechanical clamper for heated substrates at die attach |
JP4071594B2 (ja) * | 2002-10-22 | 2008-04-02 | 昭和鉄工株式会社 | ガラス基板用熱処理装置 |
SE525477C2 (sv) * | 2003-07-10 | 2005-03-01 | Sandvik Ab | Elektriskt värmeelement med strålningstub |
WO2005101906A1 (fr) * | 2004-03-18 | 2005-10-27 | Alain Marec | Perfectionnement aux dispositifs de chauffage du type bandes chauffantes |
US20060193366A1 (en) * | 2005-01-24 | 2006-08-31 | Nextherm, Inc. | Heating element structure with efficient heat generation and mechanical stability |
KR100601988B1 (ko) * | 2005-02-05 | 2006-07-18 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 가열 장비 |
JP2007309540A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Hitachi Chem Co Ltd | 熱板、複合熱板及びこれらを備えた加熱炉 |
-
2008
- 2008-08-29 JP JP2008221639A patent/JP5467743B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-08-07 CN CN2009101617328A patent/CN101662853B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-08-19 TW TW098127824A patent/TWI487425B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-08-21 KR KR1020090077820A patent/KR101570735B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101662853A (zh) | 2010-03-03 |
TW201010492A (en) | 2010-03-01 |
TWI487425B (zh) | 2015-06-01 |
KR101570735B1 (ko) | 2015-11-23 |
JP2010054157A (ja) | 2010-03-11 |
CN101662853B (zh) | 2013-04-24 |
KR20100026999A (ko) | 2010-03-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110801 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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